| 例文 |
semiconductor diffusionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1687件
The semiconductor device of one embodiment comprises a substrate having an element isolation region, a plurality of quadrangle active regions on the substrate, which are isolated by the element isolation region and each having an impurity diffusion region, and a large active region which is an assembly of the plurality of active regions having a contour shape including stepped portions.例文帳に追加
一実施の形態による半導体装置は、素子分離領域を有する基板と、前記素子分離領域に分離された、不純物拡散領域を有する前記基板上の複数の四角形の活性領域と、前記複数の活性領域の集合からなり、段差を含む輪郭形状を有する大活性領域とを有する。 - 特許庁
In a process to form a polysilicon resistor 10 formed on a semiconductor substrate 1, the concentration of an impurity into polysilicon is set at 1×1020 cm-3 or more, and a film or an aluminum wiring 9 is arranged at least on a part of the polysilicon resistor 10 to prevent diffusion of hydrogen when the concentration is treated in an FG gas atmosphere.例文帳に追加
半導体基板1上に形成されたポリシリコン抵抗10を形成する工程において、ポリシリコン中のに注入する不純物濃度を1×10^20cm^-3以上としFGガス雰囲気で処理する際にポリシリコン抵抗10の少なくとも一部の上に水素の拡散を阻害する膜あるいはアルミニウム配線9を配置する。 - 特許庁
An LCD driver IC 14 (semiconductor device) comprises: a transistor element 31; an STI separation layer 32 for separating the transistor element 31 electrically; gate wiring 34 formed over the STI separation layer 32 and the diffusion region 43; and an insulation film 41 formed between the gate wiring 34 and the STI separation layer 32.例文帳に追加
LCDドライバIC14(半導体装置)は、トランジスタ素子31と、トランジスタ素子31を電気的に分離するためのSTI分離層32と、STI分離層32及び拡散領域43上に跨って形成されたゲート配線34と、ゲート配線34とSTI分離層32との間に形成された絶縁膜41とを有する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a semiconductor device capable of mitigating compression stress in a diffusion preventing film without neither changing the dielectric constant, etc., of an inter-layer insulation film with embedded wiring formed therein, nor giving damage to the inter-layer insulation film, and increasing hardness and elastic modulus in the inter-layer insulation film.例文帳に追加
本発明は、埋め込み配線が形成されている層間絶縁膜の誘電率等を変化させること無く、また当該層間絶縁膜にダメージを与えること無く、拡散防止膜の圧縮応力を緩和することができ、さらには、当該層間絶縁膜の硬度および弾性率を増加させることができる、半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a gallium nitride compound semiconductor light emitting element and its manufacturing method by which the influence on a transition active layer caused from distortion can be reduce, diffusion of magnesium as a P-type impurity Mg into the active layer by means of transition to be reduced, and the light emission efficiency and reliability be improved.例文帳に追加
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子において、歪にて生じた転位の活性層への影響の低減及び転位を介したP型不純物のMg(マグネシウム)の活性層への拡散の低減し、発光効率及び信頼性を向上させた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子とその製造方法を提供する。 - 特許庁
Because an N+-type diffusion area 103 is absent on the incident surface side in the detector 100, the electron beam (or the reflected electron) accelerated by the high acceleration voltage (about 100 keV) is incident from the rear face side (the incident surface side) of the N--type semiconductor substrate 101 and reaches the vicinity of the PN junction on the front face side to generate electrons.例文帳に追加
PN型電子線検出器100では、N^+型拡散領域103が入射面側にないので、高い加速電圧(100KeV程度)で加速された電子線(又は反射電子)は、N^-型半導体基板101の裏面側(入射面側)から入射し、表面側のPN接合近傍に達して電子を生じさせる。 - 特許庁
To compensate an oxygen defect in a Ta2O5 film and to minimize the formation of an oxide film at the interface between the Ta2O5 film and an Si substrate during a heat treatment process for crystallizing the Ta2O5 film, and to minimize the diffusion of impurity elements in a channel doped region in a semiconductor device having the Ta2O5 film as a gate insulating film.例文帳に追加
