「solution」に関連した英語例文の一覧と使い方(846ページ目) - Weblio英語例文検索

The health food comprises a fermented leaf part obtained by fermenting a leaf part of Salacia reticulata with microorganisms containing bacteria naturally existing in the leaf part, a yeast fungus and a lactic acid bacterium and drying the fermentation product or a fermentation composition obtained by extraction from a fermented solution as a main component.例文帳に追加

コタラヒンブツの葉部を該葉部に天然に有している原生菌と酵母菌と乳酸菌を含む菌類にて共存発酵させ乾燥した発酵葉部又は発酵液から抽出して得られる発酵組成物を主成分として含有している。 - 特許庁

To produce a carbon material suitable for a negative electrode material of a lithium ion secondary battery, which can suppress the decomposition of a nonaqueous electrolyte solution, is excellent in compressionability and can be densely packed, and can form an electrode of a high capacity without any decrease in the charge/discharge efficiency and cycle characteristics.例文帳に追加

非水電解液の分解を抑制でき、圧縮性に優れていて高充填が可能で、充放電効率やサイクル特性を低下させずに高容量の電極を形成できる、リチウムイオン二次電池の負極材料に適した炭素材料を製造する。 - 特許庁

Thus, when the coating film is thinned by applying the treatment agent for metal consisting of solution containing metal alkoxide to, for example, the magnet member, peeling and cracking of the coating film are less liable to occur, and the magnet member, etc., of higher performance can be obtained.例文帳に追加

したがって、例えば磁石部材等に対して金属アルコキシド含有溶液からなる金属用処理剤を塗布してコーティング被膜の薄膜化を図る上で、コーティング被膜の剥離や亀裂が生じにくく、より高性能な磁石部材等を得ることができる。 - 特許庁

The exhaust gas from an engine E is led into a reduction reaction tank 3, and made to pass through a reducing agent (for example, oxalic acid) solution Sr in the tank.例文帳に追加

エンジンＥからの排気ガスを還元反応槽３内に導入し、槽内の還元剤（例えばシュウ酸）水溶液Ｓｒに通して、ミスト状アルコールを捕集すると共に、中間的なアルコール酸化物を元のアルコールに還元して上記水溶液Ｓｒ中に捕集する。 - 特許庁

This method for producing lithium titanate has: a step for kneading together titanium oxide, a water-insoluble lithium compound, and aqueous solution of water-soluble lithium compound, to obtain a kneaded product; a step for granulating the kneaded product to obtain a granule; and a step for firing the granule.例文帳に追加

チタン酸リチウムの製造方法は、酸化チタンと、難水溶性リチウム化合物と、水溶性リチウム化合物の水溶液とを混錬して、混錬物を得る工程と、前記混錬物を造粒して、造粒物を得る工程と、前記造粒物を焼成する工程とを有する。 - 特許庁

The plastic card is agitated in a mixed aqueous solution containing 18-50 wt.% of isopropyl alcohol and 4-10 wt.% of sodium hydroxide at 60-70°C under atmospheric pressure for 20-30 min, and the magnetic layer and the printed material are peeled off from the plastic substrate and cleaned.例文帳に追加

有機溶剤のイソプロパノール１８〜５０重量％と、アルカリ性の水酸化ナトリウム４〜１０重量％の混合水溶液中で、常圧下、温度６０〜７０℃で２０〜３０分間撹拌し、プラスチック基材より磁性層及び印刷物を剥離洗浄する。 - 特許庁

In the method for manufacturing the plating film, electric power feeding is carried out, in the state where at least a part of the cathode is immersed in the plating solution, between the auxiliary anode and the cathode and between the auxiliary anode and the auxiliary cathode while electric power feeding is not performed between the anode and the cathode.例文帳に追加

カソードの少なくとも一部をめっき液中に浸漬させた状態において、アノード及びカソード間に給電を行わない間に、補助アノード及びカソード間、並びに、補助アノード及び補助カソード間に給電を行うめっき膜の製造方法。 - 特許庁

The toner which is composed of at least a pigment 1 and a resin, and is prepared by a method for manufacturing its particles performed in a solution is characterized by that the pigment of ≤50 ppm in the value of turbidity at a layer thickness 0.2 mm is used in an aqueous dispersion of 2.5wt% in concentration.例文帳に追加

