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静基の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 3784



例文

電チャックを使った半導体装置の製造方法において、被処理板の処理後の除電を迅速かつ完全に行い、板の電チャックからの取り外し時に生じる損傷を最小化する。例文帳に追加

To minimize damages generated, when a substrate is removed from an electrostatic chuck by rapidly and completely destaticizing the substrate to be treated after treating the substrate, in a method for manufacturing a semiconductor device using the chuck. - 特許庁

この電チャック1では、セラミック質からなる絶縁材2の内部に形成されたチャック電極層3,4への通電により、絶縁材2のチャック面S1に被吸着物W1が電的に吸着される。例文帳に追加

In the electrostatic chuck 1, an object W1 is attracted electrostatically to the chuck face S1 of a ceramic insulating basic material 2 by conducting chuck electrode layers 3, 4 formed in the insulating basic material 2. - 特許庁

絶縁性板10の温度制御方法、電チャック1を構成する誘電体の形状、物性、電極7の形状を規定し絶縁性板吸着用電チャックを開示した。例文帳に追加

A temperature control method of an insulating substrate 10 and an insulating substrate attracting electrostatic chuck is disclosed, wherein a shape and physical properties of a dielectric, and the shape of an electrode 7 constituting the electrostatic chuck 1 are defined. - 特許庁

簡単な構造で回路板に形成した回路パターンへの外方からの電気の侵入を効果的に防止できる回路板の電気侵入防止構造を提供する。例文帳に追加

To provide a static electricity intrusion preventing structure of a circuit board capable of effectively preventing static electricity from intruding into a circuit pattern formed on the circuit board from the outside by a simple structure. - 特許庁

例文

電チャック10は、アルミナ焼結体12と、アルミナ焼結体12上に形成され、腐食性ガスに曝されるイットリア焼結体13とを備える体11と、体11に埋設された電電極15とを備える。例文帳に追加

An electrostatic chuck 10 comprises a base 11 including an alumina sintered body 12, and an yttria sintered body 13 formed on the alumina sintered body 12 and exposed to a corrosive gas; and an electrostatic electrode 15 buried in the base 11. - 特許庁


例文

電導体または台の表面に絶縁層を被覆してなる電チャックにおいて、該電導体または台が、低熱膨張合金からなり、該絶縁層が、セラミックス層からなることとした電チャック。例文帳に追加

Concerning the electrostatic chuck covering the surface of the electric conductor or the base with the insulation layer, the electric conductor or the base is a low thermal expansion alloy and the insulation layer is ceramic. - 特許庁

板に設けた各種回路パターンに電気が侵入するのを防止することができ、且つその薄型化、軽量化、低コスト化を図ることができる板への電気侵入防止構造を提供する。例文帳に追加

To provide a static electricity invasion prevention structure to a substrate which can prevent invasion of static electricity into various circuit patterns provided on a substrate, and which can realize its thinness, light weight, and low cost. - 特許庁

予め記録されているホットプレート部HP1の正常な止画像とカメラ10の撮影する止画像とが一致すれば、板搬送ロボットTRは板Wの搬入出を行う。例文帳に追加

When a normal static image recorded beforehand of a hot plate HP1 matches with the static image photographed by the camera 10, a substrate transfer robot TR ships in/out the substrate W. - 特許庁

前記ディスクは、ガラス板がチャックから除去されるとき、電気によって害されないようにガラス板を保護すべくディスク上の電気を放出可能である。例文帳に追加

The disc is capable of discharging static electricity accumulated thereon to protect the glass substrate from damage caused by static electricity. - 特許庁

例文

真空チャンバ21内には、背面板4を支持する支持部22、前面板2を吸着保持する電チャック24、および電チャック24を回転軸26の周りで回転させる回転機構28を有する。例文帳に追加

A supporting part 22 supporting a back substrate 4, a supporting part 22 supporting a back substrate 4, an electrostatic chuck 24 attracting and holding a front substrate, and a rotating mechanism 28 rotating the electrostatic chuck on a rotating axis 28 are installed inside the vacuum chamber 21. - 特許庁

