「"barrier discharge"」に関連した英語例文の一覧と使い方(7ページ目) - Weblio英語例文検索

The surface treatment of the treated wire 44 is performed using a complex plasma generated around the treated wire 43, the complex plasma being a combination of a DC discharge between the chamber and the treated wire and a dielectric barrier discharge between the treated wire and the plurality of conductors.例文帳に追加

そして、処理ワイヤ４３の周りで発生する、チャンバと被処理ワイヤとの間の直流放電と、被処理ワイヤと複数の導電体との間の誘電体バリア放電とからなる複合プラズマで、被処理ワイヤ４４の表面処理を行う。 - 特許庁

To provide a plasma irradiation device in which, by applying a device for generating mild plasma such as glow-type one produced through dielectric-barrier discharge or the like, a thermal load is extremely low with a low-temperature plasma, and operability and safety are good, and loads to a living body are reduced.例文帳に追加

誘電体バリア放電等を利用したグロー状プラズマを活用したマイルドなプラズマデバイスを適用することで、低温度なプラズマで熱負荷が極めて少なく、操作性、安全性、生体への負荷低減を図ることができるプラズマ照射装置を提供する。 - 特許庁

An insulating brim 7 protruding outside from the outer periphery surface 3a is provided between the electrodes 6, 6 on the outer periphery surface 3a of a barrel body 3 in the dielectrics barrier discharge lamp and by securing sufficient creeping distance, the leakage of the current is prevented between end parts of the electrodes 6 and 6 adjacent in the periphery direction of the barrel body 3.例文帳に追加

筒体３の外周面３ａにおける電極６，６間に、外周面３ａから外方に突出する絶縁鍔部７を備え、十分な沿面距離を確保し、筒体３の周方向に隣接する電極６，６の端部間の漏洩電流を防止する。 - 特許庁

The plasma processing apparatus brings a workpiece into substantial contact with a plasma source that is of a surface discharge type dielectric barrier discharge system formed with an antenna and a ground in a dielectric substance to generate plasma on a surface opposite to a surface having the plasma source on the workpiece.例文帳に追加

プラズマ処理装置は、誘電体内にアンテナとアースが形成された面放電型の誘電体バリア放電方式のプラズマ源において、被処理体を前記プラズマ源に略接触させ、被処理体に対してプラズマ源を設置した面とは反対の面にプラズマを生成するようにした。 - 特許庁

To provide a plasma processing method, by which, when a substrate is processed by means of atmospheric pressure plasma CVD by dielectric barrier discharge, plasma can be produced stably over a long period of time, so that stable and high quality processing can be performed over a long period of time.例文帳に追加

誘電体バリア放電による大気圧プラズマＣＶＤで基板の処理を行なうに際し、長時間に渡って安定したプラズマを生成することができ、これにより、長時間に渡って安定して高品位な処理を行うことを可能にするプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

When applying the device to a rotary blade, a signal of a rotating side optical fiber is transmitted to a fixed side by FORJ, and a power source of a dielectric barrier discharge device is used by guiding it to a rotating side secondary coil from a fixed side primary coil, and charging it.例文帳に追加

この装置を回転翼に適用する際には、ＦＯＲＪによって回転側光ファイバーの信号を固定側に伝達し、誘電体バリア放電装置の電源は、固定側１次コイルから回転側２次コイルに導き、充電して使用する。 - 特許庁

To provide a dielectric barrier discharge lamp which prevents a local degradation of a discharge lamp by not making an inner electrode discharge at the same point and at the same time, has no points where discharge is hard nor has an unstable discharge.例文帳に追加

内部電極において強い放電を行う点が同じにならないようにすることにより、放電容器の局部的な劣化を防止する一方、放電しにくい位置がなく、また放電が不安定になることのない誘電体バリア放電ランプを提供する。 - 特許庁

