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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > radiating patternに関連した英語例文

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radiating patternの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 118



例文

The radiating pattern is switched by the image current flowing to the single grounding conductor part or the image current flowing to the grounding conductor part selected from the plurality of grounding conductor parts.例文帳に追加

前記単一の接地導体部に流れるイメージ電流、又は前記複数の接地導体部から選択された接地導体部に流れるイメージ電流により放射パターンが切り替えられる。 - 特許庁

In another embodiment, the forefoot support tubes are arranged in a radiating pattern, such that at least two of the forefoot support tubes diverge as they extend toward the lateral side of the insert.例文帳に追加

別の実施の形態では、足前部支持チューブは、上記インサートの外側に延びるにつれて当該足前部支持チューブの少なくとも2つが広がるように放射状パターンで配置される。 - 特許庁

This semiconductor device is provided with a wiring region 100 for valuation including second wiring 10 for electromigration test evaluation and heat radiating parts 11 arranged with a prescribed pattern.例文帳に追加

本発明の半導体装置は、所定のパターンで設けられたエレクトロマイグレーション試験評価用の第2の配線部10と、放熱部11とを含む評価用配線領域100を有する。 - 特許庁

An electric power fed to the feed circuit electrode 5 from the feed circuit 5 through the intermediary of a feed wiring pattern is transmitted to the radiating electrode 3 from the feed circuit electrode 5 through capacitive coupling.例文帳に追加

給電回路10から給電配線パターンを介して給電電極5に供給された電力は給電電極5から容量結合によって放射電極3に伝達する。 - 特許庁

例文

A pattern is formed to the entire part of the rear surface as a heat radiating layer not electrically connected, except for the region where the transformers 1a to 1f are provided as the high voltage application region at the rear surface of the printed circuit board.例文帳に追加

プリント基板の裏面に高電圧印加領域であるトランス1a〜1fが設けられた領域を除いて電気的な接続のない放熱層として裏面ベタパターンを形成する。 - 特許庁


例文

This multi-gradation photomask is used to form a resist pattern on the substrate 30 having a resist film already formed by radiating exposing light I from the exposing device.例文帳に追加

本発明に係る多階調フォトマスクは、露光装置から露光光Iを照射することにより、レジスト膜を形成した露光対象基板30上にレジストパターンを形成するために用いられる。 - 特許庁

Power supplied from the power feeder circuit 10 through the wiring pattern 11 to the electrode 5 is transmitted from the electrode 5 to the radiating electrode 3 by capacitive coupling.例文帳に追加

給電回路10から給電配線パターン11を介して給電電極5に供給された電力は給電電極5から容量結合によって放射電極3に伝達する。 - 特許庁

Through holes 43 are formed so as to come in contact with the FETs 42 mounted on the surface of the inverter substrate 4 and a heat radiating pattern 44 is formed, in contact with or integrally with the through holes.例文帳に追加

インバータ基板4の表面に実装されるFET42に接触するようスルーホール43を形成し、これと接触若しくは一体に放熱パターン44を形成する。 - 特許庁

The solvent amount adjusting mechanism 60 comprises a detection head 11 for radiating light to the developed pattern and detecting the reflected light, a memory 64 in which calibration data for inquiring for the amount of the detected reflected light is stored beforehand, a dryer 4 for forcibly drying the pattern, and a solvent adding device 65 for adding the solvent to the pattern.例文帳に追加

溶媒量調整機構60は、現像したパターンに光を照射して反射光を検出する検出ヘッド11、検出した反射光量を照会する検量データを予め記憶したメモリ64、パターンを強制的に乾燥させる乾燥器4、およびパターンに溶媒を付加する溶媒付加装置65を有する。 - 特許庁

例文

Of the signal lines formed on the substrates 12a-12a, those for common signals are electrically connected to each other through the wiring pattern 32 of the heat radiating member 14.例文帳に追加

そして、複数の搭載基板12a〜12cに夫々形成された信号ラインのうちの信号が共通するもの同士を、放熱部材14の配線パターン32を介して互いに電気的に接続している。 - 特許庁

例文

A drawing control section (71) provides driving circuits (27) of a light beam radiating device with drawing data of a scanning range which is shorter than the length in the scanning direction of a pattern to be drawn in the scanning area.例文帳に追加

