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「interferometer」に関連した英語例文の一覧と使い方(28ページ目) - Weblio英語例文検索


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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > interferometerの意味・解説 > interferometerに関連した英語例文

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interferometerを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 1556



例文

Position information on a wafer stage WST is measured by using: wafer X interferometers 18X_1, 18X_2, a wafer Y interferometer 18Y, etc., and encoders 50A, 50B, etc. with excellent short-term stability of measurement values in comparison with those of the interferometers.例文帳に追加

ウエハステージWSTの位置情報は、ウエハX干渉計18X_1,18X_2、ウエハY干渉計18Y等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ50A,50B等とを用いて計測される。 - 特許庁

An influence of refractive index is prevented by making a length-measuring optical path vacuum, and deformation of the slider 16 including the interferometer part 14 and the reflection mirror 20 is prevented by the sub-bellows 38, 40 to allow the flexible coupling.例文帳に追加

測長光路を真空とすることで屈折率の影響を防止し、また柔的な結合を可能とする副ベローズ38、40により干渉計部14及び反射ミラー20を含むスライダ16のひずみを防止できる。 - 特許庁

To provide a multi-wavelength interferometer capable of measuring at high precision with accurately specifying a composed wavelength determined by a plurality of different wavelengths by measuring wavelength difference among a plurality of different wavelengths with a simple constitution.例文帳に追加

複数の異なる波長間の波長差を、簡易な構成により測定して、複数の異なる波長によって定められる合成波長を正確に特定することで、高精度な測定を可能にした多波長干渉計を提供する。 - 特許庁

To provide a spectrophotometer which can measure spectroscopy in THr(tera Hertz) region with good S/N by combining a variable wavelength tera Hertz wave light source having high spectral strength with a Type Fourier interferometer.例文帳に追加

強いスペクトル強度をもつ波長可変テラヘルツ波光源と、二光束干渉を用いたマーチン−パプレット型フーリエ干渉計を組み合わせることにより、THz領域での分光を、S/N良く測定できる分光光度計を提供する。 - 特許庁

例文

A displacement of the prism 20A in a Z direction is measured by a Z-axis laser interferometer 22A, the prism 20A and a fixed mirror 24A for reflecting the laser beam LA reflected upward by the prism 20A in an incident direction and returning the laser beam LA.例文帳に追加

Z軸レーザ干渉計22A、プリズム20A、及びプリズム20Aで上方に反射されたレーザビームLAを入射方向に反射して戻す固定ミラー24Aによって、プリズム20AのZ方向の変位を計測する。 - 特許庁


例文

To provide an interferometer type method for a waveform probe requiring no setting of a reference point near the active region on a semiconductor IC device (DUT) without affected by mechanical vibration nor temperature- induced movement of the DUT.例文帳に追加

半導体ICデバイス(DUT)の機械的振動および温度誘発の動きに影響されずしかもDUT上の活性領域近傍で基準点を定める必要のない波形プローブのための干渉計式の方法を提供する。 - 特許庁

To provide a light wavelength measuring device capable of measuring the light wavelength at the resolution according to measuring time intervals by vibrating the optical path difference of an interferometer, and measuring the frequencies of the generated alternating signals.例文帳に追加

干渉計の光路差を高速に振動させて発生する交流信号の周波数を測定することによって、測定時間間隔に応じた分解能で光の波長を測定することができる光波長測定装置を提供する。 - 特許庁

To enable a spectroscopic device in which a spectroscope is connected to a Fabry-Perot interferometer in tandem to make measurement over a wide range with such superhigh resolution that a plurality of close peaks can be identified individually and a high optical throughput.例文帳に追加

ファブリーペロー干渉計に分光器をタンデム接続した分光装置において近接する複数のピークを識別できる超分解能で広範囲かつ高オプティカルスループットな測定ができる高分解能分光装置を提供すること - 特許庁

Consequently, the position of the reticle stage RST in the X-axis direction can be measured with high accuracy by an X-axis interferometer 69X, and position control of the reticle stage RST can be improved.例文帳に追加

