「Lift Pin」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

In a head cover 1 having a rocker arm valve 2, high lift rocker arm 3, low lift rocker arm 4, cams 5, 6, switch pin 7 and control rod 8, a through-hole 9 for inspection is made directly above the switch pin 7.例文帳に追加

ロッカーアームバルブ部２、高リフト側ロッカーアーム３、低リフト側ロッカーアーム４、カム５、６、切替ピン７、コントロールロッド８などが備えられたヘッドカバー１における切替ピン７の直上位置に検査用の貫通孔９を開ける。 - 特許庁

When the epitaxial layer is formed on the surface of the wafer, the lift pins project upward from the upper surface of the bottom wall, and the height h of the vertex part 16d of each lift pin based on the upper surface of the bottom wall is set in a range from a position exceeding 0 mm to a position immediately before the lift pin contacts the wafer.例文帳に追加

エピタキシャル層をウェーハ表面に形成するときに、リフトピンが底壁上面より上方に突出し、底壁上面を基準とするリフトピンの頭頂部１６ｄの高さｈを０ｍｍを超えた位置からリフトピンのウェーハに接触する直前までの範囲に設定する。 - 特許庁

A chamber portion 24 forming a chamber covering a periphery of the lift pin 10 is annexed to the upper block 21.例文帳に追加

上部ブロック２１には、リフトピン１０の周囲を覆うチャンバーを形成するチャンバー部２４が付設されている。 - 特許庁

At the time, a mirror driving end 324a pushes up a mirror driving pin 321b to lift up a main mirror 321.例文帳に追加

このとき、ミラー駆動端３２４ａがミラー駆動ピン３２１ｂを押し上げてメインミラー３２１をミラーアップさせる。 - 特許庁

To shorten the ashing time of an ion implanted resist and make the ashing efficient, by a new lift pin of a wafer stage.例文帳に追加

ウェーハステージの新規なリフトピン動作により、イオン注入レジストのアッシング時間を短縮、効率化できる。 - 特許庁

After a predetermined time, a residual charge is subjected to natural extinguishing, a lift pin 22 is then raised to release the wafer W.例文帳に追加

所定時間後、残留電荷を自然消滅させた後、リフトピン２２を上昇させ、ウェハＷを離脱させる。 - 特許庁

The lifting mechanism is provided with at least one lift pin 91 that is vertically movable and is extended penetrating the susceptor.例文帳に追加

リフト機構はサセプタを貫通して伸びる上下動可能な少なくとも１本のリフトピン９１を有している。 - 特許庁

The helium gas 6 is stopped, the lift pin 5 is lowered and the semiconductor device substrate 1 is placed on the stage 3 again.例文帳に追加

その後、ヘリウムガス６を止め、リフトピン５を下げ、再びステージ３の上に半導体装置基板１を載置する。 - 特許庁

On the other hand, at the base end of a lift arm, a connected hole 84a, a supporting point pin 84b, and a guide plate 84c are provided.例文帳に追加

一方、リフトアームの基端は、被連結孔８４ａと、支点ピン８４ｂと、ガイドプレート８４ｃとを有する。 - 特許庁

To obtain a substrate treating device capable of vacuum drying a resist without generating transfer, after the resist is applied on a substrate and solving the problem of the sealing of a lift pin and a problem that the position change of the lift pin is difficult.例文帳に追加

基板にレジスト塗布後に転写を生じることなくレジストを減圧乾燥させることができ、リフトピンのシールの問題、およびリフトピンの位置変更が困難である問題を解消することができる基板処理装置を提供すること。 - 特許庁

Lifting of the second lift pin 110b is restricted halfway by a stopper 141, and at the highest position where the substrate 20 is pushed up, a space that a conveyance arm 61 can move in is formed between the second lift pin 110b and substrate 20.例文帳に追加

第２リフトピン１１０ｂの上昇はストッパ１４１により途中で規制され、基板２０を押し上げた最高位置では、第２リフトピン１１０ｂと基板２０との間に、搬送アーム６１が進入可能な空間が形成される。 - 特許庁

Horizontal cross-section of the lift pin head part has diameter decreasing gradually for the susceptor toward the shaft part, and the outer circumferential curved surface part 42c of the lift pin head part is formed to project outward.例文帳に追加

