| 意味 | 例文 |
MASK patternの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5189件
An evaluation value for each pixel is obtained, a pixel which has the minimum evaluation value is specified, and a mask pattern to change the pixel value of the specified pixel to 1 is updated.例文帳に追加
それぞれの画素についての評価値を求め、評価値が最小である画素を特定し、特定した画素の画素値を1に変更することのマスクパターンを更新する。 - 特許庁
To provide a method and an apparatus for enabling application of TIR (total internal reflection) holography to a large high-resolution pattern whose dimensions are larger than those obtainable in the original chromium mask.例文帳に追加
元のクロムマスク内で取得される寸法よりも寸法がより大きい高解像度パターンに対して、TIRホログラフィを利用できる方法及び装置を提示する。 - 特許庁
The methods use an incoherent light source 26 which is passed through an optical element and used to expose a photoresist 24 coated on a suitable substrate 25 through a mask pattern 23.例文帳に追加
この方法は、光学素子を通した非干渉光源26を用い、また、マスクパターン23を通して好ましい基体25上に被覆したホトレジスト24を露光するために用いる。 - 特許庁
Due to the multiple exposure, the light intensity of the respective patterns is the same even if the phase absolute value in the mask varies, thereby improving the dimensional accuracy of the transferred pattern.例文帳に追加
多重露光により、マスクにおける位相の絶対値が変動しても、それぞれのパターンの光強度は同一となり、転写されたパターン寸法精度が向上する。 - 特許庁
The organic birefringent film 101 is bonded to a transparent substrate 105 on the opposite face of the face on which the mask pattern 107 of the organic birefringent film 101 is formed (processes (f) to (k)).例文帳に追加
次に、有機複屈折膜101のマスクパターン107を形成した面と反対の面で有機複屈折膜101を透明基板105に接着する(工程(f)〜(k))。 - 特許庁
An isolated light shielding pattern composed of a light shielding film region 101 and a phase shift region 102 is formed on a transmitting substrate 100 serving as a mask.例文帳に追加
マスクとなる透過性基板100上に、遮光膜領域101と位相シフト領域102とから構成された孤立した遮光性パターンが形成されている。 - 特許庁
A ratio D_0/D' of the mask pattern D_0 for the each opening to the each opening inside diameter D' is corrected in response to the density of the plurality of openings distributed in a plane of the solder resist layer.例文帳に追加
ソルダーレジスト層の面内に分布する複数の開口の密度に応じて、開口用マスクパターン外径D_0と開口内径D’との比D_0/D’を補正する。 - 特許庁
The invalidating means constituted of an invalidating circuit 18 invalidates the mask ROM 17 so that the outside memory loaded on the outside memory terminal pattern 13a can be used.例文帳に追加
無効化回路18などで構成された無効化手段は、マスクROM17を無効にして、外部メモリ端子パターン13aに搭載された外部メモリを使用できる。 - 特許庁
A resist mask 29 with a pattern is provided on a substrate 19a, including first and second gallium nitride semiconductor layers 13a, 15a for the gallium nitride transistors.例文帳に追加
パターンを有するレジストマスク29が、窒化ガリウム系トランジスタのための第1および第2の窒化ガリウム系半導体層13a、15aを含む基板19a上に設けられている。 - 特許庁
The mask pattern covering film material preferably contains a crosslinking agent for crosslinking the silicone polymer and uses a crosslinkable polysilsesquioxane resin as the silicone polymer.例文帳に追加
マスクパターン被覆膜材料は、好ましくは、シリコーンポリマーを架橋するための架橋剤を含有してもよいし、シリコーンポリマーとして架橋可能なポリシルセスキオキサン樹脂を用いてもよい。 - 特許庁
To provide a photo mask pattern data creating method for efficiently selecting a cell conducting OPC (Optical Proximity Correction) processing and specifying a cell considered to be equivalent to the cell.例文帳に追加
OPC処理を行うセルを効率よく選択し、そのセルと等価であるとみなされるセルを特定するフォトマスクパターンデータの作成方法を提供することにある。 - 特許庁
The substrate 101 is then etched, using the resist pattern 102b in which the lactone ring has been opened as a mask to obtain a recessed portion 101a having superior shape.例文帳に追加
その後、ラクトン環が開環されたレジストパターン102bをマスクとして、基板101に対してエッチングを行なうことにより、形状が優れた凹部101aを得る。 - 特許庁
