「PA method」に関連した英語例文の一覧と使い方(5ページ目) - Weblio英語例文検索

In this construction method for the decorative material, which is fitted to the surface to be decorated of the wall body of the dwelling house with an adhesive to decorate the wall body, the decorative material and the surface to be decorated of the wall body of the dwelling house are bonded through the adhesive whose viscosity before curing is under 100 Pa s.例文帳に追加

本発明では、住宅の壁体の被装飾面に接着剤により取り付けられて壁体を化粧する化粧材の施工方法であって、硬化前の粘度が１００Ｐａ・ｓ未満である接着剤を介して前記化粧材と前記住宅の壁体の被装飾面を接着することを特徴とする化粧材の施工方法を提供する。 - 特許庁

This method for producing the thermoplastic resin composition has a process in which a thermoplastic resin whose main chain comprises an aliphatic compound is filtered and refined under the condition wherein a resin melt viscosity at the shear rate of 100/sec is ≤800 Pa sec, by using an extruder 2 including a polymer filter 4 whose filtration accuracy is ≤10 μm.例文帳に追加

本発明の熱可塑性樹脂組成物の製造方法は、主鎖が脂肪族化合物からなる熱可塑性樹脂を、濾過精度が１０μｍ以下であるポリマーフィルタ４を備えた押出し機２を用い、剪断速度が１００／ｓｅｃにおける樹脂溶融粘度が８００Ｐａ・ｓｅｃ以下となる条件で濾過精製する工程を包含する。 - 特許庁

The method for drying a cleaned quartz substrate comprises a step for performing spin drying while setting the speed of rotation in a range of 800-2500 r.p.m. and a difference in the pressure of a drying atmosphere in a range of 300-1500 Pa following to a step for cleaning the quartz substrate.例文帳に追加

洗浄後の石英基板の乾燥方法であって、石英基板を洗浄する工程の後に、少なくとも、回転数を８００ｒｐｍ以上２５００ｒｐｍ以下の範囲とし、かつ乾燥雰囲気の差圧を３００Ｐａ以上１５００Ｐａ以下の範囲で排気してスピン乾燥する乾燥工程を行うことを特徴とする石英基板の乾燥方法。 - 特許庁

In the method of manufacturing optical element, the optical element is manufactured by irradiating a thin film principally comprising at least carbon and hydrogen with light of wavelength less than 700 nm and, thereby, changing optical properties, wherein light irradiation is performed in an environment of reduced pressure 100 Pa or less, or vacuum.例文帳に追加

光学素子の製造方法は、少なくとも炭素と水素を主要成分として含む薄膜へ波長７００ｎｍ未満の光を照射して光学物性を変化させることによって光学素子を製造する方法であって、１００Ｐａ以下の減圧または真空の雰囲気下で光の照射を行なうことを特徴としている。 - 特許庁

In the method for compensating the measured concentration value of a first compound A within the first internal area 1* of a patient, the concentration value PA of the first compound A is transferred from the actual concentration when the first compound A within the first internal piping is mixed with a second compound B present in the body of the patient.例文帳に追加

本発明は患者の第一内部領域（１^* ）内の第一化合物（Ａ）の測定濃度値に補償を加えるための方法に関し、この第一化合物（Ａ）の濃度値（Ｐ__A ）が患者の体に存在している第二化合物（Ｂ）によって第一内部管路内の第一化合物と混合したときに実際の濃度から偏移させられる。 - 特許庁

To stably and efficiently manufacture filter paper for an air filter with a transmissivity of 0.03% or less and a pressure loss of <225 Pa by preventing the accumulation of the eluted matter from glass fibers generated by circulating and reusing used papermaking water, in a method for forming filter paper from a fiber material containing fibers by a wet papermaking process using acidic papermaking water.例文帳に追加