少なくとも顔料１と樹脂とからなり溶液中でその粒子製造方法が行われるトナーであって、濃度２．５重量％の水分散液で層厚０．２ｍｍおける濁度値が５０ｐｐｍ以下である顔料が用いられてなるトナー。 - 特許庁

This method interrupts the spraying of the wax solution to the windshield part and thereby avoids the spraying of wax to the windshield part, eliminating the need for the work of removing wax after washing the vehicle, and reducing operators' burdens.例文帳に追加

この方法によれば、ワックス液の噴霧の際、フロントウインド部におけるワックス液の噴霧が中断されることにより、フロントウインド部へのワックス噴霧を回避でき、洗車終了後にワックス除去の作業を行う必要がなくなり、作業員の手間を軽減できる。 - 特許庁

The iron-based high hardness shot material is produced with an atomizing method or a rapid-cooling pulverizing method and composed of 50-90% Fe_2B series iron-based boride and 10-50% bcc and/or fcc iron-based solid solution, at the area ratio, and contains 5-8 mass% B.例文帳に追加

アトマイズ法または急冷リボン粉砕法により製造した、面積率で５０〜９０％のＦｅ_2 Ｂ系鉄基硼化物と１０〜５０％のｂｃｃおよび／またはｆｃｃの鉄基固溶体よりなる、Ｂ：５〜８質量％を含む鉄基高硬度ショット材。 - 特許庁

Then, in a process shown in Figure 1 (c), while the liquid 16 as pure water keeps staying on the resist mask 13 and the silicon oxide film 12 (water applied in layer), the substrate is dipped into a buffer hydrofluoric acid water solution (a mixture of HF/H_2O and HF/NH_4F).例文帳に追加

次に、図１（ｃ）に示す工程で、液体１６である純水が、レジストマスク１３およびシリコン酸化膜１２上に残留した状態（層状に塗布された状態）で、緩衝フッ化水素酸水溶液（ＨＦ／Ｈ_2ＯとＨＦ／ＮＨ_4Ｆとの混合液）に基板を浸す。 - 特許庁

The manufacturing method comprises a process of forming a cylindrical drum 2 by welding the ends of the thin plates of marageing steel, a process of forming rings 4 by cutting the drum 2 into the specified width and for rolling the rings 4, and a process of performing the solution treatment in relation to the rolled rings 4.例文帳に追加

マルエージング鋼の薄板１の端部同士を溶接して円筒状のドラム２を形成する工程と、ドラム２を所定幅に裁断してリング４を形成し、リング４を圧延する工程と、圧延されたリング４に対する溶体化を行う工程とを備える。 - 特許庁

To improve the electrical characteristics of an electrophotographic photoreceptor set in an electrophotographic device in which image formation is carried out using coherent light, the image characteristics of the photoreceptor including moire pattern and the dispersion stability of a coating solution for an undercoat layer.例文帳に追加

可干渉光を用いて像形成を行う電子写真装置に搭載される電子写真感光体において、その電気特性及び干渉模様を含めた画像特性及び下引き層塗布液の分散安定性のすべてを改善することを目的とする。 - 特許庁

In the solution film-forming method for casting a dope on the casting band 10 running from a casting die 7 to manufacture the film, a dryer 21 for condensing the solvent in the cast film immediately after casting to recover the same is arranged to dry the cast film.例文帳に追加

流延ダイ７より走行する流延バンド１０上にドープを流延してフイルムを製造する溶液製膜方法において、流延の直後に流延膜中の溶媒を凝縮、回収するドライヤ２１を配設して流延膜を乾燥するようにした。 - 特許庁

The method permits efficient preparation of a liquid chemical L of a concentration of the solid halogenating agent M always kept nearly constant by passing a dissolving solution W dissolving the agent M accommodated in a chemical stowage column 1 through the column 1 at a space velocity of 2-15.例文帳に追加

薬品充填塔１に収納した固形ハロゲン化薬剤Ｍを溶解する溶解液Ｗを、空間速度が２乃至１５の範囲で薬品充填塔１に通水させることで、常時略一定の濃度の薬液Ｌを、効率よく得ることができる。 - 特許庁

This heat sensitive recording body is produced by forming a first protective layer, which includes water-soluble polymer solution and/or synthetic resin emulsion and ultrafine titanium oxide having an average primary particle diameter of 0.01 to 0.05 μm, on a heat sensitive recording layer and then a second protective layer on the first protective layer.例文帳に追加

