「Secondary electron」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

Next, the deflection direction of the EXB separator is inverted, and a secondary electron group discharged from the scanning point on the test piece is led to a secondary optical system.例文帳に追加

次にＥ×Ｂ分離器の偏向方向を逆にし、試料上の走査点から放出された二次電子群を二次光学系へ導く。 - 特許庁

On the basis of the presence or absence of the detection of the secondary electrons by the secondary electron light receiving part 5, the quality of the pad parts 2a is determined by a determining device 6.例文帳に追加

２次電子受光部５による２次電子検出の有無によりパッド部２ａの良否を判定装置６で判定する。 - 特許庁

In the above structure, the secondary column has a deflector to adjust a rotation angle of the secondary electron.例文帳に追加

以上の構成において、二次コラムは、二次電子の回転角度を調整するための偏向器を有することを特徴とする。 - 特許庁

In an electron beam device 20 for monitoring the image of a sample 5, according to secondary electrons Z generated by scanning of the sample 5 with primary electrons Y converged by an objective lens, a selecting means 21 for selectively applying the secondary electrons Z, according to energy of the secondary electrons Z, to a secondary electron detector 2 is provided in front of the electron detector 2 for converting the secondary electrons Z into electrical signals.例文帳に追加

対物レンズで収束された１次電子Ｙによって試料５を走査することにより発生した２次電子Ｚに基づいて試料５の像観察を行なう電子線装置２０において、２次電子Ｚを電気的信号に変換するための２次電子検出器２の前方に２次電子Ｚのエネルギーに基づいて２次電子Ｚを選択的に２次電子検出器２に送るための選択装置２１を設けた。 - 特許庁

A processor part 26 conducts isignal procesing for signals detected with a secondary electron detector 16 and a reflecting electron detector 17, forms an electron image of each signal, and two electron images are superimposed on each other to form a synthetic electron image.例文帳に追加

プロセッサ部２６では、二次電子検出器１６及び反射電子検出器１７で検出されたそれぞれ信号に対して所定の信号処理を施してそれぞれの電子画像を作成し、さらに２つの電子画像の重ね合わせて合成の電子画像を作成する。 - 特許庁

To provide a cathode material capable of achieving a high electron- emitting density and an electron-emitting properties in a low electric field, and further to provide an electron-emitting source having the material, a method for producing the electron-emitting source, a display element having the electron- emitting source and a lithium ion secondary battery obtained by using the carbonaceous material as an activate material for a cathode.例文帳に追加

高電子放出密度、低電界電子放出性能を達成できる陰極材料、該材料からなる電子放出源及びその作製方法、該電子放出源を有する表示素子、並びに該炭素質材料を負極の活物質として用いたリチウムイオン二次電池の提供。 - 特許庁

The primary electron beams generated from the electron gun incident into the beam separator along an electron-optical axis always irradiate from the beam separator along the electron-optical axis, and the secondary electron beams generated from the sample and incident contrary to the primary electron beams can be selectively deflected in a first and a second directions away from the electron-optical axis.例文帳に追加

ビームセパレータは、電子銃から発生し電子光学軸に沿ってビームセパレータに入射した一次電子ビームは常に電子光学軸に沿ってビームセパレータを出射し、試料から発生し一次電子ビームと逆向きに入射する２次電子は電子光学軸から離れる異なった第１及び第２の方向に選択的に偏向可能である。 - 特許庁

The secondary electrons having just passed the object lens 11 are deflected from an optical path of the primary electron beam by E×B separators 9 and 10 and directed to a secondary electron detector 8.例文帳に追加

次いで、対物レンズ１１を通過した直後の二次電子を、Ｅ×Ｂ分離器９，１０により一次電子線の光路からそらし、二次電子検出器８へと向かわせる。 - 特許庁

A detected secondary electron signal therein is fed to a voltmeter 17 via an amplifier 16 to display in the voltmeter 17 as a voltage value an amount of the secondary electron emitted from the sample 7.例文帳に追加

