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reflection methodの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2592件
To provide a coating composition capable of forming a coating film capable of being applied to various kinds of industrial product, especially an outer panel of an automobile, having high chroma as a whole and having color change from highlight (near normal reflection light) to shade (oblique direction), and a method for forming a coating film.例文帳に追加
各種工業製品、特に自動車の外板に適用できる全体に高彩度で、ハイライト(正反射光近傍)からシェード(斜め方向)に色相変化する塗膜を形成可能な塗料組成物及び塗膜形成方法を提供することである。 - 特許庁
To provide a coating-state inspection method capable of acquiring accurate inspection results of a coating state of a coated object even if a viscous material includes a material with high wettability and spreadability or a material likely to cause irregular light reflection.例文帳に追加
粘性材料が濡れ広がり易い材質からなる場合や、光の反射が不順になり易い材質からなる場合であっても、塗布対象上への塗布状態の正確な検査結果を得ることができる塗布状態検査方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for a structure material for a liquid crystal display device which is suitable to both reflection and transmission LCDs and can easily form an image structure partially varied in film thickness in an area forming one pixel of display together with high resolution.例文帳に追加
反射・透過両用LCDに好適であって、表示上一画素をなす領域内に部分的に膜厚を変化させた像構造を一括して、簡便かつ高い解像度で形成することができる液晶表示装置用構成物の製造方法を提供する。 - 特許庁
In the method for manufacturing the optical thin film and the anti-reflection film obtained by a coating and drying process using a die on a support, the die has a heat-retaining function and the difference between the retained die temperature and a coater chamber temperature is -2°C to +2°C.例文帳に追加
支持体上にダイを用いて塗布乾燥して得られる光学薄膜の製造方法において、ダイに保温機能を有し、ダイ保温温度とコーター室温度の差を−2℃〜+2℃とすることを特徴とする光学薄膜及び反射防止膜の製造方法。 - 特許庁
The surface cloth as a diffusion reflection layer is woven in the thickness of 150-200μm, for instance, by the density of about 100 threads/inch by using a thread where titanium oxide, a white pigment or a fluorescent dye are mixed, and surface roughness (SMD) by a KES method is set, for instance, 0.4-0.5 micron.例文帳に追加
拡散反射層としての表地は、酸化チタン、白色顔料または蛍光染料を練り込んだ糸を用い、例えば、約100本/インチの密度で150〜200μmの厚みに製織したものであり、KES法による表面粗さ(SMD)が例えば0.4〜0.5micronである。 - 特許庁
To provide a coating method capable of making film thickness in a width direction uniform even when coating of a thin layer is performed, capable of suppressing variation in the film thickness in a longitudinal direction and capable of maintaining stable coating by suppressing generation of stripe, or the like, and to prepare an optical film and an anti-reflection film.例文帳に追加
薄層の塗布を行った場合でも、幅方向の膜厚を均一にでき、長手方向の膜厚の変動を抑制でき、スジ等の発生を抑え、安定した塗布を維持できる塗布方法、光学フィルム及び反射防止フィルムを提供する。 - 特許庁
In this method, a picture is formed on a thermosensitive recording layer 4 with the heat generated by the near infrared laser irradiation on a thermally reversible recording medium 1 provided with the thermosensitive recording layer 4 containing a cholesteric liquid crystal material of which the selective reflection wavelength varies depending on the temperature.例文帳に追加
温度に依存して選択反射波長が変化するコレステリック液晶材料を含む感熱記録層4を設けた熱可逆性記録媒体1に、近赤外レーザを照射して発生する熱により該感熱記録層4に画像を形成する方法。 - 特許庁
The method estimates the structures which have an effect on the reflection, the transmission, or the diffraction on the calculated radio wave routes, adjusts the receiving power using the existence probability, and estimates possibility of usage of the radio wave route, and estimates usage possibility of the radio wave route by the received power after adjustment.例文帳に追加
そして算出した電波経路上にある反射、透過もしくは回折の影響を与える構造物を求め、その存在確率を用いて、受信電力を調整し、調整後の受信電力により電波経路の利用可能性を評価する。 - 特許庁
