「interferometer」に関連した英語例文の一覧と使い方(26ページ目) - Weblio英語例文検索

The asymmetric Mach-Zehnder interferometer (MZI) has a reduced drive voltage coupled to a compact low-loss arrayed waveguide grating (AWG) to provide a broader passband with low ripple.例文帳に追加

非対称マッハ・ツェンダー干渉計（ＭＺＩ）は、低いリプルを有するより広範な通過帯域を提供するために、小型低損失アレイ導波路格子（ＡＷＧ）に結合された低減駆動電圧を有する。 - 特許庁

To make the minute surface shape of an object precisely and quickly measurable by use of a two-luminous flux interferometer and a wavelength variable light source or wavelength selecting filter for a white light source.例文帳に追加

２光束干渉計と白色光源の波長可変光源あるいは波長選択フィルタとを利用して、対象物の微少な表面形状を高精度かつ迅速に測定可能にする。 - 特許庁

The wavelength filter is provided with 3 dB directional couplers 6, 12 having two input paths and two output paths, and these are cascade connected such that structure of a Mach-Zehnder interferometer type is obtained.例文帳に追加

この波長フィルターは、二つの入力路と二つの出力路を持つ３ｄＢ方向性結合器６，１２を備え、これらがマッハツェンダー干渉計型の構造となるように縦列接続されている。 - 特許庁

To optimally receive optical signals by including, in an optical receiver, a demodulator having a delay interferometer comprising optical input that receives a phase modulated optical signal from a bandwidth limited transmission system.例文帳に追加

光受信器が、帯域幅制限伝送システムから位相変調光信号を受信する光入力を備える遅延干渉計を有する復調器を含み、光信号を最適に受信する。 - 特許庁

Consequently, the influence of the specimen 18 to the wave front by the measuring light L emitted from the interferometer 1 affected by the double refraction is substantially the same as that to the wave front of the random nonpolarized light.例文帳に追加

その結果、干渉計（１）から射出される測定光（Ｌ）の波面に対する被検物（１８）の複屈折の影響は、ランダムな非偏光の光の波面に対するそれとほぼ同じになる。 - 特許庁

To obtain a measuring instrument capable of highly efficiently measuring a surface shape during working even at a middle working stage before the stage where the surface shape measuring becomes possible with an interferometer, in a aspherical working.例文帳に追加

非球面加工において、加工中段、干渉計での面形状測定が可能になる前の段階での面形状測定を高効率で行う測定器を得ることを目的としている。 - 特許庁

A waveguide monitoring structure is optically coupled in parallel with the WPM so as to form a Mach-Zehnder interferometer therewith for generating monitor light that indicates a phase shift imparted by the WPM.例文帳に追加

ＷＰＭによって与えられる位相シフトを示すモニタ光を作り出すために導波路型モニタリング構造がマッハツェンダ型干渉計を形成するようにＷＰＭと並列で光学的に結合される。 - 特許庁

When some anomaly of the position measuring system is detected or the wafer stage is out of the measuring range of the position measuring system, it is changed over to driving control according to the measured result of the interferometer system.例文帳に追加

位置計測システムの異常が検知された際、又はウエハステージが位置計測システムの計測領域から外れた際には、干渉計システムの計測結果に基づく駆動制御に切り換える。 - 特許庁

To measure highly precisely the three-dimensional shape of the surface of a measuring object without moving the measuring object physically, in a surface shape measuring device using an interferometer.例文帳に追加

干渉計を用いた表面形状測定装置において，測定対象物を物理的に移動させることなく，測定対象物表面の３次元形状を高精度に測定できるようにする。 - 特許庁

Based on a first analyzing image formed with measurement light that is reflected in a retroreflective manner from the first test surface 71 back to the interferometer 30 via the reflection deflector 10B and on a second analyzing image formed with measurement light that is reflected in a retroreflective manner from the second test surface 72 back to the interferometer 30, a relative tilt of the first test surface 71 and the second test surface 72 is analyzed.例文帳に追加

