「Sem」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

The resist pattern widths of the formed resist patterns can be measured using, for example, SEM (electron microscope).例文帳に追加

形成された前記２種類のレジストパターンのレジストパターン幅寸法は、例えばＳＥＭ（電子顕微鏡）等によって測定されればよい。 - 特許庁

To simultaneously provide an unevenness image of a sample surface in the same visual field for an EPMA analysis image or an SEM observation image in an electron beam analyzer.例文帳に追加

電子線分析装置において、試料面の凹凸像をＥＰＭＡ分析像やＳＥＭ観察像と同一視野で同時に得る。 - 特許庁

An SEM chamber is internally provided with a heating mechanism for heating a fine sample and a mass analysis meter for analyzing gaseous samples.例文帳に追加

ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。 - 特許庁

To provide an SEM type visual inspection device capable of setting flexibly the scanning method and its image signal processing method.例文帳に追加

走査方法をフレキシブルに設定することが可能なＳＥＭ式外観検査装置およびその画像信号処理方法を提供する。 - 特許庁

To allow various defects on a wafer to be quickly observed with high sensitivity in a defect observation method and a device for the same of a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

ＳＥＭの欠陥観察方法及びその装置において、ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に欠陥を観察する。 - 特許庁

allowing any resources that the system has allocated to the calling process for this semaphore to be freed. 例文帳に追加

はsemが参照する名前付きセマフォをクローズし、このセマフォ用に呼び出し元プロセスにシステムが割り当てていたリソースを解放できるようにする。 - JM

Especially, if an electron beam is used as the primary rays, the SEM observation-inspection of the sample in a live state can be well performed.例文帳に追加

特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 - 特許庁

To increase response speeds of an electric current signal, and improve yield of an ion electric current in a gas amplifying method ion electric current detection type SEM in which a secondary electron image can be obtained even in a low vacuum condition by utilizing an electron avalanche by a residual gas in a sample room.例文帳に追加

試料室内の残留ガスによる電子なだれを利用することで、低真空条件でも二次電子像を取得できるガス増幅式イオン電流検出型SEMにおいて、電流信号の応答速度の高速化およびイオン電流の収量の向上を図る。 - 特許庁

A coordinate difference information for each of defect inspection devices 41 and 42 is stored beforehand in an image observation SEM storage device 45, and the difference information is used to calibrate a defect position coordinate outputted from the devices 41 and 42 for a coordinate value as a coordinate value for the image observation SEM.例文帳に追加

像観察ＳＥＭの記憶装置４５に、予め欠陥検査装置４１，４２毎の座標誤差情報を記憶しておき、その誤差情報を用いて欠陥検出装置４１，４２から出力された欠陥位置座標を像観察ＳＥＭ用の座標値に校正する。 - 特許庁

A plurality of SEM image is acquired in a short time before and during acquisition of a characteristic X-ray image, and a shift amount and direction are calculated as two-dimensional vectors Va, Vb, Vc, Vd in every of small areas Ba, Bb, Bc, Bd divided into a plurality, as to the plurality of SEM images.例文帳に追加

特性Ｘ線画像の取得前及び取得中に短時間でＳＥＭ画像を取得し、その複数のＳＥＭ画像について複数に分割した小領域Ｂａ、Ｂｂ、Ｂｃ、Ｂｄ毎にずれの量及び方向を２次元ベクトルＶａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄとして算出する。 - 特許庁

To provide a three-dimensional shape measuring device which obtains cross section shape pattern information useful for determining etching process conditions using in-line SEM images obtained by non-destructive manner, and to realize effective process control by obtaining section shape pattern information using a SEM which is non-destructive and relatively easy to measure.例文帳に追加

エッチングプロセス条件決定に有効なパターン断面形状情報の取得を非破壊で観察可能なインラインＳＥＭの画像を用いて行い、また非破壊で比較的容易に測定が可能なＳＥＭによって断面形状情報を取得することで、効率のよいプロセス制御を実現する。 - 特許庁

To provide: a method for highly precisely estimating a detection value of emitted electrons obtained by actual observation; a method for highly precisely simulating an SEM image obtained by actual observation; and a scanning electron microscope having an electronic optical system or the like set therein, so that a dummy SEM image is actually obtained.例文帳に追加

走査電子顕微鏡において、実観察で得られる放出電子の検出値を高精度に推定する方法、実観察で得られるＳＥＭ像を高精度にシミュレーションする方法と模擬ＳＥＭ像が実際に得られるように電子光学系等が設定される装置を提供する。 - 特許庁

To provide an SEM capable of measuring and adjusting a dynamic range of brightness intensity of a display image, and provide an image signal processing method.例文帳に追加

表示画像の明るさ強度のダイナミックレンジを計測し、調整することが可能なＳＥＭおよび画像信号処理方法を提供する。 - 特許庁

Thereafter, a sample stage is arranged on an optical axis of an electronic optical system and the sample cross-section 50 appeared by ion etching is observed by SEM.例文帳に追加