To provide a thermosetting resin composition for light reflection that has, after curing, a high reflectance of visible light to near-ultraviolet light, and excellent in heat deterioration resistance, and to provide a substrate for loading photosemiconductor device using the same, method for producing the same, and a photosemiconductor device.例文帳に追加
硬化後の、可視光から近紫外光の反射率が高く、耐熱劣化性に優れる光反射用熱硬化性樹脂組成物、およびこれを用いた光半導体素子搭載用基板とその製造方法、ならびに光半導体装置を提供する。 - 特許庁
The invention includes the method for detecting the defects on the surface of the plate which irradiates the surface of the transparent or translucent plate with a light, and detects the defects by processing an image obtained by an imager for imaging the reflection light.例文帳に追加
本発明は、透明または半透明の板状体の表面に光を照射し、その反射光を撮像装置によって撮像して得られた画像を用いて画像処理を行うことで欠陥を検出する板状体の欠陥検出方法に係るものである。 - 特許庁
Further the method includes the step of forming a gold-plated layer 12 as a reflection improving layer for reflecting exposed light at the time of exposure of the resin layer 8, on a lower side of a nozzle wall forming a partition member that partitions the plurality of ink channels in the nozzle layer 9, from each other.例文帳に追加
本発明の製造方法は、樹脂層8の露光時に露光光を反射する反射向上層としての金メッキ層12を、ノズル層9の複数のインク流路同士を仕切る部分であるノズル壁の下側に形成する工程を有する。 - 特許庁
The method of measuring the cross sectional shape of the workpiece irradiates a plurality of slit lights onto the same line of the workpiece W from positions mutually differentiating inclination angles to the workpiece, and measures the cross sectional shape of the workpiece W by properly calculating each brightness value of each reflection light from the workpiece W.例文帳に追加
複数のスリット光を、ワークに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークWの同一ライン上に照射すると共に、ワークWからの各反射光の各輝度値を適宜演算処理してワークWの断面形状を計測する。 - 特許庁
To provide a triangular plate type static position monitor capable of reducing a beam position measurement error caused by reflection of a high- frequency signal at a terminal end of a beam mimic conductor upon calibration of a processing circuit output using the beam mimic conductor, and a calibration method thereof.例文帳に追加
ビーム模擬導体を使った処理回路出力の校正に際して、ビーム模擬導体の終端部での高周波信号の反射に起因するビーム位置測定誤差を低減することが可能な三角板型静電位置モニタおよびその校正方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a modified pearl gray pigment having a sufficient amount of light reflection and a sufficient flip-flop effect (an effect of varying colors depending on the angle to be seen) and used in high brightness coating films with high surface strength.例文帳に追加
光反射量が十分で、且つフリップ・フロップ効果(見る角度によって色彩が異なる効果)も十分に有すると共に、表面強度も高い塗膜を形成し得る光輝性塗料に用いる改質真珠光沢顔料の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a screen having a structure, which can be formed with relative ease, without requiring performing the complicated control for forming the reflecting surface, and is capable of appropriately reflecting the projection light and suppressing the reflection of the outside light, and to provide a method of manufacturing the screen.例文帳に追加
反射面の形成のために複雑な制御を行う必要がなく、比較的簡易に形成できる構造を有し、投射光を適切に反射させるとともに外光の反射を抑えることができるスクリーン及びスクリーンの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a rugged character reading/recognizing inspection apparatus that uses a light-section method, irradiates a rugged character with slit rays, and images reflection light at the same angle in a camera for converting three-dimensional rugged information to two-dimensional information for recognizing/decoding to a normal character code.例文帳に追加
光切断法を用い、スリット光線を凹凸文字に照射し、同じ角度で反射光をカメラに結像して3次元である凹凸情報を2次元情報に変換し、通常の文字コードへ認識デコードする凹凸文字読取認識検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a metallic coating composition, a coat-forming method and a coated article which can give a metallic feel with a higher grade sense, by expressing a glittering-like brightening feel that is due to a multidirectional reflection of a metal oxide-covered alumina flake pigment as well as a solid feel.例文帳に追加
金属酸化物被覆アルミナフレーク顔料が有する多方面反射によるキラキラした光輝感に加えて、立体感を発現することで、より高級感のある光輝感が得られる光輝性塗料組成物、塗膜形成方法及び塗装物を提供すること。 - 特許庁
