「dissociated gas」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

Thereby, a plasma is produced, the N2O gas is excited or dissociated, and a reactive gas X including the nitrogen active species and oxygen active species is produced.例文帳に追加

これにより、プラズマが形成されてＮ_2Ｏガスが励起叉は解離され、窒素活性種及び酸素活性種を含む反応ガスＸが生成される。 - 特許庁

A thin film on a semiconductor substrate is dry-etched by selectively generating desired dissociated species through interaction between an inert gas that is excited to a quasi-stable state in plasma and a fron-family gas, to accurately control the composition of the dissociated species from the reaction gas.例文帳に追加

半導体基板上の薄膜をドライエッチングするに際し、プラズマ中で準安定状態に励起させた不活性ガスと、フロン系ガスとを相互作用させて所望の解離種を選択的に得ることにより、反応ガスの解離種の組成制御を精密に行う。 - 特許庁

To solve a problem of ion introduction onto a semiconductor formed with a resist that causes a factor to deteriorate the properties of the semiconductor because a reaction between ions and a component of the resist generates a gas (dissociated gas) resulting in that the component of the dissociated gas is introduced into the semiconductor.例文帳に追加

レジストが形成されている半導体にイオンの導入すると、イオンとレジストの成分とが反応してガス（解離ガス）が発生し、解離ガスの成分が半導体に導入され、該半導体の物性を低下させる要因となっている。 - 特許庁

By using a high-frequency power source device for plasma generation, argon gas is dissociated into argon plus ion (Ar^+) and electron.例文帳に追加

プラズマ発生用高周波電源装置を用い、アルゴンガスをアルゴンプラスイオン（Ａｒ^＋）と電子に解離させる。 - 特許庁

In this method, the plasma contains a plurality of radicals and dissociated inert source gas atoms, defining a cleaning mixture.例文帳に追加

この方法で、プラズマは、複数の遊離基と解離不活性ソースガス原子を含み、クリーニング混合体を画定する。 - 特許庁

A second oxygen pumping current caused by dissociated oxygen in the measured gas led into a second measuring chamber is detected (S10).例文帳に追加

また、第２測定室に導入された被測定ガス中の解離した酸素に起因する第２酸素ポンプ電流を検出する（Ｓ１０）。 - 特許庁

As a result, a gas is not dissociated excessively and thereby a good-quality film can be formed on a substrate G by uniform plasma.例文帳に追加

この結果，ガスが過剰解離することなく，均一なプラズマにより基板Ｇに良質な膜を形成することができる。 - 特許庁

A treatment gas is dissociated into plasma by the electromagnetic wave, and a wafer in the treatment chamber is etched.例文帳に追加

電磁波により処理ガスが解離してプラズマ化し，処理室１０２内のウェハＷにエッチング処理が施される。 - 特許庁

When the ejected particles collide with precursor gas particles, the precursor is dissociated, forming a reactive component that bonds to the ablated material.例文帳に追加

放出された粒子が前駆体ガス粒子と衝突すると、前駆体が解離し、アブレートされた材料と結合する反応性の成分を形成する。 - 特許庁

NO_2 is dissociated from PGDN in sample gas, the dissociated NO_2 is reduced to NO, the amount of chemical emission generated by adding ozone O_3 to it and allowing both of them to react is detected, thus measuring and analyzing the concentration of PGDN continuously.例文帳に追加

サンプルガス中のＰＧＤＮからＮＯ_2を解離し、その解離したＮＯ_2をＮＯに還元するとともに、それにオゾンＯ_3を添加し両者を反応させることで生じる化学発光量を検出することにより、ＰＧＤＮの濃度を連続的に測定し分析する。 - 特許庁

To obtain a catalyst contact radical creation equipment arranged to introduce a plurality of kinds of material gas into a reaction chamber and to dissociate the material gas through contact with a catalyst in which the material gas can be dissociated with a high decomposition rate as compared with prior art.例文帳に追加

