「laser measurement system」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To improve a measurement accuracy of a laser interferometer system.例文帳に追加

レーザ干渉計システムの計測精度を向上させる。 - 特許庁

LASER LENGTH MEASUREMENT SYSTEM AND ALIGNER例文帳に追加

レーザ測長システム及び露光装置 - 特許庁

WAVELENGTH MEASUREMENT SYSTEM OF EXCIMER LASER AND METHOD FOR CALIBRATING CENTER WAVELENGTH例文帳に追加

エキシマレーザの波長計測システム及び中心波長の較正方法 - 特許庁

POSITION MEASUREMENT DEVICE OF OBJECT USING LASER INTERFEROMETER SYSTEM例文帳に追加

レーザー干渉計システムを用いた対象物の位置の測定装置 - 特許庁

DISPLACEMENT MEASUREMENT AND DISPLACEMENT DETECTION SYSTEM UTILIZING LASER LIGHT AND OPTICAL SENSOR例文帳に追加

レーザー光と光センサを利用した変位計測及び変位検知システム。 - 特許庁

The laser device comprises a laser heating device 1 and a measurement system 3.例文帳に追加

本発明によるレーザ装置は、レーザ加熱装置１と計測系３とを具備する。 - 特許庁

To provide a laser length measurement system capable of more strictly control the temperature of a laser light source.例文帳に追加

レーザ光源の温度をより厳密に制御できるレーザ測長システムを提供する。 - 特許庁

LASER HEAD, HEAD CHAMBER ACCOMMODATING THE LASER HEAD, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE EMPLOYING LASER LENGTH MEASUREMENT SYSTEM, OR SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE例文帳に追加

レーザヘッド、レーザヘッドを収容するヘッドチャンバ、及びレーザ測長システムを適用した半導体製造装置又は半導体検査装置 - 特許庁

A laser length measurement system 1 is composed of a laser light source unit 10 for generating and projecting laser measurement light and the heating medium supply unit 30 for supplying the heating medium for the temperature controlling to the laser light source unit 10.例文帳に追加

レーザ測長ユニット１は、レーザ測定光を生成して射出するレーザ光源ユニット１０と、レーザ光源ユニット１０に温度調整用の熱媒体を供給する熱媒体供給装置３０と、を備える。 - 特許庁

To reduce glitch for a more accurate laser interferometer measurement system.例文帳に追加

より正確なレーザ干渉計測定システムのためのグリッチ低減を行なう。 - 特許庁

To provide a laser probe measuring device having a simple optical system and high measurement accuracy.例文帳に追加

簡単な光学系でしかも測定精度も高いレーザプローブ計測装置を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR MEASURING OPTICAL AXIS DIRECTION OF LASER LIGHT, LENGTH MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING POSITIONING ACCURACY例文帳に追加

レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法 - 特許庁

To provide an X-Y stage system capable of reducing a length-measurement error due to air fluctuation by including a length-measurement light path tube mechanism for adequately covering a length-measurement light path of a laser interferometer in its X-Y stage having a position length measurement part moving in X/Y directions by the laser interferometer.例文帳に追加

レーザー干渉計による位置測長部位がＸＹ方向に運動するＸＹステージにおいて、レーザー干渉計の測長光路を十分に覆う測長光路筒機構を備えることで空気揺らぎによる測長誤差を低減できるＸＹステージ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a laser interference length measuring machine which can prevent an influence on a light interference system and a reflection optical system and allow highly precise length measurement.例文帳に追加

レーザ干渉測長機において、光干渉系や反射光学系に与える影響を防止して高精度測長を可能とする。 - 特許庁

A noncontact ID measuring system combining a glass substrate carrier device and a laser displacement meter conducts measurement while holding a substrate holder which fixes a glass substrate during measurement, and lifting and lowering a line laser light source and applying line laser to the main surface of the glass substrate, thereby preventing fluctuation of the glass substrate as the subject during measurement and resulting lowering of measurement precision.例文帳に追加