描画制御部(71)は、描画するパターンの走査領域における走査方向の長さよりも短い走査範囲の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路(27)へ供給する。 - 特許庁

One end of the lead frame 9 is fixed to the rear of a light-emitting part 6 in mold resin 7 of the LED lamp 4 as a heat-generating element, and the other end is mounted on a pattern 11 for radiating of a printed board.例文帳に追加

放熱用リードフレームの一方端は、発熱体であるLEDランプ4のモールド樹脂7内の発光部6の背面に固定され、他方端はプリント基板の放熱用パターン11に実装される。 - 特許庁

To suppress the unbalance of an antenna pattern or increase of a side lobe level in the case of transmitting/receiving orthogonal polarized waves whose polarization planes are orthogonal to each other, by a radiating waveguide where a plurality of cross slots are formed.例文帳に追加

クロススロットを複数設けた放射導波管により偏波面が直交する直交偏波を送受信する際、アンテナパターンの不均衡やサイドローブレベルの増大を抑制することを目的とする。 - 特許庁

The method comprises a stage of radiating four laser light beams to a photosensitive synthetic resin to generate first laser light interference patterns perpendicular to each other and a stage of radiating four laser light beams to the photosensitive synthetic resin to generate second laser light interference pattern perpendicular to the first laser light interference patterns.例文帳に追加

感光性合成樹脂に4本のレーザ光を照射して相互に垂直である第一のレーザ光干渉パターンを生成すること、及び感光性合成樹脂に4本のレーザ光を照射して第一のレーザ光干渉パターンに対して垂直な第二のレーザ光干渉パターンを生成することを含む。 - 特許庁

To enable high-speed, stable, and accurate inspection of circuit pattern having insulating materials in a method for inspection by detecting a defect, contamination, residue, or the like appearing on the circuit pattern of a semiconductor-device wafer, by radiating an electron beam onto the wafer and comparing the secondary electron image with a reference image.例文帳に追加

半導体装置等基板上で発生した回路パターンの欠陥、異物、残渣等を電子線をウエハに入射して二次電子像を比較することにより検査する方法において、絶縁材料を有する回路パターンを高速に且つ安定して高精度に検査可能とする。 - 特許庁

On this latent image carrier 1 mounted in the image forming device and forming an electrostatic latent image by exposure, the areas 1A and 1B having the different characteristics from that of the periphery are irreversibly formed in the optional pattern by radiating an active energy beam in the optional pattern.例文帳に追加

本発明は、画像形成装置に搭載され露光により静電潜像を形成する潜像担持体1において、活性エネルギー線を任意のパターンで照射することにより該パターンで周囲と特性の異なる領域1A,1Bが不可逆に形成されたことを特徴とする。 - 特許庁

The pattern 22 arranged at locations outside a semiconductor chip mounting region on the upper surface of the substrate 3 is jointed to a radiating pattern 23 provided on the upper surface of a circuit board 10, in such a manner that the portions of the substrate 3 at these locations is bent by substantially 180°C in a prescribed directions.例文帳に追加

フィルム基板3の上面の半導体チップ搭載領域外に設けられた放熱用パターン22は、この部分におけるフィルム基板3が所定の方向にほぼ180°折り曲げられた状態で、回路基板10の上面に設けられた放熱用パターン23に接合されている。 - 特許庁

A flexible printed board 11 includes a main board 14 for mounting an IC bar chip 14 and a projected part 15 projected from the main board 14 and having a heat radiating pattern made of superior heat dissipating material.例文帳に追加

フレキシブルプリント基板11は、ICベアチップ20が実装される基板本体14と、この基板本体14から張り出して良熱伝導体からなる放熱パターンが形成された張り出し部15とを有する。 - 特許庁

A coin detector for detecting coins includes: a light emitting unit for radiating detection light; a signal generating circuit for determining a light emitting pattern of the light radiated by the light emitting unit; and a light receiving unit for receiving detection light.例文帳に追加

コインを検出するコイン検出装置に、検出光を照射する発光部と、発光部が照射する検出光の発光パターンを決定する信号発生回路と、検出光を受光する受光部とを設ける。 - 特許庁

In the manufacturing method of a mask blank having the thin film for forming a transfer pattern on a substrate, after forming a thin film on the substrate, an oxide film is formed by radiating ozone gas to a surface of the thin film.例文帳に追加

