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single layer substrateの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1050件
This method of manufacturing silicon epitaxial wafer includes a step of gradually growing a silicon epitaxial layer on a single-crystal silicon substrate, by gradually increasing the heating power to the silicon substrate and also gradually increasing the feed rate of a gaseous starting material.例文帳に追加
シリコン単結晶基板に対する加熱力を漸増させるとともに、原料ガスの供給量を漸増させながらシリコン単結晶基板上にシリコンエピタキシャル層を成長する漸増成長工程を有する。 - 特許庁
By discretely forming the buffer bodies 12, the single a crystal which becomes a seed crystal at the time of growing the high-temperature semiconductor layer 16 is promoted by inhibiting the crystal growth of the lowtemperature buffer layer 14 which relies upon the substrate 10.例文帳に追加
SiNバッファ体12を離散的に形成することで、低温バッファ層14の基板に依存した結晶成長を阻害し、GaNバッファ層16成長時の種結晶となる単結晶化を促進する。 - 特許庁
The anti-slipping resin coated film is composed by laminating a coating layer 13 made of the anti-slipping resin on a surface of a substrate layer 12 the surface of which is composed of fiber 11 with single fiber fineness of ≤50 dtex.例文帳に追加
防滑性樹脂塗膜を、単繊維繊度50dtex以下の繊維11によって表面が構成されている基層12の表面に防滑性樹脂による塗膜層13を積層して構成する。 - 特許庁
In the method for manufacturing the III-V compound semiconductor device containing the Ga1-yInyNzAs1-z (0<y, z<1) layer on a single crystal substrate, a process for adding Al during growth of the Ga1-yInyNzAs1-z layer is included.例文帳に追加
単結晶基板上に、Ga_1-yIn_yN_zAs_1-z層(0<y、z<1)層を含む化合物半導体装置の製造方法であって、前記Ga_1-yIn_yN_zAs_1-z層の成長中にAlを添加する工程を包含する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a substrate with a nitride semiconductor layer, which can relatively and easily form a high quality flat nitride semiconductor layer that is completely crystallized in a single crystal and that has an extremely small number of crystal defects.例文帳に追加
完全に単結晶化した、結晶欠陥が極めて少ない、高品質で平坦な窒化物半導体層を比較的簡便に形成できる窒化物半導体層付き基板の製造方法を提供する。 - 特許庁
The sheet is constituted by providing a skin layer comprising a styrene/conjugated diene block copolymer and a styrenic resin on at least the single surface of a substrate layer comprising the styrenic resin or the styrene/conjugated diene block copolymer and the styrenic resin.例文帳に追加
スチレン系樹脂、またはスチレン−共役ジエンブロック共重合体とスチレン系樹脂の基材層の少なくとも片面に、スチレン−共役ジエンブロック共重合体とスチレン系樹脂の表皮層を有するシート。 - 特許庁
The electrophotographic photoreceptor provided with the single layer type organic photosensitive layer contains a charge generating agent, a hole transport agent, an electron transport agent and at least one kind of an electron acceptive compound on a conductive substrate.例文帳に追加
単層型有機感光層を備える電子写真感光体は、導電性基体上に電荷発生剤、正孔輸送剤、並びに電子輸送剤及び電子受容性化合物の少なくとも1種、を含有する。 - 特許庁
A resin layer 602 is formed on one surface of a substrate 601 (Fig. 5(A)) of single-crystal silicon cut out of an ingot (Fig. 5(B)) to obtain a flat surface 602b by cutting the surface of the resin layer 602 (Fig. 5 (C)).例文帳に追加
インゴットから切り出された単結晶シリコンの基板601(図5(A))の一方の面に樹脂層602を形成し(図5(B))、この樹脂層602の表面を切削により平坦化し、平坦面602bを得る(図5(C))。 - 特許庁
To provide an electrophotographic photoreceptor having a single layer type photosensitive layer excellent in adhesion to a conductive substrate, strength and sensitivity and excellent also in filming preventing effect, and to provide an image forming apparatus using the electrophotographic photoreceptor.例文帳に追加