例文

電気が帯電せず、しかも耐衝撃性に優れた樹脂製のコータカップを採用して、板に対する電気の誘導を防止すると共に、板が衝突した際の損傷を最小限にする。例文帳に追加

To minimize damage generated when substrates collides, while static electricity is not charged, and moreover a coater cup formed of resin excellent in shock resistance is adopted and the induction of the static electricity to the substrate is prevented. - 特許庁

電吸着ステージに板を吸着しながら処理する板処理装置において、電吸着ステージのクリーニングの要否を判断する実用的な構成を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate processing apparatus for processing a substrate, attracted on an electrostatic attraction stage, which has a practical arrangement of determining the need for cleaning the stage. - 特許庁

板の裏面と電チャックとの間の接触熱抵抗を低減し、板表面の高精度の温度制御が可能な、耐プラズマ性及び耐久性の高い電チャックを提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck apparatus in which a contact thermal resistance between the back of a substrate and an electrostatic chuck is reduced, in which the temperature on the surface of the substrate can be controlled with high accuracy and whose plasma resistance and durability and high. - 特許庁

この結果、ガラス板1に外部から電気が印加されると、ガラス板1の端面に露呈された走査線6の右端部から走査線6に電気が侵入することになる。例文帳に追加

As a result, when static electricity is applied to the substrate 1 from the outside, the static electricity penetration into the scanning lines 6 from the right end parts of the scanning lines 6 exposed at the end face of the substrate 1. - 特許庁

電センサを含むフレキシブル板を用いて電気対策及び不要輻射ノイズ対策を可能にするとともに、主板等を固定させて組み込むことができる電子機器を提供する。例文帳に追加

To provide an electronic apparatus which attains electrostatic countermeasures and spurious radiation noise countermeasures, using a flexible substrate containing an electrostatic sensor and fixing and incorporating a main substrate, and the like. - 特許庁

電吸着部材60は、ロードロックモジュールの載置ステージ70とピック31bとの間、又はピック31bと処理モジュールとの間で、板Wに電吸着した状態で、板Wと一緒に受け渡される。例文帳に追加

The electrostatic attraction member 60 is transported along with the substrate W between a mounting stage 70 of the load lock module and the pick 31b or between the pick 31b and the processing module in the state electrostatically attracted to the substrate W. - 特許庁

また、水圧パッドは、気体圧軸受とは異なり、軸受面と支持対象物(板)との間の非圧縮性流体(液体)の圧を利用するので、軸受の剛性が高く、軸受面と板との間隔が、安定してかつ一定に保たれる。例文帳に追加

Further, the hydraulic pads use static pressure of incompressible fluid (liquid) between the bearing surfaces and the object to be supported (substrate) differently from gas hydrostatic bearings, so bearings have high rigidity and the interval between the bearing surfaces and wafer is kept stable and constant. - 特許庁

制御回路装置は、電容量検出信号にづいて検出した電容量の変化量としきい値とを比較し、比較結果にづきドアパネル2bと車体との間の異物の有無を判定する。例文帳に追加

A control circuit device compares the variation of the electrostatic capacity detected based on the electrostatic capacity detecting signal and a threshold, and determines whether the foreign matter is present or not between the door panel 2b and a chassis based on the result of the comparison. - 特許庁

製造工程時に流れ込む電気による不良を防止することのできるアレイ板とこれを具備した表示装置及び電気からアレイ板の表示領域を保護する方法を提供する。例文帳に追加

To provide an array substrate capable of preventing a defect due to static electricity flowing in a manufacturing process, to provide a display device having the same and to provide a method of protecting a display area of the array substrate from static electricity. - 特許庁

従って、導電性膜10による大きい電容量のバイパスコンデンサでは、板を従来のように用いた場合の電容量に比べて板抵抗の影響がなく、電源ノイズを吸収する効果が大きい。例文帳に追加

In a bypass capacitor having a large electrostatic capacity which is attributed to the conductive film 10, the influence of the resistance of the substrate is none compared with its large electrostatic capacity, and therefore such a capacitor has a large capability to absorb the noise of a power supply. - 特許庁

判定テーブル導出部52は、入力されるフレームにづく画像を、数フレームにわたって動きのない止領域と、止領域以外の動きのある動き領域とに分類し、その分類にづく判定テーブルを作成する。例文帳に追加

