「reflection method」に関連した英語例文の一覧と使い方(52ページ目) - Weblio英語例文検索

This reflection type optical signal processing circuit by spectrum filtering method using an arrayed waveguide grating composed of an arrayed waveguide 103 and a slab waveguide 104 is characterized in having a function as a spatial filter 105 capable of modulating an optical signal by affording ruggedness on the focus plane of the slab waveguide 104 for image-forming incident light.例文帳に追加

アレイ導波路１０３とスラブ導波路１０４からなるアレイ導波路格子を用いたスペクトルフィルタリングによる反射型の光信号処理回路において、入射光を結像させる前記スラブ導波路１０４の焦点面に凹凸を設けることで、光信号を変調させることのできる空間フィルタ１０５としての機能を有することを特徴とする。 - 特許庁

In a sheet discrimination method, the defect of the sheet is detected by a laser transmission type detector C, a CCD camera, a laser type reflection detector D and/or a contact type displacement detector.例文帳に追加

欠陥は数多く存在するが、特に燃料電池用に用いられる電解質、電極基盤、電極において重要な欠陥を選定し、かつ各種の測定装置のうち製造工程に合致したものを選定することで、シート製造工程において、欠陥検出を一連の工程の下に簡便かつ容易に検出することができることで、製造工程をコンパクト化、スピードアップ化を図ることができる。 - 特許庁

To provide a counterfeit preventing structure which provides: a first region comprising a pattern reflection layer; and a second region comprising a part of a pattern optical layer having an optical effect, with sufficient position accuracy, is high in design, and confirms various changes in the second region with sufficient visibility, and also to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

パターン反射層で構成される第一領域と、光学効果を有するパターン光学層の一部で構成される第二領域とを位置精度良く設けることが可能であり、意匠性が高く、第二領域における種々の変化を視認性良好な状態で確認することができるようにした偽造防止構造体、及びその製造方法の提供を課題とする。 - 特許庁

To provide a composite film and a method for forming the composite film for a solar cell capable of improving conversion efficiency of the solar cell by decreasing the contact resistance between a photoelectric conversion layer and a transparent conductive film, and between the transparent conductive film and a conductive reflection film, decreasing the serial resistance of the solar cell in power generation, and provide a composition for transparent conductive film formation.例文帳に追加

光電変換層と透明導電膜間、透明導電膜と導電性反射膜間の接触抵抗を低下させ、発電の際の太陽電池における直列抵抗を低下させることにより、太陽電池の変換効率を向上させ得る太陽電池用の複合膜の形成方法及び複合膜並びに透明導電膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁

In an inspection method of surface defects of a transparent resin film, by using a reflection optical system composed of an irradiation device 1 for ultraviolet rays having a wavelength of 350 to 380 nm and a detection device 5 having the detection capability for the wavelength, defects on the surface of a resin film 2 on the ultraviolet irradiation side, which is transparent in visible light and opaque at the wavelength, are detected.例文帳に追加

波長３５０〜３８０ｎｍの紫外線の照射装置１と、当該波長に検出能力を有する検出装置５からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム２であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 - 特許庁

In the method for manufacturing the microlens array, a first light-transmitting layer 30 having a plurality of lenses 32 and a mark 34 formed by at least a projection or recess is prepared, a reflection film 36, having higher reflectance than the first light-transmitting layer 30 is formed on the mark 34, and a second light-transmitting layer 46 is formed to cover at least the lenses 32.例文帳に追加

マイクロレンズアレイの製造方法は、複数のレンズ３２と、凸部及び凹部の少なくとも一方で形成されたマーク３４と、を有する第１の光透過性層３０のマーク３４に、第１の光透過性層３０よりも光の反射率が高い反射膜３６を形成し、少なくともレンズ３２を覆うように第２の光透過性層４６を形成することを含む。 - 特許庁

The resist pattern forming method has steps of placing on a base material a liquid material, containing a resist and fine particles exhibiting reflection factor/wavelength characteristics different from those of the base material in a visible light region to form a material pattern 10A on the base material, and drying the material pattern to form a resist pattern 10B.例文帳に追加

レジストパターン形成方法が、レジストと、可視光域において下地物体の反射率・波長特性とは異なる反射率・波長特性を呈する微粒子と、を含有した液状材料を前記下地物体上に配置して、前記下地物体上に材料パターン１０Ａを形成する工程と、前記材料パターンを乾燥してレジストパターン１０Ｂを形成する工程と、を有している。 - 特許庁

