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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > Interlayerの意味・解説 > Interlayerに関連した英語例文

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Interlayerを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 6425



例文

In this manufacturing method of the semiconductor device, first a lower layer interlayer insulating film 13 is formed on a silicon substrate 12, and an aluminum film 15a is formed on the lower layer interlayer insulating film 13.例文帳に追加

半導体装置の製造方法は、まず、シリコン基板12上に下層層間絶縁膜13を形成し、下層層間絶縁膜13上にアルミ膜15aを形成する。 - 特許庁

To provide an insulation film-forming composition forming an interlayer insulation film having a low dielectric constant and excellent mechanical strength used as an interlayer insulation film of an electronic device or the like.例文帳に追加

電子デバイスなどの層間絶縁膜に用いられる低い誘電率と優れた機械強度を有する層間絶縁膜を形成できる絶縁膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁

A first hole is formed by etching a first interlayer insulating film 28 among a first diffusion prevention film 27 and interlayer insulating films laminated on first wiring 25.例文帳に追加

第1の配線25上に積層された第1の拡散防止膜27及び層間絶縁膜のうち、第1の層間絶縁膜28をエッチングすることで第1のホールを形成する。 - 特許庁

To enable reduction of a difference between absolute steps formed on an upper surface of an interlayer insulating film after polishing for planarization and also enable suppression of increase in an interlayer capacity and an inter-wiring capacity.例文帳に追加

平坦化研磨後の層間絶縁膜の上面に生じる絶対段差の差を低減すると共に層間容量及び配線間容量の増大を抑制できるようにする。 - 特許庁

例文

To prevent hydrogen from being diffused under a capacitive element through a first interlayer insulation film from an opening for a conductive plug made in the first and second interlayer insulation films.例文帳に追加

水素が第1及び第2の層間絶縁膜に形成される導電性プラグ用開口部から第1の層間絶縁膜の内部を拡散して容量素子の下方に至る事態を防止する。 - 特許庁


例文

HEAT-RESISTANCE LOW DIELECTRIC CONSTANT THIN FILM, FORMATION METHOD THEREFOR, SEMICONDUCTOR INTERLAYER INSULATING FILM MADE OF THE HEAT-RESISTANCE LOW DIELECTRIC CONSTANT THIN FILM, AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SEMICONDUCTOR INTERLAYER INSULATING FILM例文帳に追加

耐熱低誘電率薄膜、その形成方法、その耐熱低誘電率薄膜からなる半導体層間絶縁膜及びこの半導体層間絶縁膜を用いた半導体装置 - 特許庁

The wettability of the surface of a transparent organic resin film 15b is improved by subjecting the interlayer insulating film 15 to nitrogen plasma treatment after dry etching the interlayer insulating film 15 to form a contact hole 16.例文帳に追加

層間絶縁膜15にドライエッチングを行ってコンタクトホール16を形成後、窒素プラズマ処理を施すことによって、透明有機樹脂膜15b表面のぬれ性を改善する。 - 特許庁

A second interlayer insulation film 118 is formed on the insulating hydrogen anti-permeation film 116 and a third conductive plug 119 is embedded in the second interlayer insulation film 118.例文帳に追加

絶縁性水素透過防止膜116の上には第2の層間絶縁膜118が形成され、第2の層間絶縁膜118には第3の導電性プラグ119が埋め込まれている。 - 特許庁

A first interlayer insulating film 20 is deposited on a semiconductor substrate 10 in which a MOSFET is formed, and the ferroelectric capacitor 49 is formed on the first interlayer insulating film.例文帳に追加

MOSFETが形成されている半導体基板10上に、第1層間絶縁膜20を堆積させ、第1層間絶縁膜上に強誘電体キャパシタ49を形成する。 - 特許庁

例文

After an interlayer insulation film 104 is accumulated on a lower metal wiring 103 formed on a semiconductor substrate 100, a through-hole 105 is formed on the interlayer insulation film 104.例文帳に追加

