「Secondary electron」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

The inspection apparatus is to inspect a plurality of patterns placed on the surface of a testpiece by using an electron beam and is provided with a primary column, a secondary column and a detector.例文帳に追加

本発明の検査装置は、試料表面に設けられた複数のパターンを電子ビームを利用して検査する検査装置であって、一次コラム、二次コラム、および検出器を備える。 - 特許庁

This is an automatic focusing method of a scanning electron microscope 10 which acquires an image signal and forms a test piece image based on secondary charged particle beams from a test piece irradiated with charged particle beams.例文帳に追加

荷電粒子ビームが照射された試料からの２次荷粒子に基づいて画像信号を取得し試料像を形成する走査電子顕微鏡１０のオートフォーカス方法である。 - 特許庁

As a result, it is possible to switch a low vacuum secondary electron detection mode to other detection modes in a simple operation outside the test piece chamber and a high sensitivity detection becomes possible in each observation.例文帳に追加

これにより、試料チャンバ２０の外側での簡単な操作で以て低真空二次電子検出モードとそれ以外の検出モードとを切り換えることができ、しかもそれぞれの観察で高感度な検出が可能となる。 - 特許庁

The signals stored in the image memory 10 are read out and supplied to a cathode-ray tube 12 via an analog-to-digital converter 11, thereby a scanning secondary electron image of the sample 4 is displayed on the cathode-ray tube 12.例文帳に追加

画像メモリー１０に記憶された信号は読み出され、ＡＤ変換器１１を介して陰極線管１２に供給されることから、陰極線管１２上には試料の走査２次電子像が表示される。 - 特許庁

To provide a space-saving, inexpensive and high-response secondary electron detector, capable of acquiring TV-Scan rate images for VP-SEM which uses gas amplification in a low-vacuum sample chamber and a positive induced current detection system.例文帳に追加

低真空試料室内で起こるガス増幅を利用し、正の誘導電流検出方式を用いたVP-SEMにおいて、省スペースで安価でかつTV-Scanレート画像の取得が可能な高速応答のVP-SEM用二次電子検出器を提供する。 - 特許庁

A front surface panel 12 of a plasma display panel has a front surface glass substrate 4, a maintained discharge electrode (X-electrode) 1, a maintained discharge electrode (Y-electrode) 2, a front surface dielectric layer 5, and high secondary electron emitting film 6.例文帳に追加

プラズマディスプレイパネルの前面パネル１２は、前面ガラス基板４，維持放電電極（Ｘ電極）１，維持放電電極（Ｙ電極）２，前面誘電体層５、および高２次電子放出膜６を有する。 - 特許庁

A secondary electron emitted from a wafer is detected by a detector 41-9, and converted into image data by an image processing part 42-9, and a prescribed pattern test is carried out.例文帳に追加

ウエハから放出された二次電子は、検出器４１−９で検出され、画像処理部４２−９で画像データに変換され、所定のパターン検査が実施される。 - 特許庁

The electron-emitting source, the display element constituted so that a desired part of a light emitter may emit the light, the carbonaceous material for the cathode of the battery, and the lithium ion secondary battery are obtained by utilizing the material.例文帳に追加

該材料を利用して電子放出源、発光体の所望部分が発光するように構成する表示素子、電池負極用炭素質材料、リチウムイオン二次電池を得る。 - 特許庁

By the chromium oxide membrane 11, the dust introduction, the unjust emission of the light by obtaining a moderate conductivity and a low secondary electron emissive property, and peeling off of the membrane are prevented by obtaining adhesive force to a membrane formation site and binding capacity between particles.例文帳に追加

酸化クロム膜11は、適度な導電性と低い二次電子放出性とを得て、塵誘引や不正発光を防止し、かつ、膜形成部位との付着力や粒子間結着力を得て、膜剥がれを防止する。 - 特許庁

Near a side end of a large diameter portion of a deflection device, a pair of primary permanent magnets which focuses a three-electron beam along the X-axis and a pair of secondary permanent magnets which diffuses the beam along the X-axis are prepared.例文帳に追加

偏向装置の径大部側端近傍に、３電子ビームをＸ軸方向に収束させる一対の第１永久磁石とＸ軸方向に発散させる一対の第２永久磁石が設けられる。 - 特許庁

A change of device characteristics with the passage of time is monitored everyday from the feature of a secondary electron signal of a specific specimen such as a micro-scale, by measuring a beam half breadth serving as the quantity of the feature corresponding to beam characteristics.例文帳に追加

マイクロスケールという特定の試料の二次電子信号の特長から、ビーム特性に対応する特長量としてのビーム半値幅を日々計測することにより、装置特性の経時変化をモニターする。 - 特許庁

When the substance is gathered on a conductive pattern by a foreign substance removal probe, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