検出された２次電子信号は増幅器１６を介して電圧計１７に送られ、試料７から放出された２次電子の量は電圧値として電圧計１７に表示される。 - 特許庁

The observed patterns of the upper- and lower-layer wiring sections 1 and 2 are obtained by projecting an electron beam upon the surface of the integrated circuit and detecting secondary charged particles by means of a secondary electron detector 10.例文帳に追加

そして、半導体集積回路の表面に電子ビームを照射して２次電子検出器１０により２次荷電粒子を検出することにより、上層及び下層配線の観察パターンを得る。 - 特許庁

Electrodes that are located in axial symmetry is provided between a secondary electron detector and the sample to adjust the voltage applied to the electrodes so that potential in a specified position on an optical axis is adjusted then this enables to control passing or non-passing of the secondary electron.例文帳に追加

２次電子検出器と試料間に、軸対称の電極を設け、この電極に与える電圧を調整することにより、光軸上の特定の場所での電位を調整し、２次電子の通過不通過を制御可能にする。 - 特許庁

The insulator inside this assembly is arranged completely out of the route of the secondary electron so as to avoid generation of arc that will give a bad influence on the FIB secondary electron image forming.例文帳に追加

また、この組立体の中の絶縁体を、ＦＩＢ二次電子画像形成に悪影響を及ぼすアークの発生を避けるように、二次電子の経路から完全に外して配置する。 - 特許庁

The apparatus for analysis of the semiconductor device includes a function of irradiating a charged particle beam on a sample and displaying a secondary electron image according to a detected secondary electron intensity.例文帳に追加

半導体装置の解析装置は、荷電粒子ビームを試料に照射し、検出した２次電子強度に応じた２次電子像を表示する機能を備える。 - 特許庁

To provide a carbonaceous particle which has an excellent electron emission performance, has a high electron conductivity, shows excellent characteristics particularly when used for a secondary battery, and can suitably be applied to various devices other than a secondary battery as well.例文帳に追加

優れた電子放出性能を有し、電子伝導性が高く、特に二次電池に使用した場合優れた特性を発揮し、二次電池以外の様々なデバイスにも好適に適用できる炭素粒子を提供する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam device in which a secondary electron signal can be carried out stably and a secondary electron signal of a desired energy can be detected without depending on the kind and condition of observation condition.例文帳に追加

試料の種類や観察条件に依存せずに、安定に二次電子信号をしたり、所望のエネルギーの二次電子信号を検出することが出来る。 - 特許庁

For this apparatus, the surface of the substrate can be tested by comparing an image image formed by the secondary electron beam with the picture image stored beforehand, or by testing the pattern line width of the patterns on the surface of the substrate, based on the secondary electron beam.例文帳に追加

この装置では、２次電子線に基づき形成される画像を予め記憶した画像と比較したり、基板表面のパターンのパターン線幅を２次電子線に基づき検査することにより、基板表面の検査をすることができる。 - 特許庁

The primary electron optical system comprises a multi-beam generator, a deflecting system for scanning for scanning multi- beams on the sample at the same time, an objective for decelerating the multi- beams to irradiate the sample and accelerating a secondary electron beam, and a secondary electron beam separator for deflecting a plurality of secondary electron beams passing through the objective to the detecting system.例文帳に追加

一次電子光学系はマルチビーム生成器、マルチビームを試料上に同時に走査させる走査用偏向器、マルチビームを減速し試料に照射すると共に二次電子線を加速する対物レンズ、及び対物レンズを通過した複数の二次電子線を検出系へ偏向させる二次電子線分離器を含む。 - 特許庁

A noncontact temperature measuring device 1 measures the temperature distribution of a sample stand and comprises: a sample base 10 placed on the sample stand 20, an electron beam source 2 for applying electron beams; a secondary electron detector 3 detecting secondary electrons induced by the irradiation of electron beams; and a temperature measurement section (signal processing section 7) for measuring temperature distribution, based on the induced secondary electrons.例文帳に追加

