「Dielectrics」に関連した英語例文の一覧と使い方(9ページ目) - Weblio英語例文検索

A main capacitor element having an upper electrode 17a and a capacitor dielectric 16a, and sub-capacitor elements having upper electrodes 17b-17e and capacitor dielectrics 16b-16e of smaller area than the main capacitor are arranged in parallel electrically using a lower electrode 15b as a common electrode.例文帳に追加

上部電極１７ａとキャパシタ誘電体１６ａを有する主キャパシタ素子、この主キャパシタ素子の面積より小さな面積の上部電極１７ｂ〜１７ｅとキャパシタ誘電体１６ｂ〜１６ｅを有する従キャパシタ素子とを下部電極１５ｂを共通電極として電気的に並列に配置する。 - 特許庁

In an electrode device 30 for generating the plasma, the electrode device 30 is provided with a substrate 40 consisting of dielectrics, a first electrode 8 embedded in the substrate 40, and a second electrode 6A installed at one principal plane 7a of the substrate.例文帳に追加

プラズマを発生させるための電極装置３０において、電極装置３０は、誘電体からなる基板４０、この基板４０内に埋設されている第一の電極８、および基板の一方の主面７ａに設けられている第二の電極６Ａを備えている。 - 特許庁

According to this configuration, it is possible to prevent disconnections of the lower electrode 23 and the upper electrode 25 and a diffusion of atoms constituting the capacitive insulating film 24, which are caused at the time of a heat treatment for crystallization of the dielectrics to the capacitive insulating film 24.例文帳に追加

この構成により、容量絶縁膜２４に対する誘電体の結晶化のための熱処理時に発生する下部電極２３及び上部電極２５の断線と、容量絶縁膜２４を構成する原子の拡散とを防止することができる。 - 特許庁

A partition 4 formed of dielectrics so that a part of a vacuum housing enters in at least one of the resonant cavity 14 and an inductance element 5 is provided so that it can be inserted in the resonant cavity 14 out of a vacuum region of the partition 4.例文帳に追加

そして、共振空胴１４の少なくとも１つに真空外囲器の一部が食い込むように誘電体により形成された隔壁４が設けられ、その隔壁４の真空領域外で共振空胴１４内にインダクタンス素子５が挿入し得るように設けられている。 - 特許庁

In the substrate for suspension having an interleaved wiring structure, a gap between interleaved differential wirings is filled with high-relative-permittivity dielectrics which includes polyimide resin or the like containing barium titanate as a ferroelectric material.例文帳に追加

インターリーブ配線構成のサスペンション用基板において、強誘電体材料であるチタン酸バリウムを含有させたポリイミド樹脂等からなる比誘電率の高い誘電体を交互配置された差動配線間に充填することにより、上記課題を解決する。 - 特許庁

There is provided a bypass capacitor 17 formed by successively stacking dielectrics 15 and conductors 16 over a terminal electrode 10 positioned near the mounting position of a driving IC chip 11 in a terminal part 2a of an electrode substrate 2 and between the driving IC chip 11 and external wiring 9.例文帳に追加

電極基板２の端子部２ａにおける駆動用ＩＣチップ１１の実装位置の近傍であり、かつ駆動用ＩＣチップ１１と外部配線９との間における端子電極１０に、誘電体１５および導電体１６が順次積層されてなるバイパスコンデンサ１７を設ける。 - 特許庁

At least a part of passive elements at a section 17 for switching an antenna between a transmitting circuit and a receiving circuit of relevant system, and at least a part of passive elements at a diplexer section 7 interposed between the switch section and the antenna are incorporated in a multilayered body 8 comprising conductors and dielectrics.例文帳に追加

アンテナを該当する方式の送信回路、受信回路に切り替えるスイッチ部１７の少なくとも一部の受動素子と、該スイッチ部とアンテナとの間に設けるダイプレクサ部７の少なくとも一部の受動素子とを、導体と誘電体とからなる積層体８内に内蔵する。 - 特許庁

The sensor comprises a photoelectromotive force generator using a film structure object 26 formed of a polycrystal calcination object of a photo voltage material by dielectrics, the bulk flake of a single crystal, a thin film or a thick film, and a pair of electrodes sandwiching the photoelectromotive force generator.例文帳に追加