導電性基体に対する密着性や強度、感度等に優れる上、フィルミングを防止する効果にも優れた単層型の感光層を有する電子写真感光体と、それを用いた画像形成装置とを提供する。 - 特許庁
To provide the manufacturing method of a thin film deposition substrate which is excellent in high density recording property and surface flatness, in a method of depositing thin film of a single layer or a multi-layer, and a disk for recording and playback.例文帳に追加
基板上に単層または多層の薄膜を形成する方法であって、高密度記録特性および表面平坦性に優れた薄膜形成基板の製造方法および記録再生用ディスクを提供する。 - 特許庁
A non-volatile oil photosensitive material layer 2 and a volatile oil photosensitive material layer 3 applied onto the substrate 1 are developed corresponding to a bank formation region after exposed to a light of a single wavelength (I-beam) at the same time.例文帳に追加
基板1に塗布により形成された非撥油性感光材料層2と撥油性感光材料層3とをバンク形成領域に合わせて単一波長(I線)の光で同時に露光した後に現像する。 - 特許庁
A substrate 11, a nitride III-V compound semiconductor single-crystal layer 12 laminated on the substrate 11, and a layer 10 containing impurity elements of from 5x10^17 cm^-3 or more to 2x10^19 cm^-3 or less provided between the substrate 11 and the laer 12 are contained.例文帳に追加
基板11と、この基板11上に積層された窒化物系III−V族化合物半導体単結晶層12と、基板11と窒化物系III−V族化合物半導体単結晶層12との間に設けられた、不純物元素を5x10^17cm^-3以上2x10^19cm^-3以下含有する層10とを備える。 - 特許庁
To prevent optical leak of a transistor caused by reflection of the light on a substrate surface, the light-shielding layer 4 is bent into a recessed surface or a protruding surface in advance while the single-crystal silicon layer is formed on the support substrate side before laminated to the support substrate in a lamination-method SOI manufacturing process.例文帳に追加
また、遮光層4は基板表面からの光反射によるトランジスタの光リークを防止するため、予め凹面あるいは凸面に湾曲させた構造とし、同時に貼り合わせ法SOI作製プロセスにおいて単結晶シリコン層を支持基板と貼り合わせる前に支持基板側に形成しておく。 - 特許庁
A buffer layer 12 made of a metal oxide and a lower electrode layer 13 made of a conductive oxide having a perovskite structure are epitaxially grown on an Si single crystal substrate 11. a ferroelectric layer 14 made of SBT is further grown epitaxially with its (c) axis tilted to 45-55° from a direction perpendicular to the substrate.例文帳に追加
Si単結晶基板11上に、金属酸化物からなるバッファ層12、ペロブスカイト構造の導電性酸化物からなる下部電極層13をエピタキシャル成長させ、さらにSBTからなる強誘電体層14を、そのc軸を基板に垂直な方向から45〜55°傾けてエピタキシャル成長させる。 - 特許庁
A semiconductor device 10 includes a substrate 101 of single crystal, a silicon carbide layer 102 provided on the surface of the single crystal substrate 101, and an intervention layer 103 of III nitride semiconductor provided on the surface of the silicon carbide layer 102 wherein the silicon carbide layer 102 comprises cubic crystal rich in silicon stoichiometrically and has a surface of rearrangement structure of (3×3).例文帳に追加
本発明は、単結晶からなる基板101と、その単結晶基板101の表面に設けられた炭化珪素層102と、その炭化珪素層102の表面に設けられたIII族窒化物半導体からなる介在層103とを備えた半導体素子10において、炭化珪素層102は、化学量論的に珪素を富裕に含む立方晶からなり、表面が(3×3)構造の再配列構造を有するものである。 - 特許庁
In this method, a single crystal of diamond film 13 is formed along a specified pattern on a diamond growth substrate having a surface capable of epitaxial growth of diamond, for example, a diamond growth substrate which is a magnesium oxide substrate 10 on which an iridium layer 11 is formed.例文帳に追加
ダイヤモンドのエピタキシャル成長が可能な表面を有するダイヤモンド成長基板、例えば酸化マグネシウム基板10上にイリジウム層11が形成されたダイヤモンド成長基板に、所定のパターンに沿って単結晶のダイヤモンド膜13が形成された構成とする。 - 特許庁