To provide techniques for the production of a liquid crystal device having a reflection electrode consisting of a soft metal thin film such as aluminum, in which the metal thin film is not damaged but has similar handling property to a transparent conductive material in a production method thereof, and reliability of a wiring part or fabrication structure can be improved, and moreover, the technique which can suppress complication of the production process.例文帳に追加

アルミニウムなどの軟質の金属薄膜からなる反射電極を備えた液晶装置において、金属薄膜に損傷を与えず、しかも、透明導電体に対する製造方法と同様の取り扱い性を有する上に、配線部分や実装構造の信頼性も向上させることができ、さらに製造工程の複雑化を抑制することの可能な製造技術を提供する。 - 特許庁

To provide a flexible display in which a plastic substrate is protected, a thermal treatment process for forming a polysilicon layer can be sufficiently performed, and a polysilicon layer having a good surface and excellent properties can be formed due to reflection or absorption of a laser light by the protective layer and consequently, the performance and durability of the flexible display are greatly improved, and its manufacturing method.例文帳に追加

プラスチック基板を保護し、ポリシリコン層の形成のための熱処理工程を十分に行うことができ、保護層によるレーザ光の反射または吸収を通じて、より優秀な表面および性質を持ったポリシリコン層を形成させることによって、結果的に性能および寿命が大きく向上したフレキシブルディスプレイおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a composite organic polymer material containing inorganic fine particles introduced and dispersed in the surface layer of the organic polymer material for improving the function (surface hardness) of the organic polymer material or imparting the material with a new function such as the electromagnetic wave shielding effect by reflection and provide a method for the production of the material and a composite material having durable function.例文帳に追加

有機高分子材料の機能（表面硬度）の向上、或いは反射による電磁波遮蔽効果等の新機能の付与を目的とした有機高分子材料の表面に無機物質の微粒子を注入、分散させた無機微粒子複合化有機高分子材料、及びその製造方法、更には機能に持続性を有する複合材料を提供する。 - 特許庁

The laminated polarizing film is advantageously manufactured by a method of preparing the absorption type polarizing film with the pressure-sensitive adhesives on both surfaces which is provided with the pressure-sensitive adhesives 1 and 2 on both surfaces of the film 10 and is pasted with the release film 30 on the one surface thereof and laminating the reflection type polarizing film 20 to the surface exposed with the pressure-sensitive adhesive 1.例文帳に追加

この積層偏光フィルムは、吸収型偏光フィルム１０の両面に感圧接着剤１，２が設けられ、その一方の表面に上記の剥離フィルム３０が貼着されている両面感圧接着剤付き吸収型偏光フィルムを用意し、その感圧接着剤１が露出している面に反射型偏光フィルム２０を貼合する方法により、有利に製造される。 - 特許庁

To provide a new production method by which a sulfur-containing cyclic olefin resin having high transparency and high refractive index, and useful as an optical material such as various kinds of plastic lenses exemplified by a condensing lens, a prism sheet, a transparent coating material such as a reflection-preventing film and coating material of an optical fiber, and an optical film can economically be produced in high efficiency.例文帳に追加

高い透明性と高い屈折率を有しており、集光レンズを代表とする各種プラスチックレンズ、プリズムシート、反射防止膜や光ファイバーコーティング材料などの透明性コーティング材料、光学フィルム等の光学材料として有用な含硫黄環状オレフィン樹脂を高効率かつ経済的に製造することが可能となる新規な製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the optical information recording medium has the sticking process for placing and sticking the thin film on and to the surface of the laminated body while the sticking surface of the thin film is made nearly parallel to the surface on the recording layer side of the laminated body which is formed by successively forming at least a light reflection layer and the recording layer on a substrate.例文帳に追加

基板上に少なくとも光反射層および記録層が順次形成された積層体の前記記録層側の表面に対し、薄膜フィルムの貼り合わせ面を略平行にしながら、前記積層体の表面に前記薄膜フィルムを載置して貼り合わせる貼り合わせ工程を有することを特徴とする光情報記録媒体の製造方法である。 - 特許庁

To provide a method by which information can be recorded and reproduced with high recording density, when a laser beam having 370-430 nm oscillation wavelength is used as a irradiation light source, in an information recording medium having at least a reflection film, an information recording layer and a light transmission layer consisting of a UV curing composition on a substrate and to provide the information recording medium suitable therefor.例文帳に追加