誘電体による光起電力材料の多結晶焼成体、単結晶のバルク薄片又は薄膜若しくは厚膜による膜構造体２６を用いた光起電力部と、この光起電力部を挟んで設けられた一対の電極とを設ける。 - 特許庁

An insulating brim 7 protruding outside from the outer periphery surface 3a is provided between the electrodes 6, 6 on the outer periphery surface 3a of a barrel body 3 in the dielectrics barrier discharge lamp and by securing sufficient creeping distance, the leakage of the current is prevented between end parts of the electrodes 6 and 6 adjacent in the periphery direction of the barrel body 3.例文帳に追加

筒体３の外周面３ａにおける電極６，６間に、外周面３ａから外方に突出する絶縁鍔部７を備え、十分な沿面距離を確保し、筒体３の周方向に隣接する電極６，６の端部間の漏洩電流を防止する。 - 特許庁

The main sensor 3 and the reference sensor 4 each has a layered structure in which dielectrics 3b and 4b having the same shape as that of either electrode are each formed between signal electrodes 3c and ground electrodes 3a having shapes different from each other and between signal electrodes 4c and ground electrodes 4a having shapes different from each other.例文帳に追加

主センサ３およびリファレンスセンサ４は、それぞれ、互いに形状の異なる信号電極３ｃ，４ｃと接地電極３ａ，４ａ間にいずれか一方の電極と同一形状の誘電体３ｂ、４ｂを配置した積層構造を有する。 - 特許庁

When forming the layered balun comprised of a Marchand balun, transmission lines 113 and 114 comprising 1/2 wavelength transmission lines are stacked on adjacent layers being opposite each other between dielectrics so that a current direction of the transmission line 113 and that of the transmission line 114 are the same when conducting the current thereto.例文帳に追加

Marchandバランからなる積層型バランを形成する際、使用時において伝送線路113の電流方向と伝送線路114の電流方向が同方向になるように、１／２波長伝送線路を構成する伝送線路113,114を誘電体を挟んで対向するように隣接層に積層配置する。 - 特許庁

Insulators 30, 31, 32 and 33 between an inner conductor 10 and an outer conductor 20 of the coaxial type cable 30 are a combination structure of a plurality of dielectrics with dielectric constants different in a line direction, and the inner conductor constitutes a low pass filter as a uniform path or a path with little shape difference.例文帳に追加

同軸型ケーブル３０の内導体１０と外導体２０間の絶縁体３０、３１、３２、３３を線路方向に異なる複数の誘電率の誘電体の組み合わせ構造とし、内導体は均一な径、又は形状差の少ない径として低域通過フィルタを形成する。 - 特許庁

Good electrical connection is formed between terminal side-electrodes 6 and the electrodes 1a by thermally spraying brass on the side faces for the electrodes to form the terminal side-electrodes 6, and a film capacitor, having a satisfactory adhesive strength between the terminal side-electrodes 6 to the electrodes 1a and to the dielectrics 8a and 8b, can be obtained.例文帳に追加

このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａの間には良好な電気的接合が得られ、端面電極６は電極１ａと誘電体８ａ、８ｂに対して高い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。 - 特許庁

A free space is provided attn the center of the dielectrics 12, a radiation electrode 14 is disposed above the free space, the electronic circuit 16 is integrated into the free space, and the shield cover 18 is disposed in the free space for shielding the electronic circuit 16 from the radiation electrode 14.例文帳に追加

誘電体１２の中央部に空きスペースを設け、空きスペースの上方に放射電極１４を配設し、空きスペースに電子回路１６を組み込み、空きスペースに電子回路１６を放射電極１４からシールドするシールドカバー１８を配設する。 - 特許庁

To obtain a composition for forming a film which is curable at ≤450°C, provides a film having proper uniform thickness, dielectric constant characteristics, water absorption characteristics, excellent CMP resistance and a small void size, useful as interlayer dielectrics in a semiconductor element.例文帳に追加

４５０℃以下での硬化可能であり、得られる膜が適当な均一な厚さを有し、誘電率特性、吸水性特性に優れ、ＣＭＰ耐性に優れ、かつ空隙サイズが小さく、半導体素子などにおける層間絶縁膜として有用な、膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁

