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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > Secondary electronの意味・解説 > Secondary electronに関連した英語例文

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Secondary electronの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 660



例文

When electron beam irradiated from an electron gun is irradiated on a sample W placed on an X-Ystage 9-1 through an electrostatic lens 4-1 and an objective lens 11-1 or the like, secondary electron or reflective electron is emitted from the sample W.例文帳に追加

電子銃から放射された電子ビームが、静電レンズ4−1及び対物レンズ11−1等を介して、X−Y−θステージ9−1に載置された試料Wに照射されと、試料Wから二次電子又は反射電子が放出される。 - 特許庁

A composite charged particle beam device equipped with an FIB column and an SEM column is provided with an SE3 detector detecting a secondary electron (referred to herein as a third-order electron) emitted by a back scattered electron generated when a sample is irradiated with an electron beam and colliding a structure in a sample chamber.例文帳に追加

本発明では、FIBカラムとSEMカラムを備える複合荷電粒子線装置に、電子ビームを試料に照射したときに発生する後方散乱電子が試料室の構造物に衝突することによって放出される二次電子(本明細書では、三次電子という)を検出するSE3検出器を設けている。 - 特許庁

The electron beam apparatus consists of an electron gun 1a with the thermionic emission cathode 1, a condenser lens 12, an NA opening 13 by which an orbit of a primary electron beam is restricted, an objective lens 19, and detectors (23, 24, 25, and 26) which detect secondary electron beams emitted from a sample 20 to which negative voltage has been impressed.例文帳に追加

電子線装置は、熱電子放出カソード1を有する電子銃1a、コンデンサレンズ12、1次電子線の軌道を制限するNA開口13、対物レンズ19、並びに、負電圧を印加された試料20から放出された2次電子線を検出する検出器(23、24、25、26)を備える。 - 特許庁

When the irradiation position with an electron beam in the point focal region on a sample 3 at the time of practice is scanned, an irradiation position recognition part 12 recognizes the irradiation position with an electron beam in the electron image based on the secondary electron generated from the sample 3 to calculate the distance from the center point.例文帳に追加

分析実行時に試料3上の点焦点領域内で電子線の照射位置を走査するとき、照射位置認知部12は試料3から発生する二次電子に基づく電子像において電子線照射位置を認識し、中心点からの距離を求める。 - 特許庁

例文

According to the substrate inspection method, electron beams are irradiated by an optical axis E1 to the part on a semiconductor wafer W, where the defect D is present with the use of an SEM apparatus which detects by a single electron beam detector, secondary electron beams emitted, when electron beams are applied onto the semiconductor wafer W.例文帳に追加

本発明の基体検査方法は、半導体ウェハW上に電子ビームを照射することにより放出される二次電子線を単一の電子線検出器で検出するSEM装置を用い、半導体ウェハ上の欠陥Dが存在する部位に光軸E1で電子ビームを照射する。 - 特許庁


例文

The field emission type electron source device includes: an electron source array in which a plurality of emitters for emitting electrons are provided; a photoelectric conversion film in which a predetermined operation is performed by electron beams emitted from the electron source array; and an electrode having a plurality of through holes each of which inner wall surface is covered with a film of a secondary electron radiating material between the electron source array and the photoelectric conversion film.例文帳に追加

電子を放出するエミッタが複数設けられた電子源アレイと、前記電子源アレイから放出された電子ビームにより所定の動作を行う光電変換膜と、前記電子源アレイと前記光電変換膜との間に内壁表面が二次電子放射物質の膜で被覆された複数の貫通孔を持つ電極と、を備えた電界放出型電子源装置。 - 特許庁

For the electron beam device irradiating an electron beam emitted from an electron gun on the surface of a sample, and estimating the surface of a sample by detecting a secondary electron emitted from the surface of the sample, the electron gun has a plurality of thermionic cathodes arranged in a single electrode, and the top end of the plurality of thermionic cathodes are adjusted so as to locate at an electron emission hole of the electrode.例文帳に追加

電子銃から放出された電子線を試料表面に照射し、該試料表面から放出された二次電子を検出することにより試料表面の評価を行う電子線装置において、上記電子銃は単一の電極の内部に複数の熱陰極を配置し、上記電極の電子放出穴位置に上記複数の熱陰極の陰極先端を合わせた構造からなる。 - 特許庁

Secondary electrons are emitted by making ions generated from an ion beam radiating device 3 adhere to the pad parts 2a of the semiconductor device 2, and the secondary electrons are detected by a secondary electron light receiving part 5.例文帳に追加

イオンビーム放射装置3から発生したイオンを半導体素子2のパッド部2aに付着させることで放出される2次電子を2次電子受光部5で検出する。 - 特許庁

Secondary electrons discharged from the sample are separated from the primary optical system with an E×B separator and put into a secondary optical system to be detected by a secondary electron detector.例文帳に追加