ガラス基板搬送装置とレーザ変位計とを組み合わせた非接触式のＩＤ計測方式において、測定時にガラス基板を固定する基板ホルダを保持して、ラインレーザ光源を昇降させてガラス基板の主表面にラインレーザを照射して測定することにより、測定時に測定対象であるガラス基板が揺動することにより測定精度が低下することを抑制する。 - 特許庁

A position measurement system comprises: the laser interferometer measuring a position to be measured by utilizing the interference of laser beams; and the wavelength detector detecting a change in the wavelength of laser beams.例文帳に追加

位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。 - 特許庁

The third fine movement stage measurement system includes an encoder system including a plurality of Y heads 96, 97 and a laser interferometer system including laser interferometers 76a-76d.例文帳に追加

第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 - 特許庁

Of particular importance to the surface topographic application has been the addition of kinematic Global Positioning System (GPS) technology to the highly precise laser ranging measurement capability. 例文帳に追加

地上地形学応用にとって特に重要であったのは、キネマティックGPS技術を高度に正確なレーザ測距能力に付け加えたことであった。 - コンピューター用語辞典

This system includes tunable a laser diode, designed so as to emit the measurement radiation beam, with a wavelength of a certain wavelength region.例文帳に追加

この湿度測定システムは、ある波長領域の波長を有する測定放射ビームを発するように構成されたチューナブルレーザダイオードを含む。 - 特許庁

The filling condition of ink in the flowing channel is detected by the displacement behavior measurement of the piezoelectric element of a laser doppler system.例文帳に追加

流路内のインクの充填状態を、レーザードップラー方式による圧電素子の変位挙動測定により検知する。 - 特許庁

To provide a cantilever sensor system capable of efficiently performing measurement in a plurality of cantilever sensors by use of a single laser emitting device.例文帳に追加

単一のレーザー照射装置で複数のカンチレバーセンサでの測定が効率よくできるカンチレバーセンサシステムを提供する。 - 特許庁

A measurement system 100 including a laser interferometer 104, a retroreflector 106 and a handling device 102 is used.例文帳に追加

レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。 - 特許庁

The measurement truck 102 includes a vehicle, a camera 230, a laser radar 240, a GPS (Global Positioning System) 220, a gyroscope 210, and the base.例文帳に追加

計測台車１０２は車両と、カメラ２３０と、レーザレーダ２４０と、ＧＰＳ２２０と、ジャイロ２１０と、基台とを備える。 - 特許庁

To provide a system and a method for laser ranging for reducing measurement errors caused by an intermodulation element in a measuring beam.例文帳に追加

測定ビームにおける混変調成分により生じる測定誤差を低減することのできるレーザ測距装置及びレーザ測距方法を提案する。 - 特許庁

To provide a three-dimensional measurement system capable of performing measurement at a narrow section quickly and indirectly measuring coordinates of a point behind something, and to provide a positioning system for determining a marking position, by measuring a prism without referring to laser spots.例文帳に追加

狭隘部での計測と短時間での計測を可能にし、物陰にある点の座標を間接的に計測できる三次元計測システムを提供する。 - 特許庁

To provide a measuring method of a light-scanning optical system capable of accurately measuring beam profile of the light-scanning optical system outputting a plurality of laser beams, capable of shortening measurement time and capable of simplifying the measurement operation.例文帳に追加

複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる光走査光学系の計測方法を提供する。 - 特許庁

A drive system drives the movable body based on measurement results of a first measurement system for measuring the position of the movable body in an XY plane and measurement results of a second measurement system for measuring variations in an arm member 71 via a laser interferometer by irradiating a grating RG disposed on one surface in parallel with the XY plane of the movable body WFS with measurement beams from the arm member 71.例文帳に追加

駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。 - 特許庁

To provide a non-contact measurement system of oscillation characteristics of a structure capable of setting a face reflected accurately by laser even in a part in which a non-contact measurement condition is inferior.例文帳に追加

非接触計測条件が悪い箇所においても、的確にレーザーが反射する面を設定することができる構造物の振動特性の非接触計測システムを提供する。 - 特許庁

To enable a measurement range to be set simply in a unit of a laser scanner, without the need for any external control system such as a personal computer and the like, in order to make a measurement operation efficient.例文帳に追加

