Interlayerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6425件
The layer (80) consists of a light shielding electrically conductive film and includes a second capacitive electrode which are placed opposite to a first capacitive electrode that is a portion of the capacitive line across the interlayer insulation film and a light shielding section that at least covers the scanning line partially from the top through the interlayer insulation film.例文帳に追加
中間導電層は、遮光性の導電膜からなり、容量線の一部である第1容量電極に層間絶縁膜を介して対向する第2容量電極を含むと共に走査線を少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して上方から覆う遮光部を含む。 - 特許庁
In the method for forming the contact hole toward an S/D region 25 on an interlayer insulating film 40 covering the S/D region 25 on the surface of a semiconductor substrate 20, a resist pattern 50 forming an opening at the upper part of the S/D region 25 is formed on the interlayer insulating film 40.例文帳に追加
半導体基板20表面のS/D領域25上を覆う層間絶縁膜40にS/D領域25に至るコンタクトホールを形成する方法であって、層間絶縁膜40上にS/D領域25の上方を開口するレジストパターン50を形成する。 - 特許庁
Continually, heat treatment is performed to make Mn in the alloy layer 17 react with the components of interlayer insulating films 12 and 15 to form a self-forming barrier film made of an Mn compound having diffusion prevention property of Cu on the interface of the alloy layer 17 and the interlayer insulating films 12 and 15.例文帳に追加
続いて、熱処理を行い、合金層17中のMnを層間絶縁膜12、15の構成成分と反応させて、合金層17と層間絶縁膜12、15の界面に、Cuの拡散防止性を有するMn化合物からなる自己形成バリア膜を形成する。 - 特許庁
After a polysilicon layer 14 is formed on a semiconductor substrate 10 through a gate insulating film 12, an interlayer insulating film of silicon oxide, etc., is formed on the layer 14 and insulating films 16a and 16b are left by wet-etching the interlayer insulating film by using resist layers 18a and 18b as masks.例文帳に追加
半導体基板10上にゲート絶縁膜12を介してポリシリコン層14を形成した後、層14の上にシリコンオキサイド等の層間絶縁膜を形成し、レジスト層18a,18bをマスクとするウェットエッチングにより層間絶縁膜を加工して絶縁膜16a,16bを残す。 - 特許庁
A manufacturing method of a semiconductor device includes steps of forming an interlayer dielectric film 37 having an opening (contact holde 36), forming a conductor film 39 on the interlayer dielectric film 37 and in the opening, and applying and forming a first photosensitive organic film 1 on the conductor film 39.例文帳に追加
半導体装置の製造方法は、開口(コンタクトホール36)を有する層間絶縁膜37を形成する工程と、層間絶縁膜37上及び開口内に導体膜39を形成する工程と、導体膜39上に第1感光性有機膜1を塗布形成する工程を有する。 - 特許庁
Using a condition that the interlayer insulating film is etched easier than the etching stopper film, the interlayer insulating film positioned below the first opening is etched until the upper surface of the wiring is exposed, and a second opening 15A forming a contact hole with the first opening, is formed.例文帳に追加
エッチングストッパ膜よりも層間絶縁膜がエッチングされやすい条件を用いて、配線の上面が露出するまで第1の開口部の下方に位置する層間絶縁膜をエッチングして、第1の開口部と共にコンタクトホールを構成する第2の開口部15Aを形成する。 - 特許庁
After a first interlayer insulation film 104, an etching stopper film, a second interlayer insulation film 106 and a second silicon oxide film are deposited sequentially on a lower layer interconnection 102, openings for the contact holes in first resist pattern are transferred to the second silicon oxide film thus forming a hard mask 107A.例文帳に追加
下層配線102の上に、第1の層間絶縁膜104、エッチングストッパー膜、第2の層間絶縁膜106及び第2のシリコン酸化膜を順次堆積した後、第2のシリコン酸化膜に第1のレジストパターンの接続孔用開口部を転写してハードマスク107Aを形成する。 - 特許庁
A multilayer inductor 60 is provided with an inductor 64 of a first layer 64, an inductor 66 of a second layer formed on the inductor of the first layer via a first interlayer insulating film and an inductor 72 of a third layer formed on the inductor of the second layer via a second interlayer insulating film.例文帳に追加