基板上に少なくとも反射膜と情報記録層および紫外線硬化型組成物からなる光透過層を有する情報記録媒体において、発振波長が３７０〜４３０ｎｍであるレーザー光を照射光源として使用したとき、高記録密度で、情報の記録または再生を行うことができる方法およびそれに適した情報記録媒体の提供。 - 特許庁

A recording layer including an organic pigment, a light absorbing layer containing metal fine particles expressing plasmon absorption and a dispersion stabilizing agent for the metal fine particles and a reflection layer containing metal fine particles which do not express plasmon absorption and a dispersion stabilizing agent for the metal fine particles are provided on a substrate by using coating solutions adjusted for forming the respective layers by a spin coat method.例文帳に追加

基板上に、有機色素を含む記録層と、プラズモン吸収を発現する金属微粒子と該金属微粒子の分散安定化剤とを含む光吸収層と、プラズモン吸収を発現しない金属微粒子と該金属微粒子の分散安定化剤とを含む反射層を、それぞれの層形成用に調整された塗布溶液を用いてスピンコート法により設ける。 - 特許庁

To provide a method for measuring interference of a non-rotationally symmetric wavefront error in the reflection of an optical face and/or the penetration of an optical element capable of obtaining further higher precision than an ordinary known rotation position test at equal measuring points or obtaining the precision equal to that of the rotation position test at greatly reduced number of measuring points.例文帳に追加

光学面の反射における及び／又は光学要素の透過における非回転対称波面誤差の干渉測定のための方法であって、同等の測定点での通常の既知の回転位置テストよりも一層高い精度が得られ、又は大幅に少ない数の測定点で以って斯かる回転位置テストと同等の精度が得られるような方法を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method of the optical recording medium provided with a substrate 2, a reflection layer 3, the recording layer 4, a light incident layer 6 and a protective layer 8 has a process for forming the light incident layer 6 by applying a coating liquid including an organic metal compound and a solvent on the recording layer and then removing the solvent.例文帳に追加

好適な実施形態に係る光記録媒体の製造方法は、基板２、反射層３、記録層４、光入射層６及び保護層８を備える光記録媒体を製造する方法であって、光入射層６を、記録層上に、有機金属化合物及び溶媒を含む塗布液を塗布した後に溶媒を除去することにより形成する工程を有している。 - 特許庁

This method for measuring absorptance of the lens 20 coated with the multilayer of the dielectric material comprises process for guiding a beam of polarized light to the dielectric material 22, 24, a process for polarizing a diffused beam of reflected light, and a process for measuring energy showing reflection and absorption characteristics of the multilayer of the dielectric material in the polarized and diffused beam of reflected light.例文帳に追加

誘電材料の多重層で被覆したレンズ（２０）の吸収率を測定する方法（１０）は偏光光のビームを誘電材料（２２、２４）に対して導く工程と、反射光の拡散ビームを偏光する工程と、反射光の偏光された拡散ビーム内の、誘電材料の多重層の反射及び吸収特性を表すエネルギを測定する工程とを有する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal driving method excellent for preventing the flicker phenomenon of display which is to be generated especially in reflection type liquid crystal display device because frequencies of light of fluorescent tubes being environmental light depend upon respective power source frequencies and the frequency of the vertical synchronizing frequency of a display device interferes with a certain power source frequency.例文帳に追加

本発明は液晶表示装置に関するもので、特に反射型液晶表示装置において環境光である蛍光灯の点灯周波数が各電源周波数に依存して、垂直同期信号の周波数とある電源周波数が干渉しておこる表示のフリッカー現象を防止することに優れた液晶駆動方法を提供することを課題とする。 - 特許庁

In this method for detecting inclination in the motorcycle, a signal is transmitted by at least two light sources (C, D) mounted on a vehicle, and transverse inclination (α) to road surfaces (101, 102) of the motorcycle is determined by the evaluation of a road surface reflection signal returned to at least two optic receivers (C, D) mounted on the vehicle.例文帳に追加

自動二輪車における傾斜検出方法において、車両に装着された少なくとも２つの光源（Ｃ、Ｄ）により信号が送信され、そして、車両に装着された少なくとも２つの受光器（Ｃ、Ｄ）に戻ってくる走行路面反射信号の評価により、自動二輪車の走行路面（１０１、１０２）に対する横方向傾斜（α）が決定される。 - 特許庁