ＰＣ等の外部制御装置を必要とせず、レーザスキャナ単体で簡便に、測定範囲の設定を可能とし、測定作業の効率化を図る。 - 特許庁

The system comprises a plurality of laser measuring apparatuses 12-14 for irradiating a plurality of objects to be measured R1-R4 and a marker 16 for measurement mounted onto a glass table 11 with laser beams from above and below to acquire measurement data of the plurality of objects to be measured and the marker for measurement in a three-dimensional system, and a modeling creation part 15.例文帳に追加

ガラステーブル１１上に載置した複数の被計測物Ｒ１〜Ｒ４及び計測用マーカ１６に対し、上下方向からレーザを照射し上記複数の被計測物及び計測用マーカの三次元座標の計測データを取得する複数のレーザ計測装置１２〜１４と、モデリング生成部１５とからなる。 - 特許庁

A uniformalizing optical system 18 is provided on a laser beam axis for enabling accurate LDT measurement even when light is used having spatially ununiform intensity distribution such as an excimer laser beam.例文帳に追加

レーザー光軸上に均一化光学系１８が設けられているので、エキシマレーザー光のように空間的に不均一な強度分布を有する光を使用した場合でも、正確なＬＤＴ測定を行なうことができる。 - 特許庁

To enhance the reproducibility or reliability of monitoring accuracy by preventing unstable variation of a laser output measurement value in laser machining of fiber transmission system.例文帳に追加

ファイバ伝送方式のレーザ加工において、レーザ出力測定値の不定な変動を無くしてモニタリング精度の再現性・信頼性を向上させる。 - 特許庁

The non-contact measurement system 6 of the oscillation characteristics of the structure includes a device for forming a non-contact measurement object face by landing a paint shot to adhere a recursive reflection paint on a non-contact measurement device 1 of the oscillation characteristics of the structure using laser light.例文帳に追加

構造物の振動特性の非接触計測システムにおいて、レーザー光を利用した構造物の振動特性の非接触計測装置１に、ペイント弾を着弾させ再帰性反射塗料を付着させることによる非接触計測対象面の形成装置６を具備する。 - 特許庁

The measuring method of an optical system to be used for an exposure apparatus includes an irradiation step wherein a prescribed amount of laser light is irradiated on the optical system, and a first measurement step wherein the optical performance of the optical system is measured during the irradiation of laser light.例文帳に追加

露光装置に使用される光学系の測定方法であって、 レーザー光を前記光学系に所定量照射する照射ステップと、 当該照射ステップの照射中に前記光学系の光学性能を計測する第１の計測ステップとを有することを特徴とする測定方法を提供する。 - 特許庁

To improve length measurement accuracy of a laser length-measuring system which is used by an electron beam lithography system, at measuring of the position of an X-Y stage by preventing the vibration of a writing chamber from being transmitted to an offset mirror which constitutes a laser optical system.例文帳に追加

電子ビーム描画装置でＸＹステージの位置測定の際に使用されるレーザ測長システムにおいて、描画室の振動がレーザ光学系を構成するオフセットミラーに伝わることを防止して、測長精度の向上を図る。 - 特許庁

The sample 19 is irradiated with the laser light from the 2nd scanning optical system B in synchronism with the scanning of the 1st scanning optical system A to take a precise measurement.例文帳に追加

第２の走査光学系Ｂからの標本１９へのレーザ光の照射を第１の走査光学系Ａの走査に同期させることにより、精度良く測定する。 - 特許庁

To provide accurate vibration measurement by simplifying an optical system and a signal processing system to prevent miscount from occurring in a downsized and weight-reduced device for measuring semiconductor laser digital vibration, and to extract the characteristics of vibration.例文帳に追加

光学系及び信号処理系を簡略化し、小型軽量化した半導体レーザデジタル振動計測装置で発生するミスカウントを抑止して正確な振動測定を提供し、かつ振動の特性を抽出することを目的とする。 - 特許庁

Further, since three-dimensional shape measurement of the measuring object and lightness calculation are performed by a method for scanning in the irradiation direction of the laser light by a scanning optical system 106, the three-dimensional shape measurement of the measuring object OB and the lightness calculation can be performed in a wide domain.例文帳に追加

