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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > optical interferenceに関連した英語例文

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optical interferenceの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1668



例文

Further, for example, when the wavelength at a peak of the fluorescence spectrum generated from the inorganic optical material is in the vicinity of the C band, a 20 μm or less resolution can be realized with an interference type optical sensor using a light source comprising the inorganic optical material.例文帳に追加

また、例えばこの無機光学材料から発せられる蛍光スペクトルのピークでの波長がCバンド付近である場合、この無機光学材料を含む光源を用いた干渉型光センサでは20μm以下の分解能を実現することができる。 - 特許庁

A Mach-Zehnder type optical interference circuit 120 is formed on a platform 110; two semiconductor optical amplifiers(SOA) 131, 133 are packaged in an arm waveguide 123; and two semiconductor optical amplifiers 132, 134 are packaged in an arm waveguide 124.例文帳に追加

プラットホーム110にはマッハツェンダ型光干渉回路120が形成されており、アーム導波路123には2つの半導体光増幅器(SOA)131,133が、アーム導波路124には2つの半導体光増幅器132,134が実装されている。 - 特許庁

The sensor head 120 has the interferable light source 122 for radiating optical beams to the optical pattern 112, the light detector 12 for detecting the movement of an interference pattern formed by the optical pattern 112, and a base board 142 for holding them.例文帳に追加

センサーヘッド120は、光学パターン112に光ビームを照射するための可干渉光源122と、光学パターン112によって形成された干渉パターンの移動を検出するための光検出器132と、それらを保持している基板142とを有している。 - 特許庁

To provide an optical layered product that effectively inhibit interface reflection and generation of an interference pattern between an optical permeability substrate and a hard coat layer, excels in visibility and surface mechanical strength, and in which adhesion between the optical permeability substrate and the hard coat layer is excellent.例文帳に追加

光透過性基材−ハードコート層間における界面反射と干渉縞の発生を有効に防止し、視認性に優れ、表面の機械的強度に優れ、且つ光透過性基材−ハードコート層間の密着性が良好な光学積層体を提供する。 - 特許庁

例文

To provide an optical recording medium that can reduce cross write caused by the thermal interference of the adjacent track by providing a region which maintains amorphous state regardless of write and erase between the tracks of a phase change recording optical recording medium in the method to overcome the cross write problem caused by the thermal interference when making high density recording on a phase change recording optical recording medium.例文帳に追加

相変化型光記録媒体に高密度記録する時の熱干渉で生ずるクロスライトの問題点を解決する方法において、相変化型光記録媒体のトラック間に記録消去に関わらず、非晶質状態を維持する領域を設けることにより、隣接トラックへの熱干渉のために生ずるクロスライトを減らすことができる光記録媒体を提供する。 - 特許庁


例文

A nonlinear optical material member whose transmittance or refractive index is changed according to intensity of irradiation with light is built in the light controlling type optical deflectors 3 and 7, interference fringes having spatial frequencies according to the controlling signal light beams 4 and 8 are formed in the nonlinear optical material member and the serial light signal sequence 2 is diffracted by the formed interference fringes to perform scanning.例文帳に追加

光制御型光偏向器3、7は、光の照射強度に応じて透過率もしくは屈折率が変化する非線形光学材料部材を内蔵し、非線形光学材料部材に、制御信号光4、8に応じた空間周波数の干渉縞を形成し、この形成された干渉縞によって、シリアル光信号列2を回折し、走査を行う。 - 特許庁

A specified signal is recorded on a magneto-optical recording medium 10, and the magneto-optical recording medium 10 is irradiated by the laser beam, the intensity of which is changed, from an optical head 30 to reproduce the recorded signal, and the waveform interference is eliminated by changing the equalizer coefficient of the equalizer 95 when each waveform interference of the signal reproduced by changing the intensity of the laser beam is eliminated.例文帳に追加

光磁気記録媒体10に所定の信号を記録し、光学ヘッド30から強度を変化させたレーザ光を光磁気記録媒体10に照射して記録信号を再生し、レーザ光の強度を変化させて再生した再生信号の各々の波形干渉を除去する際にイコライザ95のイコライザ係数を変化させて波形干渉を除去する。 - 特許庁

