「Lift Pin」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

The semiconductor device substrate 1 is lifted from a stage 3 once by a lift pin 5 in the semiconductor device substrate 1 in destaticizing treatment, and a helium gas 6 as an inert gas is made to flow for several seconds while being exhausted.例文帳に追加

除電処理にて、半導体装置基板１を、リフトピン５にて、一旦、半導体装置基板１をステージ３から上昇させ、そこに不活性ガスであるヘリウムガス６を排気しながら数秒流す。 - 特許庁

In this condition, the cleaning vehicle is transported and even if the vehicle starts at a high speed during the transportation, it can run stably without being influenced by the inertia of the dust sweeping-up unit 50 and conveyor lift frame 30, as the conveyor lift frame 30 has been united together with the hopper 6 by the engagement of the rock arm 112 with the rock pin 111.例文帳に追加

この状態で清掃車は回送され、回送途中で急発進が行なわれても，コンベアリフトフレーム３０がロックアーム１１２とロックピン１１１の係合によりホッパ６と一体で揺動しないので、車両がごみ掃き上げユニット５０、コンベアリフトフレーム３０の慣性で振られることがなく、安定して走行できる。 - 特許庁

When lift is changed periodically and each blade is excited by the wake flow and positive pressure distribution of a vane arranged at the upstream of a turbine rotor, attenuation effect by allowing the pin to slide into the pin engagement hole provided at the tip shroud can be obtained since the pin is retained between respective tip shrouds being divided each other with backlash, thus avoiding the excitation of the blade.例文帳に追加

タービンロータの上流に配置されたベーンの後流及び正圧分布により周期的に揚力が変化して各ブレードが励振しようとする場合に、互いに分割された各ティップシュラウド間にピンががたをもって保持されていることから、ティップシュラウドに設けたピン係合孔にピンが摺接することによる減衰効果が得られるため、ブレードの励振を抑制し得る。 - 特許庁

The shielding plate 100 includes a round opening 100a, which allows the lift pin 62 to penetrate for raising/lowering, and a square opening 100b for avoiding the internal roller transport path 38B from interfering with a roller 42B.例文帳に追加

この遮蔽板１００は、リフトピン６２を昇降可能に貫通させるための円形の開口１００ａと、内部コロ搬送路３８Ｂのコロ４２Ｂとの干渉を避けるための矩形の開口１００ｂとを有している。 - 特許庁

When it is changed to the small-lift region of one valve, that is, when a switching pin is inserted, it is judged whether a combustion state of the engine is normal or not based on the concentration of NOx (step 106).例文帳に追加

片弁小リフト領域に変化した場合に、つまり、切換ピンの挿入が実行された場合に、ＮＯｘ濃度に基づいて機関の燃焼状態が正常であるか否かを判別する（ステップ１０６）。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an epitaxial wafer without generating irregularity on an epitaxial layer at a position facing a lift pin even when an output ratio of upper and lower lamps is changed or depositing silicon on the back face of a silicon wafer.例文帳に追加

上側及び下側ランプの出力比を変量しても、リフトピンに対向する位置のエピタキシャル層に凹凸を発生させず、シリコンウェーハ裏面にシリコンを堆積させないエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an epitaxial wafer that prevents the epitaxial wafer from decreasing in flatness owing to presence of a lift pin while reducing strain of a reverse surface of the epitaxial wafer due to sticking between the wafer and a susceptor.例文帳に追加

ウェーハとサセプタとの間のスティッキングによるエピタキシャルウェーハの裏面の歪みを低減しながら、リフトピンの存在によるエピタキシャルウェーハの平坦度の低下を防止するようなエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。 - 特許庁

After plasma processing on the wafer is completed, application of opposite-polarity voltages, demagnetizing plasma processing, and application of a demagnetizing voltage are carried out in order, and then a lift pin is placed in operation to separate the wafer from the electrostatic chuck 20.例文帳に追加

ウエハに対しプラズマ処理が終了した後、逆極性電圧の印加、除電プラズマ処理、除電電圧の印加を順次行い、その後リフトピンを作動させてウエハを静電チャック２０から脱離する。 - 特許庁