これにより、X軸干渉計69XによるレチクルステージRSTのX軸方向の位置計測を高精度で行うことが可能となり、ひいてはレチクルステージRSTの位置制御性の向上を図ることが可能となる。 - 特許庁

例文

The present invention is for observation by an interference microscopic image by a two-step electron-beam biprism interferometer.例文帳に追加

従来の電子線干渉計測法では、電子線バイプリズムの極細線電極から発生するフレネル縞が取得画像ごとに変化して干渉像に重畳されるため、新たなアーティファクトの原因となり、高精度な再生像を得るには至っていない。 - 特許庁

例文

At least one laser interferometer directs further the measuring beam into the transfer element so as to determine the rotation of the transfer elements 9, 20 around X coordinate direction or Y coordinate direction or Z coordinate direction.例文帳に追加

少なくとも一つのレーザー干渉計は、X座標方向まわりの又はY座標方向まわりの又はZ座標方向まわりの移動要素(9、20)の回転を決定するために、さらなる測定ビームを移動要素に向ける。 - 特許庁

The recipient inputs the second photon to the Sagnac interferometer after mixing it with local oscillator light in a half beam splitter at the time 2 later than the time 1, and makes it interact with reference light in the nonlinear optical material.例文帳に追加

受信者は時刻1よりも後の時刻2に第2の光子を、ハーフビームスプリッターにおいてローカルオシレーター光と混合させた後で前記サニャック干渉計に入力し、非線形光学材料中で参照光と相互作用させる。 - 特許庁

A Mach-Zehnder interferometer type wavelength converting element 1300 is interposed off the center position of a looped waveguide 1200 having both its ends connected to an optical multiplexer demultiplexer 1100 to constitute a Sagnac type wavelength converting device.例文帳に追加

両端が光合分波器1100に接続されたループ導波路1200の中央位置からずれた位置に、マッハ・ツェンダ干渉計型波長変換素子1300を介装して、サニャック型波長変換装置を構成する。 - 特許庁

In the interferometer, a phase shift imaging device 3000 is provided with a multiphase shift generation mechanism 1400 containing high density phase shift array elements 410, 420, a beam splitter 310, and two polarizing elements 510a, 510b.例文帳に追加

移相撮像素子3000は、多重移相発生機構1400を備え、多重移相発生機構1400は、高密度移相アレイ素子410,420、ビームスプリッタ310および2つの偏光素子510a,510bを含む。 - 特許庁

An optical path length difference is provided between the paired optical fibers 20, to absorb a difference between an optical path length difference n an inside of the delay interferometer 12 and/or an optical path length difference in an inside of the balanced receiver 14, and a prescribed optical path length difference.例文帳に追加

遅延干渉計12の内部の光路長差及び/又はバランスドレシーバ14の内部の光路長差と、所定の光路長差と、の差異を吸収する光路長差が、一対の光ファイバ20の間に設けられている。 - 特許庁

The optical measurement apparatus for performing optical measurement of an object 1 is provided with an interferometer including a signal evaluation unit 2, a light source 3 for emitting a light having a coherence length of 1 cm or smaller, and at least one sensor 4a, 4d.例文帳に追加

信号評価ユニット2と、コヒーレンス長1cm以下の光を発生する光源3と、少なくとも1つの検出器4a、4dとを含む干渉計を備えた、物体1の光学的測定を行うための光学測定装置。 - 特許庁

This system for measuring optical characteristic of an object to be optically measured (DUT) 104 comprises a light source 112 for generating a light signal applied to the optical DUT 104, a reference interferometer 106, a test interferometer 108 connected with the light source 112 optically, and a computing device 110 connected with the interferometers to assist the determination of optical characteristic of the optical DUT by utilizing amplitude and phase computing component.例文帳に追加

本発明は、光学被測定物(DUT)(104)の光学特性を測定するためのシステムであって、前記光学DUT(104)に加えられる光信号を発生するための光源(112)と、基準干渉計(106)、及び、光源(112)に光学的に結合されたテスト干渉計(108)と、干渉計に結合され、振幅及び位相計算コンポーネントを利用して、光学DUTの光学特性の判定を助ける計算装置(110)が含まれる、システムを提供する。 - 特許庁

