振り切るの英語

その後、ウエハＷの回転速度を、第２の回転速度Ｒ_２より速い第３の回転速度Ｒ_３まで加速して、残余のレジスト液を振り切る。例文帳に追加

Then, the rotational speed of the wafer W is accelerated to a third rotational speed R_3 that is higher than the second one R_2, thus shaking off a residual resist liquid. - 特許庁

このディスペンサ１は加振部７を備えており、ノズル２の先端２ａに残留する液体を振動により振り切る。例文帳に追加

In this case, a shaking part 7 is provided in the liquid injector 1, so that liquid remaining at the tip 2a of the nozzle 2 can be shaken off by vibration. - 特許庁

ホールＨ内に浸入した純水は、基板Ｗを高速で回転させても振り切ることが困難である。例文帳に追加

The pure water intruded into the hole H is difficult to shake off even if the substrate W is rotated at high speed. - 特許庁

スポットＵＶ露光を窪み５ｅの形成位置の内側位置でオンからオフとし、未硬化のＵＶレジンを振り切ることによって、窪み５ｅが形成される。例文帳に追加

Spot UV exposure is turned OFF from ON in the inside position of a position where a recess 5e is formed, the recess 5e is formed by spinning off the uncured UV resin. - 特許庁

基板Ｗにリンス液を供給してリンス処理を行い、基板Ｗに付着しているリンス液の大部分を振り切る際に、基板Ｗに向けてセラミック製ヒータからフィルタ板を介して赤外線を照射する。例文帳に追加

A rinse liquid is supplied to the substrate W to carry out rinse treatment, and when most of the rinse liquid adhered to the substrate W is spun off, the substrate W is irradiated with infrared rays from the ceramic heater via the filter plate. - 特許庁

アシスト開始時に、転舵軸８がボールねじ機構１６の摩擦を振り切る前に、弾性体２９，３０の対応する環状フランジ２９ｂ，３０ｂが撓む。例文帳に追加

When starting the assisting operation, before a steered shaft 8 shakes off the friction of a ball screw mechanism 16, annular flanges 29b and 30b corresponding to the elastic bodies 29 and 30 are deflected. - 特許庁

その後、ウエハＷの回転速度を、第３の回転速度Ｒ_３より速い第４の回転速度Ｒ_４まで加速して、残余のレジスト液を振り切る。例文帳に追加

Then, the rotational speed of the wafer W is accelerated to a fourth rotational speed R_4 that is higher than the third one R_3, thus shaking off a residual resist liquid. - 特許庁

また、基板回転の遠心力で振り切るべき余剰被膜液量を低減でき、かつ、余剰被膜液の基板１からの振り切り時間も短縮できる。例文帳に追加

The excess quantity of the coating liquid to be spun out by the centrifugal force of the substrate rotation is decreased and the spinning out time of the excess coating liquid from the substrate is reduced. - 特許庁