er gとは 意味・読み方・使い方

This substrate treatment device to apply a resist on a substrate G and to dry the applied resist is equipped with a resist coating unit (CT) and an edge remover unit (ER).例文帳に追加

基板Ｇにレジストを塗布し、塗布したレジストを乾燥する基板処理装置は、レジスト塗布処理ユニット（ＣＴ）およびエッジリムーバーユニット（ＥＲ）２３を有している。 - 特許庁

A resist coating/development system 100, which is one of operation forms of the liquid treatment apparatus, possesses a resist coating system (CT) for forming a resist film on the substrate G 22, a peripheral resist removing unit (ER) 23 for removing the resist in the peripheral part of the substrate G and a transporting structure 50 for transporting the substrate G between 2 units.例文帳に追加

液処理装置の一実施形態であるレジスト塗布・現像処理システム１００は、基板Ｇにレジスト膜を形成するレジスト塗布処理ユニット（ＣＴ）２２と、基板Ｇの周縁部におけるレジストを除去する周縁レジスト除去ユニット（ＥＲ）２３と、これらの２つのユニット間で基板Ｇを搬送する搬送機構５０を具備する。 - 特許庁

The controller 52A calculates an integral value for an output light power error Er (=G×Pin-Pout) and controls the driving current to be supplied to the laser diode included in the existing light source based on the product of this integral value and input light power Pin.例文帳に追加

制御部５２Ａは、出力光パワー誤差Ｅr（＝Ｇ・Ｐin−Ｐout）の積分値を求め、この積分値と入力光パワーＰinとの積に基づいて、励起光源部に含まれるレーザダイオードに供給される駆動電流を制御する。 - 特許庁

An air blowing device 60 to blow a gas (e.g. N2 gas) is disposed on the side of the edge remover unit ER, and the air blowing device 60 is equipped with a blowing nozzle 61 to blow the gas in the horizontal direction to the upper face of the substrate G where the resist applied.例文帳に追加

エッジリムーバーユニット（ＥＲ）２３の側方には、気体（例えば、Ｎ_２ガス）を吹き出して送風するための送風装置６０が設けられ、この送風装置６０には、レジストが塗布された基板Ｇの上面に、その側方から気体を吹き出すための吹出ノズル６１を有している。 - 特許庁