To restrain thickening and gelling in the process in which glass dielectrics powder having specific surface area over 1.5m^2/g and basicity over PH8.5 is dispersed with binder resin, in manufacture of a dielectric paste for a plasma display.例文帳に追加

プラズマディスプレイ用誘電体ペーストを製造する際に、比表面積が１．５ｍ^2／ｇよりも大きく、ｐＨが８．５よりも高い塩基性を示すガラス誘電体粉をバインダ樹脂を用いて分散させる工程での増粘やゲル化を抑制する。 - 特許庁

The metal plate 102 and metal plate support columns 105 are made of dielectrics and the metal plate support columns 105 are grounded by ground wires to discharge the static electricity accumulated in a human body through a finger 109 pressing the metal plate 102 down so as to obtain its fingerprint.例文帳に追加

金属プレート１０２及び金属プレート支持柱１０５の材質は、導電体とし、金属プレート支持柱１０５をアース線で接地することにより、指紋を採取するために金属プレート１０２を押下した指１０９を介して、人体に帯電した静電気を放電させる。 - 特許庁

The dielectrics 40A and 40B, dampers 50A and 50B and the vibrating body 10 function roles of low-pass filters acoustically, the sparseness and denseness of air are generated by the displacement of the vibrating body 10, and a musical sound corresponding to the audio signal before being converted to the ternary digital signal is reproduced.例文帳に追加

誘電体４０Ａ，４０Ｂ、ダンパ５０Ａ，５０Ｂおよび振動体１０が音響的にローパスフィルタの役割を果たし、振動体１０の変位によって空気の疎密が発生し、３値のデジタル信号に変換される前のオーディオ信号に対応した楽音が再生される。 - 特許庁

The anisotropic dielectrics composed of a metal/insulating material compound in which flat-plate like metal particles are orientationally dispersed in the insulating material, and the dielectric constant in a direction parallel to the orientation direction of these flat-plate like metal particles is 1.5 times or more to the dielectric constant in the direction perpendicular to this orientation direction.例文帳に追加

平板状金属粒子を絶縁材料中に配向分散した金属／絶縁材料複合体からなる異方性誘電体であり、この平板状金属粒子の配向方向と平行な方向の誘電率は、この配向方向と垂直な方向の誘電率の１．５倍以上である。 - 特許庁

The low-k dielectric film can be then processed to form a metal interconnect structure therein and subsequently exposed to a second ultraviolet radiation pattern effective to remove the porogen material from the low-k dielectrics film and form a porous low-k dielectric film.例文帳に追加

低ｋの誘電体フィルムは、それから、そこで金属の相互接続構造を形成するために処理され、連続して、低ｋの誘電体フィルムから、ポロゲン材料を除去するのに有効な第二の紫外線照射パターンへ露光され、多孔性の低ｋの誘電体フィルムを形成する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method and a manufacturing device of a glass substrate for a plasma display panel with high productivity capable of sucking and removing dielectrics deposited in a notch running in parallel with the running direction of a dielectric sheet without stopping the manufacturing device.例文帳に追加

プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造装置を停止させることなく、また誘電体シートの走行方向と平行な方向の切り込みの間の誘電体の吸引除去も可能で生産効率の高いプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法および製造装置を提供する。 - 特許庁

The dielectrics have electrode members 24, 25 respectively arranged to be put inside; the electrode members of a plurality of plasma rector cells are connected to lead line members 261, 262; and a high voltage controlled by a power source supplying device is supplied to the electrodes through a high voltage plug 40.例文帳に追加

前記誘電体には電極部材２４，２５が挟設され、複数個のプラズマ反応器セルの電極部材はリードライン部材２６１，２６２に連結され、電源供給装置で制御される高電圧が高電圧プラグ４０を通して電極部材に供給される。 - 特許庁

To obtain a radiation-curing paste composition for baking capable of increasing the aspect ratio of a pattern to be formed and shortening the pattern-forming process and provide a structure using the same in a method for forming inorganic structures such as insulators, dielectrics and the likes by printing or transcription.例文帳に追加

印刷や転写法による絶縁体、誘電体などの無機構造体の形成方法において、形成するパターンのアスペクト比の向上、およびパターン形成工程の短縮が可能となる焼成用放射線硬化ペースト組成物とそれを用いた構造体の提供。 - 特許庁