ガラス繊維を含む繊維材料を酸性の抄紙用水を用いて湿式抄造する方法において、使用済み抄紙用水を循環再使用することによるガラス繊維からの溶出物の蓄積を防止して、透過率０．０３％以下で圧力損失２２５Ｐａ未満のエアフィルタ用濾紙を安定かつ効率的に製造する。 - 特許庁

The method of manufacturing an emission color conversion member comprises a step of baking an emission color conversion material that includes oxide glass powder and inorganic phosphor powder to manufacture the emission color conversion member, and is characterized in that the emission color conversion material is baked under a pressure of less than one atmosphere (1.013×10^5 Pa).例文帳に追加

本発明の発光色変換部材の製造方法は、酸化物ガラス粉末と無機蛍光体粉末とを含む発光色変換材料を焼成して発光色変換部材を製造する方法であって、該発光色変換材料を１気圧（１．０１３×１０^5Ｐａ）よりも低い気圧中で焼成することを特徴とする。 - 特許庁

The method of manufacturing the optical recording medium provided with a recording layer containing organic dyestuffs on a substrate includes a recording layer forming process step of forming the recording layer containing the organic dyestuffs on the substrate and a pressurizing process step of holding the substrate provided with the recording layer for ≥0.5 second in a gaseous atmosphere pressurized by pressure above 19.6×10^4 Pa.例文帳に追加

基板上に有機色素を含む記録層が設けられた光学式記録媒体の製造方法であって、有機色素を含む記録層を基板上に形成する記録層形成工程と、記録層が設けられた基板を、１９．６×１０^4Ｐａ以上の圧力で加圧された気体雰囲気で０．５秒以上保持する加圧工程と、を含む。 - 特許庁

In this manufacturing method of the radiological image conversion panel including a process for forming a phosphor layer by depositing on a substrate a material generated by heating an evaporation source containing a halogen-containing phosphor or its raw material, deposition is performed in a deposition atmosphere having a partial pressure of hydrogen halogenide of 2.0×10^-5 Pa or higher.例文帳に追加

ハロゲン含有蛍光体もしくはその原料を含む蒸発源を加熱して発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、該蒸着を、ハロゲン化水素の分圧が２．０×１０^−５Ｐａ以上の蒸着雰囲気中で行う。 - 特許庁

In the method for producing a target material, raw material metal powder is introduced into thermal plasma, thus spheroidal metal powder subjected to spheroidizing is packed into a die, and the spheroidal metal power is sintered at a direct current pulse current density of ≥5 A/mm^2 under a pressure of ≥20 MPa in a pressure-reduced atmosphere of ≤200 Pa.例文帳に追加

原料金属粉末を熱プラズマ中に導入することにより、球状化された球状金属粉末を型に充填し、２００Ｐａ以下の減圧雰囲気中において、直流パルス電流密度５Ａ／ｍｍ^２以上、圧力２０ＭＰａ以上で該球状金属粉末を焼結するターゲット材の製造方法である。 - 特許庁

The near-infrared ray absorbing ink includes a 1-20 wt.% near-infrared ray absorbing color enclosed in a cured resin, a 10-40 wt.% resin, a 10-60 wt.% oil, has viscosity of 100-700 Pa s, and has flowability of 10-20 mm represented by the spread meter diameter value measured according to flowability test method given in JIS K5701.例文帳に追加

硬化した樹脂に包まれて成る赤外線吸収色素１〜２０重量％および樹脂１０〜４０重量％、油分１０〜６０重量％を含まれて成り、粘度が１００〜７００Ｐａ・ｓ、流動性がＪＩＳ Ｋ５７０１に記載の流動特性試験によるスプレッドメーター直径値が１０ｍｍ〜２０ｍｍであることを特徴とする近赤外線吸収インキ。 - 特許庁

In the image forming method for fixing a toner image by heating and melt-sticking the toner image while making the toner image pass between two rollers, the image is fixed by the fixing device where a surface pressure (roller load/contact area) applied between two rollers is controlled to be ≤1.5×10^5 Pa, and the mean grain size of the carrier is 10 to 55 μm.例文帳に追加

