High Resolutionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 7299件
To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition capable of forming a pattern simultaneously satisfying high sensitivity, high resolution and good dry etching resistance even in the formation of an isolated pattern, to provide a resist film using the composition, and to provide a pattern forming method.例文帳に追加
孤立パターンの形成においても、高感度、高解像性、及び、良好なドライエッチング耐性を同時に満足したパターンを形成できる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いたレジスト膜、及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a planographic printing original plate for thermal negative plate having high sensitivity and high resolution in an IR region and excellent safe light properties in UV and visible light regions and having a photosensitive layer having excellent adhesion resistance and scratch resistance between planographic printing original plates.例文帳に追加
赤外線領域において高感度、高解像性で紫外・可視光領域でのセーフライト性に優れ、平版印刷版原版同士の耐接着性と耐キズ性に優れた感光層が設けられたサーマルネガ版用平版印刷版原版を提供する。 - 特許庁
To provide an image pickup device capable of obtaining high-sensitivity and high-resolution without the use of a special sensor by combining summation of distances between screens and summation of distances between pixels and by reducing time lag between the screens in the summation of the distances between the screens; and to provide an image pickup method.例文帳に追加
本発明は、画面間加算と画素間加算を組み合わせ、画面間加算の画面間タイムラグを小さくすることで、特殊なセンサーを用いることなく高感度と高解像度な撮像装置及び撮像方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition that simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, good pattern profile and good line edge roughness, to provide a pattern forming method using the composition and a resin purifying method used for the composition.例文帳に追加
高感度、高解像性、良好なパターン形状及び良好なラインエッジラフネスを同時に満足させる、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法を提供する。 - 特許庁
There are described the autofocus mechanism and the method optimized for fluorescent and non-fluorescent applications that when combined with a high speed CCD camera and high numerical aperture (NA) optical parts, achieves superior signal to noise ratio, resolution, and inspection speed performance.例文帳に追加
自動収束メカニズムと、高速度CCDカメラと高開口数(NA)光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 - 特許庁
To provide a digital/analog conversion apparatus having a high resolution and a small circuit size, which enables generating a high-quality analog signal even when elements configuring the digital/analog conversion apparatus for converting a digital signal into an analog signal have variance.例文帳に追加
デジタル信号をアナログ信号に変換するデジタルアナログ変換装置を構成する素子にバラツキがあった場合においても、高い品質のアナログ信号を生成することができ、高分解能を有し、かつ、回路規模の小さいデジタルアナログ変換装置を実現する。 - 特許庁
To provide an inter-wavelength optical power variance monitoring method that directly measures signal light power, without needing high wavelength resolution and detects optical power variance between channels with high accuracy, and an optical equalizer and a light amplifier which use it.例文帳に追加
高い波長分解能を必要とすることなく信号光パワーを直接測定してチャネル間の光パワーの偏差を高精度に検出する波長間光パワー偏差のモニタ方法、並びに、それ用いた光等化器および光増幅器を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a storage battery discharge characteristic measuring apparatus which does not require any addition or changeover of a conducting circuit, maintains a high setting resolution in a wide current setting range, and is provided with a high safety for monitoring the soundness of the apparatus continuously and protecting it.例文帳に追加
通電回路の追加または切替を必要とせず、広い電流設定範囲において高い設定分解能を維持するとともに、装置の健全性を常時監視して保護する高い安全性を備える蓄電池放電特性測定装置を提供する。 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition capable of being coated to be a high thickness membrane and alkali developed, having high resolution and small residual stress after curing and preparing cured products excellent in various characteristics such as solvent resistance, impact resistance, close adhesiveness and the like.例文帳に追加