本多層インダクタ60は、1層目のインダクタ64と、第1の層間絶縁膜66を介して1層目のインダクタ上に形成された2層面のインダクタ68と、第2の層間絶縁膜70を介して2層目のインダクタ上に形成された3層目のインダクタ72とを備えている。 - 特許庁
After a resin film 104 is removed selectively by photolithography and a protrusion pattern 104a is formed, the part of the protrusion pattern 104a projecting above the surface of an interlayer film 102 is ground and polished in chemical mechanical polishing(CMP) to planarize the interlayer film 102.例文帳に追加
フォトリソグラフィ技術により樹脂膜104を選択的に除去して凸パターン104aを形成した後、化学的機械的研磨(CMP)法により、凸パターン104aの層間膜102表面上に突出している部分を研削研磨し、層間膜102上を平坦化する。 - 特許庁
Then, a light shielding film 105 is formed in at least a region covering the memory cell 100 on the interlayer insulating film 106, and a part of this light shielding film 105 is formed so as to further extend into a film from the surface of the interlayer insulating film 106, in the vicinity of the bit line contact plug 109.例文帳に追加
そして、層間絶縁膜106上の少なくともメモリセル100を覆う領域に、遮光膜105が形成され、当該遮光膜105の一部は、ビット線コンタクトプラグ109の近傍において、層間絶縁膜106の表面から膜中にさらに延出して形成されている。 - 特許庁
After an access transistor 2, a bit line 6 and a first interlayer insulating film 4 are formed on a semiconductor substrate 1, a plug 8 for electrically connecting the access transistor 2 and a ferroelectric capacitor 9 is formed in a contact hole provided in a predetermined region in the first interlayer insulating film 4.例文帳に追加
半導体基板1上にアクセストランジスタ2、ビット線6、第1の層間絶縁膜4を形成した後、第1の層間絶縁膜4の所定の領域に設けられたコンタクト穴にアクセストランジスタ2と強誘電体キャパシタ9とを電気的に接続するためのプラグ8を形成する。 - 特許庁
To enable a conductive substance that is improper for filling up holes to be used for interlayer continuity, to relieve a phenomenon caused by difference in the material characteristics between the conductive substance used for interlayer continuity and an insulating layer, and to suppress the occurrence of ion migration at a boundary section in the insulating layer.例文帳に追加
穴埋め用途には不適な導電性物質を層間導通に使用可能で、層間導通に用いる導電性物質と絶縁層との材料特性の違いに起因する現象を緩和し、絶縁層の境界部分におけるイオンマイグレーションの発生を抑制する。 - 特許庁
To provided a structure in which an opening to an interlayer insulating film for multilayer wiring can be formed in a stable shape, even if the thickness of the interlayer insulating film that uses a silicon oxide film varies is a wafer surface, or even if there occurs a difference in wet-etching time in the wafer surface.例文帳に追加
シリコン酸化膜を用いた層間絶縁膜の膜厚がウェハ面内でばらついたとしても、また、ウエットエッチング時間がウェハ面内で差が生じたとしても、多層配線のための層間絶縁膜に対する開口を安定した形状で形成することが可能な構造を提供する。 - 特許庁
A semiconductor device comprises: a semiconductor substrate on which element regions having a predetermined width are formed in a predetermined pitch; interlayer insulating films stacked on the semiconductor substrate; and first contacts that are each provided from the top surface of the interlayer insulating films to each element region and are connected to the element region.例文帳に追加
半導体装置は、所定ピッチで所定の幅の素子領域が形成された半導体基板と、半導体基板上に積層された層間絶縁膜と、層間絶縁膜の上面から半導体基板の素子領域にかけて設けられ素子領域に接続される第1コンタクトとを備える。 - 特許庁
On one surface of a semiconductor substrate 1; an interlayer dielectric 4A, an Al wiring layer 5, the interlayer dielectric 4B, a Cu wiring layer 9A, a dielectric layer 12A, a Cu grounding layer 13, the dielectric layer 12B, the Cu wiring layer 9B, the dielectric layer 12C, and the Cu wiring layer 9C are successively provided.例文帳に追加
半導体基板1の一面に層間絶縁膜4A、Al配線層5、層間絶縁膜4B、Cu配線層9A、誘電体層12A、Cu接地層13、誘電体層12B、Cu配線層9B、誘電体層12C、Cu配線層9Cが、順に設けられる。 - 特許庁
In a multilayer printed wiring board in which a conductive layer 1 and an interlayer resin insulated layer are alternately laminated, at least a part of the conductive layer 1 is formed by a dry process, and the interlayer insulated resin layer is constituted by an adhesive layer 3 and a dry processing insulated layer 2.例文帳に追加