Ta_2 O_5 膜をゲート絶縁膜として有する半導体装置において、前記Ta_2 O_5 膜中の酸素欠損を補償し、またこれを結晶化させる熱処理工程の際に前記Ta_2 O_5 膜とSi基板との界面において生じる酸化膜の形成を最小化し、またチャネルドープ領域中の不純物元素の拡散を最小化する。 - 特許庁
This semiconductor storage comprises field effect transistors formed on one surface side of a semiconductor substrate, the plurality of ferroelectric capacitors formed in proximity to each other above the field effect transistors, an insulating film for carrying out self-aligning planarization of the gaps between the adjacent ferroelectric capacitors upon the formation thereof by covering the plurality of ferroelectric capacitors, and the hydrogen diffusion preventing film formed on the insulating film.例文帳に追加
上記の課題を解決した半導体装置は、半導体基板の一面側に形成された電界効果型トランジスタと、前記電界効果型トランジスタの上方に互いに近接して形成された複数の強誘電体キャパシタと、前記複数の強誘電体キャパシタを覆い隣接する前記強誘電体キャパシタ間の間隙をその形成時に自己整合的に平坦化する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された水素拡散防止膜とを具備することを特徴とする。 - 特許庁
The oxide semiconductor layer 113 is in contact with the second conductive layers 115a, 115b and barrier layers 116a, 116b including aluminum oxide as the first component, whereby diffusion of aluminum atoms to the oxide semiconductor layer 113 is suppressed.例文帳に追加
インジウム、ガリウム、及び亜鉛を含む酸化物半導体層を有した薄膜トランジスタ150がアルミニウムを第1成分とする第1導電層(114a、114b)と高融点金属材料からなる第2導電層(115a、115b)を積層したソース電極層及びドレイン電極層(117a、117b)を有し、酸化物半導体層113が、前記第2導電層(115a、115b)および酸化アルミニウムを第1成分とするバリア層(116a、116b)と接することで、アルミニウム原子の酸化物半導体層113への拡散を抑制する。 - 特許庁
In the semiconductor integrated circuit apparatus, a drain D, a gate G, a source S, and a back gate BG in a high-concentration diffusion region are formed in this order, and an insulating gate field effect transistor having a drain output terminal pad is included.例文帳に追加
ドレインD、ゲートG、ソースS及び高濃度拡散領域のバックゲートBGが、この順序で形成され、ドレイン出力端子padを有する絶縁ゲート電界効果型トランジスタを含む半導体集積回路装置において、バックゲート用に形成された前記高濃度拡散領域の一部分の、ドレイン出力端子padが設けられた位置とは反対側のみに金属配線を設ける。 - 特許庁
To provide a thin-film transistor at a low cost which can restrain diffusion of impurities from a glass substrate to a semiconductor layer, and improve transistor characteristics, in particular the threshold voltage characteristic, a manufacturing method of the thin-film transistor, a transmission type liquid crystal display device capable of improving transmittance, and a manufacturing method of the liquid crystal display device.例文帳に追加
ガラス基板から半導体層への不純物の拡散を抑制し、トランジスタ特性、特にしきい値電圧特性を改善できる低コストの薄膜トランジスタ及びこの薄膜トランジスタの製造方法を提供すること、及び、透過率を向上することが可能な透過型の液晶表示装置及びこの液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
When forming a source region 24 and a drain region 25 of an NMOS transistor 20 formed on the same silicon substrate 30 along with the NPN transistor 10, a high-concentration region 15 can be formed in the same process, thus excluding an exclusive diffusion process for forming the high-concentration region 15, and manufacturing a semiconductor device 1 with a small number of processes.例文帳に追加
NPNトランジスタ10と共に同一シリコン基板30上に形成されるNMOSトランジスタ20のソース領域24およびドレイン領域25を形成する際同一工程で高濃度領域15を形成することができるので、高濃度領域15を形成するための専用の拡散工程を省き、少ない工程数で半導体装置1を製造することができる。 - 特許庁
In a solar battery 100, a second conductive dopant diffusion layer 65 is formed at the first main surface side of the first conductive semiconductor solar battery substrate 1, and a plurality of linear finger electrodes 4 for output extraction are formed on the first main surface, and solar lights are received in the first main surface area exposed between the finger electrodes 4.例文帳に追加