高膜厚塗布が可能であるとともに、アルカリ現像が可能で、解像性が高く、硬化後の残留応力が小さく、耐溶剤性、熱衝撃性、密着性等の諸特性に優れた硬化物を調製可能な感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
As the working ion beam, two kinds of the focusing ion beam 11 having a high image resolution and the edge working ion beam 12 to be used for the large current beam and capable of sharply working a cross sectional edge part are prepared, and the high working position accuracy is realized even in the case of the large current ion beam.例文帳に追加
加工用のイオンビームとして、像分解能が高い集束イオンビーム11と、大電流ビームに用いる断面エッジ部がシャープに加工できるエッジ加工用イオンビーム12の2種類用意し、大電流イオンビームでも高加工位置精度を実現する。 - 特許庁
To simultaneously expose an image with high sensitivity (for example, a print pattern image requiring high resolution) and an image with low sensitivity (for example, a through hole image where the inner wall and peripheral edge of the through hole is required to be protected with copper foil) by using a recording medium having a multilayer photosensitive layer applied thereon.例文帳に追加
重層感光層が塗布された記録媒体を用いて、高感度部画像(例えば、高解像度が必要なプリントパターン部画像)と、低感度部画像(例えば、スルーホール内壁及び周縁の銅箔保護が必要なスルーホール部画像)と、を同時に露光する。 - 特許庁
In this imbodiment, both amplification and subtraction are performed with a voltage value so that the high output voltage V near the control target voltage is detected as the FB output voltage of 0-3.3 V at high resolution, as instantiated with a solid line.例文帳に追加
そこで、本実施の形態では、電圧値の増幅と減算とを行うことによって、実線で例示するように、制御目標電圧近傍の高圧出力電圧Vが高い分解能で0V〜3.3VのFB出力電圧として検出されるようにした。 - 特許庁
To achieve a digital-analog conversion apparatus capable of generating a high-quality analog signal, having a high resolution and a small circuit scale even when elements constituting the digital-analog conversion apparatus converting a digital signal into an analog signal have variations.例文帳に追加
デジタル信号をアナログ信号に変換するデジタルアナログ変換装置を構成する素子にバラツキがあった場合においても、高い品質のアナログ信号を生成することができ、高分解能を有し、かつ、回路規模の小さいデジタルアナログ変換装置を実現する。 - 特許庁
To provide an inspection device of an inner wall surface capable of high-speed inspection because rotation over 10,000 rpm is possible by a dynamic pressure bearing motor, causing little vibration of the dynamic pressure bearing and little difference of a resolution caused by image distortion, and having little noise and high accuracy.例文帳に追加
動圧軸受けモータにより10000rpm以上の回転ができるため、高速で検査することができるとともに、動圧軸受けは振動も少なく像の歪みによる分解能の差がなく、低騒音で高精度の内壁面の検査装置を提供する。 - 特許庁
An on-screen display plane is divided into two or more on-screen display screen areas, and planes differing in the number of colors and resolution are assigned to each area, and thereby high definition display is performed about a thing which requires high definition on-screen display and a memory amount is reduced.例文帳に追加
オンスクリーン表示プレーンを複数のオンスクリーン表示プレーン領域に分け、それぞれに色数や解像度の異なるプレーンを割り付けることで、高精細なオンスクリーン表示が必要なものについては高精細に表示し、且つ、メモリー量を削減する。 - 特許庁
To provide a digital/analog conversion apparatus which can generate a high-quality analog signal, and which has high resolution and a small circuit size, even when elements configuring the digital/analog conversion apparatus for converting a digital signal into an analog signal have variations.例文帳に追加
デジタル信号をアナログ信号に変換するデジタルアナログ変換装置を構成する素子にバラツキがあった場合においても、高い品質のアナログ信号を生成することができ、高分解能を有し、かつ、回路規模の小さいデジタルアナログ変換装置を実現する。 - 特許庁
A calixresorcinarene compound and a compound having an acid-dissociable dissolution-inhibitive group are condensed using 1-3 basic organic compounds as condensing agents so as to synthesize a compound represented by formula (4), which is used in the photoresist composition with high sensitivity and high resolution.例文帳に追加