半導体基板100の上に形成された下層の金属配線103の上に層間絶縁膜104を堆積した後、層間絶縁膜104にスルーホール105を形成する。 - 特許庁

例文

The thickness of the interlayer dielectric 23 in a spacer area 22 on which the lower end of the spacer 35 is abutted is thinner than the thickness of the interlayer dielectric 23 in the other area.例文帳に追加

スペーサ35の下端が当接する領域であるスペーサ領域22における層間絶縁膜23の厚さは、他の領域における層間絶縁膜23の厚さよりも薄くなっている。 - 特許庁

A cap layer 12, a first interlayer insulating film 13, an etching stopper layer 14, a second interlayer insulating film 15, a hard mask layer 16, and another hard mask layer 18, are sequentially formed on a wiring layer 11.例文帳に追加

配線層11上に、キャップ層12、第1層間絶縁膜13、エッチングストッパ層14、第2層間絶縁膜15、ハードマスク層16、ハードマスク層18を順次形成する。 - 特許庁

A unit layer may be two layers of graphene 1 arranged so that an interlayer distance is ≤0.14 nm, and the plurality of unit layers may be arranged so that the interlayer distance is ≥0.2 nm.例文帳に追加

また、2層のグラフェン1が、層間距離0.14nm以下となるように配置されたものを単位層とし、複数の単位層が、層間距離0.2nm以上となるように配置されてもよい。 - 特許庁

A first contact stud 208 the width of, whose entrance adjacent to the surface of the interlayer insulating film 204 is still larger than its contact part near the substrate 200, is formed inside the interlayer insulating film 204.例文帳に追加

層間絶縁膜の内部に基板と近い接触部の幅より層間絶縁膜の表面に隣接する入口部の幅がさらに大きい第1コンタクトスタッド208aが形成される。 - 特許庁

Then, an interlayer insulating film 18 is formed on the stopper film 15 and the plugs 17, 67 to form in the interlayer insulating film 18 openings 69 for exposing the contact plug 67 to the outside.例文帳に追加

そして、ストッパ膜15及びコンタクトプラグ17,67の上に層間絶縁膜18を形成し、コンタクトプラグ67を露出させる開口部69を層間絶縁膜18に形成する。 - 特許庁

To prevent deformations in a processed shape of an interlayer insulating film at the time of heat treatment in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit device having a BPSG film as the interlayer insulating film.例文帳に追加

BPSG膜を層間絶縁膜として有する半導体集積回路装置の製造工程において、熱処理時における層間絶縁膜の加工形状の変化を防ぐ。 - 特許庁

On the upper layer side of the scanning line 163, gate electrode 143, and gate insulating film 121; a primary interlayer insulating film 122 and a secondary interlayer insulating film 123 are laminated in this numerical order.例文帳に追加

走査線163、ゲート電極143およびゲート絶縁膜121の上層側には、第1層間絶縁膜122と第2層間絶縁膜123とがこの順に積層されている。 - 特許庁

An interlayer insulating film 18 is formed on the silicon substrate 11, and a contact hole 19 is formed which penetrates the interlayer insulating film 18 so that its bottom reaches the metal silicide layer 16.例文帳に追加

シリコン基板11上には層間絶縁膜18が形成され、層間絶縁膜18を貫通して底部が金属シリサイド層16に到達するコンタクトホール19が形成されている。 - 特許庁

An interlayer insulating film formed of a silicon oxide system material and having a flat top surface is formed such that the interlayer insulating film covers a light shield film having an opening above aphotoelectric conversion device.例文帳に追加

光電変換素子の上方に開口を有する光遮蔽膜を覆うように、シリコン酸化物系材料によって形成され、平坦な上面を有する層間絶縁膜を形成する。 - 特許庁

A silicon nitride film 105 is formed on a lower-layer wiring, and a first interlayer dielectric film 106 and a second interlayer dielectric film 108 are deposited on the silicon nitride film 105.例文帳に追加