Thereby, any positioning pin or the like for holding the belt conveyer 16 at the running position and the working position is allowed not to be necessary, without performing the removal and insertion operation such as the positioning pin or the like, the belt conveyer 16 can be easily held at the running position and the working position only by expanding and contracting the lift cylinder 31.例文帳に追加

これにより、ベルトコンベヤ１６を走行位置、作業位置に保持するための位置決めピン等を不要にすることができ、位置決めピン等の抜差し作業を行なうことなく、昇降シリンダ３１を伸縮させるだけで、ベルトコンベヤ１６を走行位置と作業位置とに容易に保持することができる。 - 特許庁

Since a tip of the engaging pin 132a axially moves a slider 128, rotation phase difference between an input part 122 and an oscillation cams 124, 126 is changed to adjust a valve lift amount of an intake valve.例文帳に追加

更に係合ピン１３２ａの先端がスライダ１２８を軸方向に移動させるので入力部１２２と揺動カム１２４，１２６との間の回転位相差が変更されて吸気バルブのバルブリフト量を調節することができる。 - 特許庁

The locking member 61 is advanced in the case other than the moving of the lift pin, an engaging part 61a in a tip is thereby engaged with an engaged block 65 provided in an opposed position, and a locked condition is attained thereby to enhance the rigidity of the holder main body.例文帳に追加

そして、リフトピンの移動時以外は、ロック部材６１を進出させて先端の係合部６１ａを対向位置に設けられた係合ブロック６５と係合させてロック状態としてホルダ本体の剛性を向上させる。 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus that prevents a lift pin from breaking even when a substrate elevation member is moved to an upper position with a top plate lowered in a state wherein elevation operation of the substrate elevation member is not restricted.例文帳に追加

基板昇降部材の昇降動作が規制されていないときに、トッププレートが下降した状態で基板昇降部材を上方の位置に上昇させても、リフトピンが破損することを防止できる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a liquid processing apparatus and a liquid processing method that can prevent a processing liquid from being left on a lift pin after drying a substrate, and thereby can prevent the processing liquid from being attached to the rear surface of the substrate after the liquid processing.例文帳に追加

基板の乾燥後にリフトピンに処理液が残ることを防止し、このことにより液処理後の基板の裏面に処理液が付着することを防止することができる液処理装置および液処理方法を提供する。 - 特許庁

To detect sticking of a substrate in a reaction chamber for processing the substrate placed on a surface of a holding body for processing which includes a lift pin for elevating the substrate from the surface of the holding body for processing.例文帳に追加

処理用支持体であって、該処理用支持体の表面から基板を昇降させるためのリフトピンを含む処理用支持体の表面上に置かれた基板を加工する反応チャンバにおいて、基板の貼り付きの発生を検出する。 - 特許庁

When a measurement value rises to a value where static electricity is likely to generate at the time of peeling the substrate, a controller 11 controls the ion supply amount of the ionizer main bodies 6 and 7 and rise speed of the lift pin 3.例文帳に追加

基板剥離時に、静電気が発生しそうな値まで測定値が上昇した場合、制御装置１１は、イオナイザ本体６および７のイオン供給量を調節する、リフトピン３の上昇速度を調節する等の制御を行う。 - 特許庁

In a plasma etching device 101, a ring body 102 having the high conduction rate higher than that of a material constituting a lower electrode 6 is arranged at a peripheral edge of the through-hole 10 into which the lift pin 11 formed in the lower electrode 6 is inserted.例文帳に追加

本発明のプラズマエッチング装置１０１は、下部電極６に設けられたリフトピン１１を挿通させる挿通孔１０の周縁に、下部電極６を構成する材料よりも高い導電率を有するリング体１０２を配設した。 - 特許庁

To provide a method of cleaning a manufacturing apparatus of an electro-optic device surely removing deposits adhered to a lift pin and the inside of a through-hole after film-deposition and deposits generated during cleaning after film-deposition.例文帳に追加

成膜処理後、確実にリフトピン及び貫通孔内に付着した成膜処理後の堆積物やクリーニングの際に発生する堆積物等を除去することができる電気光学装置の製造装置のクリーニング方法を提供する。 - 特許庁