その後、試料ステージが電子光学系の光軸上に配置されて、イオンエッチングで現れた試料断面５０がＳＥＭ観察される。 - 特許庁

In the SEM, an optical system axis and a stage rotation axis are shifted if an observation environment and an adjusting environment are different because adjustment is carried out under specific conditions.例文帳に追加

ＳＥＭは特定条件で調整するため観察環境と調整環境が異なると光学系軸とステージ回転軸がずれる。 - 特許庁

On the other hand, when the sample surface 45 is observed by SEM, a first installed part 31 of the sample holder is installed on the holder installation part 16.例文帳に追加

一方、試料表面４５をＳＥＭ観察する場合には、試料ホルダの第１の被取付部３１がホルダ取付部１６に取付けられる。 - 特許庁

CD-SEM 1 measures the line width of a resist pattern by lots as units of several wafers and stores measurement data in a database 4.例文帳に追加

ＣＤ−ＳＥＭ１は、何枚かのウェハーを単位としたロット毎にレジストパターンの線幅を測定し、測定データをデータベース４に記憶して行く。 - 特許庁

To use in common a sample stand both at the FIB processing time and at the SEM observation time, and to prevent collision between a device body and the sample stand.例文帳に追加

ＦＩＢ加工時とＳＥＭ観察時とで試料台を共用するとともに、装置本体と試料台が衝突することを防止する。 - 特許庁

Since an SEM is adjusted under specified conditions, the stage rotation axis deviates from the optical system axis, if the observation environment and the adjustment environment differ from each other.例文帳に追加

ＳＥＭは特定条件で調整するため観察環境と調整環境が異なると光学系軸とステージ回転軸がずれる。 - 特許庁

To provide a method of proximity matching recognition having no defect of a method based on SEM, and a lithography apparatus appropriate for such a method.例文帳に追加

ＳＥＭに基づく方法の欠点がない近接整合認定の方法、及びこのような方法に適切なリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

The mounting metal fitting 40 is screwed with a side face 10c adjacent to the loading surface 10b and the opposite surface 10d at the SEM observation time.例文帳に追加

また、搭載面１０ｂ及び対向面１０ｄに隣接する側面１０ｃには、ＳＥＭ観察時に装着金具４０が螺合される。 - 特許庁

Consequently, shutdown of a measuring SEM due to error can be avoided and the position can be detected in a relatively short time.例文帳に追加

認識エラーによる測長ＳＥＭの動作停止を回避することができるとともに、比較的短時間で、位置検出を行うことができる。 - 特許庁

When the evaluation sample is observed by SEM, it is seen a contrast difference by the storage node conducted to the substrate and the storage node being open.例文帳に追加

この評価サンプルをＳＥＭで観察すると、基板に導通しているストレージノードとオープンなストレージノードとでコントラストの差として観察される。 - 特許庁

To perform exposure in a state of superior imaging performance by calculating the imaging performance of a projection optical system with a simple constitution, without having to developer measure SEM.例文帳に追加

現像やＳＥＭ測定を行うことなく、簡素な構成で、投影光学系の結像性能を算出し、結像性能の良好な状態で露光を行う。 - 特許庁

The SEM apparatus searches the defect several times as a view field is moved in the direction of the distribution of the coordinate system offset obtained by the offset information.例文帳に追加

このとき、ＳＥＭ装置は、ずれ情報から得た座標系のずれの分布の方向に沿って視野を移動させながら複数回、欠陥の探索を行う。 - 特許庁

When X-ray mapping is conducted, a SEM image in a scanning area on a sample 4 is stored as a reference image in a first scanning.例文帳に追加

Ｘ線マッピングを行うに際して、最初の１回目の走査時に、試料４上の走査領域のＳＥＭ像を基準像として記憶しておく。 - 特許庁

To provide an X-ray analyzer mountable on a SEM, a TEM or the like, and measuring a plurality of elements simultaneously with high sensitivity and high resolution.例文帳に追加

ＳＥＭ、ＴＥＭなどにも取り付け可能で、複数の元素を高感度、高分解能で同時に測定可能なＸ線分析装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron lens with small size and low aberration and a charged particle beam device such as an ultra-small, high resolution SEM or the like using the same.例文帳に追加

小型で低収差の電子レンズを提供し、それを用いて、超小型でかつ高分解能のＳＥＭ等の荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

In the session map zone, session map blocks (SEM) are recorded that contain the position data of closed session, i.e. session that have been completely recorded, in session items.例文帳に追加

セッションマップゾーンでは、セッションアイテム内に、閉じられたセッション即ち完全に記録されたセッションの位置データを含む、セッションマップブロック（ＳＥＭ）が記録される。 - 特許庁

To provide a technology for adequately controlling processing steps or the like by using, for example, both of CD-SEM and scatterometry in regard to a method of manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加