導体層1と層間樹脂絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、導体層1の少なくとも一部がドライプロセスにより形成されており、層間絶縁樹脂層が接着剤層3とドライプロセス用絶縁層2とから構成されている多層プリント配線板。 - 特許庁
Pixel electrodes 50 and 50 arranged along a scanning line are formed on a second interlayer insulating film 14 and a data line 30 is disposed in a gap between the pixel electrodes 50 and 50 and a light shielding film 70 is formed on the lower side of the data line so as to cover the gap through a first interlayer insulating film 13.例文帳に追加
第2の層間絶縁膜14上には走査線に沿って並ぶ画素電極50,50が形成され、この画素電極50,50の隙間にはデータ線30が配置され、その下側には遮光膜70が第1の層間絶縁膜13を介して隙間を覆うように形成されている。 - 特許庁
To provide a light control sheet in which change in light transmittance after applying voltage is completed in a very short time, a light controller using the light control sheet, an interlayer for laminated glass using the light control sheet, and laminated glass provided with the interlayer for the laminated glass.例文帳に追加
電圧を印加してから光透過率の変化が完了するまでの時間が極めて短い調光シート、該調光シートを用いてなる調光体、該調光シートを用いた合わせガラス用中間膜、及び、該合わせガラス用中間膜を備える合わせガラスを提供する。 - 特許庁
A first layer metal wiring 5 that is formed on a semiconductor substrate and a pad electrode 7 that is formed on the first layer metal wiring 5 through an interlayer dielectric and connected with the first layer metal wiring 5 through via holes 10 that are formed on the interlayer dielectric are provided.例文帳に追加
半導体基板上に形成された1層目メタル配線5と、1層目メタル配線5上に層間絶縁膜を介して形成され、層間絶縁膜に形成されたビアホール10を通して1層目メタル配線5と接続されたパッド電極7が設けられている。 - 特許庁
To provide a compound having excellent heat-resistance, mechanical properties, electrical properties, physical properties, etc., and giving a material useful e.g. as an interlayer insulation film and protecting film of a semiconductor element, an interlayer insulation film of a multilayer printed circuit board, a cover coat of a flexible printed circuit board, an oriented liquid crystal film, etc.例文帳に追加
耐熱性、機械特性、電気特性、物理特性などに優れ、例えば半導体素子の層間絶縁膜、保護膜、多層配線基板の層間絶縁膜、フレキシブル配線板のカバーコート、液晶配向膜などに有用な新規な材料を与える化合物を提供する。 - 特許庁
After a viahole 24a extending to the surface of a polyaryl ether film 18 is opened by selectively etching a silicon oxide film 20, first thermal treatment is performed at 350°C for 10 minutes, water content is discharged from a second interlayer insulating film 22, and water content in the second interlayer insulating film 22 is reduced.例文帳に追加
シリコン酸化膜20を選択的にエッチングしてポリアリールエーテル膜18表面にまで達するビアホール24を開口した後、温度350℃、10分間の第1の熱処理を施し、第2層間絶縁膜22から水分を放出して第2層間絶縁膜22中の水分を低減する。 - 特許庁
A semiconductor device 100 includes a substrate 102, an interlayer dielectric 104 formed on the substrate 102, and the wiring 120 formed in the interlayer wiring film 104, and the wiring 120 includes a region which increases in width downward from a top surface in sectional view.例文帳に追加
半導体装置100は、基板102と、基板102上に形成された層間絶縁膜104と、層間絶縁膜104中に形成された配線120と、を含み、配線120は、断面視において、最上面から下方にかけて幅が広くなる領域を有する。 - 特許庁
To provide a circuit breaker having insulating barrier attaching structure, capable of fixing firmly an insulating barrier without reducing remarkably a strength of an interlayer wall, even when a wall thickness of the interlayer wall for separating connection terminals of the circuit breaker in every pole is thin.例文帳に追加
回路遮断器の接続端子を各極毎に隔てる相間壁の壁厚が薄い場合でも相間壁の強度を著しく低下させることなく、絶縁障壁を強固に固定可能な絶縁障壁取り付け構造を有する回路遮断器を得ることを目的とする。 - 特許庁
Three-color interlayer insulating films 9B, 9G, 9R and a light-shielding film 47 constituting a color filter layer are layered on a storage capacitor line 15, and the layers of the three-color interlayer insulating films 9B, 9G, 9R and the light-shielding film 47 are used as a spacer between an array substrate 2 and a counter substrate 3.例文帳に追加