第１被検面７１から再帰反射され、反射偏向素子１０Ｂを介して干渉計３０に戻る測定光により形成される第１解析用画像と、第２被検面７１から再帰反射されて干渉計３０に戻る測定光により形成される第２解析用画像とに基づき、第１被検面７１および第２被検面７２の相対的な傾きが解析される。 - 特許庁

This stage apparatus comprises a stage movable portion capable of moving on a base without contact thereto, an interferometer for measuring the position of the stage movable portion, a piping or wiring connected to the stage movable portion, and a heat insulator or a heat collecting unit configured to reduce heat to be transmitted from the piping or wiring to a space where the measurement light of the interferometer passes.例文帳に追加

定盤上を非接触に移動可能なステージ可動部と、前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、前記ステージ可動部に接続された配管または配線を備えるステージ装置であって、前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された断熱材または熱回収ユニットを備えることを特徴とする。 - 特許庁

To enable spatial positioning with high sensitivity by detecting weak reflected light from a body to be measured with high sensitivity by providing an interferometer which gives a uniform frequency shift to white light and scans interference fringes so as to actualize heterodyne interference and an interferometer which takes actual measurement separately in an interference method for a light wave by white light with wide spectrum width as a light source.例文帳に追加

光源としてスペクトル幅の広い白色光による光波の干渉法において、ヘテロダイン干渉を実現するために白色光に一様な周波数シフトを与えたり干渉縞を走査する干渉計と、実際に計測する計測用干渉計とを別々に設けることによって、被測定物体からの弱い反射光を高感度で検出し、空間的位置決めなどを高感度で可能とする。 - 特許庁

A calibration device is configured to measure the Ry of the object support with the X interferometer measurement system in at least two different Z positions, measure the Ry of the object support with the Z interferometer measurement system in at least two different Z positions, calibrate the linear Z dependency of the Ry on the basis of the measurements, and calibrating the linear X dependency of Z on the basis of the previous calibration.例文帳に追加

較正デバイスは、Ｘ干渉計測定システムを使用して、少なくとも２つの異なるＺ位置で対象物支持体のＲｙを測定し、Ｚ干渉計測定システムを使用して、少なくとも２つの異なるＺ位置で対象物支持体のＲｙを測定し、測定した測値に基づいてＲｙの一次Ｚ依存性を較正し、且つ、該較正に基づいてＺの一次Ｘ依存性を較正するようになされている。 - 特許庁

The position measuring equipment using a laser interferometer is provided with a count-up counter 109 for counting up and a count-down counter 110 for counting down which are used for measurement of the position on the basis of the phase of an interference light 101 from the laser interferometer, and the change-over means uses either of the count-up counter and count-down counter so as to perform changing over.例文帳に追加

レーザ干渉計を用いた位置計測装置の場合は、レーザ干渉計からの干渉光１０１の位相に基づいて位置の計測を行なうためのカウントアップを行なうカウントアップ用カウンタ１０９およびカウントダウンを行なうカウントダウン用カウンタ１１０を備え、切替え手段は、前記切替えを、カウントアップ用カウンタまたはカウントダウン用カウンタのいずれを使用して行なうかを切り替えることにより行なう。 - 特許庁

The delay interferometer obtained by fixing and joining an optical component to the inner wall of a metallic package includes at least a pair of temperature compensation materials which are fixed and joined onto the outer wall opposing to the inner wall of the metallic package.例文帳に追加

金属パッケージの内壁に光学部品を接着固定してなる遅延干渉計において、 前記金属パッケージの内壁に対向する外壁に接着固定された、少なくとも一対の温度補償材を備える。 - 特許庁

A Michelson type interferometer main body 1 is provided with a laser beam source 10, an optical wedge 28, a base plate 34, the work 36 and a CCD camera 42 for acquiring an interference fringe image, and supplies the interference fringe image to a PC 2.例文帳に追加

マイケルソン型干渉計本体１はレーザ光源１０、光学楔２８、ベースプレート３４、ワーク３６及び干渉縞画像を取得するＣＣＤカメラ４２を備え、干渉縞画像をＰＣ２へ供給する。 - 特許庁