This cultivation method for agricultural crops includes using as an agricultural crop cultivation material, a fluorescence radiation net or a fluorescence radiation sheet singly, or in a combination of both of them, or combining and using a light reflection material, and the fluorescence radiation net and/or the fluorescence radiation sheet.例文帳に追加
また、蛍光放射性資材を使用する農作物栽培方法において、農作物の糖度などを高め、トマト、スイカ、ピンクグレープフルーツ等の野菜や果物に含まれるリコピン等の成分の量を増加させることのできる農作物栽培方法を提供する。 - 特許庁
To provide a division exposure device and a division exposure method by which imposition can be efficiently carried out within an exposure substrate and excellent alignment accuracy is achieved in a division exposure device equipped with a lamp house, a reflection mirror, a camera unit, imaging lens and an exposure substrate.例文帳に追加
ランプハウスと、反射ミラーと、カメラユニットと、結像レンズと、露光基板とを備えた分割露光装置において、露光基板内に効率よく面付けができ、かつアライメント精度に優れた分割露光装置及び分割露光方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To guarantee stability and reproducibility of a process, as well as, safety and protection of a high-frequency power supply, by reducing the fluctuations of plasma impedance and reflection on the high-frequency power supply, as much as possible, in a method of periodically modulating the high-frequency power used for a plasma process.例文帳に追加
プラズマ処理に用いる高周波のパワーを周期的に変調する方式において、プラズマインピーダンスの変動や高周波電源への反射を可及的に少なくして、プロセスの安定性・再現性および高周波電源の安全保護を保証する。 - 特許庁
The method for inspection of the appearance of chip parts (1) includes irradiating two surfaces (1c and 1d) positioning with an ridge part (1b) of the chip in between, and photographing the reflection light beam (5) reflected from the ridge part, with a camera (2) arranged facing the ridge part.例文帳に追加
チップ部品(1)の外観を検査する方法は、チップ部品の稜線部(1b)を挟んで位置する2つの面(1c、1d)を照射し、稜線部から反射した反射光線(5)を、稜線部に対向して配置した撮像装置(2)で撮像することを含む。 - 特許庁
To provide a testing and recording device for dies and a testing and recording method for dies which can surely distinguish and view minute irregularity on a test object such as dust and blemish on a non-plane molding face of a die from a specific reflection area.例文帳に追加
金型の非平面状成形面上にあるゴミや傷等の微小凹凸検査対象を、非平面状成形面上の特定反射域と区別して確実に視認できる金型用検査記録装置及び金型の検査記録方法を提供する。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display device in which lowering of an alignment performance due to light reflected from a reflection electrode directly below an alignment membrane is prevented, and alignment of a liquid crystal is highly accurately defined with ultraviolet ray irradiation, and also to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加
配向膜の直下にある反射電極からの反射光による配向性能の低下を防止しつつ、紫外線照射により液晶の配向を高精度に規定することができる液晶表示装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a semitransmissive liquid crystal display device capable of making voltage-luminance(V-T) characteristics of a panel in a transmissive mode and in a reflective mode coincide with each other and suppressing generation of defective pixels resulting from a reflection electrode film and a transmission electrode film and a method for manufacturing the same.例文帳に追加
透過モードと反射モードのパネルの電圧−輝度特性を一致させることができ、また、反射電極膜及び透過電極膜に起因する画素欠陥の発生を抑制することができる半透過型液晶表示装置及びその製造方法の提供。 - 特許庁
The optical path switching element and the optical path switching method are such that the direction of reflection of an emitted light is changed, by arranging a phase change material in a grating shape on a substrate, and subjecting crystals of the phase change material to transition into an amorphous state.例文帳に追加
基板上に相変化材料をグレーティング状に配置し、相変化材料の結晶とアモルファス状態に転移させることにより、照射される光の反射方向を変化させることを特徴とする光路切替素子及び光路切替方法である。 - 特許庁
To provide a laminated film improved in surface scratch resistance by enhancing the surface hardness of a low refractive index surface layer, having low reflectivity and excellent flexibility and especially suitably used as a reflection preventing film, and a method for manufacturing the same.例文帳に追加