基板上に転写パターンを形成するための薄膜を有するマスクブランクの製造方法において、基板上に薄膜を成膜した後、該薄膜表面にオゾンガスを照射して酸化物膜を形成する。 - 特許庁

The coil pattern 25 functions as a radiation element radiating a magnetic field, and functions as a feeder circuit and/or a matching circuit for the wireless IC chip 10 when a metal material approaches the terminal electrodes 31, 32.例文帳に追加

コイルパターン25は、磁界を放射する放射素子として機能するとともに、端子電極31,32に金属材が近接した場合には無線ICチップ10に対する給電回路及び/又は整合回路として機能する。 - 特許庁

With respect to a wiring pattern 2 formed on the top surface of a printed board 1 of the electronic appliance, a radiating area 22 having an augmented area value is formed in the portion whereby a GND terminal 31a of an IC 3 is connected with an earth line 21.例文帳に追加

プリント基板1の上面に形成される配線パターン2において、IC3のGND端子31aとアースライン21とを接続する部分に面積を拡大した放熱エリア22が形成されている。 - 特許庁

The protrusive structures 5 are formed by radiating, through the lenses on the light guide body upper surface, an ultraviolet ray to an ultraviolet curing resin layer applied and formed on the bottom surface 7c of the guide body 7 to pattern it.例文帳に追加

突起状構造物5は、導光体7の底面7cに塗布形成された紫外線硬化樹脂層に対して、導光体上面のレンズを介して紫外線を照射しパターニングすることで形成される。 - 特許庁

The projection aligner has an alignment light radiating means for radiating an alignment light on a projection lens, from the back side of an exposure light irradiating means to a mounting means for irradiating a first reference mark provided on the mounting means and a second reference mark provided on a pattern substrate with the alignment light.例文帳に追加

アライメント光を、載置手段に対して露光光照射手段と反対側から、投影レンズに向かってアライメント光を発するアライメント光照射手段であって、載置手段に設けられた第1基準マークと、パターン基板に設けられた第2基準マークと、にアライメント光を照射するアライメント光照射手段を有する投影露光装置を提供する。 - 特許庁

The device and manufacturing method of the device, wherein a first conductive layer contacting a semiconductor area is formed, an insulating layer is formed on the first conductive layer in a coating process, a mask pattern is formed by radiating a laser beam to a part of the insulating layer, etching is performed with the mask pattern as a mask to form a divided first conductive layer.例文帳に追加

本発明は、半導体領域に接する第1の導電層を形成し、第1の導電層上に絶縁層を塗布法により形成し、絶縁層の一部にレーザ光を照射してマスクパターンを形成し、前記マスクパターンをマスクとしてエッチングして、分割された第1の導電層を形成することを特徴とする。 - 特許庁

Reflected light of a laser beam radiated from a radiating device 14 from an area of a road surface is photographed by a camera 12, and the luminance of reflected light and a reflection pattern are extracted from an image of the area photographed by the camera 12 by a data extraction circuit 17.例文帳に追加

照射装置14から照射したレーザ光の路面のエリアからの反射光をカメラ12で撮影し、カメラ12で撮影したエリアの画像から反射光輝度および反射パターンをデータ抽出回路17で抽出する。 - 特許庁

The loop antenna may be planar and have a reduced size for ease of manufacture and use, and it may provide an isotropic radiating pattern at a predetermined operating frequency, whereby the need for antenna aiming may be avoided.例文帳に追加

ループ・アンテナは平面型であり、製造及び使用を容易にするために、削減されたサイズを有し得、所定の動作周波数における等方性放射パターンをもたらし得、これにより、アンテナ照準に対する必要性が避けられ得る。 - 特許庁

In a flexible printed wiring board 10 for mounting an exothermic electronic component 20, a heat radiating region R formed by an uneven pattern is provided in a part of a conductive layer 12 provided on both front and rear surfaces of a base substrate 11.例文帳に追加

発熱性の電子部品20を実装するためのフレキシブルプリント配線板10であって、基材11の表裏の両面に設けられた導電層12の一部に、凹凸パターンによる放熱領域Rを設けてあるフレキシブルプリント配線板である。 - 特許庁