The device has stages 1 and 2 having a direct action guiding mechanism, laser interferometers 3a and 3b and two positioning measurement means in the axial direction of position detection sensors 8a, 9a; 8b, 9b, which are less likely to be affected by the variations in the refractivity of gas, as compared with the laser interferometer.例文帳に追加

装置は、直動案内機構を有するステージ1,2と、レーザー干渉計3a,3bと、レーザー干渉計よりも気体の屈折率変化に影響を受け難い位置検出センサー8a,9a;8b,9bという一軸方向に2つの位置計測手段を有する。 - 特許庁

The laser interferometer is provided with a light receiving element to which the laser beam based on the semiconductor laser is input so as to be converted into an electrical signal and a detection part which detects the mode hop on the basis of a change in the electrical signal of the light receiving element.例文帳に追加

本装置は、半導体レーザに基づいたレーザ光を入力し、電気信号に変換する受光素子と、この受光素子の電気信号の変化によりモードホップを検出する検出部とを有することを特徴とする装置である。 - 特許庁

An interferometer 26 radiates light L1 toward the surface of the film through the window 22 of the plane 21 and the light transmission region 13 of the polishing tape 10, receives reflected light L2 and L2' from the surfaces of the substrate and the film and detects the thickness of the film.例文帳に追加

干渉計26は、平板21の窓22と、研磨テープ10の光透過領域13とを通じて、膜の表面に向けて光L1を放射し、基板と膜の表面からの反射光L2、L2´を受光し、膜の厚さを検出する。 - 特許庁

By carrying out combined measurement of an interferometer and a polarization meter for an objective device under test, the uncertainty of relative phase in property solution of device performed only by a polarization meter or a polarizing analyzer is eliminated.例文帳に追加

被測定対象デバイスについて干渉計及び偏光計の組み合わせ測定を行うことにより、偏光計のみまたは偏光分析器のみによって実施されるデバイスの特性解明における相対的な位相の不確実性が除去される。 - 特許庁

The size of the extracted light, extracted by the light extraction means and heading for the interferometer optical system in the moving direction, is pratically set smaller than the size of the light beam which is incident on the light extraction means, in the moving direction.例文帳に追加

光抽出手段で抽出されて干渉計光学系へ向かう抽出光の移動方向に沿った寸法は、光抽出手段に入射する光束の移動方向に沿った寸法よりも実質的に小さく設定されている。 - 特許庁

This method for nonlinearly compensating a positional data of an interferometer generated from a measured signal 113 includes a process of generating the first set of nonlinear parameters 214M, 214P, based on a received digital positional value 203.例文帳に追加

計測信号(113)から生成された干渉計位置データを非線形性補償する方法であって、受信したデジタル位置値(204)に基づいて第1の組の非線形性パラメータ(214M及び214P)を生成する工程を含んでいる。 - 特許庁

A mirror 56 for reflecting a measured light from an interferometer is provided on a first side surface of each stage, and the surrounding member 41 includes a protruding portion 42 protruding in a normal line direction of the first side surface from a mirror 56 provided on the first side surface.例文帳に追加

各ステージの第1側面には、干渉計からの計測光を反射するミラー56が設けられ、取り囲み部材41は、第1側面に設けられたミラー56よりも第1側面の法線方向に突出した突出部42を含む。 - 特許庁

The air pressure receiving plate 16 is displaced according to the flow velocity of fluid passing through an opening 20 at the periphery, so that the flow velocity can be measured by a laser interferometer, and the flow rate can be measured by inputting the signal to a personal computer.例文帳に追加

受動板16はその周囲の開口20を通る流体の流速に対応して変位するので、レーザー干渉計によって流速を計測し、その信号をパソコンに入力することにより流量を測定することができる。 - 特許庁