A determination table derivation portion 52 classifies an image according to an inputted frame into a stationary region having no movement over several frames and a motion region having movement other than the stationary region, and creates a determination table based on the classification. - 特許庁

これにより、開口部6a,6a,…から進入した電気は、回路板30に伝導することなく、金属製の固定金具10へと伝導することから、回路板30が電気から保護される。例文帳に追加

As a result, since the static electricity, advancing from the apertures 6a and 6a eventually conducts to the metallic fixing bracket 10, without conducting to the circuit board 30, the circuit board 30 can be protected from the static electricity. - 特許庁

従って、板11表面との接触面積が大きくなって、電吸着力が大きくなることにより、反りが生じた板を、確実に電吸着して保持することができる。例文帳に追加

Thus, the area of contact with the surface of the substrate 11 increases and an electrostatic attracting force also increases, ensuring that the device electrostatically attracts and retains the deflected substrate. - 特許庁

板搬送ハンドに複数の電チャックを用いて板を搬送する搬送装置を具備し、各電チャックの姿勢を傾き自在、高さ自在に保持する手段を具備した。例文帳に追加

The substrate conveyance hand is provided with a conveyance device using a plurality of electrostatic chucks to convey a substrate, and it is also provided with a means to hold the attitude of the electrostatic chucks in a freely tiltable manner and in a freely height adjustable manner. - 特許庁

建築用板の端部側面や凹部にも完全かつ均一に、高効率で耐候性塗料を電塗装することのできる建築用板の電塗装方法を提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic coating method of foundation bed for construction that can coat weather-proof paints to the side faces at the edge parts as well as recessed parts of foundation beds for construction completely and uniformly at high efficiency. - 特許庁

板ホルダは、接続部材とは別個にホルダ本体に設けられ、外部からの電力供給により、板を載置面に電吸着する電吸着部をさらに備える例文帳に追加

The substrate holder also includes an electrostatic attraction part which is provided in the holder body separately from the connection member and electrostatically attracts the substrate to the mounting surface by power supply from outside. - 特許庁

一方で、準パターンと接地電位との間の実測電容量を準にして、立体的な配線経路の計算上の電容量を求める。例文帳に追加

On the other hand, computational capacitance of the three-dimensional wiring route is determined with reference to the actually measured capacitance between a reference pattern and the ground potential. - 特許庁

止画生成手段M5は、獲得した要求情報が有する特定情報にづき低精度動画情報の場面を特定し、特定した場面に対応する高精度動画情報にづき止画情報を生成する。例文帳に追加

A still image generating means M5 specifies a scene of the low-accuracy still image information on the basis of the specific scene owned by the acquired requiring information, and generates still image information on the basis of the high-accuracy motion image information corresponding to the specific scene. - 特許庁

他方、第1翼列2の第2準翼21bに対応する第2翼列の第2対応翼41bを、動翼が第1準翼の下端21bLに最近接する時の動翼31bの下端31bLの位置に配置する。例文帳に追加

A second corresponding blade 41b of a second stationary blade row corresponding to a second reference blade 21b of the first stationary blade row 2 is arranged at a position of a lower end 31bL of the moving blade 31b when the moving blade gets closest to the lower end 21bL of the first reference blade. - 特許庁

真空中で、板を電吸着装置に吸着保持した状態で搬送する際に、搬送終了後に短時間で板を電吸着装置から容易に離脱させる技術に関する。例文帳に追加

To provide a technique for easily removing a substrate from an electrostatic attraction device in a short time after the end of transporting the substrate in a vacuum in a state wherein the substrate is attracted to and held on the electrostatic attraction device. - 特許庁

真空槽11内の絶縁性板S(板S)を電チャック17に対して電吸着し、且つ、板Sの裏面と電チャック17の凹部17cとによって形成される冷媒空間に該板Sを冷却するヘリウムガスを供給しつつ、真空槽11内にプラズマを生成して板Sをエッチング処理する。例文帳に追加