The discharge lamp includes a glass bulb 1 forming a hollow airtight space, the gas of a discharge medium filled in the inside of the glass bulb 1, and an external electrode 22 to cause dielectric barrier discharge in the gas of the discharge medium provided on the external surface of the glass bulb 1.例文帳に追加

中空の気密空間を形作るガラスバルブ１と、ガラスバルブ１の内部に封入された放電媒体の気体と、ガラスバルブ１の外面に設けられ放電媒体の気体に誘電体バリア放電を起こさせるための外部電極２２とを備える。 - 特許庁

By the structure, the dielectric barrier discharge lamp capable of reducing luminance distribution dispersion in the longitudinal direction of the axis of the bulb 10, of reducing deflection of light reflected from the external electrode 15, and of uniformly emitting light, and small in dispersion of a luminance distribution can be provided.例文帳に追加

この構成により、バルブ１０の軸の長手方向への輝度分布バラツキを少なくでき、かつ、外部電極１５から反射された光の偏りも少なくでき、輝度分布のバラツキの少ない均一発光できる誘電体バリア放電型ランプを実現できる。 - 特許庁

When the confronted positions in the circumferential direction in the outer surface are fitted with electrodes 4, 4, and dielectric barrier discharge is performed between the electrodes 4, 4, gaseous ArF^F is produced at the inside of the gas sealing part 3, and excimer irradiation with the central wavelength of 193 mm is generated continuously for several hundred hours.例文帳に追加

外表面における周方向の対向位置に電極４，４を取り付け、これら電極４，４間で誘電体バリア放電を行うと、ガス封入部３内でＡｒＦ^*ガスが生成され、中心波長１９３ｎｍのエキシマ発光が、連続して数百時間生じる。 - 特許庁

This dielectric barrier discharge lamp has a tube shape airtight container 1 made of an ultraviolet transmission material in which an excima gas is charged, and an internal electrode 2 having a coil shape is arranged in touching on an interior circumference of the container 1 and an external electrode 4 is mounted on an exterior circumference of the container 1.例文帳に追加

紫外線透過性の材料からなり、内部にエキシマ生成ガスを封入する管状の気密容器１を設け、この気密容器１の内周面にコイル形状を有する内部電極２を接触配置し、気密容器１の外周に外部電極４を装着する。 - 特許庁

To provide a dielectric barrier discharge lamp in which current conductor layers 5A, 5B having equal load at a sealing side end part 2A and an exhaust end part 2B of a glass lamp tube 1 can be formed, and design of high-frequency lighting device 6 to charge high frequency power to them can be made simpler and easier.例文帳に追加

ガラスランプ管１の封止側端部２Ａと排気側端部２Ｂとで等しい負荷の電流導体層５Ａ，５Ｂを形成することができ、これに高周波電力を給電するための高周波点灯装置６の設計を簡素にして容易にすることができる誘電体バリア放電ランプを提供する。 - 特許庁

As for this dielectric barrier discharge type low-pressure discharge lamp 11, current conductive layers 31, 36 of the outer face of a tubular glass lamp container 10 are made to be external electrodes 21, 26, metal members 101, 106 for power supply are mounted on these external electrodes by soldering, and the part for the power supply is made to have a simple constitution.例文帳に追加

この誘電体バリア放電型低圧放電ランプ１１は、管状ガラスランプ容器１０の外面の電流導体層３１，３６を外部電極２１，２６とし、この外部電極に、給電用の金属部材１０１，１０６を半田によって取付けたものであり、給電部分を簡単な構成にした。 - 特許庁

The discharge tube 3 of this dielectric barrier discharge lamp 1 comprises: a glass tube 9; and inclined end walls 11 formed of glass plate members welded to both front and rear ends of the glass tube 9 so as to be inclined with respect to the axial direction of the glass tube 9 for closing the ends of the glass tube 9.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ１の放電管３は、ガラス管９と、このガラス管９の前後両端に、ガラス管９の軸方向に対して斜めとなるように溶接されてガラス管９の端部を閉じるガラス板部材からなる傾斜端壁１１とからなる。 - 特許庁