試料から放出された二次電子をE×B分離器で一次光学系から分離して二次光学系へ投入し二次電子検出器で検出する。 - 特許庁

例文

The number of the secondary electrons that pass through the second electrode 20 is sufficient to obtain the secondary electron image, and the damage received by the fluorescent face 4 is small even though such number of secondary electrons are incident thereon.例文帳に追加

この第2電極20を通過する2次電子の量は、2次電子像を得るのに十分な量であり、このような2次電子が蛍光面4に入射しても、蛍光面の受けるダメージは少ない。 - 特許庁

例文

A secondary signal of secondary electrons or reflected electrons, generated from the testpiece 12, is sucked into the accelerating tube 9 by the electric field (the decelerating field) immediately right before the testpiece and detected by a secondary electron detector arranged above the accelerating tube 9.例文帳に追加

試料12から発生された二次電子や反射電子等の二次信号23は、試料直前の電界(減速電界)で加速円筒9内に吸引され、加速円筒9より上方に配置された二次電子検出器により検出される。 - 特許庁

A TFT panel inspecting device 1 which supplies an inspection signal to a substrate and detects its drive state to inspect a TFT panel on the substrate is equipped with an installation member 6 for installing an electron gun 4 and a secondary electron detector in a vacuum chamber, and the installation member 6 is equipped with a plurality of installation positions for installing the electron gun and secondary electron detector.例文帳に追加

TFTパネル検査装置1は、基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによって基板上のTFTパネルを検査する検査装置において、真空室内に電子銃4や二次電子検出器を設置するための設置部材6を備え、設置部材6は電子銃4や二次電子検出器を設置するための複数の設置部位を備える。 - 特許庁

This evaluating device is provided with electron beam generating means 1 to 9 for supplying plural electron beams to a surface of a sample 10 via the primary optical system, the secondary optical systems 14 and 15 for introducing a secondary electron beam emitted from the surface of the sample 10 to a detector 17, and moving means 12 and S for relatively moving the sample 10 to the plural electron beams.例文帳に追加

評価装置は、試料10の表面に一次光学系を介して複数の電子線を供給する電子ビーム生成手段1〜9と、試料10の表面から放出される二次電子線を検出器17に導く二次光学系14、15と、試料10を複数の電子線に対して相対的に移動させる移動手段12、Sとを具備する。 - 特許庁

The observation step acquires the SEM image by selectively detecting a secondary electron within an energy range E1 which includes a peak P21 of an energy distribution G21 of the secondary electron emitted from the p-type semiconductor region and does not include a peak P22 of an energy distribution G22 of the secondary electron emitted from the n-type semiconductor region.例文帳に追加

観察工程の際、p型半導体領域から放出される二次電子のエネルギー分布G21のピークP21を含み、且つn型半導体領域から放出される二次電子のエネルギー分布G22のピークP22を含まないエネルギー範囲E1の二次電子を選択的に検出することにより、SEM像を取得する。 - 特許庁

When a secondary electron image of a position recognition pattern 16 is not displayed with a first magnification, a secondary electron image is displayed with a second magnification lower than the first magnification while registered position recognition pattern data 17 are converted with the second magnification, and the secondary electron image with the second magnification is compared with the pattern data 17 obtained by the conversion, thereby recognizing the position of the recognition pattern 16.例文帳に追加

第1の倍率で位置認識パターン16の二次電子画像が表示されないとき、第1の倍率より低い第2の倍率で二次電子画像を表示するとともに、登録された位置認識パターンデータ17を第2の倍率に変換し、第2の倍率の二次電子画像と変換した位置認識パターンデータ17とを比較することによって位置認識パターン16の位置を認識する。 - 特許庁

When retarding potential is applied to a wafer W, secondary electrons are detected with a secondary electron detector 31 installed between a reducing glass 63 and a main deflection device 95', and when the retarding potential is not applied to the wafer W, secondary electrons are detected with a secondary electron detector 33 installed between an objective lens 65 and the wafer W.例文帳に追加

リターディング電位をウェーハWに印加するときは、縮小レンズ63とプリ主偏向器95’との間に配設された二次電子検出器31で二次電子を検出し、リターディング電位をウェーハWに印加しないときは、対物レンズ65とウェーハWとの間に配設された二次電子検出器33で二次電子を検出する。 - 特許庁

After scanning a desired region of a testpiece by a primary charged particle beam and colliding secondary charged particles secondarily generated from the region by irradiation of the primary charged particle beam with secondary electron conversion electrodes 33, secondary electrons generated by a first E×B deflector 31 fixed to the surface on the sample side of the secondary electron conversion electrodes 33 via an insulating material is taken in a detector 34.例文帳に追加