蓄積容量線15上にカラーフィルター層を構成する3色着色層間絶縁膜9B,9G,9Rと遮光膜47を積層し、この3色着色層間絶縁膜9B,9G,9Rと遮光膜47の積層をアレイ基板2と対向基板3とのスペーサとした。 - 特許庁
A semiconductor device according to one embodiment includes: wiring 60 provided on a first interlayer dielectric film covering a semiconductor substrate 10; a cap layer 68 provided on an upper surface of the wiring 60; and a barrier film 62 provided between the wiring 60 and a second interlayer dielectric film.例文帳に追加
本実施形態の半導体装置は、半導体基板10を覆う第1の層間絶縁膜上に設けられる配線60と、配線60の上面上に設けられるキャップ層68と、配線60と第2の層間絶縁膜との間に設けられるバリア膜62と、を含む。 - 特許庁
Diameter of an opening of the recess 10 of the interlayer insulation film 9 is larger than the diameter of the opening 15a of the protective insulation film 15, and edge of the opening 15a of the protective insulation film 15 is formed in such a way that it projects toward the inside of the opening of the recess 10 of the interlayer insulation film 9 like eaves.例文帳に追加
層間絶縁膜9の凹部10の開口径は保護絶縁膜15の開口部15aの開口径よりも大きく、且つ保護絶縁膜15の開口部15a側の端部は、層間絶縁膜9の凹部10の側面から内側に突き出す庇状に形成されている。 - 特許庁
To provide a semiconductor device having a capacitor comprising a cylinder interlayer insulating film made of a two-layer interlayer insulating film, a charge storage capacitance of which is increased in the lower of a cylinder hole by making a hole diameter at the lower of the cylinder hole larger than the hole diameter at the upper, and moreover, a leakage current of which is low.例文帳に追加
2層の層間絶縁膜からなるシリンダ層間絶縁膜を備え、シリンダ孔の下方の孔径を上方よりも大きくすることにより孔下方での電荷蓄積容量が増大されており、しかも、リーク電流の低いキャパシタを有する半導体装置を提供する。 - 特許庁
A semiconductor element has: a first interlayer insulating film formed on a semiconductor substrate; a contact hole formed so as to penetrate through the first interlayer insulating film; a contact plug formed inside the contact hole; and a spacer partially covering an upper side wall of the contact plug in the contact hole.例文帳に追加
半導体基板上に形成された第1層間絶縁膜と、前記第1層間絶縁膜を貫通して形成されたコンタクトホールと、前記コンタクトホールの内部に形成されたコンタクトプラグと、前記コンタクトホール内で前記コンタクトプラグの上部側壁を部分的に覆うスペーサと、を含む。 - 特許庁
A semiconductor device comprises a semiconductor substrate 1 having a main surface 1a, an interlayer insulation film 2 being formed on the main surface 1a and being overlying the semiconductor element provided on the main surface 1a, and a cooling path 3 being formed on the interlayer insulation film 2 and being for flowing cooling fluid therethrough.例文帳に追加
半導体装置は、主表面1aを有する半導体基板1と、主表面1a上に形成され、主表面1aに設けられた半導体素子を覆う層間絶縁膜2と、層間絶縁膜2に形成され、冷却用流体が流れる冷却路3とを備える。 - 特許庁
To provide a bump forming device capable of easily forming a bump composed of conductive paste and having a height of allowing an interlayer connection.例文帳に追加
導電性ペーストからなり層間接続を可能とする高さを備えるバンプを容易に形成することができるバンプ形成装置を提供する。 - 特許庁
A TFT is formed by a semiconductor layer 3 and a gate insulating film 4 covering the semiconductor layer, and a gate electrode 5 on a substrate 1, and an interlayer insulating film 6 covering the TFT is formed.例文帳に追加
基板上1に半導体層3と半導体層を覆うゲート絶縁膜4とゲート電極5によって、TFTを形成し。 - 特許庁
To provide a polyethylene-based resin composition having excellent environmental stress-crack resistance(ESCR), high temperature fuel oil resistance, low temperature impact resistance and interlayer adhesion strength.例文帳に追加
ESCR、高温での耐燃料油性、低温での耐衝撃性、層間接着強度に優れたポリエチレン系樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a wiring board with a built-in component featuring excellent reliability by having secure connection between a component and interlayer insulating layers.例文帳に追加
部品と層間絶縁層とを確実に接続することにより、信頼性に優れた部品内蔵配線基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
An interlayer insulating film 15, having contact holes therein is formed on the n and p-type diffused layers 13 and 14 formed on the substrate 11.例文帳に追加