Subsequently, the magnetic layer is subjected to cutting processing with the nanoparticle film as a mask (c), and the nanoparticle film is removed to form a fine pattern 2 with a recessed and protruding shape on the magnetic layer (d).例文帳に追加
その後、ナノ粒子膜をマスクにして磁性層を切削加工し(c)、ナノ粒子膜を除去して磁性層に凹凸形状を持った微細パターン2を形成する(d)。 - 特許庁
To provide a phase shift mask which enables an improvement in exposure dimensional accuracy without allowing illumination light to substantially receive the influence of shifter side walls and without depending on pattern shapes.例文帳に追加
照明光がシフター側壁の影響を実質上受けることなく、且つパターン形状によらず露光寸法精度向上が可能となる位相シフトマスクを提供する。 - 特許庁
A photosensitive resin layer 11 is formed on a substrate, the photosensitive resin layer 11 is exposed to a synchrotron radiation SR using a mask M having a prescribed pattern and then developed.例文帳に追加
基板10に感光性樹脂層11を形成し、所定のパターンのマスクMを用いてシンクロトロン放射光SRにより感光性樹脂層11を露光し、現像する。 - 特許庁
After the formation of an interlayer insulation film 6, the interlayer insulation film 8 is etched by reactive ion etching with a resist pattern 8 as a mask so as to form the connection hole (Figure 1 (a)).例文帳に追加
層間絶縁膜6の形成後、接続孔を形成すべくレジストパターン8をマスクとして、反応性イオンエッチングにより層間絶縁膜8のエッチングを行なう(図1(a))。 - 特許庁
Image data picked up by a video camera 200 is converted into digital image data by a video capture part 104, a high luminance part is detected and a light shielding mask pattern is generated.例文帳に追加
ビデオカメラ200で撮像された画像データはビデオキャプチャ部104でデジタル画像データに変換され、高輝度部が検出され、遮光マスクパターンが生成される。 - 特許庁
Then, first pattern exposure is performed by irradiating the resist film with first exposure light 104 including ultraviolet rays via a first mask through the light absorbing film.例文帳に追加
その後、第1のマスクを介した極紫外線からなる第1の露光光104をレジスト膜に光吸収膜を通して照射することにより第1のパターン露光を行う。 - 特許庁
After a hole corresponding to a gate electrode pattern is formed at the silicon nitride film 16, the surface of amorphous silicon layer is selectively oxidized with the silicon nitride film 16 as a mask.例文帳に追加
シリコン窒化膜16にゲート電極パターンに対応した孔を形成した後、シリコン窒化膜16をマスクとしてアモルファスシリコン層14の表面を選択酸化する。 - 特許庁
With an exposure mask having a semi-transmissive part on the reflection electrode, a resist pattern having a thick region and a region thinner than the thick region is formed.例文帳に追加
反射電極上に半透部を有する露光マスクを用いて、膜厚の厚い領域と該領域よりも膜厚が薄い領域とを有するレジストパターンを形成する。 - 特許庁
A process of forming the pattern 5 on the substrate 6 is simulated on the basis of the design data of the mask patterns 3, 4 formed on at least one of the masks 1, 2.例文帳に追加
少なくとも1枚のマスク1,2に形成されているマスクパターン3,4の設計データに基づいて基板6上にパターン5を形成するプロセスのシミュレーションを実行する。 - 特許庁
A forward taper silicon oxynitride film 16 is formed by etching the silicon oxynitride film 12 by regarding the resist pattern 11 as a mask and using a Cl-based gas.例文帳に追加
レジストパターン11をマスクとしてCl系のガスを用いてシリコン酸窒化膜12をエッチングすることで順テーパー形状のシリコン酸窒化膜パターン16を形成する。 - 特許庁
To precisely position a mask for exposure and a semiconductor substrate in a lithographic process, wherein a resist pattern is formed on the semiconductor substrate where SGI is formed.例文帳に追加
SGIが形成された半導体基板上にレジストパターンを形成するリソグラフィ工程において、露光用マスクと半導体基板との位置合わせを精度よく行う。 - 特許庁
As H^+ ions can be injected in a large amount into the resist without damaging the resist pattern, the resist mask 6 is modified to have sufficient etching durability.例文帳に追加
H^+ イオンは、レジストパターンを損傷することなく多量にレジスト内部に注入できるので、レジストマスク6が十分な耐エッチング性を有するものに改質される。 - 特許庁