感熱記録層上に、水溶性高分子液及び／又は合成樹脂エマルションと、平均一次粒径が０．０１μｍ〜０．０５μｍの範囲にある超微粒酸化チタンを含有する第1の保護層を形成し、その上に第２の保護層を設けた感熱記録体。 - 特許庁

The weak acidic hypochlorous acid aqueous solution with an effective chlorine concentration of 500-15,000 mg/l and a pH value of 4-7 is added to sludge with a sludge concentration of 2,000-30,000 mg/l in an amount of 100-3,000 mg/l to subject the sludge to solubilization treatment.例文帳に追加

汚泥濃度２０００〜３００００ｍｇ／Ｌの汚泥に対して、有効塩素濃度が５００〜１５０００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ値が４〜７の弱酸性の次亜塩素酸水溶液を１００〜３０００ｍｇ／Ｌになるように添加して可溶化処理を実施する。 - 特許庁

The low molecular weight polyphenylene ether has a reduced viscosity (η_sp/c) of 0.04-0.20 dL/g determined at the concentration of 0.5 g/dL in chloroform solution at 30°C, a powdery state and an average particle diameter of the particle of ≥5.0 μm and ≤500 μm.例文帳に追加

３０℃において０．５ｇ／ｄｌの濃度のクロロホルム溶液で測定された還元粘度（ηｓｐ／ｃ）が０．０４〜０．２０ｄｌ／ｇの低分子量ポリフェニレンエーテルであって、パウダー状であり、その粒子の平均粒子径が５．０μｍ以上５００μｍ以下とすること。 - 特許庁

The method for manufacturing the slow-release composition comprises mixing an aqueous solution comprising the physiologically active substance and an acid or a base that corresponds to 1.5 or more times moles of the physiologically active substance with a dissolved liquid of the in-vivo decomposable polymer, and then drying the mixed liquid.例文帳に追加

生理活性物質および当該生理活性物質の１．５倍モル以上の酸または塩基を含む水溶液と生体内分解性ポリマーの溶解液とを混合し、次いで当該混合液を乾燥する徐放性組成物の製造方法など。 - 特許庁

The polymer contains at least 1.5 meq/g of an ionic group in the molecule, has a logarithmic viscosity, of a 0.05 dl/g methanesulfonic acid solution at 25°C, of at least 0.1 dl/g, and decreases in its weight by at most 5% when immersed in water at 25°C.例文帳に追加

分子中に１．５ｍｅｑ／ｇ以上のイオン性基を含有し、０．０５ｄｌ／ｇのメタンスルホン酸溶液の２５℃における対数粘度が０．１ｄｌ／ｇ以上であり、２５℃の水に浸漬したときの重量減少が５％以下であることを特徴とするポリマー。 - 特許庁

The nickel electroplating solution contains (a) nickel ions, and (b) at least two more kinds of chelating agents selected from the group consisting of aminopolycarboxylic acid, polycarboxylic acid, and polyphosphonic acid, and in which the pH lies in the range of 4-9, and the ratio between the nickel ions and chlorine ions, i.e., (Ni/Cl) is ≤1.例文帳に追加

ａ）ニッケルイオン、および ｂ）アミノポリカルボン酸、ポリカルボン酸、およびポリホスホン酸からなる群から選択される少なくとも２種のキレート剤を含み、ｐＨが４−９の範囲であり、ニッケルイオンと塩素イオンとの比（Ｎｉ／Ｃｌ）が１以下である電気ニッケルめっき液。 - 特許庁

The rugged surface is formed on the surface of a resin layer by coating a glass base plate with a resin solution for forming a scattering film, drying it in the atmosphere of water vapor mist, and condensing the water vapor in the air into dew on the surface of the resin layer by the heat of vaporization of a resin solvent.例文帳に追加

ガラス基板上に散乱膜形成用の樹脂溶液を塗布し、これを水蒸気ミスト雰囲気中で乾燥させ、樹脂溶媒の気化熱により気中水蒸気を樹脂層表面に結露させることで樹脂層表面に凹凸面を形成する。 - 特許庁

The base film for the fluid pressure transfer printing is a polyvinyl alcoholic film composed of a film forming material which contains a polyvinyl alcoholic resin, as a major component, having a viscosity of the 4 wt.% aqueous solution at 20°C of 10 to 70 mPa s and an average saponification degree of 70 to 98 mol%.例文帳に追加