カリックスレゾルシナレン化合物と酸解離性溶解抑制基を有する化合物とを1〜3種の塩基性有機化合物を縮合剤として縮合し下記式(4)で表される化合物を合成し、これを高感度及び高解像度のフォトレジスト組成物に使用する。 - 特許庁
To provide a monolayer type electrophotographic photoreceptor which ensures high resolution and good images even when a electrostatic charge potential is set to be high, and to provide an image forming apparatus and an image forming method, using the monolayer electrophotographic photoreceptor.例文帳に追加
帯電電位を高く設定した場合であっても、高解像度が得られ、良好な画像を得ることができる単層型の電子写真感光体、そのような単層型電子写真感光体を含む画像形成装置、及び画像形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a material and method for forming conductive pattern by which a fine disconnection-free conductive pattern can be formed with high sensitivity and high resolution through exposure and, in addition, a pattern can be formed directly with an infrared laser beam based on digital data.例文帳に追加
露光により高感度でパターン形成することができ、高解像度で、断線のない微細なパターンが得られ、且つ、赤外線レーザによりデジタルデータに基づき直接パターン形成が可能な導電性パターン材料及び導電性パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a photoelectronic sensor capable of shortening a distance between the photoelectronic sensor and a detection target object to detect a small detection target object with high accuracy by contriving a processing method of a digital value without using an A/D converter with high resolution.例文帳に追加
高分解能のA/D変換器を使用することなく、ディジタル値の処理方法を工夫することにより、光電センサと検出対象物との距離を短くして細かい検出対象物を高精度で検出することが可能な光電センサを提供する。 - 特許庁
To provide an image forming method with which the durability of a latent image carrier can be improved, and an electrostatic latent image of high reliability suitable to recording with high resolution can be formed, and to provide an image forming apparatus equipped with a latent image forming means for attaining the aforesaid purpose.例文帳に追加
潜像担持体の耐久性を向上させることが可能で、かつ、高解像度記録に適し、信頼性の高い静電潜像の形成が可能な画像形成方法、及びこれを可能にする潜像形成手段を備えた画像形成装置を提供する。 - 特許庁
The sum of drift distance of the electron and drift distance of the hole is thereby constant regardless of the mutual acting position of radiation and the element, so that radiation energy can be measured with high sensitivity and high resolution by measuring the wave height distribution of output pulse.例文帳に追加
これにより、電子のドリフト距離と正孔のドリフト距離の和が放射線と素子との相互作用位置によらず一定になるので、出力パルスの波高分布を測定することにより、放射線のエネルギーを感度良くしかも高分解能で測定することができる。 - 特許庁
To read an image with high resolution/high definition by avoiding the deterioration of the moving accuracy of a reading carriage due to the transmission of vibration by a driving motor and a transmission gear to the main body apparatus to which the reading carriage is loaded and the deformation of a cushioning member.例文帳に追加
駆動モータ及び伝達ギアによる振動の読取キャリッジが組み込まれる本体装置への伝達並びに緩衝部材の変形による読取キャリッジの移動精度の低下を回避して高解像度・高精度の画像品質で画像を読み取ること。 - 特許庁
In the second recording element substrate H1101 wherein color inks are supplied to be ejected, as a distance between the recording element H1103 and the ejection nozzle H1107 is short and the amount of the contained ink is small, high resolution and high quality recording can be executed by small dots.例文帳に追加
カラーインクが供給されてこれを吐出させる第2の記録素子基板H1101では、記録素子H1103と吐出口H1107との間の距離が短く、収容されるインク量が少ないため、小ドットで高精細な高品位記録が可能である。 - 特許庁
To provide an image processing device which, in outputting to a high-function printer (multi-valued and of high resolution), can make jaggies on characters unnoticeable, make the picture part smooth, and in addition, scale down the circuit configuration of filters as desired so as to prevent thin lines from becoming thinner.例文帳に追加
高機能プリンタ(多値、高解像度)に出力する際、文字部のジャギーを目立たなくし、絵柄部を滑らかにするとともに、所望サイズのフィルタの回路構成規模を小さくし、細線が薄くなることを防止することができる画像処理装置を提供する。 - 特許庁
To provide a resin composition coated in thick films with good in-plane uniformity in coating and alkali developed and giving cured products having high resolution and suitable for uses as surface protection films, interlayer insulating films and insulating films for high-density mounting boards.例文帳に追加