To provide a tracking laser interferometer capable of resetting tracking automatically, when tracking becomes impossible by reason of blocking of laser light, or the like, or automatizing an initial adjustment work, when starting measurement.例文帳に追加

レーザ光が遮断される等の理由により追尾できなくなったときに追尾を自動的に復帰可能とする、あるいは、測定開始時に初期調整作業の自動化を可能とする追尾式レーザ干渉計を提供する。 - 特許庁

To provide a laser vibrometer capable of attaining actual time vibration measurement of a measuring object without adjustment, with ultra-high sensitivity, and without requiring at all a device for extracting a vibration signal such as an optical interferometer.例文帳に追加

光干渉計など振動信号を抽出する装置を一切必要とせずに、被測定物の実時間振動計測を無調整且つ超高感度で達成することのできるレーザ振動計を提供すること。 - 特許庁

To provide an optical interferometer type phase detection apparatus capable of highly accurate phase detection with phase noise reduced and detecting the phase of an optical BPF etc. of an extremely narrow band which allows no reference light to pass.例文帳に追加

位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。 - 特許庁

On the second arm 44c of a Mach-Zehnder interferometer 44, an optical gate 46 passes the pilot signal light and a duplicate unit 48 duplicates the output pilot signal light from the optical gate 46 at predetermined time intervals Ts.例文帳に追加

マッハツェンダ干渉計４４の第２アーム４４ｃ上で、光ゲート４６が、パイロット信号光を通過し、複製装置４８が、光ゲート４６の出力パイロット信号光を所定時間間隔Ｔｓで複製する。 - 特許庁

To provide a demodulation device for differential phase-modulated signal light whose variable range for the delay amount in a delayed interferometer is wide, as well as, which can stably attain the required delay amount, even if the device is influenced by external vibrations, etc.例文帳に追加

遅延干渉計における遅延量の可変範囲が広く、かつ、外来振動等の影響を受けても所要の遅延量を安定して実現できる、差動位相変調信号光の復調装置を提供する。 - 特許庁

The vibration displacement in which the workpiece is vibrated due to the external environment is obtained, and a reference signal provided to the time-domain correlation image sensor is generated from a displacement signal of a reference mirror of the white light interferometer.例文帳に追加

ここで、被測定物が外部環境によって振動する振動変位を取得し、白色干渉計の参照ミラーの変位信号から、時間相関イメージセンサに与える参照信号を生成することができる。 - 特許庁

To provide interferometer for inclination measurement capable of precisely measuring relative inclination angles of a plurality of optical surfaces of an object to be measured in the case that the object to be measured is a multi reflection object like an optical prism.例文帳に追加

光学プリズムのような多層反射物体を被検体とした場合でも、被検体が有する複数の光学面の相対傾斜角度を高精度に測定することが可能な傾斜測定干渉計装置を得る。 - 特許庁

The third beam is reflected by the measured object to become the fourth beam and overlap with the reference rays by the interferometer by interference, so that interference fringes which are used as light signals are provided.例文帳に追加

前記第３光線は前記測定物によって反射され、第４光線となり、前記干渉計で前記参照光線と干渉的に重なり合うことで、光信号として用いられる干渉縞が提供される。 - 特許庁

To efficiently adjust optical phase difference between optical waveguides of each delay interferometer in a short period of time during starting, switching of optical signals and variation of an external condition in an optical DQPSK (Differential Quadrature Phase Shift Keying) receiver.例文帳に追加

光ＤＱＰＳＫ受信機において、起動時や光信号の切り替え時や外部条件の変動時に、各遅延干渉計の光導波路間の光位相差を効率よく短時間で調節すること。 - 特許庁

To provide a method for generating interference fringe and an interferometer capable of achieving measurement of an aspheric lens (free shape lens) at a low cost by hardly receiving influence of external disturbance such as vibration in compactness without needing a reference lens.例文帳に追加