リフトピン頭部は、軸部に向かってサセプタに対し水平方向の断面直径が漸次小さくなるとともに当該リフトピン頭部の曲面状外周面部４２ｃが外方に向かって凸の曲面状に形成されている。 - 特許庁

An eccentric pin 20 is provided to pass through the fixed bearing 13 and the lift bearing 14, and the lift bearing 14 is lifted up and down by rotating the eccentric pin 20, and the rotating table 12 is lifted up and down in relation to the base 11.例文帳に追加

固定軸受１３と昇降軸受１４を貫通して偏心ピン２０が設けられ、偏心ピン２０を回転することにより昇降軸受１４が昇降し、ベース１１に対して回転テーブル１２が昇降する。 - 特許庁

The lower end of the first support pin 33 is supported by a sliding contact plate 352 provided fixed on a lift plate 351, and a lower end of the second support pin 34 is supported by a raising member 354.例文帳に追加

第１支持ピン３３の下端はリフトプレート３５１に固設された摺接板３５２によって支持し、第２支持ピン３４の下端はかさ上げ部材３５４によって支持する。 - 特許庁

A tilt interlocking pin 19 is mounted on a tilt interlocking mounting part 46 of a lift guide 15 for interlocking a shade.例文帳に追加

シェード連動作動用リフトガイド１５のチルト連動ピン取付部４６にはチルト連動ピン１９が装着されている。 - 特許庁

To provide a lift pin capable of stably supporting a wafer by neutralizing an accumulated electric charge without causing a bad influence on the wafer.例文帳に追加

蓄積した電荷をウェハに悪影響を与えることなく逃がして安定した支持ができるリフトピンを提供する。 - 特許庁

Consequently, a lift pin 192, a stopper member 194, and the substrate G incline rearward by the same angle on the carrying path 108.例文帳に追加

そうすると、リフトピン１９２，ストッパ部材１９４、基板Ｇも搬送路１０８上で後ろ向きに同角度だけ傾く。 - 特許庁

Link elements 44 at a lower end of a chain body 16 of the lift chain 12 and a coupling member 30 are coupled by a pin 45.例文帳に追加

リフトチェーン１２のチェーン本体１６の下端のリンク体４４と連結部材３０をピン４５により連結する。 - 特許庁

An air flow shielding plate 100 is horizontally arranged on a position slightly (normally 10 mm and less) lower than a pin tip portion of the lift pin 62 and a height position of the air flow shielding plate 100 can be variably adjusted by a shielding plate lift mechanism 102.例文帳に追加

そして、リフトピン６２のピン先部よりも幾らか（通常１０ｍｍ以下）低い位置に気流遮蔽板１００を水平に設け、この気流遮蔽板１００の高さ位置を遮蔽板昇降機構１０２により可変できるようにしている。 - 特許庁

The working platform is fitted with the lift pin 20 in such a way that it is moved by an elevating/sinking mechanism into the condition protruding from the oversurface of its platform part 10 and the condition retracted from the oversurface, wherein the lift pin 20 is furnished at the tip with a rotor 21.例文帳に追加

昇降機構により台部１０の上面から突き出た状態と引っ込んだ状態になるようにリフトピン２０を組み込んだ作業台であって、リフトピン２０はその先端に回転体２１が組み込まれていることを特徴とする。 - 特許庁

Arranging the head portion of the lift pin to block off the top end of the passage through the chuck prevents the reaction gas from flowing into the passage.例文帳に追加

リフトピンのヘッド部がチャックの通路上端を遮断することで、反応ガス通路内に流入されることが防止される。 - 特許庁

To provide a working platform fitted with a lift pin capable of taking out a base board by hand safely without damaging its base board.例文帳に追加

人手での搬出時に基板を破損することなく安全に行えるようにしたリフトピン付きの作業台を提供すること。 - 特許庁

The processing liquid supply unit 40 and the lift pin plate 20 are configured so as to be relatively moved up and down against the holding plate 30.例文帳に追加

処理液供給部４０およびリフトピンプレート２０は保持プレート３０に対して相対的に昇降するようになっている。 - 特許庁

The processing liquid supply unit 40 has a head part 42 formed so as to cover a through hole 20a of the lift pin plate 20.例文帳に追加

