「secondary electrons」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

To detect a tunnel current and secondary electrons emitted from a sample with a simple configuration without using any secondary electron detectors.例文帳に追加

二次電子検出器を用いることなく、簡単な構成で、トンネル電流と、試料から放出された二次電子の検出を可能とする。 - 特許庁

Furthermore, a third auxiliary electrode 12 for trapping assisting the secondary electrons generated from the testpiece 2 is installed at the secondary electron detector 5 in front of the detector.例文帳に追加

更に、２次電子検出器５には試料２から発生した２次電子を補集補助する第３補助電極１２を検出器前面に設置する。 - 特許庁

To provide an electron beam device equipped with a secondary optical system in which the cross talk between the secondary electrons is not generated even if the number of electron beams is increased.例文帳に追加

電子ビームの数を増加しても二次電子間のクロストークが生じないような二次光学系を備えた電子線装置を提供する。 - 特許庁

To trap efficiently by a secondary electron detector by correcting and controlling the orbit of secondary electrons generated from a testpiece.例文帳に追加

試料から発生した２次電子の軌道を修正、制御することで２時電子検出器にて効率良く補集させる。 - 特許庁

A detector is included which can detect the secondary electrons mutually and independently generated from the test piece surface by each multiple beam in the secondary optical system.例文帳に追加

前記マルチビームの各々により試料面から発生する二次電子を二次光学系において互いに独立に検出できる検出器を含む。 - 特許庁

On the basis of the presence or absence of the detection of the secondary electrons by the secondary electron light receiving part 5, the quality of the pad parts 2a is determined by a determining device 6.例文帳に追加

２次電子受光部５による２次電子検出の有無によりパッド部２ａの良否を判定装置６で判定する。 - 特許庁

By sequentially efficiently multiplying the entered secondary electrons by the second-stage metal channel dynode and subsequent metal channel dynodes, the secondary electrons multiplied in the multiple stages are efficiently detected as an electric signal.例文帳に追加

そして、２段目以降のメタルチャンネルダイノードが入射された２次電子を順次効率良く増倍することにより、多段に増倍された２次電子が電気信号として効率良く検出される。 - 特許庁

An incidence of primary electrons into the layer 1 generates secondary electrons inside the layer, and they are accelerated by the electric field in the direction of the emission and emitted out of the transmissive secondary electron surface.例文帳に追加

１次電子が入射して２次電子放出層１内部に２次電子が生成されると、２次電子放出層１内部に形成されている電界によって２次電子は出射面方向に加速され、透過型２次電子面の外部に放出される。 - 特許庁

The amount of first secondary electrons discharged from a semiconductor substrate at a first elevation angle and the amount of second secondary electrons discharged at a second elevation angle different from the first elevation angle are individually detected.例文帳に追加

半導体基板から第１の仰角で放出される第１の二次電子の量と前記第１の仰角と異なる第２の仰角で放出される第２の二次電子の量とを個別に検出する。 - 特許庁

The electron beam device comprises a primary optical system 10 which scans a plurality of locations on the sample by a plurality of electron beams, a secondary optical system 20 which converges the secondary electrons emitted from the sample S by the scanning of electron beams into a plurality of secondary electrons and introduces into each detector 31, and a detection system 30 which detects respectively the plurality of introduced secondary electrons.例文帳に追加

複数の電子ビームで試料上の複数の箇所を走査する一次光学系１０と、電子ビームの走査により試料Ｓから放出された二次電子を複数の二次電子に集束して、各々の検出器３１に導入する二次光学系２０と、導入された複数の二次電子をそれぞれ検出する検出系３０とを備えている。 - 特許庁

By irradiating ion beam on the semiconductor board, the secondary electrons emitted from the semiconductor board are detected by the secondary-electron detectingsensor, and based on the detected quantity of the secondary electrons, the current density distribution of the ion beam irradiated is measured.例文帳に追加

半導体基板にイオンビームを照射することにより同半導体基板から放出された２次電子を２次電子検出センサで検出し、２次電子の検出量に基づいて照射したイオンビームの電流密度分布を測定する。 - 特許庁

If the conductive material is not contained in the secondary particles, electrons flowing through the secondary particles are necessary to flow through the positive active material having high resistance, and by including the conductive material in the secondary battery, electrons can flow through the conductive material having low resistance.例文帳に追加

二次粒子内に導電化材を含まない場合には二次粒子内を流れる電子は抵抗の大きい正極活物質を流れる必要があったが、二次粒子内に導電化材を含有させることで、電子は抵抗の小さい導電化材を流れることができる。 - 特許庁

The secondary electrons, having higher energy which are secondarily generated from a wafer 22, are detected with a detector 16 by having the electron beam 39 irradiated once or a several times in a predetermined interval to the surface of the wafer 22, and then generating an amount of secondary electrons larger than the irradiated secondary beam 39.例文帳に追加

ウエハ２２の表面に電子ビーム３９を１回または所定の間隔で複数回照射し、照射した電子ビーム３９よりも多くの二次電子を発生させて、ウエハ２２から二次的に発生するエネルギーの高い二次電子を検出器１６で検出する。 - 特許庁