異物除去探針で導電性のパターン上に集めた場合にはオージェ電子分光または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

The light source device applicable to a backlight module includes a cathode structure 302a, an anode structure 304a, a fluorescent layer 306, a secondary electron generation layer 308, and a low-pressure gas layer 310.例文帳に追加

バックライトモジュールに適用可能な光源装置は、カソード構造３０２ａ、アノード構造３０４ａ、蛍光層３０６、二次電子生成層３０８、および低圧ガス層３１０を含む。 - 特許庁

The agent decreasing a dehydroxylation product of the 7-position hydroxy group among secondary bile acids formed by reductive metabolism of a primary bile acid includes an electron acceptor as an effective ingredient.例文帳に追加

二次胆汁酸のうち一次胆汁酸の還元的代謝により生成する７位水酸基の脱水酸化物を低減する剤であって、電子受容体を有効成分として含有する。 - 特許庁

While gradually increasing the detector voltage from a low voltage, the counted value of a pulse signal generated by binarizing an output signal from a secondary electron multiplication tube is sequentially obtained at each voltage (S1, S2).例文帳に追加

検出器電圧を低電圧から段階的に上げつつ、各電圧で二次電子増倍管からの出力信号を２値化したパルス信号の計数値を順次取得する（Ｓ１、Ｓ２）。 - 特許庁

When radiation enters a heavy metal layer 20, a secondary electron or the like is generated by interaction of the diamond with the radiation inside the heavy metal layer 20.例文帳に追加

また、放射線が重金属層２０に入射すると、重金属層２０内には、重金属と放射線の相互作用により二次電子等が発生する。 - 特許庁

To provide an electron microscope which can perform real-time observation by correcting deterioration of images which is brought about when charged particle beams are scanned with a speed exceeding the upper limit of a band width of a secondary signal detector and its amplifying circuit.例文帳に追加

二次信号検出器およびその増幅回路の帯域幅の上限を超える速さで荷電粒子線を走査した場合に発生する画像の劣化を補正し、リアルタイム観察が可能な電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

Moreover, it is desirable that at least ten particulate compounds 15 are observed in 20 μm length and 24 μm breadth observation visual field in a secondary electron image observation of the surface of the sintered compact.例文帳に追加

また、前記焼結体の表面の２次電子像観察において、縦２０μｍ×横２４μｍの観察視野内に、１０ヶ以上の粒状の化合物１５が観察されることが好ましい。 - 特許庁

The voltage of the power source 29 is set so as to be lower than that of a power supply 30 for the sample 18, thereby the energy filter effect of a secondary electron can be given and a potential contrast of a pattern on the sample can be evaluated.例文帳に追加

電源２９の電圧を、試料１８用の電源３０の電圧よりも低くすることにより、２次電子のエネルギーフィルタ効果を持たせることができ、試料上のパターンの電位コントラストも評価できる。 - 特許庁

A beam forming slit is placed at a former stage of a charging control slit for the charging control slit to be irradiated with an electron beam for precharging, and to prevent the secondary electrons from disturbing the charging control.例文帳に追加

また、帯電制御スリットの前段にビーム成形スリットを配し、予備帯電のための電子ビームが帯電制御スリットに照射され帯電制御を擾乱する2次電子の発生を抑制した。 - 特許庁

A protection layer made of a material with a high secondary electron emission coefficient is additionally formed on a portion facing to a discharge space, of a back worked substrate having a phosphor layer, a backing reflection layer, barrier ribs, and the like.例文帳に追加

蛍光体層、下地反射層や隔壁等、背面加工基板の中で放電空間に面した部分に２次電子放出係数の高い材料でできた保護層を追加形成する。 - 特許庁

To improve the energy density, internal resistance, charge/discharge cycle life and production cost of a battery by manufacturing ultrafine particulate carbon, which is an electron conductive material for a primary battery or a secondary battery, in an aqueous solution system.例文帳に追加

一次電池および二次電池用の電子伝導材料である超微粒炭素を水溶液系で製造し、電池のエネルギー密度、内部抵抗、充放電サイクル寿命、製造コストを改良する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for inspecting a surface, which can measure and evaluate the secondary electron emission ability of a thin film with good sensitivity even in a deposition system, without using any complicated mechanism.例文帳に追加

薄膜の２次電子放出能を複雑な機構を用いることなく、感度よく、さらには成膜装置内でも測定して評価できる表面検査方法および装置を提供する。 - 特許庁

As a result, by making the heavy water (D_2O) distributed uniformly in the evaporation chamber 202 to have a protective film with stable secondary electron emission characteristics, so that variations in the discharge delay inside the face of the PDP can be eliminated.例文帳に追加