The susceptor has a through-hole at a periphery of the through-hole for lift pin insertion, and the vapor-phase epitaxy is carried out by placing the semiconductor wafer on the susceptor after the reverse principal surface of the semiconductor wafer with a hydrogen-fluoride-based solution.例文帳に追加

前記サセプタは、上記リフトピン挿通用貫通孔の周囲に貫通孔を有し、前記気相成長を、前記半導体ウェーハの主裏面を弗酸系溶液により洗浄した後、該半導体ウェーハを前記サセプタ上に載置して行う。 - 特許庁

The electric steering lock device is provided with a worm wheel 30 for transmitting drive force of the electric motor, a rotating shaft 40 fixed on the worm wheel 30 through an engaging pin 44, and a lift member 50 linked to a lock bar.例文帳に追加

電動ステアリングロック装置は、電動モータの駆動力を伝達するウォームホイール３０と、ウォームホイール３０に係脱ピン４４を介して固定された回転シャフト４０と、ロックバーに連結されたリフト部材５０とを備えている。 - 特許庁

After the head 22 of the lift 20 has worn out, the pin 1 is exposed instead to form the grounding face of the heel to prevent the heel body 10 and a heel cover surrounding it from being damaged.例文帳に追加

足つきリフト２０の頭部２２がすり減り消失した後には、それに代わりサンドピン１が露出して、ヒールの接地面を形成することにより、ヒール本体１０や、その周囲を被うヒール巻きが損傷することを防止することができる。 - 特許庁

To provide an opening device and closing device for a folding door wherein a lock bar fitting in a guide groove of an upper frame and a pin attached to the upper frame to lift a weight and turn an airtight material are attached to a panel joint upper end of the folding door and only the pin turning the airtight material moves so that it does not protrude farther than the lock bar.例文帳に追加

折畳み式扉のパネル継手上端に上枠のガイド溝に嵌るロック棒と上枠に取付けられて重りを押上げると共に気密材を回動するピンを取付けた開閉装置であって、気密材を回動するピンだけがロック棒より突出しないように連動する折畳み式扉の開閉装置の提供。 - 特許庁

The lift pin 266 projects from the through hole 217a as a susceptor (substrate placement stand) 217 goes lower, and retains a wafer (substrate) 200; and draws back from the through hole 217a as the susceptor 217 goes up and places the wafer 200 on the susceptor 217.例文帳に追加

リフトピン２６６は、サセプタ（基板載置台）２１７の下降にともなって貫通孔２１７ａから突き出してウェハ（基板）２００を保持し、サセプタ２１７の上昇にともなって貫通孔２１７ａから引っ込んでウェハ２００をサセプタ２１７に載置する。 - 特許庁

Because positions of the movable pins 110, 120 supporting the processing object member GB is suitably changed by rotation of the rotation rods 111, 121, the lift pin mechanism 100 can effectively prevent a poor processing caused by the support of the movable pins 110, 120.例文帳に追加

リフトピン機構１００は、回転ロッド１１１，１２１の回動により処理対象部材ＧＢを支持する可動ピン１１０，１２０の位置が適宜変位するので、可動ピン１１０，１２０の支持に起因した処理不良を良好に防止できる。 - 特許庁

The variable lift actuator 100 is provided with a locking pin 113 which protrudes into a second hydraulic chamber 107 by an applied force from the locking spring 116 in case of low hydraulic pressure, and protrudes in engagement with a piston 104 and regulates movements of the piston 104.例文帳に追加

リフト量可変アクチュエータ１００には低油圧時にロック用スプリング１１６の付勢力によって第２油圧室１０７内に突出してピストン１０４に係合して突出してピストン１０４の移動を規制するロックピン１１３を設けている。 - 特許庁

Further, the substrate processing apparatus controls the movements of a lift pin lifting mechanism and the nozzle lifting mechanism so as to arrange the substrate 90 at the delivery height position L2 while the slit nozzle 41 moving toward an evacuating position after a coating processing is above the substrate 90.例文帳に追加