２０℃における４重量％水溶液粘度が１０〜７０ｍＰａ・ｓの範囲内で、かつ平均ケン化度が７０〜９８モル％の範囲内であるポリビニルアルコール系樹脂を主成分とするフィルム形成材料からなるポリビニルアルコール系フィルムである。 - 特許庁

As a result of this, particles contained in a processing solution left on the lower part of the wafer W are diffused together with a flow of overflowing pure water L and removed, and the particles can be prevented from readhering to the wafer, when the wafer W is reimmersed.例文帳に追加

これにより、半導体ウエハＷの下部に残留する処理液に含まれるパーティクルを、オーバーフローの流れに乗せて拡散し、除去することができると共に、再び浸漬する際に半導体ウエハＷ上へのパーティクルの再付着を防止することができる。 - 特許庁

Alternatively, an inorganic acid is added to the hydrochloric acid which contains the phenols, the hydrochloric acid solution is passed through a column which is filled with a filler for solid-phase extraction, the phenols are adsorbed and separated so as to be eluted and the phenols in their eluate are analyzed.例文帳に追加

または（２）フェノール類を含有する塩酸に無機塩を加え、次いでこの塩酸溶液を固相抽出用充填剤を充填したカラムに通液し、フェノール類を吸着分離した後、溶媒により溶出させ、この溶出液中のフェノール類を分析する。 - 特許庁

Rotary tables 13A, 13B to which the microchip 1A for specimen samples is mounted are allowed to rotate on their own axes and move around and the liquid-like specimen sample injected to the solution dropping section C is separated and injected (dispensed) to the chambers T1, T2 for detection.例文帳に追加

検体試料用マイクロチップ１Ａが搭載される回転盤１３Ａ，１３Ｂを自転させると共に公転させることにより、溶液滴下部Ｃに注入した液状の検体試料を検出用チャンバＴ１，Ｔ２に分離注入（分注）させる。 - 特許庁

To avoid the deterioration of device characteristics such as an increase in device resistance by preventing the thinning of a front edge of a ridge or the like caused by a chemical solution used in a manufacturing step of a method for manufacturing an optical semiconductor device with the ridge or the like embedded by a thermosetting resin.例文帳に追加

リッジ等を熱硬化性樹脂で埋め込んだ光半導体装置の製造方法に於いて、製造工程で使用する薬液によってリッジ等の先端部が痩せ細ることを防止して、装置抵抗が増大する等の装置特性の劣化を回避すること。 - 特許庁

To obtain a recording solution capable of providing a clear magenta- based, cyanic or dark black-based printed matter even in the case of recording on a plain paper for ink-jet recording, having excellent printing density, light resistance, weather resistance (environmental gas resistance) and preservation stability.例文帳に追加

インクジェット記録用として普通紙に記録した場合でも鮮明なマジェンタ系あるいはシアン系あるいは濃い黒色系の印字物を得ることができ、印字濃度、耐光性、耐候（環境ガス）性に優れるほか保存安定性にも良好な記録液を提供すること。 - 特許庁

The pressure belt is moved in circumferential direction, with the cleaning member 159 being in contact with the belt inner circumferential surface, whereby the solvent 15 impregnated in the cleaning member 159 is applied onto the belt inner circumferential surface to have the lubricating solution adhered to the belt inner circumferential surface dissolved.例文帳に追加

清掃部材１５９をベルト内周面に当接させた状態で加圧ベルトを周回運動させることにより、清掃部材１５９に含浸されている溶剤１５がベルト内周面に塗布され、ベルト内周面に付着している潤滑液が溶かされる。 - 特許庁

The method for producing the frozen deep-fried chicken comprises adding the pretreatment solution B to chicken (A), followed by tumbling treating in a tumbling process 13, sprinkling a coating material E to the chicken in a coating process 14, cooking the product in oil in a frying process 15, and rapidly freezing the product in a freezing process 16.例文帳に追加

鶏肉Ａは、下処理液Ｂを加え、タンブリング工程１３でタンブリング処理された後、衣付け工程１４で衣材料Ｅがまぶされ、フライ工程１５で油ちょうされ、冷凍工程１６で急速冷凍され、冷凍鶏唐揚げが製造される。 - 特許庁

The microwave dielectric composition also consists of a tungsten bronze-type pseudo-solid-solution expressed by the formula of Ba_4(R_1-yBi_y)_9+1/3Ti_18O_54 wherein R is a rare earth element and the composition ratio of y is in the range of 0≤y≤0.5.例文帳に追加