The interlayer insulating film 40 where the opening 100' is formed is obliquely dry-etched with respect to the surface of the semiconductor substrate 20 with the resist pattern 50 as the mask.例文帳に追加
そして、このレジストパターン50をマスクに、開口部100´が形成された層間絶縁膜40を半導体基板20表面に対して斜めにドライエッチングする。 - 特許庁
To provide a novel CAD system for editing semiconductor mask pattern, with which work efficiency is improved by performing layer synthesizing operation in real time and immediately displaying the result.例文帳に追加
層合成演算をリアルタイムに行い、その結果を直ちに表示することで、作業能率を改善する新規な半導体マスクパターン編集用のCADシステムを提供する。 - 特許庁
METHOD OF PRODUCING ETCHING PROXIMITY EFFECT CORRECTION MODEL, ETCHING PROXIMITY EFFECT CORRECTION MODEL, METHOD OF CORRECTING MASK PATTERN, PHOTOMASK, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
エッチング近接効果補正モデルの作成方法、エッチング近接効果補正モデル、マスクパターンの補正方法、フォトマスク、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - 特許庁
The mask substrate 20 is provided with the structural double refraction pattern having a periodic array smaller than the wavelength of the light, by which structural double refraction phenomenon is generated.例文帳に追加
マスク基板20には、光の波長よりも小さな周期的配列を有する構造性複屈折パターンが設けられており、これにより構造性複屈折現象が生じる。 - 特許庁
In this case, the sensitizers 4 are arranged in a honeycomb-shaped grid pattern by using as a mask a polystyrene fine particle layer having a monolayer densest filling structure.例文帳に追加
この際、単層の最密充填構造を有するポリスチレン微粒子層をマスクとして用いることにより、増感体4を蜂の巣(ハニカム)形の格子パターンに配置する。 - 特許庁
To provide a blank mask for forming a fine etching objective film pattern having vertical side face profile on a photomask, and to provide a method of manufacturing the photomask using the same.例文帳に追加
フォトマスク上に、垂直側面プロファイルを有する微細なエッチング対象膜パターンを形成するためのブランクマスク及びこれを用いるフォトマスクの製造方法を提供する。 - 特許庁
A copper foil 17 formed on the surface of the resin sheet 16 is selectively removed by conformal treatment, thus forming a mask pattern for forming a via hole.例文帳に追加
そして、樹脂シート16の表面に形成された銅箔17をコンフォーマル加工により選択的に除去することにより、ビアホールを形成するためのマスクパターンを形成する。 - 特許庁
The polysilicon film 12 is dry-etched using the resist pattern 14 and the patterned anti-reflection film 13A for the mask to form a gate electrode 12A composed of the polysilicon film 12.例文帳に追加
ポリシリコン膜12に対して、レジストパターン14及びパターン化された反射防止膜13Aをマスクにドライエッチングして、ポリシリコン膜12からなるゲート電極12Aを形成する。 - 特許庁
Then a gate electrode 7a of a MOS transistor 7 and a lower electrode 8a of a capacity element 8 are formed of portions of the polysilicon layer 3 through etching using a resist mask pattern.例文帳に追加
そして、レジストマスクパターンによりエッチングして、ポリシリコン層3の一部で、MOSトランジスタ7のゲート電極7a及び容量素子8の下部電極8aを構成した。 - 特許庁
Anisotropic etching is given to the silicon thin film 2 using this photoresist 3 as an etching mask and a pattern where circular openings are arranged is formed to the silicon thin film 2.例文帳に追加
このフォトレジスト3をエッチングマスクとして用いてシリコン薄膜2に異方性エッチングを施し、シリコン薄膜2に円形の開口が配列されたパターンを形成する。 - 特許庁
Under the same mask pattern, metal wiring 31 constituting the signal line and a linear portion 38a consisting of a semiconductor layer 38 at the lower part are formed simultaneously.例文帳に追加
同一のマスクパターンの下で、信号線を構成する金属配線31と、この下方の、半導体層38からなる線状部分38aとが同時に形成される。 - 特許庁
In the step of forming the mask pattern, the first titanium nitride film 42a is formed by a sputtering method and the second titanium nitride film 43a is formed by a self-ionized plasma method.例文帳に追加
マスクパターンを形成する工程では、第1窒化チタン膜42aをスパッタリング法で形成し、かつ第2窒化チタン膜43aを自己イオン化プラズマ法で形成する。 - 特許庁
First, a pattern of circular optical multilayer film 10 and optical multilayer film marks for alignment AM is transferred on a base material for substrate BM using a first mask member M1.例文帳に追加