また、基板処理装置は、塗布処理後に退避位置へ向けて移動するスリットノズル４１が基板９０の上方にある間に、基板９０を搬送高さ位置Ｌ２に配置するよう、リフトピン昇降機構およびノズル昇降機構の動作を制御する。 - 特許庁

A plenum provided between surface of the chuck and the surface of the heat transfer body separated from the surface of the chuck is filled with a heat transfer gas which is made to pass through a gas passage, such as the lift pin hole of the chuck for cooling the back face of a substrate supported on the chuck.例文帳に追加

チャック体の面と該面から離隔された熱伝達体の面との間のプレナムは、ヘリウムなどの熱伝達ガスで充填され、熱伝達ガスは、チャック体上に支持された基板の背面冷却のためにチャック体のリフト・ピン・ホールなどのガス通路を通過する。 - 特許庁

A hanger for carrying a concrete block integrally includes a two block attitude control mechanism and a taper pin with a passive lock with which the hanger can stably lift and carry two concrete blocks at one time in a delivery form, and set down the two blocks at one time.例文帳に追加

前記コンクリートブロック移動吊具であって、２ブロックを同時に搬送形態のまま安定吊り上げ移動し、これを２ブロック同時に吊戻し設置可能とする２ブロック姿勢制限機構および受動ロック付きテーパーピンを一体装備したコンクリートブロック移動吊具。 - 特許庁

A hanger for carrying a concrete block integrally includes a two block attitude control mechanism and a taper pin with a lock-bar fixing groove with which the hanger can stably lift and carry two concrete blocks at one time in a delivery form, and set down the two blocks at one time.例文帳に追加

前記コンクリートブロック移動吊具であって、２ブロックを搬送形態のまま安定吊り上げ移動し、これを２ブロック同時に吊戻し設置可能とする２ブロック姿勢制限機構およびロックバー固定溝付きテーパーピンを一体装備したコンクリートブロック移動吊具。 - 特許庁

To provide a semiconductor substrate processing device that prevents a processing defect of a semiconductor device by speedily grasping abnormality of an operation state of a lift pin and is surely improved in yield of products by greatly reducing manufacture loss of the semiconductor device.例文帳に追加

リフトピンの動作状況の異常を迅速に把握して半導体装置の加工不良を未然に防ぐことができ、半導体装置の製造ロスを大幅に軽減して製品の歩留まりを確実に向上することができる半導体基板処理装置を提供する。 - 特許庁

This bag unloader comprises a tray carrying device 7 to carry the tray 1 forward to be positioned, a bag takeout device 10 of a pin lift type installed under a tray carrying passage, and a bag receiving conveyor 11 installed ahead of it above the tray carrying passage.例文帳に追加

トレイ１を前方に搬送し位置決めするトレイ搬送装置７と、トレイの搬送経路の下方に設置されたピンリフト式の袋取り出し装置１０と、その前方側においてトレイの搬送経路の上方に設置された袋受取りコンベア１１からなる。 - 特許庁

The lift pin 3 composed of a semi conductive ceramics for supporting a wafer used in a semiconductor manufacturing device or the like comprises a tip end 5 which contacts with the wafer, a connecting part 6 composed of metal with its diameter larger than that of the rear end face of the tip end 5, and a screw shaped rear end 7 composed of a metal.例文帳に追加

半導体製造装置等に用いられ、ウェハを支持するリフトピン３であって、半導電性セラミックスからなり、ウェハと接触する先端部５と、金属からなり上記先端部５の後端面より径が大きい接続部６と、金属からなりネジ形状をなす後端部７とからなる。 - 特許庁

To provide a lift pin mechanism capable of smoothly moving a processing object member to an external standby position and an internal processing position without trouble using a comb-like object support member, despite a structure of supporting the processing object member using movable pins on both ends of a plurality of rotatable rotation rods.例文帳に追加

回転自在な複数の回転ロッドの両端の可動ピンで処理対象部材を支持する構造でありながら、櫛歯状の対象支持部材で処理対象部材を外部待機位置と内部処理位置とに円滑に支障なく移動させることができるリフトピン機構を提供する。 - 特許庁