A Fabry-Perot interferometer 2 has such a configuration that respective ends of two mirrors are fixed so that the two mirrors oppositely separated and has such a characteristic that a resonance wavelength is changed in a direction parallel with the array direction of the pixels configuring the linear sensor 1.例文帳に追加

ファブリペロ干渉計2は、2枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ1を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。 - 特許庁

This optical fiber Mach-Zehnder interferometer is formed out of first and second slender optical fibers 112, 114 having inner cores and outer clads and connected together through couplers 116, 118.例文帳に追加

光ファイバ・マッハ・ツェンダー干渉計110は、コアおよびクラッドを有する第1および第2の細長い光ファイバ112,114と、第1の光ファイバのクラッドが第2の光ファイバのクラッドに結合されている第1および第2のカプラ116,118とを含む。 - 特許庁

To provide an inorganic optical material which can generate a wideband fluorescence spectrum, while suppressing the background loss, and to provide a light source, a Michelson interferometer, an optical coherent tomography device, and an optical amplifier which can have a wide gain band.例文帳に追加

背景損失を抑えつつ、広帯域の蛍光スペクトルを発生することができる無機光学材料、光源、マイケルソン干渉計、及び光コヒーレントトモグラフィ装置、ならびに、広い利得帯域を有することができる光増幅器を提供する。 - 特許庁

To provide an optical demodulator for constituting a delayed interferometer, using space optics, that is used when demodulating an optical signal that has been differential phase shift keyed, thereby increasing the response speed of delay amount control and suppressing optical path shift.例文帳に追加

差動位相偏移変調された光信号を復調する際に用いられる遅延干渉計を空間光学系で構成するとともに、遅延量制御の応答速度を高め、かつ光路シフトを抑制した光復調器を提供すること。 - 特許庁

Since the stage is not in rough fine move structure, the configuration itself can be simplified, the number of actuators and the number of interferometer beams can be reduced, and the costs can be reduced and at the same time the control system can be simplified by reducing the number of parts.例文帳に追加

ステージは粗微動構造でないため構成そのもが簡略化され、アクチュエータ数や干渉計ビームの本数も削減することができ、部品点数の削減によりコストの低減も可能であるとともに制御系の簡略化も可能である。 - 特許庁

To provide an interferometer which reduces the influence of optical artifacts such as dust, flaw and hole on lens surface, bubble in lens or the like which may affect interference fringe, without generating a loss in optical quantity, and no need of adding optical element.例文帳に追加

光学素子を追加する必要が無く、光量の損失を発生させず、干渉縞に影響を与える可能性があるゴミ、レンズ面上のキズや穴、レンズ内のバブル等のオプティカルアーティファクトの影響を低減させる干渉計を提供する。 - 特許庁

A control voltage generating circuit 5 generates a control voltage to supply electric power to the heater 2 formed on the optical waveguide of the optical interferometer 1, and a constant power control circuit 6 supplies electric power corresponding to the control voltage to the heater.例文帳に追加

光干渉計1の光導波路上に形成されたヒータ2に電力を供給するため、制御電圧生成回路5は制御電圧を発生し、定電力制御回路6はこの制御電圧に相当する電力をヒータに供給する。 - 特許庁

The wavelength separator and the wavelength multiplexer can use an array waveguide lattice in addition to a multi-stage Mach-Zehnder interferometer, a bulk type optical filter or an optical filter containing the fiber type (or waveguide type) gratings connected together in a multi-stage form, etc., respectively.例文帳に追加

波長分離素子、波長多重素子としてはアレイ導波路格子を使用可能な他、多段マッハツェンダ型干渉計、バルク型光フィルタ、あるいはファイバ型(または導波路型)グレーティングを多段接続した光フィルタ等の使用も可能である。 - 特許庁

The arrayed wave guide grating demultiplexer 10 is built in a configuration combining an arrayed wave guide grid (AWG)20 which has input wave guide paths 21, 22 and output wave guide paths 23, 24 and a Mach-zehnder interferometer interleaver 30.例文帳に追加