基板11に形成されたn型拡散層13及びp型拡散層14上にコンタクトホールを備えた層間絶縁膜15を形成する。 - 特許庁
When the number of overlapping windings is increased, an electrostatic shield layer is arranged in an interlayer of the insulation covered flat tint copper wire coil, and a grounding terminal is provided.例文帳に追加
重ね巻きして巻数を多くする場合は、絶縁被覆平編銅線コイルの層間に、静電シールド層を配設し接地端子を設ける。 - 特許庁
To facilitate the application of CMP(chemical mechanical polishing) technique, in formation of the groove wiring in the case where an interlayer insulating film is used as an organic low permittivity film.例文帳に追加
有機系の低誘電率膜を層間絶縁膜とした場合の溝配線の形成において、CMP技術の適用を容易とする。 - 特許庁
Finally, unwanted portions of the barrier metal film 2 and the wiring film 6 on the interlayer dielectric 1 are removed, and narrow wirings and wide wirings are formed.例文帳に追加
最後に層間絶縁膜1上の不要なバリアメタル膜2及び配線膜6を除去し、細幅配線と太幅配線を形成する。 - 特許庁
The interlayer insulating film 200 is formed on the lower wiring 110, and has a via hole 230a exposing the upper surface of the lower wiring 110.例文帳に追加
層間絶縁膜200は、下部配線110上に形成され、下部配線110の上面が露出するビアホール230aを有する。 - 特許庁
In addition, the upper applied interlayer film 5a formed between the via mask 1a and the wiring mask 6 is composed of fluidal hydrogen silsesquioxane.例文帳に追加
また、埋め込みビアマスク1aと上層配線マスク6との間に形成される上部塗布層間膜5aは、流動性のHSQからなる。 - 特許庁
The anti-cavitation layer is constituted of a lower protective layer 5, an interlayer 6 and an upper protective layer 7, thereby enhancing the durability thereof.例文帳に追加
該耐キャビテーション層を下部保護層5、中間層6、上部保護層7によって形成することにより、耐久性を向上させることができる。 - 特許庁
A through-hole TH having an inner surface including a bottom comprising the silicide regions SCs, SCg is formed in the interlayer dielectric ILD1.例文帳に追加
シリサイド領域SCs、SCgからなる底面を有する内面が設けられたスルーホールTHが層間絶縁膜ILD1に形成される。 - 特許庁
To obtain a semiconductor device in which moisture resistance can be improved by improving the bondability of an interlayer insulating film without increasing a seal ring region.例文帳に追加
シールリングの領域を増やさずに層間絶縁膜の密着性を向上し、耐湿性を向上することができる半導体装置を得る。 - 特許庁
An interlayer 3 is formed of a sheet member, on the surface on which a number of piles are formed and on the back on which a number of hook-shaped protrusions are formed.例文帳に追加
表面に無数のパイルが形成され裏面に無数の鈎状突起が形成されたシート部材を用いて、中敷3を形成する。 - 特許庁
In the first to the third interlayer dielectric, the opening (mortise hole) 24A is provided at a position opposed to the window 17A.例文帳に追加
第1ないし第3層間絶縁膜31〜33において、窓17Aに対応する位置には、開口部(掘り込み穴)24Aが設けられている。 - 特許庁
To provide an aqueous dispersing element for polishing a chemical machine capable of suppressing the occurrence of scratches even on an interlayer insulating membrane having a small elastic modulus.例文帳に追加
弾性率の小さい層間絶縁膜であってもスクラッチの発生が抑えられる化学機械研磨用水系分散体を提供する。 - 特許庁
To provide an interlayer insulating film structure of a semiconductor device using a CF_x film whose adhesion to an Si-based insulating film is improved.例文帳に追加
Si系絶縁膜との密着性向上が図られたCF_x膜を用いた半導体装置の層間絶縁膜構造を提供する。 - 特許庁
A via 116 and a wiring 117 connected to the diffusion layer of the MOS transistor 114 are formed on the interlayer insulating film 115.例文帳に追加
そして、層間絶縁膜115に、MOSトランジスタ114の拡散層に接続するヴィア116,及び配線117が形成されている。 - 特許庁
The seed layer 14 is composed of a lower layer 11, an interlayer 12 and an upper layer 13 laminated from the side of the lower shield layer 10.例文帳に追加
シード層14は、下部シールド層10の側から、下部層11と中間層12と上部層13とが順に積層されたものである。 - 特許庁
An insulating film is formed on an first interlayer insulating film 2, the insulating film is patterned so as to cover a through-hole forming region, and a projection 3 is formed.例文帳に追加
第1の層間絶縁膜2上に絶縁膜を形成し、スルーホール形成領域を覆うようにパターニングし、突出部3を形成する。 - 特許庁
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