非接触温度測定装置１は、試料台の温度分布を測定する装置であり、試料台上２０に載置される試料ベース１０と、電子線を照射する電子線源２と、電子線照射によって誘起される二次電子を検出する二次電子検出器３と、検出した二次電子に基づいて温度分布を測定する温度測定部（信号処理部７）とを備える。 - 特許庁

A scanning electron microscope 10 generates a microscopic image by emitting electron beams from an electron gun to a sample, and detecting secondary electrons generated from the sample.例文帳に追加

走査電子顕微鏡１０は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。 - 特許庁

In the electron amplifier, the electron emission layer 37 is characterized by that it consists of either oxide material or fluoride material with large secondary electron emission coefficient.例文帳に追加

前記電子増幅器において、電子放出層３７は、２次電子放出係数の大きい酸化物系材料またはフッ化物系材料のうち何れか１種で構成されることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a TTL-mode scanning electron microscope capable of giving high resolution to a secondary electron image and effectively providing a reflected electron image with good contrast.例文帳に追加

二次電子像での高分解能化が可能であり、かつＴＴＬ方式の走査型電子顕微鏡にてコントラストの良い反射電子像を効果的に得ることが課題である。 - 特許庁

A TFT array inspection device performs array inspection, by having the TFT array irradiated with an electron beam in a scanning manner and detecting a secondary electron emitted from the array by irradiated electron beam.例文帳に追加

ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行う。 - 特許庁

To enable an electron microscope equipped with a plurality of secondary electron or reflecting electron detectors to carry out control of contrast/brightness of the plurality of detectors in one control operation.例文帳に追加

複数の二次電子若しくは反射電子検出器を持つ電子顕微鏡において、複数の検出器のコントラスト／明るさの制御をひとつの制御操作で行えるようにする。 - 特許庁

The secondary electron generated through the irradiation of the electron beam on the sample 32 or reflected electron is detected by a detector 37 arranged in the vicinity of a rear focus of the objective lens 38.例文帳に追加

試料３２への電子ビームの照射によって発生した２次電子あるいは反射電子は、対物レンズ３８の後方焦点近傍に配置された検出器３７により検出される。 - 特許庁

The electron amplifier with high secondary electron emission characteristics and the manufacturing method for the electron amplifier, which can easily manufacture a large-sized display element, are provided.例文帳に追加

これにより、２次電子放出特性に優れた電子増幅器を提供し、大型表示素子が容易に製造できる電子増幅器の製造方法を提供することができる。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which can switch in a simple operation a low vacuum secondary electron detection to other detections like a reflector electron detection without exposing a test piece chamber to an atmosphere.例文帳に追加

試料チャンバを大気開放することなく、低真空二次電子検出とそのほかの例えば反射電子検出等との切り換えを簡便な操作で以て行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

Furthermore, on the surface of the ferroelectric layer 2 of the electron beam source, MgO films or aluminum nitride films or the like are laminated which have high secondary electron discharge ability, and electron beam discharge density is enhanced.例文帳に追加

さらに、電子ビーム源である強誘電体層２の表面に、二次電子放出能力の高いＭgＯ膜や窒化アルミニウム膜等を積層して、電子ビーム放出密度を高める。 - 特許庁

Further, a dynode pin (430), as an electron multiplier section (400) is viewed from a photocathode (200) side, is retained within an effective region (AR1) of the electron multiplier section (400) contributing to secondary electron multiplication.例文帳に追加

また、ダイノードピン(430)は、ホトカソード(200)側から電子増倍部(400)を見たとき、二次電子増倍に寄与する電子増倍部(400)の有効領域(AR1)内において保持される。 - 特許庁

The electron beam device irradiates primary electron beams generated by an electron gun on a test piece and forms the secondary electrons emitted from the test piece on a detector by a map projection optical system.例文帳に追加