表面の低屈折率層の表面硬度を高めることにより表面の耐擦傷性が改善され、さらに、低反射性でかつ可撓性に優れていて、特に反射防止フィルムとして好適に用いられる積層フィルムとその製造方法を提供する。 - 特許庁
In this sensitivity correction method, a film carrier 106 is moved to a position at which a center C1 of a correction plate 124A with a uniform spectral reflection characteristic matches an optical axis L1, a line CCD 104 detects a transmitted light from the correction plate 124A to acquire positive film use shading data.例文帳に追加
均一な分光反射特性を持つ補正板124Aの中心C1と光軸L1とを一致させる位置にフィルムキャリア106を移動し、補正板124Aからの透過光をラインCCD104により検知して、ポジ用シェーディングデータを取得する。 - 特許庁
To provide the forming method of a laminate, having high characteristics and superior reflection characteristics, as well as adhesiveness under use at high temperatures in high humidities or for a long period of time, a formed laminate and a photo voltaic element which includes the laminate.例文帳に追加
高い特性をもち、高温下、多湿下、あるいは長期間にわたる使用下などにおいても優れた反射特性と密着性を有する積層体の形成方法、形成された積層体、及び該積層体を含んだ光起電力素子を提供すること。 - 特許庁
The method of manufacturing the mask for vapor deposition is carried out by forming photoresist films 12a, 12b through reflection preventing films 30A, 30B on both side surfaces of a metal thin film 10 and exposing them to form a pattern of the passage hole 10A-1 on the photoresist films 12a, 12b.例文帳に追加
蒸着用マスク1の製造方法では、金属薄膜10の両面に、反射防止膜30A,30Bを介してフォトレジスト膜12a,12bを形成したのち露光することにより、フォトレジスト膜12a,12bに通過孔10A−1のパターンを形成する。 - 特許庁
To provide a method for detecting defects on a surface of a plate which detects the defects in the plate, the minor irregularity in the plate and a region in which the linear irregularity extends regardless of a difference between reflection coefficients on the surface of the plate.例文帳に追加
本発明は、板状体の表面の反射率の差に関わらず、板状体の欠陥、微細な凹凸、凹凸がスジ状に伸びている箇所等を検出することができる板状体の表面の欠陥検出方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a machining method by which both of ≤100 nm flatness and ≤0.15 nm RMS (Root-Mean-Square) of surface roughness are satisfied in a Ti-doped low thermally expansive quartz glass substrate for a reflection type photomask which is used in the exposure by a short wave in UV region or below.例文帳に追加
UV領域以下の短波長の露光に用いられる反射型フォトマスク用Tiドープ低熱膨張石英ガラス基板につき、平坦度≦100nm、表面の自乗平均平方根粗さ≦0.15nmRMSを同時に満足する加工法を提供する。 - 特許庁
To provide an injection molding method by which a resin is filled up to the deep part of a nanostructure of a mold having high aspect ratio nanostructure and a molded article of a reflection preventing nanostructure having aspect ratio of ≥1 is manufactured while keeping high productivity without using a releasing agent or the like.例文帳に追加
高アスペクト比のナノ構造を持つ金型に対して、ナノ構造物の深部まで樹脂の充填を可能にし、さらに、離型剤等を使用しないで、高生産性を維持しアスペクト比1以上の反射防止ナノ構造物の成型品を製造する。 - 特許庁
Also, the method for manufacturing the reflection type electrode substrate includes a process of etching the metal oxide layer by using an etchant composed of oxalic acid and a process of etching the inorganic compound layer by using an etchant composed of phosphoric acid, nitric acid and acetic acid.例文帳に追加
また、シュウ酸からなるエッチング液を用いて前記金属酸化物層をエッチングする工程と、燐酸、硝酸及び酢酸からなるエッチング液を用いて前記無機化合物層をエッチングする工程とを含む反射型電極基板の製造方法である。 - 特許庁
To provide a light reflecting material which is excellent in ultraviolet ray resistance and a light shielding property without spoiling characteristics of a polycarbonate resin, which has high light reflectivity and excellent durability and which is suitable for a light reflection plate of thin and large size and its peripheral parts and further to provide its manufacturing method.例文帳に追加
ポリカーボネート樹脂の特性を損なうことなく耐紫外線性や遮光性に優れ、光線反射率が高く、耐久性に優れ、特に薄肉・大型の光線反射板やその周辺部品として好適な光反射材及びその製造法を提供する。 - 特許庁
This modified sol-gel process silica particles are characterized in that a ratio (A1/A2)of a peak area (A1) based on an isolated silanol group and a peak area (A2) based on a hydrogen bonded silanol group is ≥0.03 in the measurement of IR spectrum by the diffused reflection method.例文帳に追加