太陽電池100においては、第一導電型の半導体太陽電池基板1の第一主表面側に、第二導電型のドーパント拡散層65が形成され、該第一主表面上に出力取出用の線状のフィンガー電極4が複数形成され、該フィンガー電極4の間に露出した第一主表面領域にて太陽光を受光する。 - 特許庁
A gate groove 5 is provided to an oxide film 4 doped with n-type impurities, n-type semiconductor regions 6 functioning as a source and a drain are formed by solid phase diffusion, and furthermore the gate groove 5 is filled up with a high dielectric material 7 and a low-resistance metal film 8 for the formation of a gate insulating film and a gate electrode.例文帳に追加
n型不純物がドープされた酸化膜4にゲート溝5を形成した後、酸化膜4からのn型不純物の固相拡散によりソース、ドレインとして機能するn型半導体領域6を形成し、さらにゲート溝5の内部に高誘電体材料7および低抵抗金属膜8を埋め込むことでそれぞれゲート絶縁膜およびゲート電極を形成する。 - 特許庁
An interlayer insulating film 106 is formed on a memory cell 100 constituted of a bit line 102 composed of a diffusion layer formed on a semiconductor substrate 101, a gate insulation film having a trapping performance formed between bit lines 102, and a word line 104 formed on the gate insulation film, and a bit line contact plug 109 connected to the bit line 102 is formed in this interlayer insulating film 106.例文帳に追加
半導体基板101に形成された拡散層からなるビット線102、ビット線102間に形成されたトラップ性のゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜上に形成されたワード線104とで構成されたメモリセル100上に、層間絶縁膜106が形成され、この層間絶縁膜106中に、ビット線102に接続するビット線コンタクトプラグ109が形成されている。 - 特許庁
A plurality of trenches 11, an N type pillar region 2 formed by diffusing N type impurities contained in a dielectric layer 12 filling the trench 11 into a P type epitaxial layer, and a P type pillar region 3 by the P type epitaxial layer remaining between the diffusion regions are provided on the P type epitaxial layer laminated on a high concentration N type semiconductor substrate 1.例文帳に追加
高濃度N型の半導体基板1上に積層されたP型のエピタキシャル層上に、複数のトレンチ溝11と、トレンチ溝11内に充填された誘電体層12に含まれるN型不純物が、P型のエピタキシャル層中に拡散して形成されたN型ピラー領域2と、拡散領域間に残ったP型のエピタキシャル層によるP型ピラー領域3とを備える。 - 特許庁
A conductive film of a barrier nature (referred to as barrier type conductive film, hereafter) preventing the diffusion of copper is provided between thin-film transistors (represented as TFTs, hereafter), so as to form the wiring containing copper without diffusing copper to the semiconductor layer of the TFT.例文帳に追加
本発明では、半導体装置に用いる配線として、配線抵抗の低抵抗化を実現する銅を含む配線を微細化して用いるとともに、銅の拡散を防ぐバリア性の導電膜(以下、バリア性導電膜)を薄膜トランジスタ(以下、TFTと表記する)との間に設けることによりTFTの半導体層に銅が拡散することなく銅を含む配線を形成することを特徴とする。 - 特許庁
The MOS transistor 100, 100a, 100b formed on a semiconductor substrate 90, and having a drain region 20 and a backgate region 40 comprising different conductive type diffusion layers 21, 22, 41 and 42 is characterized in that the drain region 20 and the backgate region 40 are arranged adjacent to each other, and have a region with a PN-junction formed on the adjacent surface.例文帳に追加
半導体基板90に形成され、異なる導電型の拡散層21、22、41、42からなるドレイン領域20とバックゲート領域40とを有するMOSトランジスタ100,100a、100bであって、 前記ドレイン領域20と前記バックゲート領域40とが隣接して配置され、隣接面にPN接合が形成された領域を有することを特徴とする。 - 特許庁
The semiconductor device has a selection gate electrode SG of a selection gate transistor ST and a perimeter gate electrode TG of a perimeter gate transistor TR, a first insulation film 30 and a first barrier film 31 on an impurity diffusion layer 28 between gate electrodes SG and TG and the side face of the gate electrode, and a second insulation film 32 filling between the gate electrodes SG and TG on the first barrier film 31.例文帳に追加
選択ゲートトランジスタSTの選択ゲート電極SG、及び周辺トランジスタTRの周辺ゲート電極TGを有し、ゲート電極SG、TG間の不純物拡散層28上及びゲート電極側面に第1絶縁膜30、第1バリア膜31を有し、第1バリア膜31上にゲート電極SG、TG間を埋める第2絶縁膜32を有する。 - 特許庁