When the inter-code interference ratio of data to be recorded in an optical disk is less than a prescribed value, an optical disk apparatus determines a format for test write in the optical disk 10 to a format in which the inter-code interference ratio is the prescribed value and more, executes test write, and then determines the optimum power of laser light for recording data on the basis of the test write result.例文帳に追加

光ディスク装置は、光ディスク10に対して記録しようとするデータの符号間干渉比が所定値未満である場合に、光ディスク10に対する試し書きの際のフォーマットを符号間干渉比が所定値以上となるフォーマットに決定して試し書きを実行し、この試し書きの結果に基づいて、データを記録する際のレーザ光の最適パワーを決定する。 - 特許庁

A signal processing part 93 generates an optical three-dimensional structure image of the object to be measured T, on the basis of interference information and renders a visible light image on the surface of the optical three-dimensional structure image on the basis of image information.例文帳に追加

信号処理部93は、干渉情報に基づいて測定対象Tの光立体構造像を生成すると共に、画像情報に基づいて光立体構造像の表面に可視光画像をレンダリングする。 - 特許庁

例文

To provide a method for accurately forming a grating having intended optical characteristics by reducing influence of periodic components other than the primary ones among the optical intensity distribution of interference fringes.例文帳に追加

本発明は、干渉縞の光強度分布のうち、主となる周期成分以外の他の周期成分の影響を低減し、精度良く目的とする光学特性を有するグレーティングを形成する方法を提供する。 - 特許庁

例文

To propose a recording method of an optical disk in which reduction of recording quality by occurrence of heat interference is prevented, when aberration correction is performed, and an optical disk recording and reproducing device used for this recording method.例文帳に追加

収差補正を行うに当って、熱干渉が発生して記録品質が低下するのを防止することができる光ディスクの記録方法及びこの記録方法に用いられる光ディスク記録再生装置を提案する。 - 特許庁

The collimated light A1 forms an interference fringe 53 at a work 5, being divided into two ways and deflected of optical paths by the prism 41 which is an optical device for dividing the light wave into two waves and makes them deflected and crossed, and by means of their crossings.例文帳に追加

このコリメート光A1は、光波を2分して偏向交差させる光学デバイスであるプリズム41により2分されて光路偏向し、それらの交差によって、ワーク5で干渉縞53を生成する。 - 特許庁

To provide a phase control circuit which implements a variable optical attenuator having low power consumption and a DPSK reception circuit free from a wavelength shift dependent upon a temperature, and an optical interference circuit using the phase control circuit.例文帳に追加

低消費電力である可変光減衰器、ならびに温度に依存した波長シフトが生じないDPSK受信回路となる、位相制御回路およびこの位相制御回路を用いた光干渉回路を提供する。 - 特許庁

To provide a hard coat composition capable of suppressing optical interference for a very refractive lens and causing no blackening phenomenon by UV and no impairing of beauty even when optical parts are used for long periods of time.例文帳に追加

超高屈折レンズに対しても、光干渉を抑えることができ、かつ、紫外線に対する黒化現象を発生せず光学部品を長期使用した場合も美観を損なわないハードコート組成物を提供すること。 - 特許庁

A spatial filter mask structured for a secondary optical fiber light-receiving channel transmits two spatially periodic secondary signals generated from an external interference fringe in a light-receiving area of the primary optical fiber light-receiving channel.例文帳に追加

二次光ファイバ受光チャンネル用に構成された空間フィルタマスクは、一次光ファイバ受光チャンネルの受光領域の外側の干渉縞から生じる2つの空間的に周期的な二次信号を与える。 - 特許庁

The optical module 40 is equipped with: a center piece 44 which are coaxially integrated so that a wavelength selective interference film 43 is positioned between two gradient index rod lenses 41 and 42; and two optical fiber chips 45 and 46.例文帳に追加

光モジュール40は、2つの屈折率分布型ロッドレンズ41,42を間に波長選択性干渉膜43が位置するように同軸に一体化したセンターピース44と、2つの光ファイバチップ45,46とを備える。 - 特許庁

Two heterodyne beams having slightly different frequencies are guided to a measuring optical head 35 via a polarization surface storage optical fiber 34, and one portion of the heterodyne beams is taken out for interference to detect a reference beat signal.例文帳に追加