処理液供給部４０は、リフトピンプレート２０の貫通穴２０ａを塞ぐよう設けられたヘッド部分４２を有している。 - 特許庁

The substrate processing apparatus includes mainly a stage 3, a lift pin LP, a bridge structure 4, a slit nozzle 41, and a nozzle lifting mechanism.例文帳に追加

基板処理装置は、主としてステージ３と、リフトピンＬＰと、架橋構造４と、スリットノズル４１と、ノズル昇降機構とを備える。 - 特許庁

The locking mechanism 43 further comprises a positioning pin 51 for positioning the clamp jig 42 relative to the lift loader 40.例文帳に追加

係止機構４３は、昇降ローダ４０に対するクランプ治具４２の位置決めをなすための位置決めピン５１を備えている。 - 特許庁

Air cylinders 16a and 16b as second pin drive mechanisms lift or lower the push-up pins 17a and 17b, respectively.例文帳に追加

第２のピン駆動機構であるエアシリンダ１６ａ，１６ｂは、突き上げピン１７ａ，１７ｂをそれぞれ上昇又は下降させる。 - 特許庁

To definitely discharge static electricity left in a wafer before lifting up the wafer from a block of an electrostatic chuck with a lift pin.例文帳に追加

静電チャックの台からウエハをリフトピンで持ち上げる前に、ウエハに残存している静電気を確実に除去できるようにする。 - 特許庁

The tip of the pin 45 enters the orifice Z2 and the minimum channel area of the channel C2 is reduced to a value Ao-AP (Ap: cross section of the pin 45) when the needle lift quantity is not less than "a".例文帳に追加

ニードルリフト量がａ以上では、ピン４５の先端がオリフィスＺ２内に進入し、流路Ｃ２の最小流路面積が値（Ａｏ−Ａｐ）に減少する（Ａｐ：ピン４５の断面積）。 - 特許庁

By sliding both or either one of the lift pin holding plates A, B, both the string-like elastic bodies are nipped by the pressure units from the outsides and the lift pin is nipped and held by the string-like elastic bodies.例文帳に追加

昇降ピン保持板Ａ及び昇降ピン保持板Ｂについて、その両方あるいはそのどちらかをスライド移動させることにより、前記圧迫子にて前記両紐状弾性体を外側から挟み込み、該紐状弾性体にて昇降ピンを挟み込んで保持する。 - 特許庁

A thick part of the control cam 33 adjusted to a maximum lift is adjusted to a minimum lift by rotating the thick part of the control cam 33 from the driving shaft to a pivot of the link arm and one end of the rocker arm (pin 26).例文帳に追加

そして、最大リフト制御した制御カム３３の肉厚部３３ａを駆動軸からリンクアームとロッカアーム一端部の枢支点（ピン２６）側へ回転させて最小リフトに制御するようにした。 - 特許庁

The one valve variable control is realized in a state of joining a large lift arm 70 and a second rocking cam arm 40R by a pin 76.例文帳に追加

片弁可変制御は、大リフトアーム７０と第２揺動カムアーム４０Ｒとがピン７６によって結合された状態で実現される。 - 特許庁

Flow passages (21a, 22a, 23a) for spraying the ionized gas fed from an ionizer on the rear surface of the substrate are formed in the lift pin 16.例文帳に追加

リフトピン１６には、イオナイザから供給されたイオン化ガスを基板の裏面に吹き付ける流路（２１ａ，２２ａ，２３ａ）が形成されている。 - 特許庁

To suppress generation of micro irregularities on the main rear surface of a silicon epitaxial wafer, especially at a part of the rear surface facing the lift pin head part.例文帳に追加

シリコンエピタキシャルウェーハの主裏面、特に主裏面のリフトピン頭部に対向する部分に微小な凹凸が生じることを抑制する。 - 特許庁

When the container 12 is pressed, the pressure inside the container 12 is increased to lift a blocking plate 28 and a disk plate 40 along a guide pin 26.例文帳に追加