The semiconductor memory is composed of a transistor TRA for selection (A) and a memory cell MCAM composed of a first electrode 21, a capacitor layer 22 and a second electrode 23 (B), the first electrode 21 is connected, via the transistor TRA for selection, to a bit line BLA and a thermal diffusion layer 25 is formed on or above the memory cell MCAM or under or below the memory cell.例文帳に追加
半導体メモリは、(A)選択用トランジスタTR_Aと、(B)第1の電極21とキャパシタ層22と第2の電極23とから成るメモリセルMC_AMから構成され、第1の電極21は選択用トランジスタTR_Aを介してビット線BL_Aに接続され、メモリセルMC_AMの上若しくは上方、あるいは又、メモリセルの下若しくは下方には、熱拡散層25が形成されている。 - 特許庁
An n- type epitaxial Si layer held between trenches 3 is changed to a semiconductor structure consisting of n-type pillar layer 5/p-type pillar layer 4/n-type pillar layer 5 arranged transversely, which practically plays the same role as a super junction structure, by implanting As and B to a side surface of the trench 3 by using a rotational ion implantation method and using the difference in diffusion coefficient.例文帳に追加
回転イオン注入法を用いてAsおよびBをトレンチ3の側面に注入し、拡散係数の違いを利用することによって、トレンチ3で挟まれたn^- 型エピタキシャルSi層を、横方向に並んだn型ピラー層5/p型ピラー層4/n型ピラー層5からなる、実質的にSuper Junction構造と同じ役割を果たす半導体構造に変える。 - 特許庁
A manufacturing method for a semiconductor device using acid diffusion comprises forming a resist pattern in a partial area of a substrate,contacting a result forming the resist pattern with descumming solution which includes an acid source, resolving a resist residue which remains on a substrate face within the descumming solution using an acid obtained from the acid source, and removing the resolved residue and descumming solution from the substrate.例文帳に追加
基板上の一部領域にレジスト・パターンを形成し、レジスト・パターンが形成された結果物に酸ソースを含むデスカム溶液を接触させ、デスカム溶液内で、酸ソースから得られる酸を利用して、基板表面に残留するレジスト残留物を分解させ、分解された残留物及びデスカム溶液を基板から除去する、酸の拡散を利用する半導体素子の製造方法である。 - 特許庁
The memory element 1 is provided with a gate electrode 104 formed through a gate insulating film 103 on a semiconductor layer 102, a channel area arranged below the gate electrode 104, the diffusion areas 107ab of conductive types reverse to that of the channel area on both sides of the channel area, and a memory function body 109 having the function of holding charges on both sides of the gate electrode 104.例文帳に追加
メモリ素子1は、半導体層102上にゲート絶縁膜103を介して形成されたゲート電極104と、ゲート電極104下に配置されたチャネル領域と、チャネル領域の両側で、チャネル領域と逆導電型の拡散領域107abと、ゲート電極104の両側で、電荷を保持する機能を有するメモリ機能体109とを備える。 - 特許庁
The semiconductor light-emitting device comprises: an n-type clad layer of AlGaInP; a luminous layer of undoped AlGaInP formed on the n-type clad layer; a p-type clad layer of Mg-added AlGaInP formed on the luminous layer; and a current diffusion layer of Zn-added p-type GaInP formed on the p-type clad layer.例文帳に追加
半導体発光装置は、AlGaInPからなるn型クラッド層と、前記n型クラッド層上に形成され、アンドープのAlGaInPからなる発光層と、前記発光層上に形成され、Mgを添加したAlGaInPからなるp型クラッド層と、前記p型クラッド層上に形成され、Znを添加したp型のGaInPからなる電流拡散層とを有する。 - 特許庁
The method of forming a diffusion barrier used for manufacturing the semiconductor device includes a step for depositing an iridium-doped tantalum-based barrier layer on a pattern-formed intermediate dielectric (ILD) layer by a physical vapor deposition (PVD) process, and the barrier layer is deposited to form the barrier layer into amorphous structure as a result, at least 60% of an iridium concentration in terms of atomic weight.例文帳に追加
半導体デバイス製造に用いる拡散バリアを形成する方法は、物理蒸着(PVD)工程によって、パターン形成された中間誘電体(ILD)層の上に、イリジウム・ドープされたタンタル・ベースのバリア層を堆積するステップを含み、該バリア層は、原子量で少なくとも60%のイリジウム濃度で、バリア層が結果としてアモルファス構造を有するように堆積される。 - 特許庁
This manufacturing method contains a step in which the impurities are selectively introduced at a first concentration, into a region for nonvolatile memory cells 20R and a region for the electrostatic discharge damage countermeasure transistors 10R in the semiconductor substrate 1, and thereby the tunnel diffusion layer 24 is formed; and at the same time, a source region 11 and a drain region 12 of the electrostatic discharge damage action transistor are formed.例文帳に追加