拡散反射法で赤外分光スペクトルを測定した際に、孤立シラノール基に基づくピーク面積(A1)と水素結合したシラノール基に基づくピーク面積(A2)の比(A1/A2)が0.03以上であることを特徴とする改質ゾル−ゲル法シリカ粒子である。 - 特許庁
To provide an optical element having an antireflection film which can attain low reflection from a region of a small incident angle (0 to 25°) to a region of a large incident angle (25° or more) of the optical element, an optical system, a projection exposing device and a device manufacturing method.例文帳に追加
光学素子の入射角度の小さな領域(0〜25°)から入射角度の大きな領域(25°以上)に亙り低反射を達成することができる反射防止膜を有する光学素子、光学系、投影露光装置、デバイス製造方法を提供する - 特許庁
To provide a method and device for inspecting multilayered mask for defect by which even an extremely small defect that is formed on a multilayered reflection type mask and is difficult to be detected by means of a means using a visible/ ultraviolet laser can be inspected at a high speed by using a compact light source that can be utilized easily by anybody.例文帳に追加
可視・紫外レーザーを用いる手段では検出が困難な多層膜反射型マスク上の極微小欠陥を、高速で検査可能とし、かつコンパクトで誰でも簡単に利用できる光源を用いて実現することを可能とする。 - 特許庁
This method is provided with a process for manufacturing the scintillator 40 provided with predetermined-length segment columns 42 and reflection layers 60 shorter than the segment columns 42 arranged alternately with each other and a process for inserting projection parts 52 arranged in the collimator between the scintillator segment columns 42.例文帳に追加
所定の長さを有するセグメント列42と前記セグメント列42より短い反射層60とが交互に配置されたシンチレータ40を製造する工程と、コリメータに設けられた突起部52を前記シンチレータセグメント列42間に差し込む工程とを備えた。 - 特許庁
In the method, the change in the characteristic impedance of an incoming cable to which the NIU is connected is detected by testing a reflection signal that exists when a signal sent to a head end is not connected to a coaxial cable that is properly connected to the link.例文帳に追加
本発明は、ヘッドエンドに送信されている信号が、適正に接続された同軸ケーブルに接続されていないときに存在する反射信号をテストすることによって、NIUが接続されている来入ケーブルの変化を検出することにより、行う。 - 特許庁
The method of manufacturing the semiconductor device further comprises the steps of: forming an amorphous Si layer 26 on the opposite surface side of the epitaxial semiconductor layer 4 after the etching step; and forming an anti-reflection film and a color filter on the amorphous Si layer 26 in this order.例文帳に追加
半導体装置の製造方法は、前記エッチングする工程の後に、前記エピタキシャル半導体層4の前記反対面側にアモルファスSi層26を形成する工程と、前記アモルファスSi層の上に、反射防止膜、カラーフィルタを順に形成する工程を含む。 - 特許庁
To provide a solid state image sensor, and its fabrication method, in which the sensitivity does not deteriorate even in case of a high resolution solid image sensor having an inter-lens gap of 0.3 μm or less, and noise is reduced by controlling reflection light especially from the non-opening part between lenses.例文帳に追加
レンズ間ギャップが0.3μm以下高精細な固体撮像素子であっても感度低下のない、またマイクロレンズからの、特にレンズ間の非開口部からの反射光を抑制し、ノイズを低減させた固体撮像素子、及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁
A SiC film 12 is formed by a chemical vapor deposition(CVD) method on a silicon carbide ceramic substrate 11 on at least the face to be used as a mirror face, and then an Al film 13 is deposited on the SiC film 12 to manufacture the optical reflection mirror for a He-Ne laser.例文帳に追加
炭化珪素系セラミック基材11の少なくともミラー面となる面に、化学気相成長(CVD)法によりSiC膜12を形成し、SiC膜12上にAl膜13を積層してHe−Neレーザ用光学反射ミラーを作製する。 - 特許庁
To provide a sound-reproducing device by which a listener can form an optimal surround sound field by easily correcting the output angle of a sound beam, according to the setting of a hearing position of the sound reproducing device, and to provide a sound beam reflection position correcting method for the sound-reproducing device.例文帳に追加
音声再生装置の聴取位置の設定に応じて、音声ビームの出力角度を聴取者が容易に補正して、最適なサラウンド音場を形成できる音声再生装置及び音声再生装置の音声ビーム反射位置補正方法を提供する。 - 特許庁