試料の所望領域を一次荷電粒子ビームで走査し、一次荷電粒子ビームの照射により領域から二次的に発生する二次荷電粒子を二次電子変換電極33に衝突させた後、二次電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第1のE×B偏向器31により発生する二次電子を検出器34に取り込む。 - 特許庁

When a retarding potential is applied on a wafer W, secondary electrons are detected by a secondary electron detector 31 arranged between a reducing glass 63 and a pre main deflector 95', and when the retarding potential is not applied on the wafer W, the secondary electrons are detected by a secondary electron detector 33 arranged between an objective lens 65 and the wafer W.例文帳に追加

リターディング電位をウェーハWに印加するときは、縮小レンズ63とプリ主偏向器95’との間に配設された二次電子検出器31で二次電子を検出し、リターディング電位をウェーハWに印加しないときは、対物レンズ65とウェーハWとの間に配設された二次電子検出器33で二次電子を検出する。 - 特許庁

Lightly bound valence electrons may be ejected by the incident fast electrons, and these electrons can be used to form secondary electron images. 例文帳に追加

軽く結合された価電子は入射高速電子によりはじき出され、そして、これらの電子は二次電子像を作ることに使える。 - 科学技術論文動詞集

The spatial resolution of X-ray microanalysis in a SEM is degraded more significantly than are secondary and backscattered electron images. 例文帳に追加

SEMにおけるX線微小分析の空間分解能は、二次電子および反射電子像の空間分解能よりも著しく低下させられる。 - 科学技術論文動詞集

To realize a scanning electron microscope which is capable of selectively detecting electrons having specified energy in secondary electrons from a sample.例文帳に追加

試料からの電子の内特定のエネルギーの電子を選択的に検出することができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To provide a low vacuum scanning electron microscope wherein secondary electrons can be efficiently detected even at a low degree of vacuum.例文帳に追加

低い真空度でも2次電子を効率よく検出することができる低真空走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

The secondary carbon nanotube grown at the side face of the primary carbon nanotube and having a fine diameter emits an electron at a low voltage.例文帳に追加

このように、1次カーボンナノチューブの側面に成長した微細直径の2次カーボンナノチューブは、低い電圧下でも電子を放出する。 - 特許庁

The electrolyte containing imidazolium salt (A) and electrolyte salt (B) including an electron-absorbent functional group, and the lithium secondary battery using the same are provided.例文帳に追加

電子吸引性の官能基を含有するイミダゾリウム塩(A)及び電解質塩(B)を含む電解質、及びそれを用いたリチウム二次電池。 - 特許庁

By arranging this scintillation detector assembly adjacent to the primary ion beam, secondary electron collection efficiency is further increased.例文帳に追加

また、このシンチレーション検出器組立体を一次イオンビームに近接配置することによって、二次電子収集効率をさらに高める。 - 特許庁

The possible images of the dopant profile and current path of its diffusing layer can be obtained directly from the secondary electron images having the potential contrast.例文帳に追加

電位コントラストを持つ2次電子像から直接拡散層のドーパントプロファイルや電流パスの可能像を得ることができる。 - 特許庁

To provide a highly useful and alkali-free secondary electron multiplication electrode and a photomultiplier tube using the same electrode.例文帳に追加

実用性の高いアルカリフリーの二次電子増倍電極及びそれを用いた光電子増倍管を提供する。 - 特許庁

By means of this control, secondary electrons having the energy levels E0, E1 at every picture element are detected by the electron spectroscope 10.例文帳に追加

この制御により、各画素ごとにエネルギーE_0、E_1を有する2次電子が電子分光器10で検出される。 - 特許庁

The secondary electron emission emitter is arranged with a spacing with the cathode emitter while facing the cathode emitter.例文帳に追加

前記二次電子放出エミッタは、前記陰極エミッタに対向して、該陰極エミッタと間隔をあけて設置される。 - 特許庁

To improve transmissivity of secondary electrons while securing resolution of a picture to a required value in an electron beam device.例文帳に追加

電子線装置において、画像の解像度を必要な値に確保しながら、二次電子の透過率を向上させる。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of detecting secondary electrons generated from a whole face of a target in high efficiency.例文帳に追加

ターゲット全面から発生した2次電子を高い効率で検出することができる走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

The adsorbent is configured by including a primary amine configured by being bonded with an electron-donative group, a secondary amine, and a porous body.例文帳に追加

電子供与性基が結合してなる1級アミン、2級アミンおよび多孔質体を含んでなることを特徴とする吸着剤。 - 特許庁

The secondary electron emission coefficient of the spacer is set to 1 or less in the half value of a voltage V_A impressed between the cathode and the anode.例文帳に追加

このスペーサの二次電子放出係数を、カソードとアノードとの間に印加される電圧V_Aの半値において1以下とした。 - 特許庁

To secure high secondary electron emission characteristics and reduce the discharge voltage in the electrode protection film material used for a plasma display.例文帳に追加