僅かに周波数の異なる2つのヘテロダイン光を偏波面保存光ファイバ34を介して測定光学ヘッド35に導き、ヘテロダイン光の一部を取り出して干渉させ参照ビート信号を検出する。 - 特許庁

To independently and stably control respective channels by reducing interference of optical switching characteristics or optical attenuation characteristics among the channels even when the channels are integrated to make wiring of an electric supply circuit common.例文帳に追加

チャンネルの集積化を図り給電回路における配線を共通化した場合であっても、チャンネル間の光スイッチング特性又は光減衰特性の干渉を低減して、各チャンネルを独立に安定して制御する。 - 特許庁

To provide an optical path opening/shutting device capable of achieving the smooth opening/shutting operation of a blade member by preventing the interference of superposed blade members with each other, and an imaging apparatus equipped with such an optical path opening/shutting device.例文帳に追加

重ね合わされる羽根部材同士の干渉を防ぎ、羽根部材の滑らかな開閉動作を実現できる光路開閉装置、及び、そのような光路開閉装置を備えた撮像装置を提供する。 - 特許庁

To suppress interference light from an adjacent layer of a multilayer optical recording medium having a plurality of information recording surfaces by forming satisfactory spots on a plurality of optical recording media with different substrate thicknesses with a single objective lens.例文帳に追加

単一の対物レンズで、異なる基板厚さの複数の光記録媒体に良好なスポットを形成し、複数の情報記録面を持つ多層光記録媒体の隣接層からの干渉光を抑制する。 - 特許庁

To provide a polyester film for optical use having high transparency wherein the polyester film for optical use comprising polyethylene naphthalene dicarboxylate as a main ingredient does not decrease visibility by interference stigma upon hard coat lamination.例文帳に追加

ポリエチレンナフタレンジカルボキシレートを主成分とする光学用ポリエステルフィルムでありながら、ハードコート積層時の干渉斑による視認性の低下を招かず、かつ高い透明性を有する光学用ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

The bandwidth of the optical signal is expanded on the waveguide in which its width is gradually increased and the side lobe of the optical signal decreases and an interference phenomenon in adjacent channels decreases on the waveguide in which its width is gradually decreased.例文帳に追加

その幅が徐々に増加する導波路上で光信号は帯域幅が拡張され、幅が徐々に減少する導波路上では光信号のサイドローブが減少して隣接チャネル干渉現象が減少する。 - 特許庁

Eccentricity of the i-surface of a tested object 1 placed in an optical path of an interferometer is obtained from the interference fringe of the optical path including the i-surface obtained by passing luminous flux through the tested object 1, and data on eccentricity obtained by calculation.例文帳に追加

干渉計光路中に置かれた被検物1に光束を通し得られたi面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物1のi面の偏心を求める。 - 特許庁

In a normal temperature state (for example, at 25°C), a position d0m (m=1-M) of a movable mirror 43 where the optical fiber F2 for the sample (the first to M-th optical fibers F21-F2m for the sample) generates interference is recorded.例文帳に追加

常温状態(例えば、摂氏25度)において試料用光ファイバF2(第1〜第Mの試料用光ファイバF21〜F2m)が干渉を発生させる可動鏡43の位置d0m(m=1〜M)を記録する。 - 特許庁

METHOD FOR CALIBRATING SHEARING INTERFERENCE MEASURING DEVICE, METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SHEARING INTERFERENCE, METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, THE PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE, AND MICRODEVICE例文帳に追加

シアリング干渉測定装置の校正方法、シアリング干渉測定方法、シアリング干渉測定装置、投影光学系の製造方法、投影光学系、投影露光装置の製造方法、投影露光装置、マイクロデバイスの製造方法、及びマイクロデバイス - 特許庁

The thickness of the specimen 90 is calculated based on the correspondence relation between the contrast of the captured interference fringes and the optical length difference in the two luminous fluxes in the detour section 2, and the captured interference fringes are analyzed to acquire the thickness unevenness of the specimen 90.例文帳に追加

撮像された干渉縞のコントラストと、迂回路部2における2光束の光路長差との対応関係に基づき、被検体90の厚みを算出するとともに、撮像された干渉縞を解析して被検体90の厚みムラを求める。 - 特許庁