The dielectric barrier discharge lamp in which a group of electrodes (3, 4) are arranged in the discharge volume space and each of respective groups has at least one electrode (3) of the first type and at least one electrode (4) of the second type is also provided.例文帳に追加

電極（３、４）が放電ボリューム内部に群をなして配列され、該群の各々が第１のタイプの少なくとも１つの電極（３）と第２のタイプの少なくとも１つの電極（４）とを備える誘電体バリア放電ランプもまた開示される。 - 特許庁

To provide a dielectric barrier discharge lamp for obtaining a sufficient light amount and also preventing an applied voltage at discharge start from becoming larger as well as for reducing flickering associated with arc discharge and making a load to a discharge vessel and an internal electrode smaller.例文帳に追加

アーク放電に伴う放電のちらつき、放電容器や内部電極に対する負荷を小さくするとともに、十分な光量を得ることができ、しかも放電開始時の印加電圧を大きくしないようにした誘電体バリア放電ランプを提供する。 - 特許庁

To provide a flat discharge lamp lighting system capable of preventing fusion of a dielectric layer and a glass container separating an electrode and a discharge medium due to extreme temperature rise of an electrode part while shortening rise time of luminance in early stages of lighting in the flat discharge lamp of a barrier discharge system.例文帳に追加

バリア放電方式の平面型放電ランプにおいて、点灯初期の輝度の立上り時間を短縮すると共に、電極部の過度の温度上昇による電極と放電媒体とを分離する誘電体層やガラス容器が溶融するのを防止できる平面型放電ランプ点灯システムを提供する。 - 特許庁

To improve homogeneity of surface treatment by bringing an integrated amt. of ultraviolet rays to the surface of an article to be treated close to const. in an ultraviolet rays irradiation apparatus for irradiating the article to be treated with ultraviolet rays while it is relatively rotated to a dielectric barrier discharge lamp.例文帳に追加

被加工物を誘電体バリア放電ランプに対し相対的に回転させながら紫外光を照射する紫外光照射装置において、被加工物表面に対する紫外光の積算光量を一定に近づけ、表面処理の均質性を高める。 - 特許庁

This is the excimer lamp in which a discharge gas for forming excimer molecules by dielectric barrier discharge is filled in the discharge container 1 and light of a wavelength of 200 nm or less emitted from the excimer molecules is extracted, and as a discharge container, the above discharge container for excimer lamp is used.例文帳に追加

放電容器１内に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該エキシマ分子から放射される波長２００ｎｍ以下の光を取り出すエキシマランプであって、前記放電容器として前記エキシマランプ用放電容器を用いたことを特徴とするエキシマランプ。 - 特許庁

Thus, two or more different discharge media are excited within the discharge vessel in a manner uninfluenced by one another, and specific radiation ray of each of the two or more discharge media can be thereby produced with only a single dielectric barrier discharge lamp, consequently at the same time, and virtually at the same location.例文帳に追加

これにより、２種類またはそれ以上の放電媒体を放電容器内で互いに影響せずに励起し、これにより２種類またはそれ以上の放電媒体のそれぞれ特有の照射線を唯１つの誘電体バリア放電ランプで、従って同時にかつ実質的に同じ個所で発生させることを可能にする。 - 特許庁

A pair of electrodes 121, 122 are formed along a tube axial direction on the outer surface of a tubular bulb 11, an aperture 18 along the tube axial direction of the bulb 11 is provided, a coat by a phosphor layer 15 is formed on the inner surface of the bulb 11, and a noble gas containing an xenon gas is filled in the bulb 11 to form this dielectric barrier discharge type fluorescent lamp 100.例文帳に追加

管状のバルブ１１の外面に管軸方向に沿って一対の電極１２１，１２２が形成され、バルブ１１の管軸方向に沿ったアパーチャ１８を設け、バルブ１１の内面に蛍光体層１５による被膜を形成し、バルブ１１内にはキセノンガスを含む希ガスが封入して誘電体バリア放電型の蛍光ランプ１００を構成する。 - 特許庁