塗布時の面内均一性が良好で、高膜厚塗布及びアルカリ現像が可能であるとともに、解像度の高い硬化物を得ることが可能な、表面保護膜、層間絶縁膜、及び高密度実装基板用絶縁膜用途に適した樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a pattern forming method capable of forming an extremely fine pattern of a high resolution, suppressing a parasitic effect and forming a field effect transistor of high performance by using electron beam lithography, and to provide a manufacturing method for a semiconductor device and the semiconductor device.例文帳に追加
電子ビームリソグラフィを用いて、高解像度の極めて微細なパターンを形成するとともに、寄生効果を抑えて高性能の電界効果型トランジスタを形成することができるパターン形成方法、半導体装置の製造方法、及び、半導体装置を提供する。 - 特許庁
To provide a color picture tube in which the central area of the screen has a small diameter and a perfect-circular beam spot and in the periphery of the screen, generation of haze part is suppressed, and throughout the screen, high resolution is secured, without requiring a high dynamic voltage.例文帳に追加
高いダイナミック電圧を必要とせずに、画面中央では径小かつ真円のビームスポットとしつつ、かつ画面周辺ではヘイズ部の生成を抑え、画面全領域において高解像度とすることのできるカラー受像管を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a large-diameter wide-angle lens with which various aberration over the entire distance of an object can be adequately corrected even though an F-number is approximately 1.4, assuring brightness, and an angle of view is approximately 60°or more, and which has optical performance ensuring high resolution and high contrast.例文帳に追加
Fナンバが1.4程度と明るく、画角が60度程度以上でありながら、物体距離の全体にわたって諸収差を良好に補正することができ、高解像度かつ高コントラストな光学性能を有する大口径広角レンズを提供する。 - 特許庁
Thus, a modulated optical spot has no high-order diffracted light components with a reversed phase; hence, a reproducing signal detected by a tripartite photodetector 109 and synthesized by an adder 112 is free from distortion, enabling super- high resolution to be obtained over a wide band.例文帳に追加
このようにして変調された光スポットは位相が反転した高次回折光成分を持たないため、3分割検出器109で検出され加算機112で合成される再生信号は歪曲されることなく、高帯域にわたって超解像が得られる。 - 特許庁
To provide a perpendicular magnetic recording medium which is small in medium noise, strong to thermal fluctuation, high in recording efficiency and high in recording resolution by making crystal grains of a recording layer magnetically isolated, finer and more uniform and making the film of an intermediate layer thinner.例文帳に追加
記録層の結晶粒を磁気的孤立化、微細化、及び均一化させると同時に、中間層を薄膜化することによって、媒体ノイズが小さく、熱揺らぎに強く、記録効率が高く、さらに記録分解能が高い垂直磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁
At the same time, deflective chromatic aberrations are suppressed which are generated in the primary charged particle beam at the first E×B deflector 31 by a second E×B deflector 32 fixed to the first E×B deflector 31, and the observation image of high resolution and high contrast without shading is acquired.例文帳に追加
同時に、第1のE×B偏向器31に固定した第2のE×B偏向器32により第1のE×B偏向器31で一次荷電粒子ビームに発生する偏向色収差を抑制し、高分解能かつ、シェーディングのない高コントラストな観察像を取得する。 - 特許庁
To produce a toner in which the amount of the bleed out of waxes is remarkably reduced, which has offset resistance, a wide non-offset region and an excellent fixability to a recording medium, whose flocculation upon preservation is hard to occur, and which can form a high resolution image with a high image density.例文帳に追加
ワックスのブリードアウト量が著しく低減化され、耐オフセット性を有し、非オフセット領域が広く、記録媒体に対する定着性に優れ、さらに保存時の凝集が起こり難く、高画像濃度の高画質画像を形成できるトナーを製造する。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resist composition capable of forming a resist pattern high in resolution and good in sectional forms and high in transmittance of F2 laser beams and suitable for a lithographic process of forming ultra-fine resist patterns having ≤0.15 μm by using F2 laser beams.例文帳に追加