The plasma processing method comprises: electrostatically attracting an insulative substrate S (substrate S) in a vacuum chamber 11 by an electrostatic chuck 17; and etching the substrate S by generating plasma in the vacuum chamber 11 while supplying helium gas for cooling the substrate S to a refrigerant space defined by the backside of the substrate S, and a reentrant 17c of the electrostatic chuck 17. - 特許庁

薄板状のガラス板5上に形成された、放射線画像情報を電潜像として記録し、該ガラス板側から入射された読取光で読取面を走査されることにより前記電潜像に応じた電流を発生する平面状の画像検出器10(電記録体)を、ガラス板5側から該ガラス板5よりも厚いガラス台6で支持する。例文帳に追加

A planar image detecting device 10 (electrostatic recording body) formed on a thin sheet glass substrate 5 and for recording radiograph information as an electrostatic latent image and generating a current corresponding to the electrostatic latent image by scanning the reading surface with the reading light made incident from the glass substrate side, is supported by a glass base 6 which is thicker than the glass substrate 5 from the glass substrate 5 side. - 特許庁

薄板状のガラス板5上に形成された、放射線画像情報を電潜像として記録し、該ガラス板側から入射された読取光で読取面を走査されることにより前記電潜像に応じた電流を発生する平面状の電記録体10を、ガラス板5側から該ガラス板5よりも厚いガラス台6で支持する。例文帳に追加

A plane shape recording medium 10 recording radiation image information formed on the thin glass base plate 5 as capacitance latent image and generating current according to the capacitance latent image by scanning the reading surface with readinng light introduced from the glass base plate is supported with a glass base stage 6 thicker than the glass base plate 5 from the glass base plate 5 side. - 特許庁

磁気抵抗効果素子を接続したフレキシブルプリント板の導通パターン上、端子上、及びその盤裏面を10^6Ω以上10^9Ωの表面抵抗率を有する磁性体塗料にて覆われていることより、電気による電破壊、電気による瞬間的な大電流が隆起する電磁界による磁気抵抗効果素子の磁気的な破壊・劣化および電気以外による外部からの電磁波による破壊を防止する。例文帳に追加

The magnetic head assembly is covered with magnetic coating material having surface resistivity10^6Ω and ≤10^on a continuity pattern and a terminal of a flexible printed circuit board connected to a magnetoresistive effect element, and on a rear face of the circuit board. - 特許庁

密閉可能なチャンバ内に電チャックを載置する工程と、電チャック上に板を載置する工程と、密閉チャンバ内を真空排気する工程と、板表面をランプ加熱装置で加熱する工程と、電チャックの特性を評価する工程とを有する電チャックの評価方法である。例文帳に追加

The valuation method of an electrostatic chuck comprises a process of laying the electrostatic chuck in the hermetically sealable chamber, a process of laying a substrate on the electrostatic chuck, a process of evacuating the inside of the sealed chamber, a process of heating the substrate surface with the lamp heating apparatus, and a process of valuating the characteristics of the electrostatic chuck. - 特許庁

セラミックシートを積層すると共に内部導体11〜18を内蔵した板本体2に被保護素子(IC)30を実装し、該被保護素子30と電気的に接続されて該被保護素子30が電気により破壊されるのを防止するための電気対策部(電気対策素子35と電気対策回路36)を備えた多層配線板。例文帳に追加

Ceramic sheets are laminated, the element to be protected (IC) 30 is mounted to a board body 2 in which inner conductors 11 to 18 are incorporated, and a static electricity measurement part (a static electricity measurement element 35 and a static electricity measurement circuit 36) connected electrically with the element 30 for preventing the element 30 being broken by static electricity is provided to the multilayer wiring board. - 特許庁

スペクトラム分布状態を検知し、当該検知したスペクトラム分布状態をに、不規則止物が発生している範囲である不規則止物検知範囲を検出する手段と、当該不規則止物検知範囲のピークレベル分布をに一時閾値を算出して不規則止物と考えられるピークを検出し除去する手段を有する。例文帳に追加

The FM-CW radar device has a means for detecting spectrum distribution and, depending on the detected spectrum distribution, detecting an irregular stationary object detection range wherein an irregular stationary object is present, and a means for calculating a temporary threshold depending on peak level distribution in the irregular stationary object detection range, and detecting and removing a peak presumed an irregular stationary object. - 特許庁