A dielectric barrier discharge lamp 10 is structured by sealing excimer-generating gas in an airtight vessel 11 taking on a thin and long tube shape made of an ultraviolet transmitting material, arranging an inner electrode 12 in the total area in a tube axis direction inside the airtight vessel 11, and arranging outer electrodes 13 in a semicircular shape in a close-contact manner outside the airtight vessel 11.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ１０は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１１内に、エキシマ生成ガスを封入させ、気密容器１１内部の管軸方向の全域に内部電極１２を配置し、気密容器１１外部の半円周形状に外部電極１３を密着して配置して構成する。 - 特許庁

A parallel plate type barrier discharge exhaust gas treating device is distinguished by being formed by arranging a planar discharge electrode having a top end of semicircular cross section and a planar counter earth electrode in which an insulating thin film is attached around a top end thereof parallel and by packing dielectrics of hollow cylinder shape in a space between both electrodes.例文帳に追加

先端が断面半円状の板状の放電電極と、先端の周囲に絶縁用薄膜を取付けた板状の対極接地電極とが平行に配置され、この両電極間の空間に中空円筒状の誘電体を充填して形成されたことを特徴とする平行平板型バリヤ放電排ガス処理装置。 - 特許庁

The discharge vessel (1) made of a quartz glass is filled with a discharge gas for generating excimer molecules by the dielectric barrier discharge, having a transparent portion, and the outer surface of its end frosted or coated with a highly refractive material (10).例文帳に追加

石英ガラスからなる放電容器（１）の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、この放電容器（１）の少なくとも一部に光透過性部分が形成されており、この放電容器（１）の端部における容器外表面が、フロスト加工または高屈折コート（１０）していることを特徴とする。 - 特許庁

The dielectric barrier discharge fluorescent lamp has a glass bulb 1, in which discharging gas is enclosed, and a pair of electrodes 4, 5 of which, at least one electrode is covered by dielectric substance, and a film of electron-emitting material 7 is partially formed to the position distant from the end part of the glass bulb 1 so as to be exposed to the discharging space of the glass bulb 1.例文帳に追加

誘電体バリア放電蛍光ランプは、内部に放電ガスを封入したガラスバルブ１と、少なくとも一つの電極が誘電体で被膜された一対の電極４，５とを有し、ガラスバルブ１の端部から離れた位置で、ガラスバルブ１の放電空間に露出するように電子放射材料の被膜７を局部的に設けた。 - 特許庁

This lighting device of a dielectric barrier discharge lamp 1 is provided with: a power supply circuit 6 for supplying a driving voltage for lighting the lamp 1 between an internal electrode 4 and an external electrode 5 of the lamp 1; and a driving circuit 10 for supplying driving signals Vd1 and Vd2 for determining the frequency of the driving voltage of the power supply circuit 6.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ（１）の点灯装置は、ランプ（１）の内部電極（４）と外部電極（５）の間にランプ（１）を点灯させるための駆動電圧を供給する電源回路（６）と、電源回路（６）の駆動電圧の周波数を決定するための駆動信号（Ｖd1、Ｖd2）を供給する駆動回路（１０）とを備える。 - 特許庁

A branched path 10 which is branched and discharges a part of He supplied in a gas flow path 4 is provided between a plasma generating region enclosed with electrodes 6-8 which generate dielectrics barrier discharge for generating plasma from He and an ionizing current detecting region enclosed with electrodes 13, 14 which detect sample components ionized by a function of the plasma.例文帳に追加

Ｈｅからプラズマを生成するための誘電体バリア放電を発生させる電極６〜８で囲まれるプラズマ生成領域と、プラズマの作用によりイオン化された試料成分を検出する電極１３、１４で囲まれるイオン化電流検出領域との間で、ガス流路４に供給されたＨｅの一部を分岐して排出する分岐排気路１０を設ける。 - 特許庁