さらに、レーザー光の照射方向を走査用光学系１０６で走査する方式にて測定対象物の３次元形状測定および明度計算を行うので、広い領域で測定対象物ＯＢの３次元形状測定および明度計算を行うことができる。 - 特許庁

A measurement vehicle 200 travels on the road; a camera 240 images the same road sign from different points; a GPS (Global Positioning System) receiver 210 measures the position of the measurement vehicle 200 in each time, and an LRF (Laser Range Finder) 250 acquires distance azimuth data to the feature around the road.例文帳に追加

計測車両２００は道路を走行し、カメラ２４０は異なる地点から同一の道路標識を撮像し、ＧＰＳ受信機２１０は各時刻における計測車両２００の位置を測定し、ＬＲＦ２５０は道路周辺の地物に対して距離方位データを取得する。 - 特許庁

This laser measurement system 101 is structured so that the three-dimensional shape of the measuring object 502 is measured on the basis of a prescribed reference position T0 or T1 for each of positions "a" and "b" to transmit measurement data on the three-dimensional shape by wireless to a data processing controller 500.例文帳に追加

レーザ測定装置１０１は、ａ位置及びｂ位置の各々において所定の基準位置Ｔ0又はＴ1を基準として、被測定物５０２の３次元形状を測定し、前記３次元形状の測定データをデータ処理コントローラ５００に無線で送信する。 - 特許庁

This optical measurement device has a feedback system detecting a mode hop time until mode transition of modulated laser light through a detection means, and controlling injection current to the laser and/or the temperature on the basis of the mode hop time to select and control mode.例文帳に追加

変調されたレーザー光のモード遷移までのモードホップ時間を検出手段を通じて検出し、該モードホップ時間を元にレーザーへの注入電流およびまたは温度を制御してモードを選択制御可能とするフィードバックシステムを有する光計測装置を提供する。 - 特許庁

In the control using a computer controlling system, ΔE/ΔV, i.e., the change of a laser-pulse energy to a gas-discharge voltage is determined by monitoring laser parameters, and based on the ΔE/ΔV, the fluorine-concentration is controlled automatically and precisely without requiring any actual measurement.例文帳に追加

前記制御は、コンピュータ制御システムを用いて行われ、それは、レーザパラメータを監視し、ΔＥ／ΔＶを決定し、パルスエネルギの電圧に対する変化を決定し、及び、実際にフッ素濃度を測定する必要なしに、ΔＥ/ ΔＶに基づいてフッ素濃度を自動的、且つ正確に制御する。 - 特許庁

When emitting light onto the surface of a measurement sample 10 during two-dimensional scanning, the light receiving system 180 of the scanning laser microscope receives laser light which is reflected on the surface and reaches through an objective lens 150 and a confocal diaphragm 170, and outputs information on the quantity of light.例文帳に追加

受光系１８０は、二次元走査させながら測定サンプル１０の表面に照射したときに該表面で反射して対物レンズ１５０及び共焦点絞り１７０を通過して到来するレーザ光を受光して、その光量の情報を出力する。 - 特許庁

To provide a control method for optical illumination system for DUV (deep ultraviolet) laser microscope, by which highly accurate image observation or image measurement can be performed by easily removing luminosity non- uniformity inside an illumination field to occur in a DUV laser microscope.例文帳に追加

ＤＵＶレーザ顕微鏡において発生する照野内の輝度ムラを簡便に取り除き、高精度の画像観察や画像計測を行うことが可能ななＤＵＶレーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The measurement system 3 comprises a screen 21 to be irradiated with the expanded laser beam 2; an imaging device 22 for obtaining image by photographing the image of a screen 21; and an operation device 23 for calculating the intensity profile of the expanded laser beam 2 from the photographed image.例文帳に追加

計測系３は、拡大レーザビーム２が照射されるスクリーン２１と、スクリーン２１を撮像して撮像画像を得る撮像装置２２と、その撮像画像から拡大レーザビーム２の強度プロファイルを算出する演算装置２３とを備える。 - 特許庁