金型内に配置し成形樹脂の表面と接着することによって電容量スイッチ付き成形品を形成するための電容量スイッチ付きインサートシートであって、体シートと、電容量を検知する電極として体シートの片側に導電性インキ層とを備えた電容量スイッチ付きインサートシートとする。例文帳に追加

In the insert sheet with an electrostatic capacitance switch for forming a molded product with an electrostatic capacitance switch by setting the insert sheet in a mold and adhering it to a surface of a molding rein, a base sheet and a conductive ink layer on one side of the base sheet as an electrode for detecting electrostatic capacitance are provided on the insertion sheet with an electrostatic capacitance switch. - 特許庁

宗派は単立(元天台宗寺門派)、開(創立者)は、静基(じょうき)、本尊は不動明王(鎌倉時代作の木像)。例文帳に追加

The temple is independent (formerly belonged to the Jimon school of the Tendai Sect), its Kaiki (founding priest) was Joki and it is dedicated to the principal image of Fudo Myoo (a Kamakura period wooden statue).  - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

水接触角が45〜110°であり、ケトンまたはエーテルを有する離型剤を含有する電荷像現像用トナーである。例文帳に追加

The toner for electrostatic charge image development comprises a mold releasing agent having a water contact angle of 45 to 110° and having a ketone group or an ether group. - 特許庁

トナーをEH現象によって現像領域まで搬送する電搬送板101に対して加熱処理を施す板加熱手段を設けた。例文帳に追加

A substrate heating means for performing heat treatment to an electrostatic conveyance substrate 101 which conveys the toner to a developing area by the EH phenomenon is provided. - 特許庁

電チャック1は、盤6と、盤6の上面にパターンをなして広がる電極5a、5bと、電極を覆う誘電層4と、を備える。例文帳に追加

The electrostatic chuck 1 comprises a base plate 6, electrodes 5a, 5b which form patterns extending on the upper surface of the base plate 6, and a dielectric layer 4 which covers the electrodes. - 特許庁

細胞培養材の細胞培養表面の水的接触角が95°〜50°のフッ素樹脂層を含む細胞培養材による。例文帳に追加

In this cell culture substrate containing a fluororesin layer, the cell culture surface of the cell culture substrate has a water static contact angle of 95° to 50°. - 特許庁

板処理装置1は、チャンバ3内に設置され、板Wを支持する表面20aを有する電チャック20を備える。例文帳に追加

The substrate processing apparatus 1 includes the electrostatic chuck 20 installed in a chamber 3 and having a surface 20a for supporting a substrate W. - 特許庁

板と電チャックとの間に供給される伝熱ガスによって板全体の温度を均一する。例文帳に追加

To make a temperature of an entire substrate uniform by heat transfer gas supplied between a substrate and an electrostatic chuck. - 特許庁

電容量タッチパネルは、単一のレンズ板と、マスク層と、前記単一レンズ板と一体に結合されるセンス回路とを含む。例文帳に追加

The capacitive touch panel includes: a singular lens substrate; a mask layer; and a sensing circuit integrally coupled with the singular lens substrate. - 特許庁

電極板の製造方法、ならびに、電極板、電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置例文帳に追加

ELECTRODE SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD, AND ELECTRODE, ELECTROSTATIC ACTUATOR, LIQUID-DROP DISCHARGING HEAD AND LIQUID-DROP DISCHARGING DEVICE - 特許庁

板Wは、当該板Wとステージ26の間に電力を発生させることで、トレー32上に保持される。例文帳に追加

The substrate W is held on the tray 32 by generating electrostatic force between the substrate W and stage 26. - 特許庁

電吸着装置1は、絶縁体盤21と、盤上の電極17、19と、その上の誘電体層11、13とからなる。例文帳に追加

An electrostatic suction device 1 comprises an insulator substrate 21, electrodes 17 and 19 on the substrate, and dielectric layers 11 and 13 on it. - 特許庁

例文

板5に前記止摩擦力を超える衝撃力が加わると、板5と支持部2aとの間に滑りが発生する。例文帳に追加

When the substrate 5 is applied with an impact which exceeds the static friction force, a slip occurs between the substrate 5 and the support part 2a. - 特許庁

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