その結果、蒸着室２０２内に重水（Ｄ_２Ｏ）が均一に分布することで２次電子放出特性の安定した保護膜となり、ＰＤＰの面内で放電遅れのばらつきをなくすことができる。 - 特許庁

A SEM 8 is arranged inside of the chamber 3, and this SEM 8 scans the wafer 2 with the electron beam, and observes a secondary electronic image emitted from a surface of the wafer 2, and generates an image (SEM image) of the surface of the wafer 2.例文帳に追加

チャンバー３内にはＳＥＭ８が配設され、このＳＥＭ８は、ウェハ２上に電子ビームを走査させ、その時にウェハ２の表面から放出される２次電子像を観察し、ウェハ２表面の画像（ＳＥＭ画像）を生成する。 - 特許庁

To provide a method and a device for charged beam exposure together with a secondary electron emitting mask which are hard to be affected by the fluctuation in magnetic field or electric field within a device or external disturbance.例文帳に追加

装置内の磁場変動や電場変動や外乱の影響を受けにくい荷電ビーム露光装置、荷電ビーム露光方法及び２次電子放出型マスクを提供する。 - 特許庁

Signals corresponding to the respective beams of the multiple beams by the secondary electron group are detected by a plurality of detectors, and the evaluation of the pattern on the test piece face is carried out.例文帳に追加

複数の検出器で二次電子群によるマルチビームの各ビームに対応する信号を検出し、試料面上のパターンの評価を行なう。 - 特許庁

Based on a potential contrast difference of the secondary electron images obtained by the irradiation with the charged particle beams selected depending on PN property of the sample, a failure point of leakage generated due to a defect inside the semiconductor device is detected.例文帳に追加

試料のPN特性に応じて選択した荷電粒子ビーム照射によって得られた二次電子像の電位コントラスト差から、半導体装置内部の欠陥に基づくリーク不良箇所を検出する。 - 特許庁

The display control means 11 generates an image signal for each of the picture elements according to a predetermined rule, and displays a secondary electron image of a sample on a display means 15.例文帳に追加

表示制御手段１１は、予め決められた規則にしたがって各画素における像信号を作成し、試料の２次電子像を表示手段１５に表示させる。 - 特許庁

The negative electrode 1 for nonaqueous electrolyte secondary battery comprises an active material layer 5, a surface layer 4 for collecting electron formed on one side of the active material layer, and an elastic layer 3 placed on the other side of it.例文帳に追加

非水電解液二次電池用負極１は、活物質層５と、その一方の面側に形成された集電用表面層４と、他方の面側に配された弾性膜３とを備える。 - 特許庁

A secondary- electron emission body 24 which is formed as a cone-shaped cylinder whose diameter is shorter than the outer diameter of the substrate support and longer than the outer diameter of the substrate is provided in a position perpendicular to the substrate support and near the substrate supporting plate.例文帳に追加

基板保持部の外径以下で、基板の外径以上の内径を有する円錐台状の筒体として形成された２次電子放出体２４が、基板保持部に直交し、基板保持板に近接して設けられている。 - 特許庁

The neutralization terminating voltage for terminating the lowering of the accelerating voltage, is determined to be less than a minimum accelerating voltage as a result of the comparison of the accelerating voltages to achieve the secondary electron emitting efficiency of 1 on the plurality of samples in advance.例文帳に追加

加速電圧の降下を終了する除電終了電圧は、予め複数の試料で二次電子放出効率が１となる加速電圧を比較し、最小加速電圧以下とする。 - 特許庁

To improve the energy density, internal resistance, charge/discharge cycle life and production cost of a battery by grinding carbon particles, which are an electron conductive material for a primary battery and a secondary battery, into superfine particles.例文帳に追加

一次電池および二次電池用の電子伝導材料である炭素粒子を超微粒子とし、電池のエネルギー密度、内部抵抗、充放電サイクル寿命、製造コストを改良する。 - 特許庁

The recording medium 5 is rotated by a spindle motor 6 irradiating a recording medium 5 plane with electron rays 2, secondary electrons generated from the recording medium 5 are detected by a detector 8, and ruggedness information of the recording medium plane is obtained.例文帳に追加

電子線２を記録媒体５面に照射しながら、スピンドルモータ６により記録媒体５を回転させ、記録媒体５から発生する２次電子を検出器８により検出して、記録媒体面の凹凸情報を取得する。 - 特許庁

The secondary electron image appears gradually following progression of scanning, and the intensity of the X-ray spectrum is enhanced gradually, and thereby both images are displayed in real time in the same window on a screen of a display part 25.例文帳に追加