更に、本発明のマイクロ波誘電体組成物は、Ｂａ_４（Ｒ_１−ｙＢｉ_ｙ）_９＋１／３Ｔｉ_１８Ｏ_５４で表されるタングステンブロンズ型擬似固溶体からなり、ここでＲは希土類元素であり、組成比ｙは０≦ｙ≦０．５の範囲にあることを特徴としている。 - 特許庁

The invention relates to a non-cyanide electroless gold plating solution free from a cyanide compound, comprising, as a complexing agent of gold, a compound represented by the formula shown below or a salt thereof: X-(CH_2)n-SH wherein n is 2 or 3 and X is SO_3H or NH_2.例文帳に追加

シアン系化合物を含有しない非シアン無電解金めっき液において、該無電解金めっき液には、金の安定化錯化剤として、下記化４で表される化合物又はその塩が添加されていることを特徴とする非シアン無電解金めっき液。 - 特許庁

The holey fiber 2 is formed with a notch part 14 in the outer peripheral surface of the clad 12 to expose the hole 13a to be injected with the medical solution, and a hollow tube 3 surrounding the outer peripheral surface of the clad 12 to cover the notch part 14 is mounted onto the holey fiber 2.例文帳に追加

ホーリーファイバ２には、薬液が注入される空孔１３ａを露出させる切欠部１４がクラッド１２の外周面に形成されているとともに、クラッド１２の外周面を囲繞して切欠部１４を覆う中空管３が装着されている。 - 特許庁

A method of producing inorganic semiconductor- or phosphor-primary particles comprises forming the particles by reacting at least one kind of precursor solution of the inorganic primary particle in a solvent, of which major component is water of a reacting vessel, under the conditions that the pressure is 0.2 to 20 MPa and the temperature is 120°C to 370°C.例文帳に追加

圧力０．２〜２０ＭＰａ、温度１２０〜３７０℃に設定した反応容器中の水を主とする溶媒中で、少なくとも１種の前駆体溶液を反応させて粒子形成する無機半導体または蛍光体一次粒子の製造方法。 - 特許庁

The electrolytic solution 7 is synthesized by adding metal magnesium, halogenated hydrocarbon (such as CH_3I), halogenated aluminum (such as AlCl_3), and quaternary ammonium salt (such as CF_3SO_3N(C_4H_9)_4) to an ether based organic solvent (such as 1,2-dimethoxy ethane) and put them under heat treatment while stirring them.例文帳に追加

電解液７は、金属マグネシウムと、ハロゲン化炭化水素(ＣＨ_3Ｉなど)と、ハロゲン化アルミニウム(ＡlＣl_3など)と、第四級アンモニウム塩(ＣＦ_3ＳＯ_3Ｎ(Ｃ_4Ｈ_9)_4など)とをエーテル系有機溶媒(１,２−ジメトキシエタンなど)に添加し、撹拌しながら加熱処理することによって合成する。 - 特許庁

This is the separator for the battery composed of wet-laid nonwoven fabic whose liquid-retaining property of electrolytic solution is 100% or more having fibers whose monofilament fineness is 0.005 to 0.5 dtex, cross sectional flatness is 2.0 to 50.0 as the main constituent component, and which is composed of polyamide synthesized from terephthalic acid and 1,9- nonanediamine.例文帳に追加

テレフタル酸と１,９-ノナンジアミンとから合成されるポリアミドからなる単繊維繊度０．００５〜０．５dtex、断面偏平度２．０〜５０．０である繊維を主な構成成分とし、電解液保液率が１００％以上である湿式不織布からなる電池用セパレータ。 - 特許庁

Specifically, the nozzle 7 is inserted in the through-hole 5, and both ends of the through-hole 5 are sealed to thereby form an elevated-pressure space 25 to elevate the pressure of the cleaning solution jetted from the jetting ports 10 to between the outer surface of the nozzle 7 and the inner surface of the through-hole.例文帳に追加

具体的には、ノズル７を貫通穴５に挿入して、貫通穴５の両端をシールすることにより、ノズル７の外面と貫通穴の内面との間に、噴射口１０から噴射した洗浄液の昇圧を可能とする昇圧空間２５を形成する。 - 特許庁

The growth factor, which is an effective ingredient in the cosmetic field, the biological field and the pharmaceutical field, for example, a fibroblast growth factor or an epithelial cell growth factor, is separated from an aqueous solution and is preserved in a dry solid state, and they are mixed when used.例文帳に追加