Secondary electrons or back scattering electrons, produced by irradiating a semiconductor wafer 9 as an object of check with a charged particle beam, are introduced into a detector 20 to generate signals proportional to the number of the introduced electrons, and a check image is formed on the basis of these signals.例文帳に追加

半導体ウエハ等の被検査基板９に荷電粒子ビーム１９を照射することによって、発生した二次電子や後方散乱電子を検出器２０に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。 - 特許庁

The secondary electrons discharged from the inside of the substrate is pushed back to the substrate by applying a negative bias voltage across the substrate and a detection means for detecting the electrons discharged from the substrate while the reflected electrons discharged from the pole surface layer of the substrate are allowed to arrive at the detection means.例文帳に追加

基板と、基板から放出される電子を検出するための検出手段と、の間に負のバイアス電圧を印加することにより、基板の内部から放出される２次電子を基板側に押し戻し、一方基板の極表層から放出される反射電子を検出手段に到達させる。 - 特許庁

A substrate to be inspected 9 such as a semiconductor wafer etc. is irradiated with charged particle beams 19, generated secondary electrons or back scattered electrons are captured into a detector 20, signals in proportion to the number of taken-in electrons are caused to occur, and an inspection image is formed on the basis of the signals.例文帳に追加

半導体ウエハ等の被検査基板９に荷電粒子ビーム１９を照射して、発生した二次電子や後方散乱電子を検出器２０に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。 - 特許庁

A first-stage Venetian blind dynode 5A efficiently collects and multiplies entered electrons and emits the multiplied secondary electrons toward a second-stage metal channel dynode 5B.例文帳に追加

入射された電子を１段目のベネシアンブラインドダイノード５Ａが効率良く収集して増倍し、増倍した２次電子を２段目のメタルチャンネルダイノード５Ｂに向けて放出する。 - 特許庁

The electron mirror accelerates the electrons to improve the detection efficiency of the electron detector and moreover improves the variation characteristics of the flight time upon collection of the secondary electrons.例文帳に追加

更に、この電子ミラーは、電子を加速し、電子検出器の検出効率を改善し、また二次電子収集の飛行時間のばらつき特性を向上させる。 - 特許庁

Secondarily generated electrons 14, such as secondary electrons generated by the irradiation of the electron beam on the sample 2, are bound by a lens magnetic field and advances upward in spiral form.例文帳に追加

試料２への電子ビームの照射によって発生した２次電子等の二次発生電子１４は、レンズ磁場により拘束されて螺旋状に上方に向かう。 - 特許庁

A preferred detector uses gas amplification by converting either scattered or unscattered transmitted electrons to secondary electrons for efficient gas amplification.例文帳に追加

好ましい検出器は、ガス増幅を効率的にするために散乱透過電子または非散乱透過電子を２次電子に変換することによって、ガス増幅を使用する。 - 特許庁

The electron beam detecting mechanism 40 detects secondary electrons, generated by irradiating the recording medium with the electron beam or electrons which have been reflected or scattered by the recording medium.例文帳に追加

電子線検出機構４０は、電子線を記録媒体に照射することによって発生する２次電子或いは記録媒体で反射或いは散乱された電子を検出する。 - 特許庁

Then, accidental electrons in the discharge tube 12a are accelerated by this secondary electric field, and collision ionization occurs between the accelerated accidental electrons and rare gas to cause discharge.例文帳に追加

そして、放電管１２ａ内の偶存電子がこの２次電界によって加速され、加速した偶存電子と希ガスＧとの間で衝突電離が起こり放電を生じる。 - 特許庁

To solve the problem that image deterioration is caused by halation phenomena due to secondary reflected electrons on the tops of barrier rib members provided between luminescent members for shielding reflected electrons.例文帳に追加

反射電子の遮蔽用に発光部材間に設けられた隔壁部材の頂部における、２次反射電子によるハレーション現象に基づく画像の劣化 - 特許庁

A position of an end part of the spacer 4 is to be arranged further outside than a range d where secondary electrons SE reach by electrons PE emitted from an electron source 14 at an outermost periphery of the cathode area.例文帳に追加

カソード領域の最外周の電子源１４から放射された電子ＰＥによる２次電子ＳＥの到達する範囲ｄよりもスペーサ４の端部の位置を外側に配置する。 - 特許庁

To observe and inspect an edge part of a wafer providing good precise images without interferences between charged particles such as secondary electrons and reflected electrons generated from sides, the top, the bottom of the edge part of the wafer.例文帳に追加

ウェハのエッジ部の側面、上面及び下面から発生する二次電子や反射電子等の荷電粒子が干渉することなく、良好な精密画像を得て、ウェハのエッジ部を観察・検査することができるようにする。 - 特許庁

The electron beam emitted from an electron gun 11 is throttled narrow and scans a sample formed with a film and detects the defect existing inside the film of the sample by detecting the reflected electrons or the secondary electrons emitted from the scanning point.例文帳に追加

電子銃１１から放出された電子線を細く絞り、膜形成された試料上を走査し、走査点から放出された反射電子又は二次電子を検出して試料の膜内部に存在する欠陥を検出する。 - 特許庁