下層配線の上にシリコン窒化膜105が形成され、該シリコン窒化膜105の上に第1の層間絶縁膜106及び第2の層間絶縁膜108が堆積されている。 - 特許庁

Finally, a first interlayer insulating film 16 is formed, source/drain electrodes 17, 18, and 19 are formed simultaneously, and a second interlayer insulation 20 and a second drain electrode 21 are formed successively.例文帳に追加

最後に、第1の層間絶縁膜16を形成後、ソース/ドレイン電極17,18,19を同時に形成し、第2の層間絶縁膜20、第2のドレイン電極21を順次形成する。 - 特許庁

The transistors 4 and the lines 7 for accumulation of electricity are coated with an interlayer insulating film 16 and pixel electrodes 3 opposed to a part of the lines 7 for accumulation of electricity are formed on the interlayer insulating film 16.例文帳に追加

トランジスタ4及び蓄電用ライン7を層間絶縁膜16で被覆し、蓄電用ライン7の一部に対向する画素電極3を層間絶縁膜16上に形成する。 - 特許庁

An interlayer insulation 16 is formed on the semiconductor substrate 11 so that the ferro- electric capacitor is covered, and electrode wiring 17 is formed on the interlayer insulation 16.例文帳に追加

半導体基板11の上には、強誘電体キャパシタを覆うように層間絶縁膜16が形成され、層間絶縁膜16の上には電極配線17が形成されている。 - 特許庁

An interlayer insulation film 23 is formed on the first principal surface of the silicon substrate 10 and on the through electrode 36, and an internal electrode 32 is formed on the interlayer insulation film 23.例文帳に追加

シリコン基板10の第1の主面上及び貫通電極36上に層間絶縁膜23が形成され、層間絶縁膜23上に内部電極32が形成される。 - 特許庁

AIR SIDE ELECTRODE MATERIAL, FUEL SIDE INTERLAYER MATERIAL AND AIR SIDE ELECTRODE USING THESE, FUEL SIDE INTERLAYER, MANUFACTURING METHOD OF ELECTRODE, POWER GENERATION FILM, AND FUEL CELL例文帳に追加

空気側電極用材料及び燃料側中間層用材料、並びにこれらを用いた空気側電極、燃料側中間層、電極の製造方法、発電膜及び燃料電池 - 特許庁

Further, the etching selective ratio of the first interlayer insulation layer 30 to the semiconductor layer 14 is made larger than the one of the second interlayer insulation layer 32 to the semiconductor layer 14.例文帳に追加

半導体層14に対する第1の層間絶縁層30のエッチング選択比は、半導体層14に対する第2の層間絶縁層32のエッチング選択比より大きい。 - 特許庁

A molding die having a hemispherical protrusion is pressed down on an interlayer resin layer 180 while another molding die having a hemispherical protrusion is pressed down on an interlayer resin layer 190.例文帳に追加

半球状の凸部を有する金型によって層間樹脂層180が押圧されるとともに、半球状の凸部を有する金型によって層間樹脂層190が押圧される。 - 特許庁

Interlayer insulating films 13, 14, 19 and 25 are formed on the element substrate 10 and a groove part 81 is formed in the adjacent region to the liquid crystal injection port 78 in the interlayer insulating film 25.例文帳に追加

素子基板10上に層間絶縁膜13,14,19,25を形成し、層間絶縁膜25には液晶注入口78近傍領域において溝部81を形成する。 - 特許庁

A first interlayer insulating film 104 consisting of an organic- inorganic hybrid film and a second interlayer insulating film 105 consisting of an organic film are successively deposited on the protective film 103, a hard mask 106B consisting of silicon oxide is formed on the second interlayer insulating film 105.例文帳に追加

保護膜103の上には、有機無機ハイブリッド膜からなる第1の層間絶縁膜104及び有機膜からなる第2の層間絶縁膜105が順次堆積されており、第2の層間絶縁膜105の上にはシリコン酸化膜からなるハードマスク106Bが形成されている。 - 特許庁

