「Lift Pin」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

PIN OUTPUT DEVICE DRIVEN INSIDE LIFT PIN例文帳に追加

昇降ピン内側にて駆動されるピン出力装置 - 特許庁

LIFT PIN BRAKING MECHANISM OF PIN OUTPUT DEVICE例文帳に追加

ピン出力装置の昇降ピン制動機構 - 特許庁

To provide a lift pin, a device for processing a substrate having the lift pin and a method of processing a substrate using the lift pin.例文帳に追加

本発明はリフトピン、それを具備する基板処理装置及びそれを用いた基板処理方法を提供する。 - 特許庁

LIFT PIN FOR THIN-FILM GROWING DEVICE, ITS FORMATION METHOD AND LIFT PIN TOP例文帳に追加

薄膜成長装置用のリフトピン、その形成方法およびリフトピン頭部 - 特許庁

SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS WITH LIFT PIN STRUCTURE例文帳に追加

リフトピン構造を有する半導体処理装置 - 特許庁

MOUNTING PIN OF MAST CHAIN IN FORK LIFT例文帳に追加

フォークリフトにおけるマストチェーンの取付ピン - 特許庁

LIFT PIN MECHANISM, HEAT TREATMENT EQUIPMENT, AND REDUCED PRESSURE DRYING EQUIPMENT例文帳に追加

リフトピン機構、加熱処理装置、減圧乾燥装置 - 特許庁

The top surface of the lift pin is shaped so that the top surface of the lift pin may lift up the protection tape of the notch.例文帳に追加

そして、該リフトピンの上面形状は、該リフトピンの上面が該ノッチにおける該保護テープを持ち上げることができる形状である。 - 特許庁

A lift pin 29a of the lift frame is fitted into a cam groove 65 of the driven slider 52.例文帳に追加

従動スライダ５２のカム溝６５には、昇降フレームの昇降ピン２９ａが嵌合する。 - 特許庁

A lift pin 10 comprises a cylindrical pin body 13 and a pin tip piece 14, placed on the tip of the pin body 13.例文帳に追加

円柱状のピン本体１３と、このピン本体１３の先端に載せられたピン先端片１４とからリフトピン１０を構成した。 - 特許庁

A wafer lift is constituted of wafer supports 1a, wafer support ring 1b, standby lift pins 2, and a standby lift pin support ring 3.例文帳に追加

ウエハリフトはウエハ支柱１ａとウエハ支柱リング１ｂと予備リフトピン２と予備リフトピン支持リング３で構成される。 - 特許庁

The base 2 has a cooling water channel 20 and a lift pin 21.例文帳に追加

ベース２には、冷却水路２０やリフトピン２１が設けられている。 - 特許庁

String-like elastic bodies (1 in Fig.1) are arranged on both the sides of the lift pin approximately vertically relative to the axis of the lift pin, and pressure units (2, 3 in Fig.1) are arranged in the vicinity of four corners of the periphery of the lift pin while facing the outsides of the string-like elastic bodies arranged on both the sides of the lift pin.例文帳に追加

昇降ピンの軸に対して略垂直に、該昇降ピンの両側に紐状弾性体（図１の１）を配置し、前記両側の紐状弾性体の外側に面して、前記昇降ピンの周囲４隅付近に圧迫子（図１の２及び３）を配置する。 - 特許庁

LIFT PIN UNIT AND XY STAGE DEVICE HAVING SAME例文帳に追加

リフトピンユニット及びそれを具備したＸＹステージ装置 - 特許庁

The height of the lift pin increases gradually from the outer edge toward the central part.例文帳に追加

リフトピンの高さが、外縁部から中央部に向かって徐々に高くなる。 - 特許庁

The pin 1 has a hole through which a fitting pin 21 belonging to the lift 20 penetrates, and the pin 21 is fixed to the heel body 10 with the lift 20.例文帳に追加

サンドピン１には、足つきリフト２０が有する取付ピン２１が貫通する穴を設けておき、それを足つきリフト２０によってヒール本体１０に固着する。 - 特許庁

The swing guide mechanism comprises a lift guide groove 54 of the driving slider, and a lift pin 93 of the panel support stay.例文帳に追加

スイングガイド機構は、駆動スライダのリフトガイド溝５４と、パネル支持ステーのリフトピン９３とからなる。 - 特許庁

Between a heel body 10 and a lift with a stem (top lift) 20, a brass sandwiched pin 1 exposed to the circumferential surface of the heel is provided.例文帳に追加