この製造方法は、半導体基板1において不揮発性メモリセル用領域20Rおよび静電破壊対策トランジスタ用領域10Rに第1濃度で不純物を選択的に導入することによって、トンネル拡散層24を形成し、同時に静電破壊対策トランジスタのソース領域11およびドレイン領域12を形成する工程を含む。 - 特許庁
The plasma silicon nitride film used for a Cu diffusion protection film left as a part of the interlayer films 1, 4 between the upper and lower interconnections 2, 5 when the plasma silicon nitride film is deposited on the Cu film which is formed as the interconnection part 2 of the semiconductor device prevent an increase in interconnection capacitance caused by high permittivity of the plasma silicon nitride film to realize decrease in the wiring capacitance.例文帳に追加
これにより、半導体装置の配線部2として形成されるCu膜の上にプラズマシリコン窒化膜を堆積する場合、Cuの拡散防止膜として用いられるプラズマシリコン窒化膜が上下配線2,5間の層間膜1,4の一部に残ることで、プラズマシリコン窒化膜の高誘電率に起因する配線容量の増加を防止し、配線容量の低減を達成することができる。 - 特許庁
This CMOS image sensor includes a semiconductor substrate in which an active region and an element isolation region are segmented, a photodiode region and a transistor region which are formed on the active region, a gate electrode formed on the transistor region and having first and second heights, and a diffusion region formed by implanting impurity ions into the photodiode region and the transistor region.例文帳に追加
本発明に係るCMOSイメージセンサは、アクティブ領域と素子分離領域が区画された半導体基板と、アクティブ領域に形成されたフォトダイオード領域とトランジスタ領域と、トランジスタ領域に形成された第1の高さと第2の高さを有するゲート電極と、フォトダイオード領域とトランジスタ領域に不純物イオンが注入されて形成された拡散領域と、を含むことを特徴とする。 - 特許庁
The solid-state imaging device comprises: a multilayer wiring layer 73; a semiconductor layer 64 that is provided on the multilayer wiring layer 73 and has a penetration trench; a first conductive layer 69 embedded inside the penetration trench; a first insulation film 32 formed on the periphery of the first conductive layer 69; and a first impurity diffusion layer 36 of a first conductive type formed on the periphery of the first insulation film 32.例文帳に追加
固体撮像装置は、多層配線層73と、前記多層配線層上に設けられ、貫通トレンチを有する半導体層64と、前記貫通トレンチ内部に埋め込まれた第1導電層69と、前記第1導電層の周囲に形成された第1絶縁膜32と、前記第1絶縁膜の周囲に形成された第1導電型の第1不純物拡散層36とを備える。 - 特許庁
The semiconductor device includes: an MOS transistor whose drain region is an impurity diffusion region formed in the first region of the SOI substrate with an active layer insulated and separated from a support substrate by a buried oxide film and separated into a plurality of regions including the first and the second regions by a field oxide film having a thickness reaching the buried oxide film; and a first wiring layer.例文帳に追加
半導体装置は、埋め込み酸化膜によって支持基板から絶縁分離されるとともに、埋め込み酸化膜にまで達する厚さを有するフィールド酸化膜によって、第1および第2の領域を含む複数の領域に分離された活性層を有するSOI基板の、第1の領域に形成された不純物拡散領域をドレイン領域とするMOSトランジスタと、第1の配線層とを有する。 - 特許庁
In a simulation method of a semiconductor device containing a hetero interface in an information processing apparatus, a carrier current density in a vertical direction to the hetero interface in the vicinity of the hetero interface is calculated by weight-averaging a carrier current density represented based on a drift diffusion equation and a carrier current density represented based on a thermoelectronic emission condition or a thermoelectronic/field emission condition (S04, S05).例文帳に追加
情報処理装置におけるヘテロ界面を含む半導体デバイスのシミュレーション方法であり、ヘテロ界面近傍において、当該ヘテロ界面に垂直な方向のキャリア電流密度を、ドリフト拡散方程式に基づいて表されるキャリア電流密度と熱電子放出条件又は熱電子・電界放出条件に基づいて表されるキャリア電流密度とを加重平均したものとして演算する(S04,S05)。 - 特許庁