To reduce the amt. of secondary electrons (τ electrons) emitted at the time of sputtering to be made incident on a substrate on which a thin film is deposited and to reduce damage to the thin film.例文帳に追加

スパッタリングの際に放出される二次電子（γ電子）が、薄膜が形成される基板に入射する量を低減させ、薄膜へのダメージを低減させる。 - 特許庁

In SEM, secondary electrons can traverse only short distances through a material because they have little energy. 例文帳に追加

SEMでは、二次電子は、物質の中の短い距離しか進めない(ジグザグに); なぜなら、二次電子は僅かなエネルギーしか持たないからである。 - 科学技術論文動詞集

To provide a low vacuum scanning electron microscope wherein secondary electrons can be efficiently detected even at a low degree of vacuum.例文帳に追加

低い真空度でも２次電子を効率よく検出することができる低真空走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

By means of this control, secondary electrons having the energy levels E0, E1 at every picture element are detected by the electron spectroscope 10.例文帳に追加

この制御により、各画素ごとにエネルギーＥ_0、Ｅ_1を有する２次電子が電子分光器１０で検出される。 - 特許庁

To improve transmissivity of secondary electrons while securing resolution of a picture to a required value in an electron beam device.例文帳に追加

電子線装置において、画像の解像度を必要な値に確保しながら、二次電子の透過率を向上させる。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of detecting secondary electrons generated from a whole face of a target in high efficiency.例文帳に追加

ターゲット全面から発生した２次電子を高い効率で検出することができる走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

To provide an electron microscope capable of creating secondary electrons and transparent electron images that are not affected by the structure in the interior of thin film samples.例文帳に追加

薄膜試料内部の構造の影響を受けない２次電子および透過電子像の構成できる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

When secondary electrons emitted by the irradiation with an electron beam at an accelerating voltage of 3 kV or less are observed, an image whose contrast is satisfactory is obtained.例文帳に追加

加速電圧３ｋＶ以下の電子線照射により放出される２次電子を観察することにより、コントラストが良い画像が得られる。 - 特許庁

A raw detector signal is generated by detecting secondary electrons generated in case that the focused ion beam is given to the forming body 1720.例文帳に追加

フォーカストイオンビームが構成体へ付与される場合に発生される二次電子を検知することによって生の検知器信号を発生する。 - 特許庁

The objective lens may be equipped with another electron detector (116) for detecting secondary electrons that are kept closer to an axis.例文帳に追加

前記対物レンズには、軸付近に保持される2次電子を検出する他の電子検出器(116)が備えられて良い。 - 特許庁

By detecting secondary electrons emitted from the sample 10, defects of the sample 10 can be tested.例文帳に追加

試料１０から放出される二次電子を検出することにより、試料１０の欠陥を検査することができる。 - 特許庁

This film-forming method includes introducing secondary electrons from an ion gauge into a treatment vessel of a sputter treatment apparatus to promote the ignition of plasma in the treatment vessel.例文帳に追加

スパッタ処理装置の処理容器内に、イオンゲージから二次電子を導入し、前記処理容器内におけるプラズマの着火を促進する。 - 特許庁

Thus, the end part of the spacer 4 is prevented from taking a charge by the secondary electrons to become starting points of spark.例文帳に追加

これによって、スペーサ４の端部が２次電子によって帯電してスパークの起点となることを防止する。 - 特許庁

To provide an electrode ring in which the extraction efficiency of secondary electrons emitted from a test piece is improved, and provide an electron microscope having the same.例文帳に追加

試料より放出される２次電子の引き上げ効率を高めた電極リング及びこれを備えた電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

Among the secondary electrons that pass through a first electrode 19, those with energy ES>100 eV pass through the second electrode 20.例文帳に追加

第１電極１９を通過した２次電子のうち、Ｅ_S＞１００ｅＶのエネルギーの２次電子が第２電極２０を通過する。 - 特許庁

The first unit (5) and/or the second unit (7) are detectors to detect secondary electrons emitted from a sample (4).例文帳に追加

第１ユニット（５）および／または第２ユニット（７）は、試料（４）のところで放出される２次電子を検出する検出器である。 - 特許庁

The thickness of the lower film 13 is determined taking the influences of secondary electrons emitted from the substrate 12 and the C element contained in the lower film into consideration.例文帳に追加

下層膜１３の膜厚は、基板１２からの二次電子の影響および下層膜１３のＣ元素の影響を考慮して決定する。 - 特許庁

By the deflection of the secondary electrons, one of detectors 20a-20n is selected correspondingly to the scanning position of the primary electron beam 1.例文帳に追加

この２次電子の偏向により、一次電子ビームの走査位置に対応して検出器２０ａ〜２０ｎのいずれかの検出器を選択する。 - 特許庁

The diameter of the beam is increased so that the beam generates secondary electrons from the conductive portion of the non-uniform electrode area.例文帳に追加

ビームの直径は、ビームが不均一電極領域の導電部から二次電子を発生させるように増大される。 - 特許庁