To provide a plasma processing method which can control a reflection electric power generated when an etching primary process and a deposition primary process are switched or when on and off of a high frequency electric power which is supplied to a plasma generation device or an electrode are switched.例文帳に追加
エッチング主体の工程とデポジション主体の工程を切り換えたときや、プラズマ発生装置または電極に供給する高周波電力のON/OFFを切り換えたときに発生する反射電力を抑制できるプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide an LED module substrate that is used for an LED module forming a light-source part by using an LED as a light source, has a structure that prevents deterioration in reflection efficiency of reflected light from a base material loaded with an LED element and further allows manufacturing of such an LED module, and its manufacturing method.例文帳に追加
LEDを光源として光源部を形成するLEDモジュールに用いられるLEDモジュールであって、LED素子を搭載する基材からの反射光の反射効率の低下の防止できる構造のLEDモジュールを提供する。 - 特許庁
Regarding the manufacturing method for the color filter for a liquid crystal display apparatus having at least three color pixels and having a reflection area for reflecting external light and a transmission area for transmitting light emitted from a back light source in one pixel, the reflection area of at least one color pixel is etched by exposing it to atmospheric plasma generated under atmospheric pressure or near the atmospheric pressure.例文帳に追加
少なくとも3色の画素を有し、外光を反射する反射領域と背面光源からの光を透過する透過領域を1画素内に有する液晶表示装置用カラーフィルターの製造方法であって、少なくとも一色の画素の反射領域を、大気圧下もしくは大気圧近傍下で生成した大気圧プラズマに曝すことによりエッチングすることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。 - 特許庁
The reflection film is formed, by applying a conductive reflecting film composition using wet-coating method and baking the composition, wherein the conductive reflection film composition contains an organic silver solution of ≥3C, and the reflecting film is made of a baked product of organic silver.例文帳に追加
スーパーストレート型薄膜太陽電池の光電変換層12上に成膜された透明導電膜11b上に形成される導電性反射膜11aにおいて、導電性反射膜が導電性反射膜用組成物を湿式塗工法を用いて塗布し、焼成することにより形成され、導電性反射膜用組成物が炭素数が3以上の有機銀溶解液を含み、反射膜が有機銀の焼成物で構成されることを特徴とする。 - 特許庁
The recognition device is provided with a reflecting position deriving device 12 for obtaining the three-dimensional spatial position information of reflection points of plural spot beams by a diffraction grating method and a related information deriving means 14 for defining plural planes including these detected reflection points, finding out respective normal vectors corresponding to these planes and finding out a vector most orthogonal to these normal vectors as a pipe axis candidate vector.例文帳に追加
回折格子手法により、複数のスポット光の反射点の3次元空間位置情報を得る反射位置導出手段12を備えるとともに、検出される複数の反射点に関して、これらの反射点を含む複数の平面を定義するとともに、複数の平面に対する法線ベクトルを夫々もとめ、これらの法線ベクトルに対して最も直交するベクトルを管軸候補ベクトルとして求める関連情報導出手段14を備える。 - 特許庁
To provide a surface treatment method of a quartz glass substrate capable of obtaining a quartz glass substrate having a high flatness (subnanometer level) which can meet the demand for a lithography reflection mask substrate using an extreme ultraviolet ray (EUV) in the field of LSI or the like, and a hydrogen radical etching apparatus suitably used for the treatment method.例文帳に追加
本発明は、LSI分野の極端紫外線(EUV)を用いたリソグラフィ反射マスク基板などに対する要望に応えることができるようにした高平坦度(サブナノメータレベル)石英ガラス基板を得ることができるようにした石英ガラス基板の表面処理方法及びその処理方法に好適に用いられる水素ラジカルエッチング装置を提供する。 - 特許庁
To provide a sputtering target which adopts a material containing an SiO_2 based oxide, hardly causes deterioration in an adjacent reflection layer and a recording layer, has satisfactory adhesion and achieves high speed film-deposition, and to provide a method for producing the same and to provide a thin film (especially used as a protective film) for an optical information recording medium and a method for producing the same.例文帳に追加
SiO_2系酸化物を含む材料を採用するとともに、隣接する反射層、記録層の劣化が生じ難く、密着性が良好で、尚且つ高速成膜可能であるスパッタリングターゲット及びその製造方法並びに光情報記録媒体用薄膜(特に保護膜としての使用)及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
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