In the organic EL device 1, an organic EL element holding at least a light emitting layer by a pair of electrodes is formed on a composite substrate comprising a single crystal silicon substrate, and a support substrate of a glass, a quartz or the like which are affixed to each other.例文帳に追加
本発明の有機EL表示装置1は、単結晶シリコン基板とガラス、石英等の支持基板とを貼り合わせてなる複合基板上に、少なくとも発光層を一対の電極で挟持した有機EL素子を形成した有機EL装置である。 - 特許庁
The method for manufacturing a GaN single crystal substrate includes an ingot forming step of forming an ingot 64 of a GaN single crystal by growing an epitaxial layer 62 made of hexagonal GaN on the GaN single crystal using the GaN single crystal as a seed crystal, and a cutting step of cutting the ingot 64 into a plurality of sheets.例文帳に追加
GaN単結晶基板の製造方法は、GaN単結晶を種結晶として当該GaN単結晶の上に六方晶のGaNからなるエピタキシャル層62を成長させて、GaN単結晶のインゴット64を形成するインゴット形成工程と、インゴット64を複数枚に切断する切断工程と、を備えることを特徴とする。 - 特許庁
The production method of a silicon wafer comprises at least growing a silicon single crystal bar by Chokralski method, slicing the silicon single crystal bar to silicon single crystal substrates, and thereafter, implanting an element on the whole surface of the silicon single crystal substrate opposite to the surface thereof on which devices are formed, to form the strain layer.例文帳に追加
シリコンウェーハの製造方法であって、少なくとも、チョクラルスキー法によってシリコン単結晶棒を育成し、該シリコン単結晶棒をスライスしてシリコン単結晶基板に加工した後、該シリコン単結晶基板の素子が形成される面とは反対の面の全面に元素の注入を行って歪み層を形成することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 特許庁
The method for manufacturing a compound semiconductor comprises a first heating step for heating a GaN single crystal substrate 2 under a first gas atmosphere containing at least hydrogen gas, a second heating step for heating the GaN single crystal substrate 2 under a second gas atmosphere containing at least ammonia, and an epitaxial growth step for forming a nitride compound semiconductor layer 3 on the GaN single crystal substrate 2.例文帳に追加
本発明による化合物半導体の製造方法は、少なくとも水素ガスを含む第1ガス雰囲気下でGaN単結晶基板2を加熱する第1加熱工程と、少なくともアンモニアを含む第2ガス雰囲気下でGaN単結晶基板2を加熱する第2加熱工程と、GaN単結晶基板2上に窒化物系化合物半導体層3を形成するエピタキシャル成長工程とを含む。 - 特許庁
The electrophotographic photoreceptor provided with a single layered photosensitive layer directly or through an intermediate layer on a conductive substrate, in which the photosensitive layer comprises at least a charge generating material, a polymeric charge transport material, an acceptor type compound and acryl denatured polyorganosilixane.例文帳に追加
導電性支持体上に直接又は中間層を介して単層の感光層を設けてなる電子写真感光体において、該感光層が少なくとも電荷発生物質、高分子電荷輸送物質、アクセプター性化合物及びアクリル変性ポリオルガノシロキサンからなる。 - 特許庁
A coupling layer, consisting of a silane coupling agent, is formed on the unit substrates 3 of the thin-film substrate 1 and thereafter, the nanoparticles formed by a synthesis in a liquid phase are adsorbed to the coupling layer, thereby obtaining the storage medium immobilized with the nanoparticle groups of the single layer on the respective unit substrates.例文帳に追加
この薄膜基板1の単位基板3上にシランカップリング剤からなるカップリング層を形成した後、液相合成したナノ粒子をカップリング層に吸着させことによって、各単位基板上に単層のナノ粒子群が固定化された記憶媒体を得る。 - 特許庁
The angular velocity sensor 1 is composed of a substrate 4 made of a single crystal silicon; a barrier layer 12 made of a silicon dioxide film; a first adhesion layer 5 made of at least titanium; and a lower electrode layer 6 made of platinum including at least titanium or titanium oxide.例文帳に追加