複数種類の材料ガスを反応室に導入して触媒体との接触により解離するようにした触媒接触型ラジカル生成装置において、従来の場合よりも高い分解率でもって解離できるようにする。 - 特許庁

As compared with a case where the gas dissociation accelerating part 6 does not exist, nitriding reaction proceeds at a lower temperature, since a nitrogen compound gas is dissociated at a lower temperature and atomic hydrogen and atomic nitrogen are formed.例文帳に追加

ガス解離促進部６が存在しない場合と比較して、より低温で窒素化合物ガスが解離し原子状水素と原子状窒素が生成するため、より低温で窒化反応が進行する。 - 特許庁

The methane gas dissociated from the methane hydrate by the heat of the seawater is collected, transported to a power generation plant 1 on the sea through a methane gas collection pipe 3, and supplied as a fuel for power generation.例文帳に追加

この海水が有する熱によってメタンハイドレートから解離したメタンガスを回収し、メタンガス回収パイプ３を通じて海上の発電プラント１に輸送し、発電の燃料として供給する。 - 特許庁

A reaction chamber 10 is configured such that a material gas is introduced, part of the material gas is dissociated by the neutral particle beam under control of energy generated by a neutral particle generating means and polymerized, and a film is deposited on a substrate 14.例文帳に追加

反応室１０は、原料ガスが導入され、中性粒子生成手段により生成されたエネルギーが制御された中性粒子ビームにより原料ガスの一部が解離、重合されて基板１４上に膜を堆積される。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus capable of easily controlling the plasma electronic energy distribution in accordance with the kind of dissociated gas molecules or its dissociation energy.例文帳に追加

解離させるガス分子の種類やその解離エネルギーに応じてプラズマの電子エネルギー分布を容易に制御することができるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

In a chamber 10, a processing gas discharged from an upper electrode (shower head) 60 is dissociated and ionized between both electrodes 12, 60 by a high-frequency discharge, and plasma PR is generated.例文帳に追加

チャンバ１０内で上部電極（シャワーヘッド）６０より吐出された処理ガスが両電極１２，６０間で高周波放電により解離・電離してプラズマＰＲが生成される。 - 特許庁

In the nitriding system 21, NH_3 gas is dissociated with the exciting energy of the UV-rays and caused to react on the silicon wafer 22 thus forming an SiN film usable as an insulation film on the surface of the silicon wafer 22.例文帳に追加

窒化装置２１では、紫外線の励起エネルギによってＮＨ_3ガスを解離してシリコンウェハ２２と反応させ、シリコンウェハ２２の表面に絶縁膜として使用可能なＳｉＮ膜を生成することができる。 - 特許庁

The light absorbing layer 103 absorbs the energy of the laser beam 105, and thus, one part thereof is physically dissociated based on emission of a gas in the light absorbing layer 103 and sublimation or evaporation of the light absorbing layer 103.例文帳に追加

光吸収層１０３がレーザビーム１０５のエネルギーを吸収することで、光吸収層１０３内における気体の放出、光吸収層１０３の昇華または蒸発等により、一部が物理的に解離する。 - 特許庁

Hydrogen in the gas to be measured introduced into a first measuring chamber 2 through a first diffusion rate limiting part 1 is dissociated, decomposed or reacted by applying first predetermined voltage across a first electrode 7 and a second electrode 8.例文帳に追加

第１拡散律速部１を介して第１測定室２内に導入された被測定ガス中の水素を、第１電極７と第２電極８間に第１所定電圧を印加することにより解離または分解もしくは反応させる。 - 特許庁

At that time, on the surface of an exposure part 4 of the convex part 2 exposed from the resist 5, the gas molecules 6 are dissociated by the radiated propagation lights through a heat insulation process, so as to etch the exposure part 4.例文帳に追加