The aspherical reference surface 2 is an aspherical surface optical element 10 produced by utilizing a flycut or ELID grinding, which forms interference fringes from the reflection light from the aspherical shape and specified reference light to measure the spherical surface by interference.例文帳に追加

非球面参照面は、フライカットもしくはELID研削を利用して製作した非球面光学素子10であり、非球面形状からの反射光と所定の参照光とから干渉縞を形成し、非球面形状を干渉計測する。 - 特許庁

In the method, phase values are calculated based on at least three high-coherence interference images photographed by an optical interference system, at a plurality of divided regions produced by dividing a region within a field of view in a photographing section at points where the phase values become discontinuous.例文帳に追加

干渉光学系により撮像した3枚以上の高コヒーレンス干渉画像に基づき、撮像部の視野内の領域を位相が不連続となる箇所で分割した複数の分割領域における位相をそれぞれ算出する。 - 特許庁

To provide a surface profile measuring method and a measuring device using an interference optical system, which is capable of picking up a plurality of interference fringe images, and measuring a surface profile of a measuring object accurately.例文帳に追加

干渉光学系を用いた表面形状測定方法および装置において、複数の干渉縞画像を撮像し、測定対象の表面形状を正確に計測できる表面形状測定方法および測定装置を提供する。 - 特許庁

To provide an optical image measuring instrument capable of calculating the intensity of a direct current component comprising background light, based on a detection result of an interference light beam, and capable of finding signal intensity of the interference light beam and a spatial distribution of a phase thereof, using it.例文帳に追加

干渉光の検出結果に基づいて背景光からなる直流成分の強度を算出でき、それを用いて干渉光の信号強度及び位相の空間分布を求めることが可能な光画像計測装置を提供する。 - 特許庁

The arithmetic unit calculates the wavefront aberration of the optical system from information on the interference fringes detected with the image-side mask retracted from the image plane and from information on the interference fringes detected with the image-side mask in the image plane.例文帳に追加

演算部は像側マスクが像面から退避した状態で検出される干渉縞の情報と、像側マスクが像面に配置された状態で検出される干渉縞の情報とを用いて、被検光学系の波面収差を算出する。 - 特許庁

To provide a method of optically adjusting an optical element capable of performing interference fringe analysis in a short time, and performing evaluation in an actual time relative to each adjustment repeated thereby by utilizing a result of the interference fringe analysis.例文帳に追加

干渉縞解析を短時間で行うことを可能とし、これにより、繰り返し行われる調整のそれぞれについて、干渉縞解析の結果を利用して、実時間に評価を行うことのできる光学的調整方法を提供する。 - 特許庁

By using two electron beam biprisms in two stages in the optical axis direction, not only the Fresnel diffraction can be avoided, but also the interference fringe spacing s and the interference region width W are independently controlled by controlling the respective electrode voltage of the electron beam biprism.例文帳に追加

2つの電子線バイプリズムを光軸方向に2段に用いることにより、フレネル回折を回避できるだけでなく、干渉縞間隔sと干渉領域幅Wを、それぞれの電子線バイプリズム電極電圧を制御して、独立にコントロールする。 - 特許庁

To provide a differential interference optical system which is capable of dealing with various kinds of different objective lenses in rear side focal positions by using a fewer kind of Wollaston prisms or Nomarski prisms and is variable in distances from these prisms to the localized positioms of interference fringes.例文帳に追加

少ない種類のウォラストンプリズムまたはノマルスキープリズムを用いて異なった後側焦点位置の各種対物レンズに対応可能であり、これらのプリズムから干渉縞の局在位置までの距離が可変な微分干渉光学系を提供する。 - 特許庁

To provide a photoelectric transducer array, its accumulation apparatus and mounting structures, and an optical information processing device, capable of efficient optical propagation, and reducing optical interference and crosstalk caused by the photoelectric transducer, and capable of the high-density buildup of the optical wiring.例文帳に追加

光配線を高密度集積することができると共に、光電変換素子による光干渉やクロストークなどを低減することができ、効率的な光の伝搬を行うことができる光電変換素子アレイ、その集積装置及びこれらの実装構造、並びに光情報処理装置を提供すること。 - 特許庁