基板4が単結晶シリコンからなり、バリア層12はシリコン酸化膜からなり、第一の密着層5は少なくともチタンからなり、下部電極層6は少なくともチタンもしくは酸化チタンを含む白金からなることを特徴とする角速度センサ1である。 - 特許庁
A substrate 101 comprising silicon carbide (SiC) having a thickness of about 400 μm is overlaid with a single crystal first buffer layer 103, and an amorphous second buffer layer 105 is provided thereon, and further a basel layer 107 comprising an undoped GaN is provided thereon.例文帳に追加
厚さ約400μmの炭化シリコン(SiC)からなる基板101の上に単結晶の第1バッファ層103を設け、その層の上に非晶質の第2バッファ層105を設け、その層の上にアンドープのGaNから成る基底層107を設けた。 - 特許庁
The semiconductor wafer comprises a single crystal semiconductor layer 403 formed into a porous layer 402 under such a state as epitaxially growable members 202 and 203 are fixed to extend outward on the surface of a substrate 401 where the porous layer 402 is formed.例文帳に追加
多孔質層402が形成された基板401の表面を外部に延長するように結晶成長可能な部材202,203を取り付けた状態で多孔質層402に形成した単結晶半導体層403を備えることを特徴とする。 - 特許庁
Phosphor layers 22B, 22R, 22G each made of a near infrared- visible conversion phosphor are separately formed in the form of a single layer in the parts corresponding to display cells 21B, 21R, 21G between a dielectric layer 16 inside a front glass substrate 12 and a protective layer 17 made of MgO.例文帳に追加
PDPの表示セル21B、21R、21Gに対応する前面ガラス基板12の内側の誘電体層16とMgOからなる保護層17の間に、近赤外−可視変換蛍光体からなる蛍光体層22B、22R、22Gを一層に形成する。 - 特許庁
The method for producing laminate includes a process of heating the sapphire substrate at a temperature of 1,350 to 1,750°C in an atmosphere of a mixed gas of nitrogen-source gas having a nitrogen atom and hydrogen gas to form the aluminum nitride single crystal layer on the surface of the sapphire substrate, wherein, by adjusting conditions, the laminate having a gap on the interface between the sapphire substrate and the aluminum nitride single crystal layer can be produced.例文帳に追加
窒素原子を有する窒素源ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気下において、サファイア基板を1350℃以上1750℃以下の温度で加熱することにより、サファイア基板の表面に窒化アルミニウム単結晶層が形成された積層体を製造する方法であり、条件を調整すれば、サファイア基板と窒化アルミニウム単結晶層との界面に空隙を有する積層体を製造することができる。 - 特許庁
A 1.7-3.0 μm thick silicon oxide film layer 2 is formed on the single crystal silicon substrate 1, and on the silicon oxide film layer 2 on the front surface side of the silicon substrate 1, a Pt lower electrode 3, a piezoelectric thick film 4 of barium titanate zirconate, and an Au upper electrode 5 are sequentially laminated.例文帳に追加
単結晶のシリコン基板1に、厚み1.7〜3.0μmの酸化シリコン膜層2が形成され、シリコン基板1の表面側の酸化シリコン膜層2に、Pt下部電極3、チタン酸ジルコン酸バリウム系圧電体厚膜4、およびAu上部電極5が順次積層されている。 - 特許庁
On a main surface of a starting substrate 31, an oxide film 32 is formed selectively and after a single crystal silicon layer 33 is epitaxially grown on the main surface of the starting substrate 31 exposed to an opening portion of the oxide film 32, a polycrystalline silicon layer 34 is grown on the oxide film 32.例文帳に追加
出発基板31の主面に酸化膜32を選択的に形成し、その酸化膜32の開口部分に露出する出発基板31の主面に単結晶シリコン層33をエピタキシャル成長させた後、酸化膜32の上に多結晶シリコン層34を成長させる。 - 特許庁
As an Si material source for the metallic Si melt layer 18, a metallic Si film with a thickness of about 50-200 μm is formed on the single crystal SiC substrate through vapor phase deposition, or a metallic Si plate of a similar thickness is stacked on the substrate to control the thickness of the metallic Si melt layer 18.例文帳に追加