アレイ導波路格子型合分波器10は、入力導波路21,22と出力導波路23,24を2つずつ有する一つのアレイ導波路格子(AWG)20とマッハツェンダー干渉計型インターリーバ30とを組み合わせた構成を有する。 - 特許庁

To provide a simple lens inspecting system to enable a conventional interferometer to inspect the wave front of light emitted to the recording surface of an optical disk from an object optical system with a high numerical aperture provided in an optical disk device.例文帳に追加

光ディスク装置内に設けられた開口数の高い対物光学系から光ディスクの記録面へ射出した光の波面の検査が従前の干渉計でも可能となる簡易なレンズ検査システムおよびレンズ検査装置を提供すること。 - 特許庁

To provide evaluation and adjustment methods to detect and adjust a delay difference and a level difference for a constitution from an interferometer of a DPSK optical receiver to a photodetector more easily and more quantitatively than a conventional method.例文帳に追加

DPSK用の光受信器の干渉計から光検出器までの構成が持つ遅延差およびレベル差を、従来よりも簡易かつ定量的に検出および調整することが可能な光受信器の評価および調整方法の提供。 - 特許庁

The wavelength-independent coupler is composed of a Mach-Zehnder interferometer comprising two optical directional couplers each having two optical waveguides and two optical waveguides of different lengths connecting the above two optical directional couplers.例文帳に追加

波長無依存カプラは、2本の光導波路をそれぞれが有する2つの光方向性結合器と、前記2つの光方向性結合器を接続する長さの異なる2本の光導波路とを備えるマッハツェンダ干渉計により構成される。 - 特許庁

To provide a reflection type blood sugar measuring device using a low coherent light interferometer, capable of measuring a sugar concentration from optical activity by aqueous humor in an anterior eye chamber while observing the structure of the anterior part of an eye on real time basis, with a patient's eye untouched at all.例文帳に追加

患者の眼に全く非接触で、実時間で眼前部の構造を観察しながら前眼房水による旋光性から糖濃度の測定を行うことができる低コヒーレンス光干渉計を用いた反射式血糖測定装置を提供する。 - 特許庁

Out of an interferometer for measuring the position of the reticle stage RST, at least optical systems 23Y1, 23Y2 for branching a reference beam and a measurement beam are fixed on a reticle stage fixing board RBS whose vibration is suppressed by a vibration proofing unit 14.例文帳に追加

レチクルステージRSTの位置を計測する干渉計のうちの、少なくとも参照ビームと計測ビームとを分岐する光学系23Y1,23Y2を、防振ユニット14により振動が抑制されたレチクルステージ定盤RBSに固定する。 - 特許庁

In addition to an upper-step and lower-step electron-beam biprisms in the conventional two-step electron-beam biprism interferometer, an electron beam deflector is used anew, or an electron-beam deflection function is also given to the upper-step or the lower-step electron-beam biprisms.例文帳に追加

従来の2段電子線バイプリズム干渉計における上段と下段の電子線バイプリズムに加えて、新たに、電子線偏向器を使用することにより、もしくは上段または下段の電子線バイプリズムに電子線偏向機能を合わせ持たせた。 - 特許庁

The interferometer determines an intensity ratio between a fundamental wave component of the modulated angle frequency ω_m and a double harmonic component in an interference signal, and calculates a line average electron density which is a physical quantity of the plasma 30 based on the intensity ratio and a phase variation.例文帳に追加

干渉計は、干渉信号における変調角周波数ω_mの基本波成分と2倍高調波成分の強度比を求め、該強度比と、位相変化量に基づいて、プラズマ30の物理量である線平均電子密度を算出する。 - 特許庁

At exposing, the quantity of variation of the attitude of a sample base 11, where the wafer W is mounted is measured by using a laser interferometer 16Y, etc., and according to the measurement results, a target value of the attitude of the sample base 11 for a wafer to be exposed next is set.例文帳に追加

露光時に、レーザ干渉計16Y等を用いてウエハWが載置される試料台11の姿勢の変化量を計測し、この計測結果に基づいて次に露光するウエハの試料台11の姿勢の目標値を設定する。 - 特許庁