半導体デバイス製造方法に係り、例えばＣＤ−ＳＥＭとスキャトロメトリを併用し、処理工程等をより適切に制御できる技術を提供する。 - 特許庁

In the session map zone, a session map block (SEM) containing position data of a closed session, namely, a completely recorded session is recorded.例文帳に追加

セッションマップゾーンでは、セッションアイテム内に、閉じられたセッション即ち完全に記録されたセッションの位置データを含む、セッションマップブロック（ＳＥＭ）が記録される。 - 特許庁

The SEM type visual inspection device utilizes a concept of a scanning set 101 in which a plurality of scanning are handled as one unit of scanning.例文帳に追加

本発明のＳＥＭ式外観検査装置では、複数の走査を１つの単位の走査として取り扱う走査セット１０１の概念を利用する。 - 特許庁

To provide a cross-sectional processing observation apparatus which can efficiently and continuously carry out execution of a cross-sectional processing and observation by a focused ion beam device that does not include SEM device.例文帳に追加

ＳＥＭ装置を有しない集束イオンビーム装置により断面加工観察を効率よく連続実施が可能な断面加工観察装置の提供。 - 特許庁

To provide a mask inspection device and an image generation method capable of generating a wide visual field, high-accurate SEM image easily and at high speed.例文帳に追加

広視野かつ高精細なＳＥＭ画像を容易かつ高速に生成することの可能なマスク検査装置及び画像生成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a pattern inspection device capable of automatically detecting a pattern having a flaw difficult to visually discriminate in an SEM image, and to provide a pattern inspection method.例文帳に追加

ＳＥＭ画像では目視による識別が困難な欠陥を有するパターンを自動検出可能なパターン検査装置及びパターン検査方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an inexpensive stage of a small sized device capable of preparing a sample for a TEM and a sample for a SEM quickly in response to requirement.例文帳に追加

ＴＥＭ用試料、ＳＥＭ用試料を必要に応じて迅速に作成可能であり、装置も小型で、低コストのステージを提供することである。 - 特許庁

After designating a position inside a memory cell block of a target cell, information on the number of arrangements of cells in a scanning electron microscope(SEM) observation visual field of a radix portion of the cell block is extracted.例文帳に追加

目標セルのメモリセルブロック内での位置を指定後、セルブロックの基点部分のＳＥＭ観察視野でのセルの配置個数情報の抽出。 - 特許庁

To obtain a semiconductor device in which the orientation can be judged readily when it is observed by means of an SEM or an SIM regardless of the fact whether the surface is planarized or not.例文帳に追加

表面が平坦化されているか否かに関わらず、ＳＥＭやＳＩＭでの観察時に向きを容易に判別できる半導体装置とする。 - 特許庁

Dimensions of the defect are measured by specifying the coordinates of an electrical defect utilizing variation of resistance due to irradiation with laser beam and by means of an SEM.例文帳に追加

欠陥の寸法測定は、レーザビーム照射による抵抗変化を利用した電気的欠陥の座標の特定と、ＳＥＭによる欠陥の寸法測定と行う。 - 特許庁

To mount a semiconductor substrate on a stage and to correct the alignment rotational component at the time of exposure by a stepper when measuring a pattern dimension with a length measurement SEM.例文帳に追加

測長ＳＥＭにてパターンの寸法を測定する際、ステージ上への半導体基板設置、およびステッパによる露光時のアライメント回転成分を補正する。 - 特許庁

Since the ion beam device is optimally operated in the presence of a magnetic field from the SEM objective lens, the objective lens does not stop during the operation of the ion beam.例文帳に追加

イオン・ビーム装置がＳＥＭ対物レンズからの磁界の存在下で最適に動作するようにされるので、対物レンズはイオン・ビームの動作中に停止しない。 - 特許庁

To keep high throughput in an SEM-type defect review apparatus for automatically collecting a defective image existent on a sample such as a semiconductor wafer or the like.例文帳に追加

半導体ウェーハ等の試料上に存在する欠陥の画像を自動収集するＳＥＭ式欠陥レビュー装置において、高いスループットを提供する。 - 特許庁

To provide a method or the like of producing an SEM sample from a thin stripe of a biological tissue of a small volume and/or a biological tissue block-embedded by paraffin or the like.例文帳に追加

体積の少ない生物組織、及び／又は、パラフィン等によりブロック包埋された生物組織の薄切切片から、ＳＥＭ標本を作製する。 - 特許庁

The SEM image of a semiconductor device constituted of two or more layers is obtained, and the peak position of the pattern is extracted as a peak point from the obtained image.例文帳に追加

２層以上から構成された半導体デバイスのＳＥＭ画像を取得し、この取得画像からパターンのピーク位置をピーク点として抽出する。 - 特許庁

The sellected figure shows a SEM photograph of the inside surface in the welded seam part of the steel tube manufactured by this manufacturing method and the smoothness of the surface is shown.例文帳に追加

選択図は、この製造方法によって製造された鋼管の溶接シーム部内面のＳＥＭ写真を示し、その表面の平滑度を示している。 - 特許庁