ヒール本体１０と足つきリフト（トップリフト）２０との間に、ヒールの周面に露出させて真鍮製のサンドピン１を設ける。 - 特許庁

To provide a method and a device for supporting a substrate, wherein the angle of a lift pin is restricted for controlling the direction of the lift pin, and/or the lift pin is prevented from being unintentionally combined with a susceptor as the susceptor is raised to prevent the resulting uneven support of the substrate.例文帳に追加

リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。 - 特許庁

In the substrate processing apparatus 400 and the method of cleaning the substrate processing chamber 410, the lift pin 440 is made to go down without a substrate 10s; and fluorine radical is generated inside of the substrate processing chamber 410 in a state that the hole 433 for inserting the lift pin is sealed with a head 443 of the lift pin 440.例文帳に追加

基板処理装置４００および基板処理室４１０のクリーニング方法では、基板１０ｓが無い状態でリフトピン４４０を下降させ、リフトピン挿通用穴部４３３をリフトピン４４０の頭部４４３によって塞いだ状態で、基板処理室４１０の内部にフッ素ラジカルを発生させる。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for supporting a substrate, which in order to control the vertical direction of a lift pin, restrict the angle of the lift pin and/or prevent the lift pin from being unconsciously combined with a susceptor as the susceptor is raised and prevent the generation of an uneven support caused by a substrate.例文帳に追加

リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。 - 特許庁

The pin member 6 has a bar shape part 6d and is fixed to the lift bracket 5.例文帳に追加

ピン部材６は、棒状部６ｄを備え、リフトブラケット５に固定される。 - 特許庁

Prebaking is performed by adjusting a temperature distribution of the glass substrate by the height of a lift pin.例文帳に追加

ガラス基板５０の温度分布をリフトピン２３の高さにより調整しプリベークすること。 - 特許庁

The lift pin brake mechanism includes a leaf spring and a pressing actuator.例文帳に追加

昇降ピン制動機構を、板ばねと、押圧アクチュエータから構成されるものとする。 - 特許庁

The end of the fiber facing the backside of the wafer is coincident with the end of the hollow lift pin.例文帳に追加

ウェーハ裏面に面するこのファイバの端部は、中空のリフトピンの端部と符合する。 - 特許庁

The end of the fiber facing the wafer backside coincides with the end of the hollow wafer lift pin.例文帳に追加

ウェーハ裏面に面するこのファイバの端部は、中空のリフトピンの端部と符合する。 - 特許庁

To provide a substrate treatment device which is equipped with a lift pin 40 that has improved in following properties when a temperature changes.例文帳に追加

温度変化の際のリフトピンの追随性を良好にした基板処理装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a positioning device capable of performing the centering of a lift type locating pin.例文帳に追加

昇降式ロケートピンの心出しを行える位置決め装置を提供する。 - 特許庁

A lift pin 3 supports the substrate 1 on a stage 2 and can make it ascend and descend.例文帳に追加

リフトピン３は、ステージ２上で基板１を支持して上昇および下降させることが可能である。 - 特許庁

The lift pin should favorably be embodied in a double structure consisting of an outer pin and a longer inner pin fitted at the tip with a rotor, wherein the rotor goes out of the outer pin when the inner pin is elevated and the rotor intrudes into the outer pin when the inner pin is sunk.例文帳に追加

リフトピンとして、外側ピンとそれより長くて先端に回転体を組み込んだ内側ピンの二重構造で、内側ピンを上昇させると回転体が外側ピンから出て、内側ピンを下降させると回転体が外側ピンの中に入るような構造のものを使用することが好ましい。 - 特許庁

That is, during dropping the lift pin 201, the board 108 is butted by the stopper pin 204 for positioning.例文帳に追加

すなわち、リフトピン２０１の下降中に、基板１０８は、ストッパピン２０４により当て止めされ、位置決めが行われる。 - 特許庁

To provide a lift pin mechanism capable of preventing a movable pin from coming into contact with the same position of a member to be treated by a simple structure.例文帳に追加

処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触することを簡単な構造で防止することができるリフトピン機構を提供する。 - 特許庁

Further, a time of contact between the substrate 20 and second lift pin 110b is relatively short, so a pin trace hardly appears on the substrate 20.例文帳に追加

また、基板２０と第２リフトピン１１０ｂとの接触時間は比較的短いため、基板２０にピン跡が出にくい。 - 特許庁

When valve opening increases, lift of the valve element 34 increases since the pin 43 moves in the oval hole 42 and separates from the pin 37.例文帳に追加