Further, the semiconductor element forming region 120 and an adjoining region adjoining it with a dielectrics isolation region 114 therebetween are provided with a potential fixing region 130 in which the potential is fixed, to prevent changing of breakdown voltage characteristics of the horizontal semiconductor element by variation of potential of a peripheral element.例文帳に追加

また、半導体素子形成領域１２０と、誘電体分離領域１１４を介して隣接する隣接領域に電位が固定される電位固定領域１３０を設けたことにより、横形半導体素子の耐圧特性が周辺素子の電位変動によって変動することが防止される。 - 特許庁

Further, when a plurality of layers of solid dielectrics are laminated on the surface of the electrodes, the dielectric constant ε and a thickness dmm of at least one layer of the solid dielectric is made to satisfy a relation of:ε/d≥5×10^3(m^-1).例文帳に追加

また、電極表面に複数層の固体誘電体が積層されている場合、その複数層の固体誘電体のうち、少なくとも１層の固体誘電体の誘電率εと、固体誘電体の厚みｄｍｍとをε／ｄ≧５×１０^3（ｍ^-1）の関係を満たすようにする。 - 特許庁

Furthermore, as another embodiment, matching characteristics are improved by such a means in which, for example, carbon graphite, dielectrics, another magnetic material such as carbonyl iron, or an absorber constituted by a conductor pattern, is combined with the sea sand itself, or with the iron sand.例文帳に追加

また、他の実施例として、例えばカーボングラファイトや誘電体やカーボニル鉄など他の磁性体や導体パターンで構成する電波吸収体などと海砂そのものや、砂鉄を組み合わせるという手段で整合特性を改善するものである。 - 特許庁

To provide an inorganic barrier rib layer for a large size plasma display panel with no cracking in various patterns in the barrier rib or dielectrics, nor any variation in linear width or thickness of film after calcination, low dielectric constant and provided with the barrier rib with high luminance, highness in height and high aspect ratio; and to provide its method of manufacture.例文帳に追加

焼成後の隔壁や誘電体の各種パターンにひび割れがなく、かつ線幅や膜厚の変化がほとんどない、しかも低誘電率、高輝度かつ高さの高い高アスペクト比の隔壁を有した大サイズのＰＤＰ用無機隔壁層、およびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

Regarding the OVD transfer leaf which is transferred onto a base 21 of an information recording medium having a magnetic layer 22 and makes it possible to hide a magnetic part to be made invisible, a hiding layer 14 having a thin film constituted of an OVD layer 13 and dielectrics at least is provided on a substrate.例文帳に追加

磁気層２２を有してなる情報記録媒体の基体２１に転写し、磁気部分を目視できぬよう隠蔽可能とするＯＶＤ転写箔に関し、支持体に少なくともＯＶＤ層１３および誘電体からなる薄膜を有した隠蔽層１４を具備したＯＶＤ転写箔。 - 特許庁

The cubic filter includes: a pair of mutually facing superconductive films (12, 13b); and a cubic resonator (11) which consists of dielectrics and is located between the pair of superconductive films, wherein one (13b) of the pair of superconductive films is movable to the cubic resonator.例文帳に追加

立体フィルタは、互いに対向する一対の超伝導膜（１２、１３ｂ）と、誘電体で構成され前記一対の超伝導膜の間に位置する立体共振器（１１）と、を含み、前記一対の超伝導膜の一方（１３ｂ）は、前記立体共振器に対して可動である。 - 特許庁

A multiband antenna is provided in which a line of which one end is connected with a feeding point and the other end is an open end is returned in the middle to become a loop-like line, a capacitive coupling section is provided in a part of which the dielectrics are disposed, and which resonates over a plurality of frequencies.例文帳に追加

一端が給電点と接続し他端が開放端である線路を途中で折り返してループ状線路とし、その一部に誘電体を配置した容量結合部を備え、複数の周波数で共振するマルチバンドアンテナとする。 - 特許庁

A plurality of capacitors C1, C2, C3 comprising a lower electrode 15, dielectrics 16a, 16b, 16c, and an upper electrode 23, respectively, are incorporated into chips and disposed on a substrate 10, and each of dielectric films 16a, 16b, 16c of the plurality of capacitors C1, C2, C3 has a different film thickness.例文帳に追加