The switching element 50 is mounted in a circuit board 51 which is a radiating plate formed with a circuit pattern, the circuit board 51 is fixedly connected to a body of equipment of the switch part 3, and connected to a terminal provided in the switch part 3.例文帳に追加

スイッチング素子50は回路パターンが形成された放熱板である回路基板51に実装されており、該回路基板51は上記スイッチ部2の筐体に結合固定されているとともにスイッチ部3が備える端子41に接合されている。 - 特許庁

In the pattern part, when producing the magneto-optical disk, reflection films (dielectric layer, reproducing layer, intermediate layer, recording layer, dielectric layer and heat radiating layer or the like) are formed in the state of setting an outer peripheral ring 110 having a rugged part P on a substrate.例文帳に追加

前記パターン部は、光磁気ディスクの製造時において、凹凸部Pを有する外周リング110を基板上にセットした状態で反射膜(誘電体層,再生層,中間層,記録層,誘電体層,放熱層等)の成膜を行う。 - 特許庁

A pattern layer comprising a polyurethane resin for adding 25-35 wt.% far infrared-radiating ceramic powder having ≤ about 5 μm average particle diameter, and an adhesive layer containing a thermoplastic polyurethane- based resin on a base sheet having a parting layer formed thereon.例文帳に追加

離型層を形成したベースシートの上に、平均粒径が約5μm以下の遠赤外線放射性のセラミックス粉末を25〜35重量%添加するポリウレタン系樹脂を含む図形層と、熱可塑性ポリウレタン系樹脂を含む接着層とを設ける。 - 特許庁

A reflection-type pattern transfer apparatus, having a beam source for radiating charged particle beams, a first stage for mounting a mask 103 and a second stage for mounting a wafer provides a accurate alignment method for reflecting to the control of a wafer stage 105 and a mask stage 104.例文帳に追加

荷電粒子ビームを照射する線源と、マスクを載置する第1のステージと、ウェハを載置する第2のステージをもつ反射型のパターン転写装置で、ウェハステージ、マスクステージの制御に反映するための高精度なアライメント方法を提供する。 - 特許庁

To provide a laser radiating device capable of transferring an organic film layer pattern when forming it by using LITI (laser induced thermal imaging), capable of reducing damage to the organic film layer, and capable of enhancing the quality of the transferred organic film layer pattern, a patterning method, and a manufacturing method of an electroluminescent element using the patterning method.例文帳に追加

本発明は,LITIを用いて有機膜層パターンを形成する時,低い強度を有するレーザーで転写が可能であって,有機膜層の損傷を減らすことができ,転写される有機膜層パターンの質も向上させることができるレーザー照射装置,パターニング方法,およびパターニング方法を用いる有機電界発光素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

The worktop section of the shielding case 104 has a projection 104a provided at the part corresponding to the semiconductor IC 102, and this projection 104a is pressed against a heat radiating ground pattern 102b of the semiconductor IC 102 via a conductive paste 105.例文帳に追加

シールドケース104の天板部には、半導体IC102に対応する部分において突起104aが設けられており、この突起104aは、導電性ペースト105を介して半導体IC102の放熱用グランドパターン102bに押し当てられている。 - 特許庁

To simplify configuration and to realize a desired radiation pattern in an antenna device that branches a signal connected to an input-output terminal into a plurality of branch paths and supplies the signal to a plurality of radiating elements and to provide a designing method therefor.例文帳に追加

入出力端子に接続された信号を複数の分岐路に分岐し複数の放射素子に供給するアンテナ装置について、その構成を単純化して所望の放射パターンを実現することができる装置およびその設計方法を提供する。 - 特許庁

A material layer 10 is arranged over the first substrate (transparent substrate 121), and by radiating light on this material layer 10, the material of this material layer 10 is moved on the first substrate (transparent substrate 121) and a material part of a desired pattern is formed.例文帳に追加

第1の基体(透明基板121)の上方に材料層10を配置し、この材料層10に光線を照射することにより、材料層10の材料を第1の基体(透明基板121)上に移行させて所望パターンの材料部を形成する。 - 特許庁

A power semiconductor element is soldered on a metal pattern placed through an insulating film on one main surface of a heat radiating plate, and the metal pattern is divided into a power semiconductor element loaded region and a wiring relay region by a solder resist, and the solder resist is shaped to have the escape section of the melted solder.例文帳に追加