In this surface state measuring method for measuring the surface state of a semiconductor wafer 12 based on infrared rays emitted from the semiconductor wafer 12 after multiple reflection by the inside of the semiconductor wafer 12, a reference spectrum is measured before a prescribed manufacturing process, and a measuring spectrum is measured after a prescribed manufacturing process, and the noise caused by the interference fringe is reduced based on the reference spectrum and the measuring spectrum.例文帳に追加

半導体ウェハ１２内部を多重反射した後に半導体ウェハ１２より出射される赤外線に基づいて半導体ウェハ１２の表面状態を測定する表面状態測定方法において、所定の製造工程前に参照スペクトルを測定し、所定の製造工程後に測定スペクトルを測定し、参照スペクトル及び測定スペクトルに基づいて、干渉縞に起因するノイズを低減する。 - 特許庁

In combination, the saturable absorption chips which are made suitable for mass production by using such optical materials and are provided with the chip structure having the stable saturable absorption characteristics to suppress reflection loss, the method for manufacturing the same and the saturable absorption device using the saturable absorption chips are included.例文帳に追加

本発明では、機械的に脆弱であった構造を、２枚の光学材料を用いることで強化したもので、併せて、この光学材料を用いることで大量生産に適した、しかも、反射損失を抑え安定した可飽和吸収特性を有するチップ構造とした可飽和吸収チップ、その製造方法、および可飽和吸収チップを用いた可飽和吸収デバイスの提供を実現したものである。 - 特許庁

A video projection method for projecting a video in a direction according to its content by one video projector 101 includes a step for receiving a projection direction control signal; a step for discriminating an instruction signal corresponding to the projection direction control signal; a step for outputting the discriminated instruction signal; and a step for driving a reflection plate 103 based on the instruction signal.例文帳に追加

一台の映像投映装置１０１で、コンテンツに応じた方向に映像を投映する映像投映方法であり、映像投映方法は、投映方向制御信号を受信するステップと、前記投映方向制御信号に対応する命令信号を判別するステップと、判別された命令信号を出力するステップと、前記命令信号に基づき反射板１０３を駆動するステップを含む。 - 特許庁

To enable selecting an illumination angle for enlarging an effective inspection range and excellently detecting defects by suppressing generation of reflection, and to improve irregularity detection ability with improved image contrast between irregularity defect and a normal part by reducing limitations of illumination angle in an irregularity inspection device and method for detecting irregularity defect of an inspected object having a periodic pattern.例文帳に追加

周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法において、映り込みの発生を抑制して、有効な検査範囲の拡大、良好な欠陥の検出が可能な照明角度を選択できるようにすること、また照明角度の制限を減らすことによって、ムラ欠陥と正常部との画像コントラストの向上が期待でき、結果的にムラ検出能力を向上すること - 特許庁

A database replication system 300 includes a change reflection unit 301 for, in response to a change of a record stored in a first database configured with a VSAM (Virtual Storage Access Method) formation file that stores a plurality of records having a plurality of record formats, that are formats for records, reflecting the change to a second database including a plurality of tables that store records having one record format.例文帳に追加

データベース・レプリケーション・システム３００は、レコードの形式であるレコード形式を複数有する複数のレコードを格納するＶＳＡＭ（Ｖｉｒｔｕａｌ Ｓｔｏｒａｇｅ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｔｈｏｄ）編成ファイルにより構成された第１のデータベースが蓄積しているレコードが変更された場合、１つのレコード形式を有するレコードを格納するテーブルを複数含む第２のデータベースに当該変更を反映する変更反映部３０１を備える。 - 特許庁

To provide a DNA chip substrate capable of improving the accuracy of optical detection after hybridization, which is the DNA chip substrate made of amorphous carbon having little light reflection and thickness dispersion, and excellent in surface smoothness, warping property and a DNA immobilization efficiency, and a manufacturing method capable of acquiring easily the DNA chip substrate made of the amorphous carbon.例文帳に追加

光反射、厚みばらつきが少なく、表面平滑性、そり性、ＤＮＡ固定化効率に優れたアモルファスカーボン製のＤＮＡチップ基板であって、このＤＮＡチップ基板を用いることによってハイブリダイゼーション後の光学検出の精度を向上することが可能であるＤＮＡチップ基板の提供、及びこのアモルファスカーボン製のＤＮＡチップ基板を容易に得ることができる製造方法の提供。 - 特許庁