金属Si融液層18のSi材料供給源としては、前記単結晶SiC基板上に厚さ50以上200μm以下程度の金属Si膜を気相法で形成させるか、基板上に同程度の厚みの金属Si板を重ねて金属Si融液層18の厚みを制御する。 - 特許庁
An SOI substrate is manufactured by performing first thermal treatment for forming an atomic vacancy and second thermal treatment for implanting oxygen ions with which an oxygen ion implanted layer is formed, and for changing the oxygen ion implanted layer into a buried oxide film on a single crystal silicon substrate.例文帳に追加
単結晶シリコン基板に対し、少なくとも、基板内に原子空孔を発生させる第1の熱処理と、酸素イオン注入層を形成する酸素イオン注入と、前記酸素イオン注入層を埋め込み酸化膜層に変化させる第2の熱処理を行なうことによりSOI基板を製造する。 - 特許庁
The laminated structure includes a substrate, a layer which includes hydrogen silsesqui oxane, and which is equipped with cyclic shape with regard to at least one direction on the surface of the substrate, and a single or a plurality of layers which are equipped with the same shape as the cyclic laminated on the layer which includes the hydrogen silsesqui oxane.例文帳に追加
積層構造体は、基板、基板の表面における少なくとも一つの方向に関して周期的な形状を備えた水素シルセスキオキサンを含む層、及び水素シルセスキオキサンを含む層に積層された周期的な形状と同一の形状を備えた単数又は複数の層を含む。 - 特許庁
In the interlayer of an orientational substrate for forming the epitaxial film, which is provided between a base material and an epitaxial film to be formed on at least one surface of the base material, the interlayer has a single layer structure or a multilayer structure of not less than two layers and the layer in contact with the substrate is formed from an indium tin oxide (ITO).例文帳に追加
基材と、基材の少なくとも一方に形成されるエピタキシャル膜との間に設けられるエピタキシャル膜形成用配向基板の中間層において、単層構造又は2層以上の多層構造を有し、基板と接触する層がインジウムスズ酸化物からなる中間層である。 - 特許庁
To provide: a laminated substrate that can suppress the manufacturing cost of a substrate having a nonpolar plane or semipolar plane of GaN single crystal on a surface, and actualizes a light-emitting element provided with a nitride-based compound semiconductor layer on a transparent conductive substrate such as a ZnO substrate and a β-Ga_2O_3 substrate; a method of manufacturing the laminated substrate; and a light-emitting element.例文帳に追加
GaN単結晶の非極性面または半極性面を表面に有する基板の製造コストを抑えることができ、且つ、ZnO基板やβ−Ga_2O_3基板といった透明導電性基板の上に窒化物系化合物半導体層が設けられた発光素子を実現できる貼り合わせ基板、貼り合わせ基板の製造方法、及び発光素子を提供する。 - 特許庁
An n-type nitride semiconductor layer 32, active layer 33, and p-type nitride semiconductor layer 34 are formed sequentially on a nitride single crystal growth substrate 31, and at a nearly central region across the n-type nitride layer's surface, a high-resistance region 34a where the nitride single crystal is damaged is formed via a mask M whose middle is made open.例文帳に追加
窒化物単結晶成長用基板31上に順次n型窒化物半導体層32、活性層33、p型窒化物半導体層34を形成し、n型窒化物層の表面の少なくとも一面のほぼ中央領域に中央が開放されたマスクMを介して窒化物単結晶が損傷された高抵抗領域34aを形成する。 - 特許庁
A nitride semiconductor element 40 includes a low-temperature deposition buffer layer 42 containing AlN on a substrate 41, a first nitride semiconductor single-crystal layer 43 containing the AlN with a first AlN molar fraction, and a second nitride semiconductor single-crystal layer 44 which contains the AlN with a second AlN molar fraction, and the second molar fraction is larger than the first one.例文帳に追加