A liquid crystal display has a TFT element 31 provided on a substrate 7a, an interlayer insulating film 22 provided on the substrate 7a and covering the TFT element 31, a contact hole 25 provided in the interlayer insulating film 22 and a pixel electrode 24 provided on the interlayer insulating film 22.例文帳に追加

基板7a上に設けられたTFT素子31と、基板7a上に設けられてTFT素子31を覆う層間絶縁膜22と、層間絶縁膜22に設けられたコンタクトホール25と、層間絶縁膜22上に設けられた画素電極24とを有する液晶表示装置である。 - 特許庁

After an underlying insulating film 8 and a sacrificial interlayer dielectric 9 are formed on contact plugs 7 and an interlayer insulating film 6, openings 10 are formed by removing the interlayer dielectric 9 and insulating film 8 in storage node electrode forming areas until the contact plugs 7 are exposed.例文帳に追加

コンタクトプラグ7及び層間絶縁膜6上に下地絶縁膜8及び犠牲層間絶縁膜9を形成した後、コンタクトプラグ7が露出するまでストレージノード電極形成領域の犠牲層間絶縁膜9及び下地絶縁膜8を除去して開口部10を形成する。 - 特許庁

This sidewall 212 makes it easy to enter an interlayer insulating film 150 and makes it difficult to generate the burying failure of the interlayer insulating film 150 when the interlayer insulating film 150 is buried between memory cells comprising the control gate electrode CG and a floating gate electrode FG.例文帳に追加

このサイドウォール212があることにより、制御ゲート電極CGと浮遊ゲート電極FGとから構成されるメモリセルの間に、層間絶縁膜150を埋め込む際に、層間絶縁膜150が入り込みやすくなり、層間絶縁膜150の埋め込み不良が発生しにくくなる。 - 特許庁

An interlayer insulating film 12 is formed on a semiconductor substrate 11, a resist film 14 is formed on the interlayer insulating film 12 and patterned, a surface film 16 is formed on the upper surface of the patterned resist film 14, and then the interlayer insulating film 12 is etched thus fabricating a semiconductor device.例文帳に追加

半導体基板11上に層間絶縁膜12を形成し、層間絶縁膜12上にレジスト膜14を形成し、レジスト膜14にパターンを形成し、レジスト膜14のパターン上面に表面膜16を形成し、層間絶縁膜12をエッチングする半導体装置の製造方法。 - 特許庁

To provide an interlayer for a glass laminate, having excellent penetration resistance, and preventing silver specks from being formed when the glass laminate having a metal coated layer such as a silver layer is formed at the interface between the interlayer for the glass laminate and a glass plate; and to provide the interlayer for the glass laminate.例文帳に追加

耐貫通性に優れ、合わせガラス用中間膜とガラス板との界面に、銀層等の金属コーティング層が設けられた合わせガラスとしたときに、銀色の斑点の発生を抑制することができる合わせガラス用中間膜、及び、該合わせガラス用中間膜を提供する。 - 特許庁

In the case of the presence of the contact hole penetrated through the interlayer insulating films 41, 12 of at least two layers or over whose film quality differs from each other, an etching rate by dry etching of the upper layer interlayer insulating film 41 is selected faster than that of the lower layer interlayer insulating film 12.例文帳に追加

膜質が異なる少なくとも2層以上の層間絶縁膜41,12を貫通するコンタクトホールが存在する場合、上層の層間絶縁膜41のドライエッチングによるエッチングレートが、下層の層間絶縁膜12のエッチングレートより速く設定するようにした。 - 特許庁

An interlayer insulating film 33 where a memory cell is formed is formed in such a way that the position of an upper surface of the interlayer insulating film 33 positioned in a memory cell region M1 where the magnetoresistive element 51 is formed is lower than the position of an upper surface of the interlayer insulating film 33 positioned in a peripheral region P.例文帳に追加

メモリセルが形成される層間絶縁膜33において、磁気抵抗素子51が形成されるメモリセル領域Mに位置する層間絶縁膜33の部分の上面の位置が、周辺領域Pに位置する層間絶縁膜33の部分の上面の位置よりも低く形成されている。 - 特許庁