高解像性で断面形状の良好なレジストパターンが形成可能であり、またF_2レーザーに対する透過性が高く、F_2レーザーを用いる0.15μm以下の超微細レジストパターン形成のリソグラフィープロセスに有効な感放射線レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁
In the pulse delayed type A/D conversion circuit, a pulse delay circuit 10 is configured using a transistor with a low threshold voltage Vth1 and a delay unit DU constituting the pulse delay circuit 10 is operated fast, thereby achieving high-resolution and high-speed A/D conversion.例文帳に追加
パルス遅延型のA/D変換回路において、パルス遅延回路10を、低閾値電圧Vth1 のトランジスタを用いて構成し、パルス遅延回路10を構成する遅延ユニットDUを高速動作させることにより、高分解能で高速なA/D変換を実現する。 - 特許庁
To provide a resist composition capable of expanding the width of selectivity of a usable material, excellent in antistatic effect, having high sensitivity, and capable of efficiently forming a high-resolution fine resist pattern free of pattern defects and dislocation in a simple and easy way at a low cost.例文帳に追加
使用可能な材料の選択性の幅を広くすることができ、帯電防止効果に優れ高感度であり、パターン欠落や位置ずれ等がなく、高解像度で微細なレジストパターンを低コストで簡便に効率よく形成可能なレジスト組成物等の提供。 - 特許庁
To provide a water-based cyan ink containing a coloring matter having good dispersibility in water, having excellent long-term preservation stability and jetting performance from a nozzle, and capable of forming a recording image having high resolution picture and high durability with good fixity.例文帳に追加
本発明は、着色剤の水に対する分散性が良好で、長期保存安定性およびノズルからの吐出性に優れ、高画質で、高い耐久性を有する記録画像を定着性良く形成することができる水性シアンインクを提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide an electron microscope device using a short focus objective lens that enables acquiring a good image of high resolution without any distortion in a wide range from low magnification to high magnification at the observation in low acceleration voltage condition.例文帳に追加
短焦点の対物レンズを用いた電子顕微鏡装置において、低加速電圧条件での観察時に、低倍率から高倍率までの広い倍率範囲において高解像度で歪みのない良好な画像の取得を可能とする電子顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition having a high resolution and a high radiation transmittance as a chemically amplified resist sensitive to an actinic radiation such as KrF excimer laser, ArF excimer laser, F_2 excimer laser or far UV typified by EUV (extreme-ultraviolet radiation).例文帳に追加
活性放射線、例えばKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F_2 エキシマレーザーあるいはEUVに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、高解像度で、放射線透過率が高い感放射性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide an electrophotographic photoreceptor having high sensitivity and a low residual potential upon forming an image by using monochromatic light at a wavelength of 380 to 500 nm, and faithfully forming an electrostatic latent image with respect to exposure in high resolution.例文帳に追加
波長380nm以上500nm以下の単色光を用いて画像形成を行なう場合に、高感度で低残留電位であり、かつ高解像度な露光に対して忠実に静電潜像を形成することが可能な電子写真感光体を提供する。 - 特許庁
To provide an X-ray diffraction device which has exceedingly high resolution and also can acquire an X-ray diffraction image with high intensity, by enabling both cylindrical surface conversion processing and time delay integration processing to be performed in the same arithmetic control process.例文帳に追加
円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折X線像を得ることができるX線回折装置を提供する。 - 特許庁
To provide a polymer having a N-substituted acrylamide unit useful as a basic resin for a photoresist which enables high sensibility and high resolution of the photoresist by satisfying good optical transparency, alkaline solubility and heat resistance in an excimer laser lithography at the same time.例文帳に追加
エキシマレーザーリソグラフィーにおいて、良好な光透過性、アルカリ溶解性、耐熱性を同時に満たすことで、フォトレジストの高感度化、高解像度化を可能にするフォトレジスト用ベース樹脂として有用な、N−置換アクリルアミド単位を有する重合体を提供すること。 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition for forming a solder resist on a rigid substrate, which can form a solder resist having fully high resolution, fully superior film forming properties and also having fully high thermal shock resistance.例文帳に追加