A semiconductor device comprises a base layer 9 formed on a silicon substrate 1, an emitter layer 12 formed in the base layer 9, and an emitter wiring layer 22 contacting to the emitter 12, where an emitter electrode layer 14 of a silicon layer is between the emitter layer 12 and the emitter wiring layer 22, and the emitter layer 12 is formed out of impurities by thermal- diffusion from the emitter electrode layer 14.例文帳に追加
シリコン基板1上に形成されたベース層9と、このベース層9内に形成されたエミッタ層12と、このエミッタ層12にコンタクトするエミッタ配線層22とを有する半導体装置において、前記エミッタ層12上とエミッタ配線層22との間にシリコン層から成るエミッタ電極層14を介在させ、エミッタ層12はエミッタ電極層14から熱拡散された不純物から成る。 - 特許庁
The memory elements are formed on parts of word lines 1104 formed as gate electrodes on a semiconductor substrate 1101 through gate insulating films 1103 and on the lateral sides of the gate electrodes; and contain memory function groups 1105a and 1105b having charge holding functions, channel regions 1110 disposed under the gate insulating films 1103, and diffusion regions 1107 disposed on both sides of the channel regions 1110.例文帳に追加
メモリ素子は、半導体基板1101上にゲート絶縁膜1103を介して形成されたゲート電極としてのワード線1104の一部と、このゲート電極の側方に形成され、電荷を保持する機能を有するメモリ機能体1105a,1105bと、ゲート絶縁膜1103下に配置されたチャネル領域1110と、チャネル領域の両側に配置された拡散領域1107とを含んでいる。 - 特許庁
To carry out a desired circuit connection in a subsequent wiring forming step and enhance a yield of a semiconductor product in such a manner that, even when a finished dimension of a wiring layer or a diffusion layer fluctuates because of exposure variations and etching variations in a production process, a characteristic fluctuation of a transistor because of its fluctuation is corrected or a decrease in an operating allowance of an internal circuit is prevented.例文帳に追加
製造プロセスでの露光ばらつき、エッチングばらつきによって配線層あるいは拡散層の仕上がり寸法が変動した場合でも、その変動によるトランジスタの特性変動を補正する、あるいは内部回路の動作余裕の減少を防止するように、以後の配線形成工程で所望の回路接続を行うことができ、半導体製品の歩留まりを向上させることができる。 - 特許庁
A method of diffusing impurities into crystal silicon particles has process of forming silica glass containing impurities for a second conductive semiconductor on the surface of crystal silicon particles by introducing an impurity gas containing oxygen while inputting a great amount of first conductive crystal silicon particles into a diffusion pipe to make stir and process of forming a second conductive silicon layer by making impurities diffuse on the surface of the crystal silicon.例文帳に追加
結晶シリコン粒子への不純物の拡散方法は、拡散管内に多数の第1導電型の結晶シリコン粒子を入れて攪拌させながら酸素を含んだ不純物ガスを導入することによって、結晶シリコン粒子の表面に第2の導電型用の不純物を含有した珪酸ガラスを形成する工程と、結晶シリコン粒子の表面に不純物を拡散させて第2の導電型のシリコン層を形成する工程とを有する。 - 特許庁
A projection wall having a second side surface opposed to a first side surface is formed on a semiconductor substrate, a single side contact mask having an opening part selectively opening a part of the first side surface of the wall, is formed, then a first impurity layer and a second impurity layer covering the first impurity layer by diffusing impurities having different diffusion degrees into a first side surface exposed to the opening.例文帳に追加
半導体基板に第1の側面に反対される第2の側面を有して突出した壁体)を形成し、壁体の第1の側面の一部を選択的に開口する開口部を有する片側コンタクトマスクを形成した後、開口部に露出した第1の側面部分に互いに拡散度が異なる不純物を拡散させて第1の不純物層及び該第1の不純物層を覆う第2の不純物層を形成することを特徴とする。 - 特許庁
To provide a semiconductor substrate in which a heavily doped layer having a resistance that is uniform within a lot is easily formed, and furthermore any protective film for inhibiting out-diffusion of the impurity from the heavily doped layer is not required.例文帳に追加
この発明は、低濃度の不純物を含有する低濃度不純物基板に高濃度不純物拡散層を形成し、更にその上層に前記高濃度不純物拡散層より低濃度の不純物を含有するエピタキシャル層を形成した構造とすることで、ロット内で均一な抵抗を有する高濃度不純物層を容易に形成することができ、しかも高濃度不純物層からの不純物の外方拡散を防ぐための保護膜を必要としない半導体基板を得ようとするものである。 - 特許庁
| 例文 |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|