The interlayer insulating sheet on the solder bump is irradiated with a laser and the upper component 10a of the solder bump is exposed, and a second board 12 is laminated on the interlayer insulating sheet and the electrode pad 13a for interlayer connection formed on the second board and the upper component10a of the solder bump are connected.例文帳に追加

そして、半田バンプ上の層間絶縁シートにレーザを照射して半田バンプ上部10aを露出させた後、層間絶縁シート上に第2基板12を積層して、この第2基板に形成された層間接続用の電極パッド13aと半田バンプ上部10aとを接続する。 - 特許庁

To provide a method for selectively removing only a conductive film on the top surface of an interlayer insulating film without forming a protection insulating film in a recess after forming the conductive film, in the conductive film formed extending from a bottom and a sidewall of the recess formed at an interlayer insulating film to a top surface of the interlayer insulating film.例文帳に追加

層間絶縁膜に開口した凹部の底部及び側壁から層間絶縁膜上面にかけて形成した導電膜を、導電膜形成後の凹部内に保護絶縁膜を形成すること無しに層間絶縁膜上面の導電膜のみを選択的に除去する方法を提供する。 - 特許庁

The making up sheet has an impermeable interlayer 3, and an oil absorbing first layer 2 mainly formed of pulp and a water absorbing second layer 4 on both sides of the interlayer, the interlayer 3 is 3 to 15 μm in thickness, and the first and second layer 2 and 4 are respectively 5 to 20 g/m2 in basis weight.例文帳に追加

不透液性の中間層3を有し、表裏面にパルプを主体として形成された吸脂性の第1層2及び吸水性の第2層4を有し、中間層4の厚さが3〜15μmであり、かつ第1層2及び第2層4の坪量がそれぞれ5〜20g/m^2である。 - 特許庁

To freely realize an initial impedance by extremely easily and accurately normalizing the interlayer interval of the wiring layers of a multilayer substrate, selecting interlayer joining materials as necessary, and adjusting the interlayer interval to a desired value as necessary.例文帳に追加

多層配線基板の配線層の層間間隔を極めて容易且つ正確に規定することを可能し、層間接合材の材料を適宜選択したり、層間間隔を場合に応じて所望値に調節することにより、所期のインピーダンスを自在に実現することを可能とする。 - 特許庁

To provide an interlayer for laminated glass which is capable of efficiently deaerating air existing between a glass plate and the interlayer and air incorporated inside the interlayer in the manufcture of the laminated glass and has a single layer structure or a multilayer structure.例文帳に追加

合わせガラスを製造する際に、ガラス板と中間膜との間に存在する空気および中間膜内部に取り込まれて存在する空気をより効率的に脱気することができる、単層構成もしくは複層構成の合わせガラス用中間膜および合わせガラスを得る。 - 特許庁

The laminated glass 1 has an interlayer 2, a first laminated glass-constituting member 21 arranged on a first surface 2a side of the interlayer 2, and a second laminated glass-constituting member 22 arranged on a second surface 2b side of the interlayer 2 opposite to the first surface 2a side.例文帳に追加

本発明に係る合わせガラス1は、中間膜2と、中間膜2の第1の表面2a側に配置された第1の合わせガラス構成部材21と、中間膜2の第1の表面2a側とは反対の第2の表面2b側に配置された第2の合わせガラス構成部材22とを備える。 - 特許庁

The gate electrode 105 is electrically connected to a resistive element 108 formed on a first interlayer dielectric 106 covering the gate electrode 105, through metal wiring 109 formed on a second interlayer dielectric 107 covering the first interlayer dielectric 106.例文帳に追加

ゲート電極105は、該ゲート電極105を覆う第1の層間絶縁膜106の上に形成された抵抗素子108と、第1の層間絶縁膜106を覆う第2の層間絶縁膜107の上に形成されたメタル配線109を介して電気的に接続されている。 - 特許庁