When the wavelength (λ_1) of the input signal(IS) is different from the wavelength (λ_2) of the source, the source (2) is switched on and the output signal(OS) is a replica of the input signal(IS) regenerated at the interferometer (10), and the wavelength is converted to the wavelength (λ_2) of the source.例文帳に追加

入力信号(IS)の波長(λ_1)がソースの波長(λ_2)と異なるときには、ソース(2)はオンに切り換えられ、出力信号(OS)は、干渉計(10)で再生される入力信号(IS)の複製となり、ソースの波長(λ_2)に波長変換される。 - 特許庁

The positioning device is equipped with a movable section 7 which can move in an XY plane, the sample base 8 which can move to and away from the movable section, and the interferometer 20 which measures the position information of the sample base 8 in a Z-axial direction by using beams 21 and 22.例文帳に追加

位置決め装置は、XY平面内を移動可能な可動部7と、可動部に対して移動可能な試料台8と、ビーム21,22を用いてZ軸方向における試料台8の位置情報を計測する干渉計20とを備える。 - 特許庁

When measurement is carried out, a parameter setting part 26 reads temperature information in the interferometer chamber detected by a temperature sensor 27, reads out the control parameter values corresponding to the temperature from the storage part 28, transmits the control parameter values to the respective control parts 21 and 24, and measurement is performed.例文帳に追加

測定実行時にパラメータ設定部26は温度センサ27により検知される干渉室内の温度情報を読み込み、その温度に応じた制御パラメータ値を記憶部28から読み出して各制御部21、24に送り、測定を実行する。 - 特許庁

The optical modulator 600 according to the present embodiment includes at the second PLC 603, a phase trimming part 610 irreversibly trimming the phase of an upper arm or a lower arm of an MZI (Mach-Zehnder interferometer) for reducing the DC drift of the LN modulator 601.例文帳に追加

本実施形態に係る光変調器600は、LN変調器601のDCドリフトを低減するために、第2のPLC603に、MZIの上アーム又は下アームの位相を非可逆的にトリミングする位相トリミング部610を有する。 - 特許庁

To provide an ultrasonic measuring device using a Fabry-Perot interferometer capable of stable measurement with high sensitivity using a resonator medium that has birefringence with a different refractive index depending on a polarization direction such as a polarization holding optical fiber, and to provide an ultrasonic measuring method.例文帳に追加

偏波保持光ファイバのように偏波方向により屈折率の異なる複屈折性を有する共振器媒質を用いる、安定的に高感度な測定が可能なファブリ・ペロー干渉計を用いた超音波測定装置と方法を提供する。 - 特許庁

A phase shift is brought to light propagated through an optical fiber by using the hollow core photonic band gap fiber, and rearward Rayleigh scattering and a Kerr effect estimated to generate an error in an output of the interferometer are reduced as a result thereof.例文帳に追加

中空コアフォトニックバンドギャップファイバーを用いることによって、光ファイバーを伝搬する光に位相シフトをもたらし、結果として、干渉計の出力において誤差を生じさせるであろうレイリー後方散乱およびカー効果が減じられる。 - 特許庁

The filter with a wavelength monitor comprises: a Mach-Zehnder interferometer (MZI) having two inputs and two outputs; and two arrayed waveguide diffraction gratings (AWG) connected to the two outputs of the MZI.例文帳に追加

本発明の一実施形態による波長監視付きフィルタは、2つの入力と2つの出力を有するマッハツェンダー干渉計(MZI)と、前記2つの出力に接続された2つのアレイ導波路回折格子(AWG)とから構成される。 - 特許庁

例文

An exposure system comprises: a detector for detecting an alignment mark provided in a movable member movable within a predetermined plane including a position to be irradiated with exposure light; and a first interferometer system for measuring the position information of the movable member.例文帳に追加

露光装置は、露光光が照射される位置を含む所定面内を移動可能な移動部材に設けられているアライメントマークを検出する検出装置と、移動部材の位置情報を計測する第1干渉計システムとを備えている。 - 特許庁




  
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