下部電極１５、誘電体膜１６ａ，１６ｂ，１６ｃ及び上部電極２３により構成される複数のキャパシタＣ１，Ｃ２，Ｃ３が基板１０上に１チップ化されて形成され、複数のキャパシタＣ１，Ｃ２，Ｃ３のそれぞれの誘電体膜１６ａ，１６ｂ，１６ｃの膜厚が異なっていることを含む。 - 特許庁

When the signal value becomes -1, a potential difference is generated between an electrode 31R-1 and an electrode 31R-2 and between an electrode 31L-1 and an electrode 31L-2, the dielectrics 40A and 40B are displaced in a lower direction, and the vibrating body 10 is displaced in the lower direction.例文帳に追加

信号値が−１となると、電極３１Ｒ−１と電極３１Ｒ−２の間および電極３１Ｌ−１と電極３１Ｌ−２の間に電位差が生じ、誘電体４０Ａ，４０Ｂが下方向へ変位して振動体１０も下方向へ変位する。 - 特許庁

The filter is provided with a structure multilayered by laminating constitutive layers having resin, and at least one of the constitutive layers is a layer of compound dielectric materials wherein dielectrics in which at least the projection form is a circle, a flat circle or an ellipse are distributed in the resin.例文帳に追加

樹脂を有する構成層を積層して多層化した構造を具備し、前記構成層の少なくとも１層が、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料の層であるフィルタ。 - 特許庁

A kind of compound of B, C and N including BN, GaN, Si3N4, TiC, B4C and the like, some kinds of oxides including TiO2, Al2O3, MgO and the like and some dielectrics including SrTiO3 and the like can be used for it, and diamond-like carbon(DLC) or diamond particles can be used as well.例文帳に追加

ＢＮ、ＧａＮ、Ｓｉ_3Ｎ_4、ＴｉＣ、Ｂ__4Ｃ等を含むＢ、Ｃ、Ｎの化合物の一種、ＴｉＯ_2、Ａｌ_2Ｏ_3、ＭｇＯ等を含む酸化物の数種及び、ＳｒＴｉＯ_3等を含む強誘電体の幾つかが使用でき、またダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）又はダイヤモンド粒子も使用可能である。 - 特許庁

In the cavity resonator 1, a magnetic field that is constant in a circumferential direction and an axial direction with respect to an axis of a tube 4, and directed in the axial direction, or hugging a circumference is generated with respect to the heating object such as the tube 4 of coaxially arranged dielectrics, or a fluid A housed in the tube 4.例文帳に追加

空胴共振器１内に、同軸的に配設された誘電体の円管４あるいはその円管４内に収容される流体Ａ等の被加熱物に対し、円管４の中心軸に対する円周方向と軸方向に一定で、軸方向に向かうかあるいは円周に沿う電界を発生させる。 - 特許庁

To provide a nickel-based ultrafine powder containing a decreased amount of coarse particles with the sizes exceeding 1 μm in the metal powder used for an internal electrode, in order to miniaturize a layered ceramic capacitor by thinning a dielectric into 1 μm or thinner and enhance the capacity by increasing the layered number of the dielectrics and electrodes.例文帳に追加

誘電体の厚みを１μｍ以下として積層セラミックコンデンサを小型化し誘電体と電極の積層数を増加して高容量化するため、内部電極に使用する金属粉の１μｍを超える粗大粒子量を低減する。 - 特許庁

In addition, at least one of the first insulating film 16 and the passivation film 34 is a film mainly composed of SiON, a film mainly composed of Sin, or a laminated film of these, and the interlayer dielectrics 19, 23, 27 are films of low dielectric constant.例文帳に追加

そして、前記第１の絶縁膜１６、パッシベーション膜３４の少なくとも一方はＳｉＯＮを主とする膜、若しくはＳｉＮを主とする膜、又はこれらの積層膜であり、前記層間絶縁膜１９、２３、２７は低誘電率膜である。 - 特許庁

Dielectrics 21, 22 long in axial directions of the waveguides 1, 2 are slidably inserted in the dielectric insertion holes 19, 20 of the fixed end plates 17, 18, respectively, thereby varying their lengths existing at the directional coupler 5.例文帳に追加