放熱板の一方主面に絶縁層を介し載置される金属パターン上に電力半導体素子が半田接合され、前記金属パターンは半田レジストによって電力半導体素子搭載領域と配線中継領域とに隔てられ、前記半田レジストは溶融半田の逃げ部分を有する形状であることを特徴とする電力半導体装置である。 - 特許庁

The essential information reproducing method involves; radiating a beam onto a pattern of crystalline and amorphous marks in which essential information of the optical disk is recorded; receiving the beam reflected from the pattern of crystalline and amorphous marks and photoelectrically converting the received beam to detect a signal; filtering the detected signal through a high-pass filter; and reproducing the essential information of the optical disk from the filtered signal.例文帳に追加

光ディスクの固有情報再生方法は、固有情報が記録されたマークの配列パターンにビームを照射し、そのマークの配列パターンから反射されたビームを光検出器で受光した後で光電変換して信号を検出し、さらに前記検出された信号を高域通過フィルタでフィルタリングし、前記フィルタリングされた信号から光ディスクの固有情報を再生する。 - 特許庁

The lead frames on which the LED chips are mounted of a plurality of LED lamps 1 are electrically and thermally connected to a heat conductive electrode substrate 2 on which an insulating film 4 provided with a wiring pattern is stuck, and the other lead frame for the respective LED chips is connected to the wiring pattern, and a heat radiating means consisting of a Peltier element 8 is thermally coupled with the back of the substrate 2.例文帳に追加

配線パターンが設けられた絶縁フィルム4を貼設した熱伝導性電極基板2に複数のLEDランプ1のLEDチップをマウントしたリードフレームが電気的かつ熱的に接続され、各LEDチップの他方のリードフレームが配線パターンに接続されており、熱伝導性電極基板の背面にはペルチェ素子8から成る放熱手段が熱結合されている。 - 特許庁

An active device integrated integrally with the antenna device is inserted into a part of a signal line including a branch circuit reaching the plurality of radiating elements from one input-output terminal, and the insertion position or its effective gain is controlled/set, thereby realizing the desired radiation pattern.例文帳に追加

一つの入出力端子から複数の放射素子にいたる分岐回路を含む信号通路の一部に、このアンテナ装置に一体的に集積化され能動素子を介挿し、その介挿位置およびまたはその実効利得を制御設定することにより所望の放射パターンを実現する。 - 特許庁

A weight controller (WC 19-13)obtains a weight coefficient for determining a beam pattern and a transmission beam direction and obtains a transmission time slot based on a table that stores the relationship between the transmission beam direction and a time slot used for radiating in that direction.例文帳に追加

重み制御器(WC19−13)は、送信ビーム方向情報に基づき、ビームパタンと送信ビーム方向とを定める重み係数を求め、且つ、送信ビーム方向とその方向に放射するときに使用するタイムスロットとの関係を記憶したテーブルに基づき、送信タイムスロットを求める。 - 特許庁

A pattern larger than the scanning range of a galvanomirror is machined by a laser beam machining apparatus comprising a laser beam source for radiating laser beams for machining, the galvanomirror for scanning the laser beams for machining in XY direction, and an XY stage for moving a workpiece in XY direction.例文帳に追加

加工用レーザを照射するためのレーザ光源と、加工用レーザをXY方向に走査させるガルバノミラーと、加工対象物をXY方向に移動させるXYステージとを備えたレーザ加工装置によって、ガルバノミラーの走査可能範囲よりも大きな図形を加工する。 - 特許庁

Further, the mounting board 2 is provided with a plenty of second heat transfer parts 25b which penetrate in the thickness direction and has a function to transfer the heat generated by the light emitting device 4 to a lower face side of the mounting board 2 at parts where the heat radiating pattern 232 does not overlap in a plan view with the light emitting device 4.例文帳に追加

そして、搭載基板2には、平面視で放熱用パターン232の発光装置4と重ならない部分に、その厚さ方向に貫通し、発光装置4で発生した熱を搭載基板2の下面側へ伝熱させる機能を有する多数の第2の伝熱部25bが設けられている。 - 特許庁

Since a reflector 1 is divided into plural blocks in a radiating direction around a light source 2 and at least part of them are tilted inward by θ, the reflected light corresponding to the tilted blocks is diffused in a form separated from an optical axis X, so that the preferable light distribution pattern can be provided.例文帳に追加