The lower part of the slider 33 abuts to the head part 37 of an adjusting screw 36 adjustably installed in the support projection part 35 arranged on the lower lift arm 21, and when the adjusting screw 36 is vertically moved, the slider 33 moves to also move the engaging pin 30 integrally formed with this.例文帳に追加

スライダ３３の下部は、その下方のリフトアーム２１に設けられた支持突部３５へ調節自在に取付けられている調節ネジ３６の頭部３７に当接し、調節ネジ３６を上下させるとスライダ３３が移動し、これと一体の係合ピン３０も上下する。 - 特許庁

In the rising assistant mechanism of the seat lifter, turning of a lift member turnably supported on a base through the hollow pin 10, turnably connected to the seat support member and supporting the seat support member is assisted by counter twisting force of a torsion bar 50 generated by twisting a projection end 55 projected from an opening 15 of the hollow pin 10 and engaging its distal end with the base.例文帳に追加

中空ピン１０を介してベースに回動可能に支持され且つシート支持部材に回動可能に連結されて該シート支持部材を支持するリフト部材の回動を、中空ピン１０内に設けられ且つ中空ピン１０の開口１５から突出する突出端部５５を捻ってその先端をベースに係止することで生ずるトーションバー５０の反捻り力でアシストするシートリフタの上昇アシスト機構。 - 特許庁

A lock pin fixing the elevating mechanism 3a with a lift cylinder is arranged on the rear frame 2, and a stopper locking the elevating mechanism 3b with a lift cylinder and the rear part supporting mechanism 7 in vehicular width direction to hold is arranged on a lift arm 10 of the rear part supporting mechanism 7.例文帳に追加

車体１の後方のリヤフレーム２の前後部にリフトシリンダ付き昇降機構３ａ、３ｂを介してサブフレーム４を水平昇降するようにし、サブフレーム４にコンテナ５を着脱自在として搭載可能とした搭載着脱機構６を備えると共に、リフトシリンダ付き昇降機構によるサブフレームの上昇配置時にサブフレームの後部を支持する後部支持機構７を備えたものとし、さらに前部のリフトシリンダ付き昇降機構を固定するロックピン８をリヤフレームに配設し、後部のリフトシリンダ付き昇降機構及び後部支持機構を車両横方向に拘束して保持するストッパ９を、後部支持機構のリフトアーム１０に配設したものとした。 - 特許庁

The elastic member influenced by a process gas is disposed outside the flat plate display element manufacturing device to be prevented from corroding, and further not coated with an anticorrosive film to save the cost, and the lift pin and elastic member are placed in individual spaces to be prevented from being rubbed against each other.例文帳に追加

本発明によれば、工程ガスに影響される弾性部材を平板表示素子製造装置の外部に位置させて腐食を防止し、さらに腐蝕防止用皮膜を弾性部材に塗りつけないので、費用を節減し、リフトピンと弾性部材とを個別の空間に備えて相互摩擦することを防止する効果がある。 - 特許庁

The transportation apparatus for transporting a substrate W1 to the aligner includes a first lift pin 11 for moving the substrate W1 in contact with a temperature adjuster 2 away from the adjuster 2, and a first probe 21 for measuring the amount of static charges on the substrate W1 from a side of the substrate W1 in contact with the adjuster 2.例文帳に追加

露光装置に基板Ｗ１を搬送する搬送装置は、温度調節部２に接する基板Ｗ１を、この温度調節部２から離間するように移動する第１リフトピン１１と、基板Ｗ１の温度調節部２との接面側から基板Ｗ１に帯電した電荷を計測する第１プローブ２１とを備えている。 - 特許庁

The guide device 72 is constituted of a pair of leaf springs 72a and 72b piled up and disposed so as to be continued in the vertical direction, and the leaf springs 72a and 72b are formed by an elastically deformable material and thickness for a stroke amount of the lift pin 77 to move between a sinking position and a projecting position.例文帳に追加

ガイド装置７２は、上下方向に連なるように重ねて配置された一対の板ばね７２ａ、７２ｂから構成されており、これら板ばね７２ａ、７２ｂはリフトピン７７が没入位置と突出位置との間を移動するストローク量が弾性変形可能な材料、厚さで形成されている。 - 特許庁