In this multilayer buildup wiring board, a via hole 160b piercing through a lower interlayer resin insulation layer 50 and an upper interlayer resin insulation layer 150 conducts electricity from solder bumps 76U and 76D in an upper layer of the interlayer resin insulation layer 150 to a conductor layer (conductor circuit) 34 formed on a core board 30.例文帳に追加

下層の層間樹脂絶縁層50と上層の層間樹脂絶縁層150とを貫通するバイアホール160bにより、層間樹脂絶縁層150の上層の半田バンプ76U、76Dと、コア基板30に形成された導体層(導体回路)34との導通を取る。 - 特許庁

Even if the film thickness of the first interlayer film 4 fluctuates, a signal wave form 7 of reflecting light of the alignment mark 3 can always be made almost constant, without affecting the variation of the film thickness of the first interlayer film 4, because the first interlayer film 4 does not exist on the upper part of the alignment mark 3.例文帳に追加

第1層間膜4の膜厚がばらついたときでも、アライメントマーク3の上部には第1層間膜4がないために、アライメントマーク3の反射光の信号波形7は、第1層間膜4の膜厚ばらつきの影響を受けずに、常にほぼ一定にすることができる。 - 特許庁

To provide a resin composition for an interlayer which forms an interlayer excellent in transparency, impact resistance, light resistance, or the like, gives an interlayer material easily workable, and simplifies the step of lamination with glass; a glass laminate; and a method for producing the same.例文帳に追加

合わせガラス用に優れた透明性、耐衝撃性および耐光性等を有する中間層を形成し、かつ中間層材料の作業性が簡便で、ガラスとの貼り合わせ工程が簡略化されうる中間層用樹脂組成物、合わせガラスおよびその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The method has an interlayer insulating film forming step of forming an interlayer insulating film 12, a wiring groove forming step of etching the interlayer insulating film 12 to form a wiring groove 13, and a wiring forming step of filling Al-Cu alloy in the inside of the wiring groove 13 to form a wiring 18.例文帳に追加

層間絶縁膜形成工程により層間絶縁膜12を形成し、配線溝形成工程により層間絶縁膜12をエッチングして配線溝13を形成し、配線形成工程により配線溝13の内部にAl−Cu合金を充填し、配線18を形成する。 - 特許庁

The inter-wiring space P1 of a first wiring layer 1 in the interlayer insulating film 2 is narrowed, so that the first wiring layer 1 in the interlayer insulating film 2 is increased in total amount, and the interlayer insulating film 2 which is low in hardness to cause deflection is reduced in total amount.例文帳に追加

層間絶縁膜2における第1配線層1の配線間スペースP1を密にすることによって、層間絶縁膜2における第1配線層1の総量を増加させ、撓みの原因となる硬度の低い層間絶縁膜2の総量を低減させている。 - 特許庁

A hard mask for etching the interlayer dielectric is formed by patterning the uppermost metal layer 5 of a multilevel interconnection insulated by the interlayer dielectric 3, and the interlayer dielectric 3 is etched using the mask to form the empty groove 4 which is located in the periphery of the semiconductor substrate 1 to makes its surface exposed.例文帳に追加

層間絶縁膜3により絶縁された多層配線の最上層の金属層5をパターニングして層間絶縁膜エッチング用ハードマスクを形成し、このマスクを用いて、層間絶縁膜3をエッチングして半導体基板1の周辺部分に基板表面が露出する空堀4を形成する。 - 特許庁

例文

The interlayer insulating film 43 is laminated on the interlayer insulating film 42, and the interlayer insulating film 43 includes a recessed portion 43e reflecting the groove-like recessed portion 42e, in which a storage capacitance 55 is constituted by a first electrode layer 5a, a dielectric layer 40 and a second electrode layer 7a.例文帳に追加

また、層間絶縁膜42には層間絶縁膜43が積層され、層間絶縁膜43において溝状凹部42eが反映されてなる凹部43eの内部で、第1電極層5a、誘電体層40、および第2電極層7aが蓄積容量55を構成している。 - 特許庁




  
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