リフレクタ1を光源2を中心とした放射方向で複数のブロックに分割し、そのうちの少なくとも一部を、θ分だけ内側に傾けたたため、傾けたブロックに相当する反射光は、光軸Xから離れた状態で拡散し、好ましい配光パターンが得られる。 - 特許庁

The non-contact type alignment measuring device of a vehicle wheel is provided with a laser light source 4 for radiating the laser beam of a prescribed geometrical pattern to a wheel side face and a laser beam controlling means 6 for controlling the width of the beam for irradiating only the prescribed range of the wheel side face with the laser beam.例文帳に追加

非接触式の車両ホイールのアライメント測定装置において、ホイール側面に向けて所定の幾何パターンのレーザビームを放射するレーザ光源4と、レーザビームがホイール側面の所定範囲にのみ照射されるようにビームの幅を制御するレーザビーム制御手段6を具備する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device wherein a semiconductor chip and an interposer are arranged side by side on a carrier tape and which can provide good electrical characteristics with use of a short wiring pattern substantially symmetrical with respect to the semiconductor chip, can facilitate its manufacturing with a small size, and can improve its heat radiating performance.例文帳に追加

キャリアテープ上に半導体チップおよびインタポーザとを並置するとともに、半導体チップに対してほぼ対称の配線パターンの短い配線を用いて電気的特性を良好にし、製造が容易で、かつ、小型で放熱性が向上できる半導体装置を提供する。 - 特許庁

The optical branch and diffraction device has a hologram element 1 having a diffraction face 4 where a diffraction grating pattern is formed to allow the radiating light emitting from light sources 2a, 2b to enter, to branch the light into a plurality of beams and to converge the beams to the respective spots 3a, 3b, etc.例文帳に追加

光分岐回折光学素子は、光源2a、2b…から放射状に発射した光を入射し、この光を複数の光束に分岐し、かつその光束をそれぞれスポット3a、3b…に収束する回折格子パターンを形成した回折面4を備えるホログラム素子1を有する。 - 特許庁

In the alignment processing method for radiating optical energy to an alignment film formed on a substrate through a photomask to provide alignment characteristics on a surface of the alignment film, the photomask is relatively moved along a linear pattern formed on the substrate, and a deviation is detected by a positional relation between the linear pattern and a reference pattern formed on the photomask, and the photomask is moved in a direction orthogonal to a movement direction of the substrate to correct the deviation.例文帳に追加

基板上に形成した配向膜に、フォトマスクを介して光エネルギを照射して前記配向膜表面に配向特性を与える配向処理方法であって、前記フォトマスクを、前記基板に形成された線状パターンに沿って相対的に移動させると共に、前記線状パターンと、前記フォトマスクに形成された基準パターンとの位置関係からズレ量を検出し、前記フォトマスクを、前記基板の移動方向と直交する方向に移動させてズレ量を補正させる。 - 特許庁

This imprinting method has a transfer process to press the roughened section of a mold structure against the resist layer to transfer the asperity pattern to the resist layer, and a surface modifying process to modify the surface by radiating either an ionizing radiation ray or a far-ultraviolet ray to the resist layer after forming the above asperity pattern to increase the carbon-carbon bonding density at least on the outermost surface of the resist layer.例文帳に追加

モールド構造体の凹凸部をレジスト層に押し付けて該レジスト層に凹凸パターンを転写する転写工程と、前記凹凸パターン形成後のレジスト層に電離性放射線及び遠紫外光のいずれかを照射して、該レジスト層の少なくとも最表面部分の炭素−炭素結合密度を増加させて表面改質する表面改質工程とを含むインプリント方法である。 - 特許庁

例文

A holding means holds a processed surface of a substrate downward, a film is formed by spraying a gas supplied from a gas supplying means through a gas introduction means on the laser irradiation point with radiating the laser beam on the processed surface downward from the substrate, and corrects the clear defect of the pattern film on the substrate.例文帳に追加

保持手段で基板の加工面を下向きに保持し、基板の下方から基板の加工面に対してレーザ光を照射するとともに、ガス供給手段から供給されるガスをガス導入手段を通じて基板のレーザ照射部に吹き付けて、基板上に膜を形成し、基板上のパターン膜の白欠陥を修正する。 - 特許庁




  
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