リジット基板上にソルダーレジストを形成するための感光性樹脂組成物であって、十分に高い解像度を具備し、塗膜性に十分優れると共に、十分に高い耐熱衝撃性を備えたソルダーレジストを形成できる感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a positive radiation-sensitive polymer composition developable with an alkaline aqueous solution, having high sensitivity and high resolution, and capable of forming a pattern form thin film that is superior in flatness, heat resistance, solvent resistance and transparency.例文帳に追加
アルカリ水溶液で現像でき、高感度、かつ高解像度の感放射線性重合体組成物であり、さらに平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性に優れたパターン状薄膜を形成できるポジ型感放射線性重合体組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide a signal processing method and signal processing device capable of designing high image quality by improving its definition so that frequency characteristics at the time of expansion are improved (a meaningful false high frequency component is added) in a resolution conversion using orthogonal transformation.例文帳に追加
直交変換を用いた解像度変換において、拡大時の周波数特性を改善(有意な擬似高周波成分を付加する)することにより、精細度を向上させて高画質化を図ることの出来る信号処理方法及び信号処理装置を提供する。 - 特許庁
To obtain optical characteristics of high resolution of an original near-field light by preventing multiple reflections between a sample and a near- field optical probe, when the optical characteristics of an infinitesimal area of the sample having a high reflectivity layer therein are measured by the near-field light.例文帳に追加
内部に高反射率層を有する試料の微小領域の光学特性を近接場光により測定するときに、試料と近接場光プローブとの間における多重反射を防止して近接場光本来の解像度の高い光学的特性を得る。 - 特許庁
To provide a toner for electrophotographic textile printing imparting images with fluorescent color, high image density and high resolution, and to provide a method for textile printing, and to provide a method markedly improving workability of the textile printing, having on demand's ability and avoiding waste in textile printing.例文帳に追加
蛍光色で画像濃度が高く、高解像の画像が得られる捺染用電子写真トナー及びその捺染方法を提供することであり、また、捺染の作業性を大幅に効率化し、オンデマンド性を持たせた、ムダのない捺染方法を提供すること。 - 特許庁
To enable to carry out a qualitative analysis with a high sensitivity and a high mass resolution by shortening time interval of an SIM measurement and shortening a measuring cycle of a peak of the chromatogram and delaying to some extent scanning speed of the scan measurement at the time of SIM/scan simultaneous measurement.例文帳に追加
SIM/スキャン同時測定時に、SIM測定の時間間隔を短くしてクロマトグラムのピークの測定周期を短くしながら、スキャン測定の走査速度は或る程度遅くして高感度、高質量分解能での定性分析を行えるようにする。 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition suitably used for a surface protective film, an interlayer insulating film, and an insulating film for high-density mounting board, which has high solubility to general solvents and satisfactory sensitivity to g-ray and h-ray, can respond to highly thick application and alkali development, form a pattern of high resolution, and provide a cured product with high film remaining rate.例文帳に追加
一般的な溶剤に対する溶解性が高く、g線、h線に対する感度が良好で、高膜厚塗布及びアルカリ現像が可能であるとともに、解像度の高いパターンを形成することができ、残膜率が高い硬化物を得ることが可能な、表面保護膜、層間絶縁膜、及び高密度実装基板用絶縁膜用途に適した感光性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide a positive type resist material which has an extremely high alkaline dissolution-rate contrast before and after exposure, a high resolution, a high sensitivity, and good roughness (LWR) after exposure, and further which suppresses acid diffusion rate, in particular, a positive type resist material using a high molecular compound suitable as a base resin of a chemical amplification positive type resist material, and to provide a pattern forming method.例文帳に追加
露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが大幅に高く、高解像性を有し、高感度で、露光後のラフネス(LWR)が良好であり、その上特に酸拡散速度を抑制できるポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として好適な高分子化合物を用いたポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|