容器１２を押圧すると、容器１２内の圧力が上がり、ガイドピン２６に沿って閉塞板２８及び円板部４０が上昇する。 - 特許庁

To provide a plasma treatment device with which weakening of an electromagnetic field is corrected (reinforced) in a part of a through-hole for lift pin without restricting a material type of the lift pin from a viewpoint of a conduction rate, and plasma treatment with sufficient in-plane uniformity can be performed on an object to be treated.例文帳に追加

本発明の課題は、リフトピンの材料種に導電率の観点からの制約を加えることなく、リフトピン用の挿通孔の部分で電磁界が弱化することを矯正（強化）し、その結果、被処理物に面内均一性のよいプラズマ処理ができるプラズマ処理装置を提供することである。 - 特許庁

This wafer holder has a wafer holding part (11) having a holding plane (14) for holding the wafer by utilizing a negative pressure, a lift pin (21) for delivering the wafer to the wafer holding part, and a movable part (31) provided around the lift pin to be lifted relative to the holding plane.例文帳に追加

本発明の基板保持装置は、負圧を利用して基板を保持する保持面（１４）を有する基板保持部（１１）と、該基板保持部に基板を受け渡すリフトピン（２１）と、該リフトピンの周りに設けられ、該保持面に対して相対的に昇降可能な可動部（３１）とを有することを特徴とする。 - 特許庁

A lift amount adjusting mechanism 145 is constituted by a connection pin 13 for connecting a rocker arm 9 with a second link and an adjust bolt 22 and a lock bolt 23 pressing and fixing the connection pin 13.例文帳に追加

ロッカアーム９と第２リンクとを連結している連結ピン１３と、その連結ピン１３を圧締固定しているアジャストボルト２２およびロックボルト２３でリフト量調整機構１４５を構成している。 - 特許庁

To takeout a retort pouch placed on a tray out of the tray by means of an unloader of a pin lift type without causing position deflection or fall of a bag due to unstable support to the bag at a tip of a pin.例文帳に追加

トレイに載せたレトルトパウチを、ピンリフト式のアンローダによりトレイ外に取り出すとき、ピン先端での袋の支持が不安定となって袋が位置ずれを起こしたり、落下することを防止する。 - 特許庁

The tip end 5 of the lift pin 3 is press inserted in the connecting part 6 and the semiconductor ceramics is a silicon carbide.例文帳に追加

また、リフトピン３は上記先端部５が接続部６に圧入されており、上記半導体セラミックスは炭化珪素であることを特徴とする。 - 特許庁

Then, after the drying treatment, the reduced pressure state of the atmosphere in the treatment chamber is maintained, and a support pin projects from the upper surface of the lift plate.例文帳に追加

そして、乾燥処理の後においては、処理室の雰囲気の減圧状態を維持しつつ、リフトプレートの上面から支持ピンが突出する。 - 特許庁

The front and rear idling grooves and the pulling idling grooves maintain a posture of the panel support stay regardless of a relative movement of the lift pin and the rear end.例文帳に追加

前・後の空走溝と引き込み用空走溝は、リフトピンや後端部との相対移動にかかわらず、パネル支持ステーの姿勢を維持させる。 - 特許庁

When the lift guide 15 for interlocking the shade is moved backward as a movable panel 3 is tilted up, the tilt interlocking pin 19 is also moved backward.例文帳に追加

可動パネル３のチルトアップに伴いシェード連動作動用リフトガイド１５が後方に移動すると、チルト連動ピン１９も後方に移動する。 - 特許庁

The base board B takes a charge by exfoliation charge generated when a mother glass base board B pushed up by a lift pin 6 is separated from a stage S.例文帳に追加

リフトピン６により押し上られたマザーガラス基板ＢがステージＳから離間する際に生じる剥離帯電によって基板Ｂは帯電する。 - 特許庁

A substrate-carrying apparatus 6 comprises a susceptor 7 for mounting a wafer W, three support pins 9 hanging downwardly from the susceptor 7 to lift the wafer W, and a pin lift mechanism 10 for moving the pins 9 vertically.例文帳に追加

基板支持装置６は、ウェハＷが載置されるサセプタ７と、このサセプタ７に吊り下げられ、ウェハＷを持ち上げる３本の支持ピン９と、各支持ピン９を上下動させるピン昇降機構１０とを備えている。 - 特許庁