最初に、基板母材BMに第1のマスク部材M1を用いて、円形光学多層膜10およびアライメント用光学多層膜マークAMのパターンを転写する。 - 特許庁
After prebaking, a mask with a predetermined pattern having at least one slit is placed on top of the photoresist film and the photoresist film is exposed to a light.例文帳に追加
前熱処理後、少なくとも一つのスリットを有する予め決定されたパターンを有するマスクをフォトレジスト膜上に配置し、このフォトレジスト膜が光に対して露出される。 - 特許庁
To improve uniformity within a wafer surface in the size of circuit pattern obtained in the trimming process of a photoresist mask formed with a double patterning technology using a freezing method.例文帳に追加
フリージング法を用いたダブルパターニング技術により形成されたフォトレジストマスクのトリミング工程において、得られる回路パターン寸法のウエハ面内の均一性を改善する。 - 特許庁
The oxygen ions 16b implanted directly into the substrate reaches deep region of substrate, and oxygen ions 16a implanted via the mask pattern are located in the region near the substrate surface.例文帳に追加
直接基板内へ注入する酸素イオン16bは、基板深部に達し、マスク・パターンを介して注入された酸素イオン16aは基板表面近傍に位置する。 - 特許庁
When performing a multipass printing, a mask pattern a which makes the dispersibility of dot for every pass high is used for the combination of the inks whose glossiness becomes higher at writing an image.例文帳に追加
マルチパス印字を行う際に、画像記録時に光沢性の高くなるインクの組み合わせに対しては、パス毎のドットの分散性が高くなるマスクパターンaを使用する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a semiconductor device for suppressing the adhesion of a reaction product on the sidewall of a mask material by etching regardless of the density of a pattern.例文帳に追加
パターンの密度に関係なく、エッチングによる反応生成物がマスク材料の側壁に付着することを抑制可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
The conductive balls 9 are dropped in the guide holes 27 of the mask member 29, and they are sucked by the suction table 15 to fit them to the pattern holes 7.例文帳に追加
マスク部材29の各ガイド穴27に導電性ボール9を落し込んだ後に、吸引テーブル15により吸引して各導電性ボール9をパターン穴7に固定する。 - 特許庁
To enhance productivity of a color filter by eliminating the deviation in positions of a color filter formed surface and a mask pattern in an ITO film depositing stage of the liquid crystal color filter.例文帳に追加
液晶カラーフィルタのITO膜形成工程におけるカラーフィルタ形成面とマスクパターン間の位置ずれをなくしてカラーフィルタとしての生産性向上を図る。 - 特許庁
The mask 15 for patterning has annular contact legs 16a, 16b which project at one side of side face in bending shape along peripheral edge part of pattern holes 15a, 15b.例文帳に追加
パターニング用マスク15はパターン孔15a、15bの周縁エッジ部に沿って一側面側に折曲形状に突出する環状の当接脚部16a、16bを備える。 - 特許庁
To provide a reflection mask, a manufacturing method therefor and an aligner which has an absorber layer made sufficiently thin to reduce its influence on a pattern to be transferred onto a wafer.例文帳に追加
吸収体層の厚さを薄くしてウエハ上に転写されるパタンへの影響を小さくできる反射マスクとその製造方法及び露光装置を提供する。 - 特許庁
A through-hole 28 for making the layers 22, 24 and 26 penetrate therethough is formed in the stencil mask 10 corresponding to a predetermined pattern.例文帳に追加
ステンシルマスク10には、所定パターンに対応して、第1導電層22、第1絶縁層24及び第2導電層26を貫通する貫通孔28が形成されている。 - 特許庁
To provide an exposure device that can appropriately light-shield a non-exposure region by using a light-shielding member upon carrying out pattern exposure by relatively moving a substrate and a mask.例文帳に追加
基板とマスクとを相対移動させることでパターン露光を行う際に、遮光部材を用いて非露光領域を適切に遮光できる露光装置を提供する。 - 特許庁
A message to indicate that a light source needs to be replaced or contact information of an installer that has set up a projection device can be provided as a pattern set in the information mask 135.例文帳に追加
情報マスク135に設定されるパターンとしては、光源の交換を促すメッセージや、プロジェクション装置の設置業者の連絡先等などが可能である。 - 特許庁
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