走査の進行に伴って徐々に二次電子画像が現れ、徐々にＸ線スペクトル強度が上昇するから、表示部２５の画面上で同一ウインドウ内に両者をリアルタイムで表示する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope by which lowering in the sensitivity and the reduction of the scanning range caused, when a detector leaves a specimen is eliminated, and an impact on secondary electrons that are detected by a magnetic field generated by scanning coils is eliminated.例文帳に追加

検出器が試料から遠ざかることによる感度低下、走査範囲の減少を解消し、走査コイルが発生する磁場により検出される２次電子に対する影響を除くこと。 - 特許庁

When the secondary electron images of the testpiece are compared in both modes, the image magnification and focus are not changed and thereby only the effect of the aberration corrector can be distinguished and evaluated for adjustment, and axis adjustment time can be shortened.例文帳に追加

両モードで試料の２次電子像を比較すれば像倍率やフォーカスは変わらず、収差補正器の効果のみを切り分けて評価、調整でき、軸調整時間の短縮が図れる。 - 特許庁

Noise characteristics of the secondary electron image which is caused by an image detection system is determined and optimal parameters for image processing are decided based on the noise characteristics according to the object to be tested.例文帳に追加

画像検出系に起因した２次電子画像のノイズ特性を求め、この特性をもとに被検査対象に応じて最適な画像処理パラメタを決定する。 - 特許庁

When secondary electron images of a sample are compared by using both the modes, image magnification and focus are not changed, so that evaluation and adjustment can be carried out by using only the effects of the aberration corrector, and collimation time can be reduced.例文帳に追加

両モードで試料の２次電子像を比較すれば像倍率やフォーカスは変わらず、収差補正器の効果のみを切り分けて評価、調整でき、軸調整時間の短縮が図れる。 - 特許庁

The sample 8 is formed with a marker 18 formed of a substance with a large secondary electron emission rate η on the right side and a substance with small ηon the left side, and a display part 29 can display the image of the marker 18.例文帳に追加

試料８には右側が２次電子放出率ηの大きい物質、左側がηの小さい物質からなるマーカ１８が形成され、表示部２９は、マーカ１８の画像を表示することができる。 - 特許庁

A dynode Dy2 at a second stage has a curved part Dy2A forming a circular shape cross section and a plane part Dy2B continuously laid to the curved part and a secondary electron surface is constituted by the curved part Dy2A and the plane part Dy2B.例文帳に追加

第２段目のダイノードＤｙ２は、断面円弧状をなす曲面部Ｄｙ２Ａと該曲面部に面一に連なる平面部Ｄｙ２Ｂとを有し、曲面部Ｄｙ２Ａと平面部Ｄｙ２Ｂとにより二次電子面が構成される。 - 特許庁

The secondary electron, upon being gathered on the optical axis 4 by an object lens 7, 8, climbing up on the optical axis in the drawing, being deflected its track at the beam splitter 10 which consists of E×B, is to be collected at the converging pole 12 via the track 11.例文帳に追加

この２次電子は、対物レンズ７、８によって光軸４上に集められ、図で光軸上を上方に向かい、Ｅ×Ｂからなるビームスプリッタ１０で軌道を偏向されて、軌道１１を通り、収束電極１２に集められる。 - 特許庁

At this time, secondary electron emitted from the substrate 2 is detected by a detector 15, a detection signal of which 15 is sent to an image processing part 16, and a scanning image of the substrate 2 is produced by the image processing part 16.例文帳に追加

このとき、基板２から放出された２次電子は検出器１５で検出され、この検出器１５の検出信号が画像処理部１６に送られ、画像処理部１６により基板２の走査画像が生成される。 - 特許庁

To improve characteristics of a film face of an MgO protection film, since the characteristics have an influence on address discharge delay and discharge voltage characteristics due to secondary electron emission characteristics, and sputtering-proofing characteristics.例文帳に追加

ＭｇＯ保護膜の膜面の特性は２次電子放出特性によるアドレス放電遅延や放電電圧特性、耐スパッタ特性に影響を与えるため、これらの特性を改善する。 - 特許庁

Particles adhered to a specimen 35 are removed by specifying a secondary ion taking area 46 to take the secondary ion and applying an electron beam 47 on a wider electron beam irradiating area 49 that the area 46, a deflection electrode 38 is provided in front of a mass spectrometer 40, and a secondary ion detecting area 45 to be specified by the deflection electrode 38 is scanned in conformity with scanning of a primary ion scanning electrode 34.例文帳に追加

２次イオン３６を取込むべき２次イオン取込領域４６を規定し、その領域４６よりも広い電子線照射領域４９に電子線４７を照射して、試料３５への付着粒子を除去するとともに、偏向電極３８を質量分析計４０の手前に設け、１次イオン走査電極３４の走査に合わせて、該偏向電極３８によって規定されることになる２次イオン検出領域４５を走査する。 - 特許庁