The lift pin includes: a load member which moves up and down along a passage formed through a chuck for stably settling an object to be processed using a reaction gas; and a head portion provided on the top end of the load member to make contact with the object and shut off the passage to block off the reaction gas from flowing into the passage.例文帳に追加

リフトピンは反応ガスを用いて加工される対象体が安置されるチャックに形成される通路に沿って昇降するロード部、及び前記ロード部の上端に形成され前記対象体と接触し前記通路内部に前記反応ガスの流入を遮断するように前記通路を遮蔽するヘッド部を含む。 - 特許庁

A hanger for carrying a concrete block integrally includes a block attitude control mechanism and a rotatable taper pin with a passive lock with which the hanger can stably lift and carry a concrete block in a delivery form, and can easily change the form of the hanged concrete block into a placement form at a placement position or in the vicinity of the placement position to set down the concrete block.例文帳に追加

前記コンクリートブロック移動吊具であって、当ブロックを搬送形態のまま安定吊り上げ移動し、設置場所もしくは、設置場所近くに於いて設置形態に容易に転じ、これを吊戻し設置可能とするブロック姿勢制限機構および受動ロック付き回転可能テーパピンを一体装備したコンクリートブロック移動吊具。 - 特許庁

When the pin 61 is located at the longitudinal end of the helical portion 62b of the groove 62 with the axial displacement of the slider 26, the maximum lift amount of an intake valve corresponding to the output arm 18b and the operating angle of an intake cam for driving the valve become zero to halt the opening/closing operation of the intake valve corresponding to the output arm 18b.例文帳に追加

そして、スライダ２６の軸方向変位を通じてピン６１が溝６２のヘリカル部６２ｂの長手方向端部に位置したとき、出力アーム１８ｂに対応する吸気バルブの最大リフト量、及び同バルブを駆動する吸気カムの作用角が「０」となり、出力アーム１８ｂに対応する吸気バルブの開閉動作が休止される。 - 特許庁

In a side lift storage mode, since a locking pin 17a of a stopper member 17 is inserted into a locking hole 23a of an action lever 23 to disable a turning operation of an operation lever 18, the lever 18 is not turned even if the lever 18 is touched when a seat cushion 2 is returned to the original use position from the side left storage position.例文帳に追加

横跳ね収納状態では、ストッパ部材１７の係止ピン１７ａが、アクションレバー２３の係止孔２３ａ内に挿入して、操作レバー１８の回動操作を不能にするため、シートクッション２を横跳ね収納状態から元の使用状態に戻す際に、誤って操作レバー１８に触れても、操作レバー１８が回転しない。 - 特許庁

Also, in the attracted-object separating method from the electrostatic chuck, there is adopted the method performing a first attracted-object lifting process for lifting once the wafer 10 by raising the electrostatically attracting electrode 11a, and performing thereafter a second attracted-object lifting process for lifting further the wafer 10 by raising the remaining electrode 11b or a lift pin 13.例文帳に追加

また、静電チャックにおける被吸着物離脱方法においては、各静電吸着電極１１ａを上昇させてウエハ１０を一旦持ち上げる第１の被吸着物上昇工程の後、残りの静電吸着電極１１ｂ，１１ａまたはリフトピン１３でウエハ１０をさらに持ち上げる第２の被吸着物上昇工程を行う方法を採用した。 - 特許庁

To provide a mechanism for placing a workpiece that can surely prevent a reaction product of a film-forming gas from depositing on the reverse surface of workpiece to thereby enable a lift pin to move always smoothly and can be realized by a simple mechanism at low cost.例文帳に追加

貫通孔２Ｅの内径がリフタピン２Ｂの外径より大きく設定され、両者２Ａ、２Ｃ間大きな隙間があるため、成膜処理時に成膜用ガスがサセプタ２Ａの下面からリフタピン２Ｂと貫通孔２Ｅ間の隙間を通ってウエハＷの裏面に達し、ウエハＷの裏面や貫通孔２Ｅの内周面に成膜用ガスの反応生成物等が堆積し、この堆積物がパーティクルの発生源になったり、リフタピンの動作不良の原因になる。 - 特許庁