To provide a constitution of an image reader utilizing the dielectric barrier discharge in a system for time-dividing an image and reading its divisions which always provides a uniform lamp emission on each divided image, especially, can well deal with elevated image read speeds.例文帳に追加

誘電体バリア放電を利用した蛍光ランプを使う画像読取装置であって、時間的に分割して画像を順次読み取る方式において、各分割された画像に対して、常に均一なランプ発光ができる構成を提供することであり、特に、画像読取速度が高速化されても良好に対応できる構成を提供する。 - 特許庁

In this device for radiating a vacuum ultraviolet light by dielectric barrier discharge wherein opposed pairs of electrodes 2 and 2a are directly disposed in a container 1 with a rare gas through dielectrics 3, pairs of the electrodes 2 and 2a are zigzag-arranged linearly or curvedly or simply arranged curvedly.例文帳に追加

希ガスが存在する容器１内に誘電体３を介して対向する複数対の電極２、２ａを直接設けてなる誘電体バリア放電による真空紫外光の照射装置において、本発明では、複数対の電極２、２ａを直線状に千鳥配列したり、湾曲状に千鳥配列したり、あるいはまた単に湾曲状に配列する。 - 特許庁

In the device equipped with a dielectric barrier discharge lamp 10 discharging between electrodes 14 and 15 through dielectrics 11 and 12 in discharge space 13 filled with discharge gas, an inverter device 20 impressing AC voltage between the electrodes 14 and 15 is to have its output voltage waveform in rectangle shape as a non-resonant type.例文帳に追加

放電用ガスが充填された放電空間１３内で誘電体１１，１２を介して対をなす電極１４，１５間で放電を行わせる誘電体バリア放電ランプ１０を備えたものにおいて、１４，１５電極間に交流電圧を印加するインバータ装置２０を非共振型として出力電圧波形を矩形波となるようにする。 - 特許庁

A dielectric barrier discharge lamp 14 is composed of a long tubular airtight container 141 capable of transmitting ultraviolet ray, an internal electrode 142 disposed in the airtight container 141 along its axis, a semi-cylindrical external electrode 143 in close contact with the outer surface of the airtight container 141, and excimer-forming gas filled in the airtight container 141.例文帳に追加

紫外線透過性の細長い管状をなす気密容器１４１内の管軸方向に内部電極１４２を配置し、気密容器１４１外に半円周形状の外部電極１４３を密着させて配置し、気密容器１４１内にエキシマ生成ガスを封入させて誘電体バリア放電ランプ１４を構成する。 - 特許庁

To provide a highly reliable excimer lamp, capable of preventing surface discharge among electrodes and abnormal discharge among lead wires, even if a high voltage is impressed on the lamp in order to obtain a high radiation output, as to an excimer lamp of a dielectric barrier discharge system which does not have electrode in a discharge space or a capacitance coupling type high-frequency discharge system.例文帳に追加

放電空間内に電極を持たない誘電体バリア放電方式または容量結合型高周波放電方式のエキシマランプにおいて、高い放射出力を得るために、ランプに高電圧を印加しても電極間の沿面放電や、リード線間の異常放電を防止できる信頼性の高いエキシマランプを提供する。 - 特許庁

In the dielectric barrier discharge lamp 1, an electron emissive material 7 is coated to a part of the region of the outer peripheral face of the internal electrode 3, so that coated region may include the region where the internal electrode 3 is closest to the external electrode 4, accordingly preventing the flickering caused by the contracted discharge that goes around the periphery of the internal electrode 3.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ１において、内部電極３の外周面の一部の領域に電子放射性物質７を塗布するとともに、当該塗布領域が、内部電極３と外部電極４が最も近接する領域を含むことにより、収縮放電が内部電極３の淵を回ることによるチラツキを防止することが出来る。 - 特許庁