The reflector 10 is characterized by having a double sided adhesive sheet 18 comprising a transparent film substrate 15 provided with first and second adhesive layers 16, 17 on both surfaces and joined to a reflection substrate 13 with a plurality of recessing parts formed on the surface via the first adhesive layer 16, the method for manufacturing the same and the liquid crystal display device provided with the reflector 10.例文帳に追加

本発明は、表面に複数の凹部が形成された反射基板１３上に、透明のフィルム基板１５の両面に第１粘着層１６と第２粘着層１７とを備える両面粘着シート１８が、前記第１粘着層１６を介して接合されたことを特徴とする反射体１０及びその製造方法、並びに係る反射体１０を備えた液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide an antiglare film which can effectively prevent reflection of external light and fall of contrast without reducing clearness of a high definition image by miniaturization of pixel size or the like and on which a desired fine rugged shape is effectively and stably formed with sufficient productivity, to provide a manufacturing method of the antiglare film and further to provide an antiglare antireflection film, a polarizing plate and a display apparatus using the antiglare film.例文帳に追加

画素サイズの小型化等による高精細な画像の鮮明性を低下させることなく、外光の写り込みや、コントラストの低下を有効に防止出来、所望の微細凹凸形状を生産性よく効果的・安定的に形成した防眩性フィルム、防眩性フィルム製造方法を提供し、更にそれを用いた防眩性反射防止フィルム、偏光板、及び表示装置を提供する。 - 特許庁

In the method and device for detecting the unspecified imaging apparatus for imaging a specific range only on which the light quantity concentrates, the position photographable of the specific range is imaged by an imaging section for detection disposed near the specific range, and the lens reflection light of the unspecified imaging apparatus is determined and detected based on the imaging result of the imaging section for detection.例文帳に追加

特定範囲のみ光量集中しているその特定範囲を撮像している不特定撮像機器の検出方法及び装置であって、特定範囲に対して撮像可能である位置を特定範囲近傍に配置された検出用撮像部により撮像し、検出用撮像部の撮像結果から不特定撮像機器のレンズ反射光を判定且つ検出する不特定撮像機器の検出方法および装置。 - 特許庁

A program of the intelligent ultrasonic flaw detection system by utilizing the neural network carries out a step judging whether the object is a defect part or a normal part, by utilizing a step adjusting a phase with utilizing one from among waveform peaks (A, B, C) of a reflection wave and the neural network predetermined with a similar method of learning from the data of waveform closed to the peak (B).例文帳に追加

本発明に関わるニューラルネットワークを利用した知能化超音波探傷システムのプログラムは、反射波の波形のピーク(Ａ、Ｂ、Ｃ)の何れか一つを用いて位相を合わせるステップと、ピーク(Ｂ)近傍の波形のデータから予め同様な方法の学習で決定されたニューラルネットワークを用いて欠陥部であるか健常部であるかを判定するステップとを実行することを特徴としている。 - 特許庁

In the information storage medium evaluation method for evaluating the information storage medium provided with a wobble track, being a track for guiding a light beam, wobbled in accordance with a frequency whose phase is modulated with predetermined timing, the quality of the wobble track is evaluated on the basis of a reproduction signal corresponding to the wobble track obtained from reflection light of the light beam which irradiates the wobble track.例文帳に追加

光ビームを案内するトラックであって、所定情報を反映させるために所定のタイミングで位相が変調された周波数に対応してウォブルされたウォブルトラックを備えた情報記憶媒体を評価する情報記憶媒体評価方法は、前記ウォブルトラックに対して照射された光ビームの反射光から得られる前記ウォブルトラックに対応する再生信号に基づき前記ウォブルトラックの品質を評価する。 - 特許庁

Further the manufacturing method of the low reflection film comprises a stage of forming the hard coating layer 2 on at least one surface of the transparent base material film 1, a stage of forming a coating layer for the porous layer by applying a coating solution containing soluble substances onto the hard coating layer 2 and a stage of forming the porous layer 3 by dissolving all or a part of the soluble substances with a solvent.例文帳に追加