本発明の窒化物半導素子(40)は、基板(41)上にAlNを含む低温堆積緩衝層(42)と第一のAlNモル分率でAlNを含む第一の窒化物半導体単結晶層(43)と第二のAlNモル分率でAlNを含む第二の窒化物半導体単結晶層(44)とを含み、第二のAlNモル分率が第一のAlNモル分率より大きい。 - 特許庁
Using a thin film 50 of crystalline sapphire formed on a substrate 1 as a seed, a single crystal silicon layer 7 is formed from a low melting point metal layer of molten polysilicon through heteroepitaxial growth and the single crystal silicon layer 7 is employed in a top gate type MOSFET of an electrooptic device, e.g. a display section-peripheral drive circuit integrated LCD.例文帳に追加
基板1に形成した結晶性サファイア薄膜50をシードにして多結晶シリコン等を溶解した低融点金属層からヘテロエピタキシャル成長により単結晶シリコン層7を形成し、この単結晶シリコン層7を表示部−周辺駆動回路一体型のLCDなどの電気光学装置のトップゲート型MOSTFTに用いる。 - 特許庁
The photomask blank has a thin film of a single layer or two or more layers formed on a transparent substrate, and is characterized in that: the outermost surface layer of the thin film of a single layer or two or more layers comprises an aluminum compound and metal aluminum added to the aluminum compound; and the rate of content of the metal aluminum is ≤60 atomic%.例文帳に追加
透明基板上に単層の薄膜もしくは2層以上の薄膜が形成されたフォトマスクブランクスにおいて、前記単層の薄膜もしくは2層以上の薄膜の最表面層が、アルミニウム化合物と該アルミニウム化合物に添加した金属アルミニウムとで構成され、前記金属アルミニウムの含有率が60原子%以下であることを特徴とする。 - 特許庁
The manufacturing method for the organic thin film transistor including a stage of forming at least one of a conductive layer, insulating layer and organic semiconductor layer on the substrate through an ink jet process comprises the stage of forming the plurality of separated thin films on the substrate through the single-time ink jet discharge when at least the one of the conductive layer, insulating layer and organic semiconductor layer is formed.例文帳に追加
基板上に、導電層、絶縁層、有機半導体層の少なくとも一層をインクジェットプロセスで成膜する工程を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、 該導電層、該絶縁層及び該有機半導体層の少なくとも一層を成膜する際、1回のインクジェット吐出によって、該基板上に、分離された複数の薄膜を成膜する工程を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 特許庁
An MEMS element is provided with a substrate-side electrode 45 and a beam 46 which is arranged opposite to the substrate-side electrode 45 and has a drive-side electrode 48 which performs drive with electrostatic attraction or electrostatic repulsive force to be exerted between the drive-side electrode 48 and the substrate-side electrode 45, and the substrate-side electrode 45 is formed of a single crystal semiconductor layer.例文帳に追加
基板側電極45と、基板側電極45に対向して配置され、基板側電極45との間に働く静電引力又は静電反発力により駆動する駆動側電極48を有してなるビーム46とを備え、基板側電極45が、単結晶半導体層で形成されて成る。 - 特許庁
A semiconductor element is constituted in a structure that a high-concentration B-doped semiconductor diamond layer is formed on an insulative high-pressure synthetic diamond single crystal substrate 1, and semiconductor layers 2a and 2b used as source and drain regions are formed on the substrate 1 by a reactive ion etching.例文帳に追加
絶縁性の高圧合成ダイヤモンド単結晶基板1上に、高濃度Bドープ半導体ダイヤモンド層を形成し、反応性イオンエッチングにより、ソース及びドレイン領域となる半導体ダイヤモンド層2a及び2bを形成する。 - 特許庁
This single crystal substrate is configured by forming a new surface 2a as a (0001) face by carrying out the epitaxial growth of a zirconium boride titanium layer 2 constituted of Zr_1-xTi_xB_2(0<x≤1) on the main surface 1a of a substrate 1.例文帳に追加
基板1の主面1a上にZr_1−xTi_xB_2(ただし、0<x≦1)から成る層である硼化ジルコニウム・チタン層2をエピタキシャル成長して新たな表面2aを(0001)面とした単結晶基板である。 - 特許庁