基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus and method capable of adjusting the position and attitude of a stage accurately using an interferometer having measurement accuracy enhanced by correcting geometric error (positional error or parallelism error of measuring axis).例文帳に追加

幾何学的誤差（計測軸の位置誤差や平行度誤差）を補正し、計測精度を向上した干渉計を用いて、ステージの位置・姿勢を正確に調整することのできる露光装置及び露光方法を提供する。 - 特許庁

A fixed measuring member and a displacement measuring member are located at both ends of a cylinder and a laser beam is introduced to a laser light wave interferometer 400 of the autonomous control caliper having inside a nearly-vacuum closed hollow space.例文帳に追加

固定測定部材および変位測定部材を外筒の両端に設け、内部に略真空の密閉中空部を有した自律制御端度器のレーザ光波干渉計４００にレーザ光を入射する。 - 特許庁

This is a converter of an NRZ signal with a bit duration T, which comprises an interferometer structure 10 having two pieces of arms 9, 11 provided with media 13, 15 of which the refractive indices vary according to optical power passing therethrough.例文帳に追加

通過する光パワーに応じて屈折率が変化する媒体１３、１５を備えた２本のアーム９、１１をもつ干渉計構造１０を含んでいる、ビット持続時間ＴをもつＮＲＺ信号の変換器。 - 特許庁

An interferometer 10 having a measuring aperture opening to the side of a plane 11a to be measured is fixed movably to a direct driven stage 12 and scanning is performed by driving the direct driven stage 12 in the X direction.例文帳に追加

干渉計１０は、被測定面１１ａ側に開口した測定開口を有して直動ステージ１２に移動可能に取り付けられ、直動ステージ１２を駆動させることによりＸ方向に走査される。 - 特許庁

The optical fiber ring interferometer type sensor comprises a looped optical fiber of a sub-loop connected through a branch coupler element to a midway of an optical fiber loop (main loop) acting as a detector for detecting oscillations, etc.例文帳に追加

光ファイバリング干渉計型センサにおいて、振動等の検出部となる光ファイバループ（主ループ）のループ途中に、分岐結合素子を介して、副ループとなるループ状光ファイバを接続したことを要旨とする。 - 特許庁

To provide a shearing interferometer which can avoid breakages due to collision, and preventing collision of a first reflecting surface and a second reflecting surface which closely face each other in a pair of parallel flat plates for forming a shearing interference pattern.例文帳に追加

シアリング干渉縞を形成するための一対の平行平板の近接対向する第１，２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できるシアリング干渉計測装置を提供する。 - 特許庁

To perform more accurate exposure by preventing the shift of an electron beam due to the displacement of a column caused by vibration disturbance and by lessening errors in measuring the position of a stage caused by the displacement of an interferometer.例文帳に追加

振動外乱に起因して生じうるカラムの変位による電子ビームのシフトを防止すること、干渉計の変位によるステージ位置の計測誤差を低減すること、それにより高精度な露光を可能にすることである。 - 特許庁

The reflections on inclined end surfaces as well as the action as a lens at side surfaces of a plurality of optical waveguide members Of1-Of4 are utilized for optical coupling, thus configuring an interferometer.例文帳に追加

複数の光導波部材Ｏｆ１〜Ｏｆ４を、互いの傾斜端面における反射，及び互いの側面のレンズ作用を利用して光結合せしめることにより干渉計を構成するようにしたものである。 - 特許庁

In order to perform phase adjustment, for example, the phase adjustment grooves 43a, 44a along the lower-side arm 32 are filled with resin 52 for the phase adjustment, thereby capable of performing the phase adjustment of an optical waveguide interferometer circuit 10.例文帳に追加

位相調整をするため、例えば下側アーム３２に沿う位相調整溝４３ａ，４４ａに位相調整用樹脂５２を充填することで光導波路干渉計回路１０の位相調整をすることができる。 - 特許庁

The interferometer has the system L, a projection optical system 3 and a reflecting member MR on a wafer stage 4, and interference fringes, reflecting a wavefront aberration of the system 3, is formed on a photoelectric converter 13.例文帳に追加