このとき、凸部２のレジスト５からの露出部４の表面において、照射した伝搬光によりガス分子４を断熱過程を経て解離させることによって露出部４がエッチングされる。 - 特許庁

Since plasma generated by using microwaves at a frequency of not less than 1 GHz has high electron density, silicon hydride or silicon halide which is source gas can be easily dissociated, so that mass productivity of the display can be improved.例文帳に追加

周波数が１ＧＨｚ以上のマイクロ波を用いたプラズマは電子密度が高く、原料ガスである水素化珪素またはハロゲン化珪素の解離が容易となるため、表示装置の量産性を高めることが可能である。 - 特許庁

Emission of light from dissociated active species in plasma is measured, using means for measuring the emission intensity of plasma, an index indicative of dissociation of projected gas is determined from emission intensity and plasma generating conditions are controlled based on the index.例文帳に追加

プラズマの発光強度を測定する手段を用いて、プラズマ中の解離活性種からの発光を計測し、発光強度から投入ガスの解離を表す指標を求め、前記指標に基づいて、プラズマ発生条件を制御する。 - 特許庁

The slurry liquid-containing powder as a material is dissociated and dispersed by impact wave by being sucked and injected by an ejector driven by the high-pressure gas such as the superheated steam.例文帳に追加

原料のスラリ状含液粉体は、過熱蒸気などの高圧ガスで駆動するエゼクターで吸引噴射することにより衝撃波で解離・分散せしめる。 - 特許庁

The projection portion 21 is thus irradiated with the light and then the reactive gas is dissociated through a non-resonance process with near-field light generated in a local region of the projection portion 21 to generate active species.例文帳に追加

凸部２１に光を照射することによって凸部２１の局所領域に発生する近接場光に基づき、非共鳴過程を経て反応性ガスを解離させて活性種を生成させる。 - 特許庁

Since carbon monoxide gas is introduced into the plasma region 13 which is 1/10 or less as low in plasma density as the high-density plasma region 12, it is less hit by the high-temperature high-density plasma and carried onto the substrate 2 before it is dissociated.例文帳に追加

一酸化炭素ガスは、１桁以上低密度のプラズマ領域１３に導入されるので、高温・高密度のプラズマガスによる衝突を受けることが少なく、解離する前に基板２の上に運ばれる。 - 特許庁

Furthermore, the partial pressure of O_2 gas in the light emitting space 5 has been become also high because oxygen has dissociated from SiO_2, consequently the reaction of the SiO →metallic Si is also suppressed, and generating of the metal Si leading to crystallization can also be suppressed.例文帳に追加

更に、ＳiＯ2から酸素が分離することで、発光空間５内のＯ2ガスの分圧も高くなっており、その結果、ＳｉＯ→金属Ｓｉの反応も抑制され、結晶化の原因となる金属Ｓｉの発生も抑制できる。 - 特許庁

To provide a hydrogen gas detector capable of preventing a catalytic material contained in a positive side electrode from being poisoned by carbon monoxide, and capable of preventing steam in measured gas from being dissociated, when detecting a concentration of hydrogen in the measured gas.例文帳に追加

被測定ガス中の水素ガスの濃度の検出にあたり、正側電極に含有される触媒材料の一酸化炭素による被毒及び被測定ガス中の水蒸気の解離を防止するようにした水素ガス検出装置を提供する。 - 特許庁

Kinetic energy distribution of ions in a plasma is varied by regulating the strength of electric field generated from the AC power supply 27 thus controlling the compositional ratio of dissociated ions in the mother gas of a reaction gas being employed for etching or deposition.例文帳に追加

交流電源２７の発生する電界の強度を調整することで、プラズマ中のイオンの運動エネルギーの分布を変化させ、エッチングあるいはデポジションに用いる反応ガスの母ガスの解離状態または解離したイオンの組成比を制御することができる。 - 特許庁