To provide an optical sheet that prevents scratches on the surface of another optical sheet or the like piled up on the rear-surface side while preventing sticking with the another optical sheet or the like, and a high-quality backlight unit that prevents the occurrence or the like of luminance unevenness and interference fringes due to scratches by using the optical sheet.例文帳に追加

裏面側に積層される他の光学シート等とのスティッキングを防止しつつ、この他の光学シート等表面への傷付きを防止できる光学シート、及びこの光学シートを用いて傷付きによる輝度ムラ、干渉縞の発生等を防止し、高品質なバックライトユニットを提供することを目的とするものである。 - 特許庁

To provide a focusing method for optical image receiving facility that utilizes frequencies different between the optical image receiving facility (e.g. a CRT display device) and a CCD camera, allowing the CCD camera to photograph a specific pattern displayed on the optical image receiving facility and causing an interference onto a monitor screen of the optical image receiving facility thereby permitting focusing.例文帳に追加

受像設備(例えばCRT表示装置)とCCDカメラとの間の異なる周波数を利用して、該CCDカメラによって該受像設備における特定パターンを撮影すると共に、干渉現象を発生させ、それによって焦点合わせを行う光学受像設備の焦点合わせ方法を提供する。 - 特許庁

The optical path length varying means 103 is moved to reflected light from the other face (b) of the tested material 104 to vary the optical path length, and when an interference signal is obtained by the photoelectric detector 105, spacing a-b is obtained by measuring the optical path length change of the optical path length varying means 103.例文帳に追加

被検物104のもう一つの面bからの反射光に対し、光路長可変手段103を移動して光路長を変化させ光電検出器105で干渉信号が得られたとき、光路長可変手段103による光路長変化を測定すれば、a−bの間隔が得られる。 - 特許庁

The optical recording medium is characterized in that it has a structure of at least an organic compound layer whose main absorption zone at unrecorded time remains at long wavelength side against the recording and reproducing wavelength, an optical interference layer, and an optical absorption layer having an optical absorption function are sequentially laminated on a substrate, and recording and reproduction are performed from the substrate side.例文帳に追加

基板上に、少なくとも未記録時の主吸収帯が記録再生波長に対して長波長側に存在する有機化合物層、光干渉層、光吸収機能を有する光吸収層が順次積層された構造を有し、記録再生を基板側から行なうことを特徴とする光記録媒体。 - 特許庁

The optical recording medium is characterized in that it has a structure of at least an organic compound layer whose main absorption zone at unrecorded time remains at long wavelength side against the recording and reproducing wavelength, an optical interference layer, and an optical absorption layer having an optical absorption function are sequentially laminated on a substrate, and recording and reproduction are performed from the substrate side.例文帳に追加

基板上に、少なくとも未記録時の主吸収帯が記録再生波長に対して長波長側に存在する有機化合物層、光吸収機能と光反射機能を兼用する層が順次積層された構造を有し、記録再生を基板側から行なうことを特徴とする光記録媒体。 - 特許庁

To provide a composition for hologram recording having high sensitivity and capable of high multiple recording, a hologram type optical recording medium capable of achieving high multiple recoding of interference figures formed by information light and reference light, and an optical recording method and an optical recording apparatus using the optical recording medium.例文帳に追加

高感度であり、かつ高多重記録が可能なホログラム記録用組成物、及び情報光及び参照光により形成する干渉像の高多重記録化を図ることができるホログラム型の光記録媒体、並びに該光記録媒体を用いる光記録方法及び光記録装置を提供すること。 - 特許庁

The Mach-Zehnder interference device includes: a first input/output optical waveguide 13 which are formed as planar waveguides on the same plane on a base board; a second input/output optical waveguide 15; and a first optical waveguide and a second optical waveguide which connect first and second input/output optical waveguide ends 13a and 15a, have mutually different optical path lengths, and are formed by using a common clad.例文帳に追加

基板上の同一平面にプレーナ導波路としてそれぞれ形成されている、第1入出力光導波路13と、第2入出力光導波路15と、第1及び第2入出力光導波路端13a及び15a間を繋ぎ、互いに異なる光路長を有し、及び共通のクラッドを用いて形成された第1光導波路及び第2光導波路とを具える。 - 特許庁