A semiconductor light emitting element 20 is equipped with a substrate 11 made of sapphire single crystal, etc., and a nitride semiconductor layer group which includes Al formed directly on the substrate 11 by epitaxial growth and has ≤10^10/cm^2 transition density.例文帳に追加
半導体発光素子20は、サファイア単結晶などからなる基板11と、この基板11上に直接エピタキシャル成長されたAlを含み、転位密度が10^^10/cm^2以下の窒化物半導体層群とを具える。 - 特許庁
To provide a semiconductor member whose productivity is excellent and whose quality is high without the influence of any flow pattern defect or COP(crystal originated particles) at the time of obtaining a single crystal semiconductor layer whose crystallinity is excellent on a substrate such as an insulating substrate.例文帳に追加
絶縁性基板等の基体上に結晶性に優れた単結晶半導体層を得るうえで、生産性等に優れ、フローパターンディフェクトやCOP(Crystal OriginatedParticles)の影響を受けない高品質な半導体部材を提供する。 - 特許庁
A micro-electro-mechanical vibrating pumping stage comprises a silicon substrate 15 on which there are formed a single-layer or multilayer oscillating assembly 27; 127; 227; 327 with a vibrating membrane and a device for controlling the membrane in order to provide its oscillation with respect to the substrate.例文帳に追加
マイクロ電気機械振動ポンピングステージは、シリコン基板15を備え、基板に対する振動を提供するために、基板上に、振動膜と膜制御装置とを有する単層または多層振動アセンブリ27;127;227;327が形成されている。 - 特許庁
Plasma treatment and ozone treatment for cleaning and activating the surface are performed to the junction surface between the single-crystal Si substrate 10 and a crystal substrate 20 where a hydrogen ion implantation layer 11 is formed for bonding.例文帳に追加
水素イオン注入層11を形成した単結晶Si基板10と石英基板20のそれぞれの接合面に、表面清浄化や表面活性化などを目的としたプラズマ処理やオゾン処理を施して貼り合わせる。 - 特許庁
In the method of manufacturing a floating gate memory structure, the floating gate is composed of a single crystal semiconductor material, and is grown epitaxially on a single crystal substrate by selective epitaxial growth for growing in the lateral direction on a tunnel oxide layer 2.例文帳に追加
フローティングゲートメモリ構造を作製する方法に関し、フローティングゲートは単結晶半導体材料からなり、トンネル酸化物層2の上に横方向に成長する、選択エピタキシャル成長により、単結晶基板上にエピタキシャル成長される。 - 特許庁
Subsequently, the temperature of the reaction chamber is again raised up to 1,040°C and a GaN single crystal film with a thickness of about 20 μm is obtained on the base crystal substrate through the CrN film and the GaN buffer layer by growing the GaN single crystal film.例文帳に追加
次いで、再び反応室の温度を1040℃まで上げ、GaN単結晶膜を成長させることにより、下地結晶基板上にCrN膜、GaNバッファー層を介して厚さが約20μmのGaN単結晶膜を得た。 - 特許庁
The method includes a step of forming a first silicon crystalline layer 12 doped with oxygen atoms on a silicon single crystalline substrate 11, a step of forming a silicon/germanium crystalline layer 13 on the first layer 12, a step of forming a second silicon crystalline layer 14 on the silicon/ germanium crystalline layer 13, and a step of heat-treating the second layer 14 to provide distortion thereto.例文帳に追加
シリコン単結晶基板11上に酸素が添加された第1のシリコン結晶層12を形成する工程と、第1のシリコン結晶層12上にシリコン・ゲルマニウム結晶層13を形成する工程と、シリコン・ゲルマニウム結晶層13上に第2のシリコン結晶層14を形成する工程と、熱処理により第2のシリコン結晶層14に歪みを与える工程とを有する。 - 特許庁
A surface oxide film 14 is formed on the surface of the body 12 of the substrate, composed of single-crystal silicon, and a resist layer 16 is formed on the surface of the oxide film 14 in a prescribed pattern.例文帳に追加
先ずシリコン単結晶からなる基板本体12の表面に表面酸化膜14を形成し、表面酸化膜14の表面に所定のパターンのレジスト層16を形成する。 - 特許庁
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