Plasma is a high energy fluid in which corona discharge or arc discharge is generated between electrodes by high voltage and plasma-generating gas is contacted to this to give energy, and electrons or molecules and atoms in the gas are ionized or dissociated to collide with each other, and ions or electrons and radicals are generated.例文帳に追加

プラズマとは、高電圧により電極間にコロナ放電やアーク放電を発生させ、これにプラズマ生成用ガスを触れさせてエネルギーを与え、気体中の電子・分子・原子が電離ないし解離して激しくぶつかり合い、イオンや電子、ラジカルを生成した高エネルギー流体である。 - 特許庁

To provide a plasma CVD device capable of preventing deposition of a deposition precursor of a raw gas which is dissociated and formed in plasma on high frequency application electrodes, reducing the quantity of the deposition precursor to be exhausted outside as much as possible, and improving the productivity of the film deposition together with the effective use of the raw gas.例文帳に追加

プラズマ中に解離して形成された原料ガスの堆積前駆体が高周波印加電極に堆積したり、外部に排気される量を極力少なくし、原料ガスの有効利用と共に成膜処理の生産性を向上し得るプラズマＣＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method of silicon fine particle comprises dissociating silicon from a silicon hydride by bringing a raw material gas containing the silicon hydride into contact with a heated catalyst comprising either one of tungsten, tantalum, carbon, molybdenum and titanium or a compound thereof, and at the same time aggregating the dissociated silicon by raising the pressure of the raw material gas to high pressure capable of aggregating the dissociated silicon to form silicon fine particle.例文帳に追加

シリコン微粒子の製造方法は、シリコンの水素化物を含む原料ガスを、タングステン，タンタル，炭素，モリブデンおよびチタンのうちのいずれか一種またはその化合物から成る加熱触媒に接触させてシリコンの水素化物からシリコンを解離させるとともに、原料ガスの圧力を解離したシリコンが凝集可能な高圧とすることによって、解離したシリコンを凝集させてシリコン微粒子を形成する。 - 特許庁

Electron temperature below the lower range is generated, so that the metal atoms are dissociated from the gas atoms and the metal atoms are ionized into light ions and heavy ions according to their mass to charge ratio, and thereby the source material is partially ionized.例文帳に追加

低い範囲より下の電子温度が生成されて、気体原子から金属原子を解離することによって、および金属原子をそれらの質量対電荷比に従って軽イオンおよび重イオンへとイオン化することによって、原料物質を部分的にイオン化する。 - 特許庁

Then, for example, by maintaining at least the detection electrode 14 at a temperature higher than the standard state by a heater 20, the hydrogen molecules are activated and dissociated on a surface of the detection electrode 14, and hydrogen gas is detected based on the electromotive force value occurring between these electrodes.例文帳に追加

そして、例えば、ヒータ２０により少なくとも検出電極１４を標準状態より高い温度に維持することにより、検出電極１４の表面で水素分子を活性化して解離させ、これによりこれら電極間に発生する起電力値に基づいて水素ガスを検出する。 - 特許庁

Furthermore, the reactive product is dissociated into a solid material, which is to be etched, and the original etching gas.例文帳に追加

処理室１１から排出されるガスや反応生成物あるいは未反応のまま排出されるガスをフィルターやサイクロン等の分離手段５０に導き、エッチングガスと反応生成物とに分離し、さらに、反応生成物をかい離させて、被エッチング材の固形物と元のエッチングガスに別ける。 - 特許庁

A hydrogen gas passing through the gas diffusion speed-controlling layer 2 and reaching the first electrode 3 is dissociated into protons by the catalysis operation of Pt contained in the electrode and voltage being applied to the first electrode 3, passes through the proton conduction layer 5, is pumped out to the second electrode 4, becomes a hydrogen gas again, and is diffused to the gas atmosphere to be measured.例文帳に追加