A method for calculating the aerial image of a spatial light modulator array includes calculating a pixel interference matrix that represents pairwise interference between pixels of the spatial optical modulator array; calculating effective graytones, corresponding to the modulation states of the pixels; and calculating the spatial image on the basis of the pixel interference matrix and the effective graytones.例文帳に追加

空間光変調器アレイの空間像を計算する方法において、この空間光変調器アレイのピクセル間で、2ピクセル1組みの干渉を表すピクセル干渉マトリクスを計算し、これらのピクセルの変調状態に相応する有効グレイトーンを計算し、上記のピクセル干渉マトリクスおよび有効グレイトーンに基づいて空間像を計算する。 - 特許庁

The device for measuring the vertical-section images is provided with an image forming optical element 8 and an interference image optical system, and the image forming optical element 8 is brought into contact with the organism tissue 9 to measure the vertical-section image at a depth separated from the surface of the organism tissue 9.例文帳に追加

鉛直断面画像測定装置において、結像光学素子8と、干渉画像光学系とを備え、前記結像光学素子8を生体組織9に接触させ、この生体組織9の表面から離れたある深さでの鉛直断面画像を測定する。 - 特許庁

The Fiber Febry-Perot optical interference is provided with a columnar member in which an optical fiber is disposed along the center axis, and reflection films formed on both end surfaces, wherein the optical fiber is welded and fixed on an outer member of the columnar member.例文帳に追加

本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備えたファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子において、柱状部材の外部部材に光ファイバが融着固定してなることを特徴とする。 - 特許庁

To provide an initialization device and an initialization method for an optical recording medium which are capable of reducing initialization irregularities caused by optical interference generated in the initialization, without deteriorating an information record reproducing signal characteristic of a record layer on a recording medium with a plurality of optical record layers.例文帳に追加

複数の光学記録層を有する記録媒体について、記録層の情報記録再生信号特性を劣化することなく、初期化する際に生ずる光干渉による初期化ムラを低減することができる光学記録媒体の初期化装置および初期化方法を提供する。 - 特許庁

To provide an optical reproduction method and an optical reproduction device with which a reproduced image with high accuracy is obtained and reproduction with excellent SNR is achieved while preventing shift or distortion in a reproduced interference image upon reproduction in an optical recording medium subjected to high multiple recording in a collinear system.例文帳に追加

コリニア方式における高多重記録がなされている光記録媒体に対する、再生時の再生干渉像のずれや歪みが生ずることなく、高精度の再生画像が得られ、SNRの優れた再生が得られる光再生方法及び光再生装置の提供。 - 特許庁

To provide an optical sheet the transferring original plate of which is fabricated easily and reproducibly, which hardly decreases the brightness of backlight and in which the occurrence of an optical defect due to interference fringes caused by a gap between sheets or close adhesion of sheets can be decreased and to provide a light source using the optical sheet.例文帳に追加

再現性の良い転写原型加工を容易にし、バックライトの輝度を大きく低下せず、シート間の空隙による干渉縞、あるいはシート同士の密着による光学欠陥の発生を低減できる光学シート及びその光学シートを用いた光源を提供する。 - 特許庁

To provide an optical sheet with excellent condensation property, diffusion characteristic and a configuration inhibiting interference fringe, that can protect the optical sheet itself from damage due to warping or twisting even when another optical sheet is laminated on a light emission surface.例文帳に追加

優れた光の集光・拡散特性及び干渉縞を発生させ難い構造を併せ持ち、光出射面上に別の光学シートを積層させた際においても、光学シート自体の反りやねじれ等の変形による傷付防止効果を有する光学シートを提供する。 - 特許庁

例文

To provide an optical detector for deviation of position with which the measurement precision and an automatic focus(AF) sensitivity are improved by separating an optical system for measurement and an optical system for AF, and a stable AF precision is kept being uninfluenced by such interference condition as the thickness of a resist film.例文帳に追加

測定用光学系とAF用光学系を分離して測定精度とAF感度を向上させるとともに、レジストの膜厚などの干渉条件に影響を受けずに安定したAF精度も維持することのできる光学的位置ずれ検出装置を提供する。 - 特許庁




  
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