電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。 - 特許庁

To provide an electron beam apparatus capable of lessening blooming of secondary electron due to a space charge effect of primary electron and lessening axial chromatic aberration or other aberration, as well as a manufacturing method of a device using the apparatus.例文帳に追加

一次電子の空間電荷効果による二次電子のボケの発生を少なくでき、軸上色収差や諸収差を少なくできる電子線装置及び該装置を用いるデバイスの製造方法の提供。 - 特許庁

In the pattern inspection method, the circuit pattern is partitioned using the brightness of a reflected electron image to correlate an area in the reflected electron image belonging to each partition with an area in a secondary electron image.例文帳に追加

パターン検査方法は、反射電子像の輝度を用いて回路パターンを区分し、各区分に属する反射電子像内の領域と、２次電子像内の領域とを対応付ける。 - 特許庁

The electron beam device comprises a stage device 10, a primary optical system which irradiates a sample 20 with a plurality of electron beams, a secondary optical system which controls the electron beams emitted from the sample 20, and a plurality of detectors.例文帳に追加

電子線装置はステージ装置１０と、試料２０を複数の電子線で照射する一次光学系と、試料２０から放出された電子線を制御する二次光学系と、複数の検出器とを備える。 - 特許庁

Furthermore, on the secondary side of the insulated transformer 5, the first terminal 5a connected only to the electron generation part 3, and the second terminal 5b connected to the electron generation part 3, the electron acceleration part 2 and the direct-current power source 1 are arranged.例文帳に追加

また、絶縁変圧器５の二次側には電子発生部３にのみ接続される第１の端子５ａと、電子発生部３、電子加速部２及び直流電源１に接続される第２の端子５ｂとが配置されている。 - 特許庁

Superposition of unnecessary information is prevented and high quality image observation is realized by intermittently irradiating with the electron beam and selecting a secondary electron signal which reflects necessary sample information based on detection time in a transient response of the secondary electron obtained by an intermittent electron beam irradiation, when evaluating structure observation or material characteristics of the sample using the electron beam.例文帳に追加

電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる２次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した２次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 - 特許庁

In addition, by bringing the sample S close to the electron-permeable membrane (collodion membrane) 132, electrons R (and secondary electrons) reflected from the sample S by radiation of the electron beam B are detected by using an upper reflected electron detector 304 on the high vacuum side and a lower reflected electron detector 306 on the atmospheric-pressure side (and a secondary electron detector 302 on the high vacuum side).例文帳に追加

さらに、試料Ｓを電子透過膜（コロジオン膜）１３２に近づけて、電子線Ｂの照射による試料Ｓからの反射電子Ｒ（および二次電子）を、高真空側の上部反射電子検出器３０４と大気圧側の下部反射電子検出器３０６（ならびに高真空側の二次電子検出器３０２）を用いて検出する。 - 特許庁

The electron beam device comprises a primary optical system 10 which scans a plurality of locations on the sample by a plurality of electron beams, a secondary optical system 20 which converges the secondary electrons emitted from the sample S by the scanning of electron beams into a plurality of secondary electrons and introduces into each detector 31, and a detection system 30 which detects respectively the plurality of introduced secondary electrons.例文帳に追加

複数の電子ビームで試料上の複数の箇所を走査する一次光学系１０と、電子ビームの走査により試料Ｓから放出された二次電子を複数の二次電子に集束して、各々の検出器３１に導入する二次光学系２０と、導入された複数の二次電子をそれぞれ検出する検出系３０とを備えている。 - 特許庁

The conversion electrode 21a is arranged higher than an undersurface (sample side) of an objective lens, a reflection electron 23a colliding on the conversion electrode 21a is converted into a secondary electron 23b, and captured by a secondary electron detector 12a near the conversion electrode 21a.例文帳に追加

変換電極２１ａは対物レンズの下面（試料側）より上方に配置されており、その変換電極２１ａに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、変換電極２１ａの近傍の二次電子検出器１２ａに捕集される。 - 特許庁