To provide an ultraviolet ray irradiation device free from the leakage of water at an inlet and an outlet of the cooling water to a cooling mechanism in a device, and capable of reducing the leakage of the cooling water even when the lamp is broken with respect to the ultraviolet ray irradiation device wherein a dielectric barrier discharge lamp is cooled by cooling fluid such as water.例文帳に追加

本発明は、水などの冷却流体で誘電体バリア放電ランプを冷却する紫外線照射装置において、該装置内の冷却機構への該冷却水の流入口、流出口等で漏水が起こらない、又は該ランプが破損等しても該冷却水の漏水量が少なくなる紫外線照射装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

The dielectric barrier discharge lamps 10 are formed by sealing an excimer-generating gas in a tubular air-tight container 11 made of a UV-transmissive material, arranging internal electrodes 12 in the whole region in the direction of the axis of the tube in the air-tight container 11 and arranging external electrodes 13 so as to adhere tightly to the externally formed semi-circumferential parts of the air-tight container 11.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ１０は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１１内に、エキシマ生成ガスを封入させ、気密容器１１内部の管軸方向の全域に内部電極１２を配置し、気密容器１１外部の半円周形状に外部電極１３を密着して配置して構成する。 - 特許庁

The dielectric barrier discharge lamp 100 is so structured that an excimer-generating gas is sealed in an airtight vessel 11 of a narrow tube shape made of an ultraviolet-transmitting material; internal electrodes 12 are arranged in a whole area inside the airtight vessel 11 in a tube axis direction; and external electrodes 13 are arranged in a semi-circular shape in an adhered manner, outside the airtight vessel 11.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプ１００は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１１内に、エキシマ生成ガスを封入させ、気密容器１１内部の管軸方向の全域に内部電極１２を配置し、気密容器１１外部の半円周形状に外部電極１３を密着して配置して構成する。 - 特許庁

With the dielectric barrier discharge type low-pressure discharge lamp 11 equipped with a glass lamp vessel 1 with outer electrodes 21, 22 arranged on the outer surface and a phosphor layer 61 formed on the inside face, the restart characteristics of a lamp in the dark are made excellent by utilizing primary electron emission characteristics of alumina fine particles through dispersion and mixture of the alumina fine particles inside the phosphor layer 61.例文帳に追加

外面に外部電極２１，２２が配設され、内面に蛍光体層６１が形成されたガラスランプ容器１を備えた誘電体バリア放電型低圧放電ランプ１１にあって、蛍光体層６１内にアルミナ微粒子を分散、混在させることにより、アルミナ微粒子の一次電子放出特性を利用し、ランプの暗黒中での再始動特性を良好なものにした。 - 特許庁

To provide a lighting circuit for a dielectric barrier discharge lamp capable of obtaining ultraviolet ray having high luminous efficiency and a narrow wavelength region by suppressing glow discharge of filler gas by cold cathode discharge of an internal electrode, and an illuminating device having excellent wavelength conversion efficiency of a phosphor film using the lighting circuit and high luminance.例文帳に追加

本発明は、内部電極の冷陰極放電による封入ガスのグロー放電を抑制することにより、発光効率が高く、波長域の狭い紫外線を得ることができる誘電体バリア放電灯の点灯回路、及びその点灯回路を使用した蛍光体被膜の波長変換効率の良い、より高輝度の照明装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

To let discharge chamber of a dielectric barrier discharge lamp not distorted even when it became axially longer, to make distribution of the illuminance on the article to be uniform, and further to make it possible to prevent the lamp from swinging even when it receives vibrations, causing no breakage of the discharge chamber.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプの放電容器が軸方向に長くなっても、放電容器の撓みが発生せず、被処理物上の照度分布を均一にすることができ、さらに、誘電体バリア放電ランプ装置に振動が加わっても、誘電体バリア放電ランプの揺れを防止することができ、放電容器が破損しない。 - 特許庁