化粧品分野、バイオ分野および医薬品分野における有効成分である成長因子、例えば繊維芽細胞増殖因子や上皮細胞増殖因子を水溶液と分離させて固体乾燥状態で保存し、使用時にそれらを混合して用いる。 - 特許庁

The method for manufacturing the oxide catalyst comprises a raw material preparing process (I), a drying process (II) and a baking process (III) and is characterized in that the non-stirring time of the raw material preparation solution obtained in the raw material preparing process (I) is set to 1 hr or less.例文帳に追加

（Ｉ）原料調合工程、（ＩＩ）乾燥工程、（ＩＩＩ）焼成工程から成り、（Ｉ）原料調合工程において、得られる原料調合液に対する無攪拌時間を１時間以内とすることを特徴とする酸化物触媒の製造方法。 - 特許庁

This surface-hydrophilized resin composition is obtained by coating the surface of a resin with a maleic anhydride-based copolymer solution in which at least 0.1 mol% acid anhydride ring remains, then subjecting the maleic anhydride-based copolymer to covalently bond by drying at 101-220°C.例文帳に追加

酸無水環の少なくとも０．１モル％が残存する無水マレイン酸系共重合体溶液を樹脂表面にコーティング後、１０１〜２２０℃で乾燥することにより無水マレイン酸系共重合体を共有結合させることにより課題を解決した。 - 特許庁

To provide a cement additive which gives a cement composition being high in fluidity, kneadability, and slump retention and therefore excellent in workability even when the amount of water added to the cement composition is small, is excellent in economy because of its effectiveness in a smaller amount, and is excellent in stability in an aqueous solution.例文帳に追加

セメント組成物に添加する水の量を少なくしつつ、流動性、混練性及びスランプ保持性が高くて作業性に優れ、しかも添加量が少なくて経済性に優れ、かつ水溶液中での保存安定性に優れたセメント添加剤を提供する。 - 特許庁

To provide a method of regenerating a glass substrate for a color filter for peeling off a color filter layer from a glass substrate for a color filter by bringing a defective substrate for a color filter into contact with a peeling liquid, so as to prevent corrosion of the glass substrate for a color filter by an alkali aqueous solution.例文帳に追加

カラーフィルターの不良基板を、カラーフィルター用ガラス基板がアルカリ水溶液により浸食されないように剥離液と接触させることにより、カラーフィルター用ガラス基板からカラーフィルター層を剥離するカラーフィルター用ガラス基板の再生方法を提供する。 - 特許庁

To provide a vaporizer that can restrain the deterioration of a medical solution, has high vaporization efficiency, and can reduce the flow rate of a carrier gas, to provide a substrate processing apparatus employing the vaporizer to reduce the risk of leakage of a vaporized processed gas, and to provide a substrate processing method.例文帳に追加

薬液の劣化を抑え、気化効率が高くキャリアガスの流量を少なくすることができる気化装置、及びこの気化装置を備えることにより気化された処理ガスの漏洩のリスクを低減させた基板処理装置、基板処理方法を提供すること。 - 特許庁

The method for producing the fiber composite comprises a step for impregnating a fiber sheet with a colloidal silica solution, and drying the impregnated product, a step for impregnating the product with the di- or poly-functional dihydrobenzoxazine compound, and a step for heating and integrating the whole under pressurizing.例文帳に追加

また、本発明は、繊維シートに、コロイダルシリカ溶液を含浸させ、乾燥させる工程、２又は他官能ジヒドロベンゾキサジン化合物を含浸させる工程、及び全体を加圧下に加熱一体化させる工程を含む、繊維複合体の製造方法を提供する。 - 特許庁

Subsequently, after cleaning and ammonia plasma treatment are performed, the CMP surface of a wafer 1W is exposed to an inorganic silane compound gas, such as mono- silane or the like, so as to subject a microvolume of silicon to a solid solution in the outer layer of the main conductive film 18a in the embedded second layer wirings L2.例文帳に追加

続いて、洗浄処理およびアンモニアプラズマ処理を経た後、ウエハ１ＷのＣＭＰ面をモノシラン等のような無機系シラン化合物ガスに晒すことにより、埋込第２層配線Ｌ２の主導体膜１８ａの表層に微量のシリコンを固溶させる。 - 特許庁