各固定端板１７，１８の各誘電体挿入孔１９，２０には、各導波管１，２の管軸方向に長さを有する誘電体２１，２２を、方向性結合器５側に存在する長さを可変できるようにして摺動自在に挿入して構成する。 - 特許庁

This method for manufacturing the semiconductor device includes a step of forming etching stop films 102 and 104 made of materials having a low dielectric constant at the upper part of a semiconductor substrate 101 in which a predetermined structure is formed, and a step of forming interlayer dielectrics 103 and 105.例文帳に追加

及び、ダマシン工程を用いたビアホール及びトレンチエッチング工程において窒化膜または層間絶縁膜より誘電定数が低い物質を用いてエッチング停止膜を形成することにより、キャパシタンスの増加を防止する半導体素子の製造方法を提供すること。 - 特許庁

Since the grain boundaries of the first platinum layer 81 are fed, while being difficult to continue to the grain boundary of the second platinum layer 82, a grain boundary diffusion is made hard to occur and reductant seeds are difficult to reach the oxide dielectrics film 7 via the grain boundary, even under hydrogen sintering with an aluminum wiring layer.例文帳に追加

第１白金層８１の粒界が少なく、また第２白金層８２の粒界とは連続しにくいので、粒界拡散が生じにくく、アルミ配線層１１の水素シンタを行っても還元種が粒界を介して酸化物誘電体膜７に到達しにくくなる。 - 特許庁

By the treatment method, first and second dielectrics 22 and 24 covering the first and second electrodes 21 and 23, respectively, function as a minute capacitor aggregate, thus rapidly and effectively performing surface treatment, without damaging the hole forming surface or the like.例文帳に追加

この処理方法によれば、第１電極２１及び第２電極２３にそれぞれ被覆された第１誘電体２２及び第２誘電体２４が微小コンデンサの集合体として機能するため、孔形成面等に損傷を与えることなく、迅速かつ効果的な表面処理を行なうことができる。 - 特許庁

A material of arbitrary shape can be floated in noncontact state by varying the shape of the nozzle and since the gas pressure floating mechanism is not dependent on the physical values of the material, any material, including magnetic materials, dielectrics and glass, can be floated in noncontact state using the same mechanism.例文帳に追加

また，ノズル形状を変えることにより，任意の形状の材料を非接触で浮遊させることができ，さらにガス圧による浮遊機構は材料の物性値には依存しないため，磁性材料，誘電体，ガラスなど，あらゆる材料を同一の機構で非接触で浮遊させることができる。 - 特許庁

An anode foil 2 formed with a dielectrics oxide film 16 and a cathode foil 2 formed on the surface with whiskers 18 holding carbide particles 17 are wound via a separator 6 so that a conductive polymer layer 12 consisting of a conductive polymer may be formed between the anode foil 2 and the cathode foil 4.例文帳に追加

誘電体酸化皮膜１６が形成された陽極箔２と炭化物粒子１７を保持するウィスカ１８が表面に形成された陰極箔２とがセパレータ６を介して巻回され、陽極箔２と陰極箔４との間に導電性高分子からなる導電性高分子層１２が形成されている。 - 特許庁

The plasma treatment device is provided with a vacuum container 11 in which a substrate 42 is arranged, a supporting frame body 15 which forms the upper part of the vacuum container 11 and is provided with a plurality of windows 23 composed of dielectrics, and a plurality of plasma units 31.例文帳に追加

プラズマ処理装置は、その内部に基板４２が配置された真空容器１１、真空容器１１の上部を形成し、かつ誘電体からなる複数の窓部２３を備える支持枠体１５、及び複数のプラズマユニット３１を備える。 - 特許庁

A substrate 22 is coated with a first insulation layer 23, and the top surface of the first insulation layer 23 is provided with dielectrics 24, 25 constituting an electrode of the electrostatic chuck, and the lower surface of the same an integral heater 26 including a heating element 26a which is spirally arranged.例文帳に追加

基材２２を第１の絶縁層２３で被覆し、この第１の絶縁層２３の上面には静電チャックの電極を構成する導電体２４、２５を設けるとともに、下面には、発熱体２６ａを渦巻状に配したヒータ２６を一体に設ける。 - 特許庁