Secondary electron emitted from a test piece by irradiation of primary electron beam in a rectangular field of view on the test piece 9 is magnified by a map projection optical system and guided to a plane detector or a linear detector by a secondary electron optical system.例文帳に追加

試料９上に長方形の視野で１次電子ビームが照射されることにより試料から放出された２次電子は、２次電子光学系により、写像投影光学系で拡大しかつ面検出器又は線検出器に導かれる。 - 特許庁

The electron beam device 1 is used equipped with a primary optical system 10 irradiating electron beams on the surface of the sample, and a secondary optical system 30 forming images of the sample surface by detecting secondary electron beams emitted from the sample surface.例文帳に追加

試料表面に対して前記電子ビームを照射する一次光学系１０と、前記試料表面から放出される二次電子を検出して試料表面の画像を形成する二次光学系３０とを備えた電子線装置１を使用する。 - 特許庁

In addition to the secondary electron generated by the interaction of the diamond with the radiation, the secondary electron or the like generated by the influence of the electron or the like obtained from heavy metal is used for detection of radiation, and the detection sensitivity of radiation is improved.例文帳に追加

こうして、ダイヤモンドと放射線の相互作用により発生する二次電子等に加えて、重金属から得られる電子等の影響により発生する二次電子等が放射線の検出に利用され、放射線の検出感度が向上する。 - 特許庁

In the stage wherein the wiring is formed on the substrate, wiring is applied with an electrical signal to go into a predetermined potential state; the secondary electron emitted by irradiating the wiring in the potential state with the electron beam is detected; and the defect of the wiring is detected, based on the signal intensity of the secondary electron.例文帳に追加

基板に配線が形成された段階において、この配線に電気信号を印加して所定の電位状態とし、この電位状態の配線に電子線を照射して放出される二次電子を検出し、この二次電子の信号強度に基づいて配線の欠陥検出を行う。 - 特許庁

As a result, when a charged region is scanned by a primary electron beam, the absorption current is reduced, and a secondary electron detection signal is abnormally intensified, but the intensity of the secondary electron detection signal is reduced according to the small value of the absorption current.例文帳に追加

この結果、帯電した領域を一次電子ビームで走査しているときは、吸収電流が小さくなり、２次電子検出信号が異常に大きくなるが、この吸収電流の小さな値に応じて２次電子検出信号の強度が減少される。 - 特許庁

The secondary electron optical system is provided with lens 8 and 12 composing an image forming means forming an image by the secondary electron emitted from the test piece, and provided in a subsequent stage, a Vienna filter 13 compensating spherical aberration of a magnified image and magnifying lens 14 and 15 magnifying the electron beam passed through the Vienna filter.例文帳に追加

２次電子光学系は、試料から放出された２次電子による像を形成する結像手段を構成するレンズ８及び１２と、その後段に設けられ、拡大像の球面収差を補正するウィーンフィルタ１３と、ウィーンフィルタを経た電子ビームを拡大レンズ１４及び１５とを備えている。 - 特許庁

A layer of a secondary electron emission metal 14 is formed on the inside wall of each taper-like thin tube 13 of which emission side has a small diameter, and incident electrons 12 collide against the secondary electron emission metal 14 and are multiplied so that secondary electrons 15 are emitted as emitted electrons 16.例文帳に追加

射出側が径小なテーパ状細管１３の内壁に２次電子放出金属１４の層が形成され、入射電子１２が２次電子放出金属１４に衝突して増倍され２次電子１５を射出電子１６として射出する。 - 特許庁

This pattern inspection/measurement device is structured such that a secondary signal converging lens 69 is installed at a position of the crossover in the traveling direction of the primary electron beam, or on a path of a separated secondary signal by causing the secondary signal to spatially separate the primary electron beam by a Wien filter 18.例文帳に追加

二次信号収束用レンズ６９を、前記一次電子線の進行方向上クロスオーバの位置に、若しくはウィーンフィルタ１８により二次信号が前記一次電子線を空間的に分離させ、分離された二次信号の進路上に設置する構成とする。 - 特許庁