干渉計は、無収差光学系Ｌ、投影光学系３、及び、ウェハステージ４上の反射部材ＭＲを有し、投影光学系３の波面収差を反映した干渉縞を光電変換器１３上に形成する。 - 特許庁

To provide an adjustment system capable of performing accurate and stable measurement by properly controlling gas-pressure-temperature conditions in a space in which beams propagate, in an interferometer system that measures a table position.例文帳に追加

テーブル位置測定のための干渉計システムにおいてビームが伝搬する空間の気体圧力温度条件を適正に制御することにより精度の高い安定した計測が可能な調整システムを提供する。 - 特許庁

The receiving device 102 includes, in parallel, an asymmetric Mach-Zehnder interferometer 107 and an optical system 108 for analyzing the arrival time of an optical pulse to discriminate respective states, without having to use the phase modulators.例文帳に追加

受信装置１０２では非対称マッハツェンダー干渉計１０７と光パルスの到着時間を分析する光学系１０８とを並列に用意することにより、位相変調器を用いずに各状態を識別できる。 - 特許庁

To reduce a correction error caused by the deviation between the phase of air vibration generated in an air conditioner at the laser optical axis of a laser interferometer for measuring positions and the phase of a position at a wavelength detection position by a wavelength sensor.例文帳に追加

空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。 - 特許庁

A diffraction grating 20 for an X-ray Talbot interferometer has a plurality of X-ray absorption parts 20b formed on a substrate 22 by cutting a metal film 20bx in a wavy shape at prescribed intervals in one direction.例文帳に追加

基板２２上に金属膜２０ｂｘを切削して形成したＸ線吸収部２０ｂが、一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成されているＸ線タルボ干渉計用回折格子２０である。 - 特許庁

To provide an exposure device in which relative position error between stages occurring due to elastic deformation of the body structure is corrected without requiring an extra laser interferometer for measuring elastic deformation of the body structure.例文帳に追加

本体構造体の弾性変形を計測するレーザ干渉計を追加することなく、本体構造体の弾性変形により発生するステージ間の相対位置誤差を補正する露光装置を提供すること。 - 特許庁

A PID type controller 52 outputs a control signal SC1 corresponding to the deviation of a feedback signal FS1 outputted from a laser interferometer 32 from a reference signal RS1 outputted from a target position generator 50.例文帳に追加

ＰＩＤタイプコントローラ５２は、目標位置発生器５０から出力される基準信号ＲＳ１とレーザ干渉計３２から出力される帰還信号ＦＳ１との偏差に応じた制御信号ＣＳ１を出力する。 - 特許庁

The broad-band wavelength multiplexing and demultiplexing filter 50 of this invention is constituted on a substrate 15 by completely point-symmetrically cascading point-symmetrically connected optical interferometer circuits 52a, 52b of a phase part intervention type to each other.例文帳に追加

本発明の広帯域波長合分波フィルタ５０は、基板１５上に、位相部分介在型の点対称接続光干渉計回路５２ａ，５２ｂとを完全点対称に縦列接続させて構成される。 - 特許庁

This compensation output value calculator calculates an amount of compensation for the current flowing on a beam position compensation coil 8, depending on a difference between a position of a wafer stage 2 measured by the interferometer 4 and a target position of the wafer stage 2.例文帳に追加

補正出力値計算装置は、干渉計４によって測定されたウエハステージ２の位置とウエハステージ２の目標位置との差に応じて、ビーム位置補正コイル８に流す電流の補正量を計算する。 - 特許庁

To provide an interferometer, the composition of the basic optic system of which is not affected by the effective measuring diameter of a lens to be inspected, and which can be suitably used for the lens to be inspected having a variety of sizes of effective measuring diameter.例文帳に追加

本発明は、基本光学系の構成が被検レンズの測定有効径に影響されず、多様な寸法の測定有効径を有する被検レンズに好適に用いることの出来る干渉計を提供する。 - 特許庁