プラズマディスプレイに用いられる電極用保護膜材料に関し、高い二次電子放出特性を確保し、放電電圧を低減する。 - 特許庁

An electrode for a discharge tube 4 of the electrode part 3 is made of metal with a secondary electron emission coefficient of 1.5 or more or an alloy containing the metal.例文帳に追加

電極部3の放電管用電極4は、二次電子放出係数が1.5以上の金属又は該金属を含む合金から成る。 - 特許庁

That is, the center axis 74 of the scintillator 71 exists between the end 52 of the ion bean transport part 5 and the center axis 64 of the secondary electron outgoing opening 63.例文帳に追加

すなわち、イオン輸送部5の端部52と二次電子出射口63の中心軸64との間にシンチレータ71の中心軸74がある。 - 特許庁

A sampling signal is obtained by sampling an analog brightness signal formed by a secondary electron detector at a designated sampling rate.例文帳に追加

二次電子検出器によって生成されたアナログ輝度信号を所定のサンプリングレートにてサンプリングしサンプリング信号を得る。 - 特許庁

To provide an electron beam device with a detecting device capable of easily making a selection especially based on the difference between backscattered electrons and secondary electrons.例文帳に追加

選択を特に後方散乱電子及び二次電子に従って容易に行なうことができる検出装置を有する電子ビーム装置を提供すること。 - 特許庁

To shorten the time for adjusting the offset adjustment and the gain adjustment of the secondary electron detector of the TFT array inspection device.例文帳に追加

TFTアレイ検査装置の二次電子検出器のオフセット調整及びゲイン調整にようする時間を短縮すること。 - 特許庁

In a substrate for the surface light source device, a first secondary electron-emitting layer containing crystalline MgO powders is formed on the surface.例文帳に追加

面光源装置用基板は、表面に結晶性MgO粉末を含む第1二次電子放出層が形成されている。 - 特許庁

SECONDARY ELECTRON AMPLIFYING STRUCTURE ADOPTING CARBON NANO-TUBE, AND PLASMA DISPLAY PANEL AND BACK LIGHT USING THE SAME例文帳に追加

カーボンナノチューブを採用した2次電子増幅構造体及びこれを用いたプラズマ表示パネル及びバックライト - 特許庁

The detected secondary electron beam is A/D converted and is outputted from an image forming circuit 44 as digital image data.例文帳に追加

検出された二次電子線はA/D変換され、デジタル画像データとして画像形成回路44から出力される。 - 特許庁

The silicon oxide having electron conductive material layers on particle surfaces is used as the negative electrode material for the non- aqueous electrode secondary battery.例文帳に追加

非水電解質二次電池の負極材料として、粒子表面に電子導電性材料層を備えた珪素酸化物を用いる。 - 特許庁

When secondary electrons emitted by the irradiation with an electron beam at an accelerating voltage of 3 kV or less are observed, an image whose contrast is satisfactory is obtained.例文帳に追加

加速電圧3kV以下の電子線照射により放出される2次電子を観察することにより、コントラストが良い画像が得られる。 - 特許庁

To provide an electrode for a quantum beam monitor superior in heat resistivity, radiation resistivity and secondary electron discharge characteristics.例文帳に追加

耐熱性、耐放射線性及び二次電子放出特性に優れている量子ビームモニタ用電極を提供すること。 - 特許庁

The aperture diameter of the objective lens diaphragm can be determined based on a signal value of a secondary electron signal of the observation image as well.例文帳に追加

また、観察像の二次電子信号の信号値に基づき、対物レンズ絞りの絞り径を判別することもできる。 - 特許庁

To provide a protecting film for a gas discharge panel with a high secondary electron emission rate and a low drive voltage.例文帳に追加

2次電子放出率が高く、駆動電圧が低いガス放電パネル用の保護膜を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide activator particles for a nonaqueous electrolyte secondary battery having high electron conductivity, in a simple manufacturing method.例文帳に追加

簡便な製造方法で電子伝導性が高い非水電解液二次電池用活物質粒子を提供すること。 - 特許庁

The objective lens may be equipped with another electron detector (116) for detecting secondary electrons that are kept closer to an axis.例文帳に追加

前記対物レンズには、軸付近に保持される2次電子を検出する他の電子検出器(116)が備えられて良い。 - 特許庁

例文

To provide a cold cathode discharge lamp exhibiting enhanced emission efficiency and long service life by a cold cathode having enhanced secondary electron emission efficiency and sputtering resistance.例文帳に追加

2次電子放出効率と耐スパッタ性を兼ね備えた冷陰極によって、発光効率が高く、かつ長寿命の冷陰極放電灯を得る。 - 特許庁

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