ガス拡散律速層２を通り第１の電極３に到達した水素ガスは電極に含有されるＰｔの触媒作用と第１の電極３への印加電圧によりプロトンに解離されてプロトン伝導層５を通り第２の電極４へ汲み出され、再び水素ガスとなって被測定ガス雰囲気に拡散していく。 - 特許庁

In this optical hydrogen gas detection element constituted of a transparent substrate, a highly-oriented tungsten oxide thin film formed on the transparent substrate, and a catalyst metal deposited on the surface of the highly-oriented tungsten oxide thin film, a molecular hydrogen gas is adsorbed by the catalyst metal and dissociated into hydrogen atoms.例文帳に追加

透明基板と、該透明基板上に形成された高配向性の酸化タングステン薄膜と、該高配向性酸化タングステン薄膜の表面上に堆積された触媒金属とから構成される光学式水素ガス検出素子であって、該触媒金属が分子状の水素ガスを吸着して水素原子へと解離するものである、前記光学式水素ガス検出素子。 - 特許庁

A catalyst containing one or two or more kinds of metal components selected from a group comprising Cr, Mo, W, Fe, Ni, Co and platinum-group elements is disposed in an engine intake air duct, and the steam and carbon dioxide gas contained in the intake air are partially dissociated by the catalyst to reduce the thermal dissociation load in an engine.例文帳に追加

Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏおよび白金族元素よりなる群から選択される1種または２種以上の金属成分を含有する触媒を、エンジン吸気ダクトに配置し、吸気中に含まれる水蒸気および炭酸ガスを前記触媒によって部分的に解離することによって、エンジン内での熱解離負荷を軽減する様にした。 - 特許庁

The concentration of hydrogen is detected precisely in response to a limiting current based on a direct current, while preventing the catalytic material contained in the positive side electrode from being poisoned by the carbon monoxide, and while preventing the steam in the measured gas from being dissociated, when a voltage impressed between the positive side electrode an a negative side electrode of a sensor element is within 400-1,200 mV of range.例文帳に追加

センサ素子の正側電極と負側電極との間に印加する電圧が、４００（ｍＶ）〜１２００（ｍＶ）の範囲以内の直流電圧であれば、正側電極に含有される触媒材料が一酸化炭素による被毒を受けたり当該被測定ガス中の水蒸気が解離したりすることがなく、上記直流電流に基づく限界電流に応じて水素ガスの濃度を精度よく検出し得る。 - 特許庁

An organic compound such as dimethylzinc and a gas element compound such as oxygen are used for starting materials, which are dissociated and ionized by non-resonant multiple photon absorption not through an intermediate level by emission of an excimer laser 21, and impurities are separated from the ionized elements by the mass separation method using an electromagnetic field 55 to deposit only the prescribed ionized elements onto a target 61.例文帳に追加

ジメチル亜鉛などの有機化合物及び酸素などの気体元素化合物を出発原料として、エキシマレーザー２１照射により中間準位を経ない非共鳴の多光子吸収により解離及びイオン化し、イオン化された元素を電磁場５５による質量分離法により不純物を分離して所定のイオン化元素のみをターゲット６１上に堆積させる。 - 特許庁

In this plasma processing apparatus 10, the electronic energy distribution of the plasma generated in the plasma generating chamber 12 can be controlled by just moving the operation bar 171 with the moving mechanism 172 in a longitudinal direction to adjust the distance between the high-frequency antenna 16 and the plasma controlling plate 17; therefore, the plasma processing in accordance with the kind of gas molecules to be dissociated or its dissociation energy can be easily performed.例文帳に追加

このプラズマ処理装置１０では、移動機構１７２により操作棒１７１を長手方向に動かし、高周波アンテナ１６とプラズマ制御板１７の間の距離を調整するだけで、プラズマ生成室１２内で生成されたプラズマの電子エネルギー分布を制御することができるため、解離させるガス分子の種類やその解離エネルギーに応じたプラズマ処理を容易に行うことができる。 - 特許庁