弁開度が大きくなると、ピン４３が長穴４２内を移動してピン３７から離れるので弁体３４のリフト量が大きくなる。 - 特許庁

A lift pin (substrate retaining pin) 266 is erected at an engagement hole 262 corresponding to the through hole 217a of the pin arm 282, and the mounting section 285 of the pin arm 282 is mounted to the bottom surface 212 of the lower vessel 211.例文帳に追加

リフトピン（基板保持ピン）２６６は、ピンアーム２８２の貫通孔２１７ａと対応する係合孔２６２に立設され、ピンアーム２８２の取付部２８５は、下側容器２１１の底面２１２へ取り付けられる。 - 特許庁

The wafer lift 106 includes a lift hoop 110 having keys, a lift pin that is essentially at a right angle to the hoop, and a bellows shaft 108 having keys.例文帳に追加

ウェハリフト１０６は、キー付きリフトフープ１１０、このフープに実質的に直角に方向付けされているリフトピン、及びキー付きベローズシャフト１０８を含む。 - 特許庁

The lift chain mounting structure 1 where the lift chain 3 having an annular part 4 at the end part is mounted to a lift bracket 5, has a pin member 6, a pulling-out preventive part 7 and a mounting means 8.例文帳に追加

リフトチェーン装着構造１は、端部に環状部４を有するリフトチェーン３を、リフトブラケット５に対して装着するもので、ピン部材６、抜け止め部７及び取り付け手段８を有する。 - 特許庁

This device includes a vertically aligned lift pin having a friction plate which maintains the vertical direction of the lift pin, while lifting the substrate and/or a bearing surface which is engaged with a magnetic field.例文帳に追加

基板を持ち上げる間、リフトピンの垂直の向きを維持する摩擦プレート及び/又は磁界と係合する軸受面を有する垂直に整列したリフトピンを含んでいる。 - 特許庁

Consequently, a base plate 182 and a lift pin 184 are raised too, and the substrate G is pushed up by the lift pin 184 above the carrying path 108.例文帳に追加

そうすると、ベース板１８２およびリフトピン１８４も上昇して、リフトピン１８４が下から突き上げるようにして基板Ｇを搬送路１０８の上方へ持ち上げる。 - 特許庁

Horizontal cross-section of the lift pin head part has diameter decreasing gradually for the susceptor toward the shaft part, and the outer circumferential curved surface part 42c of the lift pin head part is formed to project outward.例文帳に追加

リフトピン頭部は、軸部に向かってサセプタに対し水平方向の断面直径が漸次小さくなるとともに当該リフトピン頭部の曲面状外周面部４２ｃが外方に向かって凸の曲面状に形成されている。 - 特許庁

A transfer control unit 13 that controls the lift pin 12 transfers the substrate W to the lift pin 12 after the carrier robot 30 begins an action to carry the substrate to the pertinent process chamber 10.例文帳に追加

リフトピン１２を制御する移載制御部１３は、搬送ロボット３０が該当プロセスチャンバ１０への基板の搬送動作を開始した後に、リフトピン１２へ基板Ｗを移載させる。 - 特許庁

One pressure unit (2 in Fig.1) is fixed on a lift pin holding plate A and the other pressure unit (3 in Fig.1) is fixed on a lift pin holding plate B.例文帳に追加

一方の圧迫子（図１の２）は昇降ピン保持板Ａに固定されており、もう一方の圧迫子（図１の３）は昇降ピン保持板Ｂに固定されている。 - 特許庁

To provide a lift pin holding mechanism for elastically holding an axial direction position of the lift pin, capable of achieving stable retracting movement against touch pressure.例文帳に追加

昇降ピンの軸方向位置を、弾力性を伴って保持しうる昇降ピン保持機構について、触知圧力に対して安定した出没動を実現しうる昇降ピン保持機構を提供する。 - 特許庁

An eccentric pin 20 is provided to pass through the fixed bearing 13 and the lift bearing 14, and the lift bearing 14 is lifted up and down by rotating the eccentric pin 20, and the rotating table 12 is lifted up and down in relation to the base 11.例文帳に追加

固定軸受１３と昇降軸受１４を貫通して偏心ピン２０が設けられ、偏心ピン２０を回転することにより昇降軸受１４が昇降し、ベース１１に対して回転テーブル１２が昇降する。 - 特許庁

To prevent air from leaking from a through hole for lift pin opened to the atmosphere to the wafer suction area even the through hole is enlarge for horizontally moving a lift pin.例文帳に追加

リフトピンが水平方向に移動するため貫通穴が大きい場合であっても、大気開放しているリフトピン用の貫通穴からウエハ吸着領域への空気漏れを防ぐことができる。 - 特許庁