An oxygen-containing fluid is irradiated with vacuum ultraviolet light which is generated by a dielectric barrier discharge 100 while using argon gas and chlorine gas and has 175 nm wavelength at the peak to generate ozone and an active oxidizing/decomposing material, which are then brought into contact with a subject 9 to be treated in order to oxidize the subject.例文帳に追加

アルゴンガスと塩素ガスによる誘電体バリヤ放電１００によって生成される波長１７５ｎｍにピークを有する真空紫外光を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物９に接触させて酸化させることを特徴とする。 - 特許庁

An outer electrode is installed on the outer surface of the glass tube bulb, and an inner electrode is painted or made a conductive metal tape on the inner surface of the above glass tube bulb, and by the dielectric barrier discharge between the both electrodes and by making small the loss by dielectric (bulb), the discharge starting voltage and lamp voltage are reduced and the pressure of filling gas is increased.例文帳に追加

ガラス管バルブの外面に外部電極を設け前記ガラス管バルブの内面に内部電極を塗布又は、導電性の金属テープとしてその電極間の誘電体バリア放電により、誘電体（バルブ）によるロスを小さくすることで、放電開始電圧／ランプ電圧を低減させ封入ガス圧をアップさせる。 - 特許庁

The dielectric barrier discharge lamp 14 is composed by disposing an internal electrode 142 in a tube axial direction in an airtight container 141 comprising an elongated tube shape of ultraviolet ray transmissivity, closely disposing an external electrode 143 of a semi-circumferential shape to the airtight container 141, and sealing excimer producing gas in the airtight container 141.例文帳に追加

紫外線透過性の細長い管状をなす気密容器１４１内の管軸方向に内部電極１４２を配置し、気密容器１４１外に半円周形状の外部電極１４３を密着させて配置し、気密容器１４１内にエキシマ生成ガスを封入させて誘電体バリア放電ランプ１４を構成する。 - 特許庁

To provide a surface treatment apparatus and a surface treatment method which can resist to dielectric breakdown even when a ferroelectric material such as titanium oxide or barium titanate is used, can realize at atmospheric pressure a composite barrier discharge generating a plasma of a high energy density, and can realize the highly efficient surface modification of a substrate.例文帳に追加

酸化チタン、チタン酸バリウム等の強誘電性材料を使用した場合でも絶縁破壊しにくく、且つ発生するプラズマのエネルギー密度の高い複合バリア放電を大気圧下で実現すると共に、基材の表面改質の高効率化を実現する表面処理装置及び表面処理方法を提供する。 - 特許庁

This method for producing a III group metal nitride thin film comprises carrying out chemical vapor deposition of activated nitrogen atom, especially activated nitrogen atom generated by dielectric barrier discharge and one or more kinds of organometallic compounds of III group metals on a substrate heated to 700°C to 1,000 which is a temperature lower than that in conventional MOCVS method.例文帳に追加

化学蒸着反応器内で、活性化窒素原子、特に誘電体障壁放電により発生させた活性化窒素原子およびIII族金属の有機金属化合物１種以上を、従来のＭＯＣＶＤ法におけるよりも低温の７００℃〜１，０００℃に加熱した基板上に化学蒸着させる製造方法である。 - 特許庁

To provide a film deposition apparatus that uses an electrode roller pair for depositing a film while conveying a substrate by hanging and winding the substrate to deposit a film by an atmospheric-pressure plasma chemical vapor deposition (CVD) that is caused by dielectric-barrier discharge, and that generates plasma stably for a long period of time, thereby stably depositing a high quality film for a long period of time.例文帳に追加

基板を巻き掛けて搬送しつつ成膜を行なう電極ローラ対を用い、誘電体バリア放電による大気圧プラズマＣＶＤで成膜を行なう成膜装置であって、長時間に渡って安定したプラズマを生成することができ、これにより、長時間に渡って高品質な成膜を安定して行なうことを可能にする成膜装置を提供する。 - 特許庁