また、この低反射フィルムの製造方法は、透明基材フィルム１の少なくとも一面にハードコーティング層２を形成する段階、ハードコーティング層２の上部に可溶性物質を含むコーティング液を塗布して多孔性層用コーティング層を形成する段階、及び前記可溶性物質の全部または一部を溶媒で溶解させ多孔性層３を形成する段階を含んで成ることを特徴とする。 - 特許庁

The method of evaluating the lifetime of the silicon single-crystal wafer having dopant impurities diffused on one of surfaces includes steps of passivating the entire surface of the diffusion silicon single-crystal wafer when evaluating the lifetime, thereafter irradiating excitation light to the surface opposite to the diffusion surface, applying high frequency, and detecting its reflection wave, to evaluate the lifetime.例文帳に追加

片面にドーパント不純物が拡散されたシリコン単結晶ウエーハのライフタイムを評価する方法であって、前記ライフタイムを評価する際に、前記拡散シリコン単結晶ウエーハの全表面に対してパッシベーションを行い、その後、前記拡散面とは反対側の表面に対して励起光の照射と、高周波の入射及びその反射波の検出を行うことでライフタイムの評価をすることを特徴とするライフタイムの評価方法。 - 特許庁

In this method for measuring thickness of a thin film, in the formation of at least one thin film 12 or more on a transparent substrate 13, light is made to irradiate a thin film formed surface and the reflection factor and the transmissivity thereof are measured to determine the thickness of the thin films.例文帳に追加

透明基板１３上に少なくとも１層以上の薄膜１２を形成する際に、該薄膜形成表面から光を照射して反射率或いは透過率を測定し、該薄膜の膜厚を測定する方法であって、少なくとも一波長以上の光を用いた単色及び多色光測定において、測定光の波長、波長幅が関係式（１）を満足するようにして膜厚を測定するすることを特徴とする膜厚測定方法である。 - 特許庁

To provide a phase transition type optical information recording medium capable of enhancing self reliability without reducing frequencies of repetitive recording/erasure, securing a wide process margin and enhancing initialization characteristics and repetitive characteristics of the optical information medium by incorporating a new material into a dielectric layer adjacent to an Ag or Ag alloy layer of a sulfuration resistant layer or a reflection layer in order to prevent influence of oxygen and its manufacturing method.例文帳に追加

相変化型光情報記録媒体において、酸素の影響を防ぐべく新たな材料を耐硫化層または反射層のＡｇまたはＡｇ合金層と隣接する誘電体層に含ませることにより、繰り返し記録・消去の回数を低下させることなく保存信頼性を向上することができ、広いプロセスマージンを確保でき、光情報媒体の初期化特性、繰り返し特性を向上することができる相変化型光情報記録媒体およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an EUV light exposure mask having no effect on the substantial reflection performance of a multilayer film 2 portion even if it is not stripped and in which the structure and material of a buffer film 4 are specified to have the essential function, i.e., the protective function of the multilayer film 2, and to provide a blank for producing the mask and a patterning method employing that mask.例文帳に追加

基板１上に、露光光を反射する領域となる多層膜２を有し、前記多層膜２上に吸収用となるパターニングされた薄膜３、さらに前記多層膜２と吸収性薄膜の間に緩衝用となる薄膜４を有する極限紫外線露光用マスクにおいて、剥離しなくとも多層膜２部の実質的な反射性能への影響がなく、さらに本来の機能としての多層膜２の保護機能も有するように緩衝膜４の構造、材料が規定されたＥＵＶ露光用マスク、およびそれを作製するためのブランク並びにそのマスクを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an EUV light exposure mask having no effect on the substantial reflection performance of a multilayer film 2 part even if it is not stripped in which the structure and material of a buffer film 4 are specified to have the essential function, i.e. the protective function of the multilayer film 2, and to provide a blank for producing the mask and a patterning method employing that mask.例文帳に追加

基板１上に、露光光を反射する領域となる多層膜２を有し、前記多層膜２上に吸収用となるパターニングされた薄膜３、さらに前記多層膜２と吸収性薄膜の間に緩衝用となる薄膜４を有する極限紫外線露光用マスクにおいて、剥離しなくとも多層膜２部の実質的な反射性能への影響がなく、さらに本来の機能としての多層膜２の保護機能も有するように緩衝膜４の構造、材料が規定されたＥＵＶ露光用マスク、およびそれを作製するためのブランク並びにそのマスクを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