トナー像を、２本のローラの間を通すことによって加熱溶融して定着を行なう画像形成方法において、２本のローラ間に加わる面圧（ローラ荷重／接触面積）が１．５×１０^5Ｐａ以下の定着装置によって定着をおこなう画像形成方法であり、該キャリアの平均粒径が１０〜５５μｍであることを特徴とする画像形成方法。 - 特許庁

The method of forming the ITO (indium tin oxide) electrode 50 in the semiconductor device 1 includes steps for forming the electrode 50 through electron beam evaporation under a deposition rate of 1 Å/sec or higher and 5 Å/sec or lower and an oxygen pressure of 0.005-0.02 Pa and then calcining the electrode at a predetermined temperature, thereby obtaining the ITO electrode 50 of favorable quality.例文帳に追加

半導体素子１における酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）の電極５０の形成方法において、電極５０を、成膜レートにつき１Å／ｓｅｃ以上５Å／ｓｅｃ以下とし、酸素圧力につき０．００５Ｐａ以上０．０２Ｐａ以下として、電子線蒸着法により形成した後、所定温度で焼成し、良質なＩＴＯ電極５０を得た。 - 特許庁

In the method for using an emitter for an electron gun, an emitter 14 is configured using crystalline metal hexaboride and its shape is such that the top end side of a cylinder is formed into a frustum and its end surface 2 is a plane and at the same time, the end surface 2 of the frustum is a (310) crystal plane, and the emitter is operated under a vacuum pressure of 1×10^-5 Pa or less.例文帳に追加

電子銃用のエミッタ使用方法において、エミッタ１４は、結晶質の金属六硼化物を用いて構成され、形状が円柱体の先端側を円錐台に形成して端面２が平面であるとともに、円錐台端面２が（３１０）結晶面であるように構成されており、そのエミッタを１×１０^−５Ｐａ以下の真空圧力で動作させるようにする。 - 特許庁

In the concrete exfoliation preventive surface coating method for laminating a primer layer A, a main material layer B, a concrete exfoliation preventive sheet C, the main material layer B and a finishing paint film layer D sequentially on the surface of concrete, the main material layer B is formed of acqueous polyurethane paint b with a viscosity of 15-200 Pa s at 20°C.例文帳に追加

コンクリートの表面に、プライマー層（Ａ）、主材層（Ｂ）、コンクリート剥落防止用シート（Ｃ）、主材層（Ｂ）及び上塗り塗膜層（Ｄ）を順次積層するコンクリート剥落防止表面被覆工法であって、主材層（Ｂ）が２０℃における粘度が１５〜２００Ｐａ・ｓである水性ポリウレタン塗料（ｂ）によって形成されるものであることを特徴とするコンクリート剥落防止表面被覆工法。 - 特許庁

To form a silicon based thin film having narrow optical band gap at a high film forming rate in a method for forming the silicon based thin film on a substrate by controlling the total pressure in a reaction vessel to ≥4000 Pa, impressing high-frequency power or DC powder to electrodes provided in the reaction vessel to generate plasma and decomposing the gaseous starting material by the plasma.例文帳に追加

反応容器内の全圧を４０００Ｐａ以上とし、該反応容器内に設けた電極に高周波電力または直流電力を印加することによりプラズマを発生させ、該プラズマにより原料ガスを分解して基板上にシリコン系薄膜を形成する方法において、光学的バンドギャップの狭いシリコン系薄膜を、速い成膜速度で形成する。 - 特許庁

The method of manufacturing the solid electrolyte includes a step of firing the formed object including glass powder showing lithium ion conductivity after heat treatment, inorganic powder having lithium ion conductivity, or both of them (hereinafter called "lithium ion conductive powder") while holding the formed object in a setter having a heat conductivity of 50W×m^-1×K^-1 or lower at 20°C and 1×10^5 Pa.例文帳に追加

熱処理後にリチウムイオン伝導性を呈するガラス粉末、リチウムイオン伝導性を有する無機粉末、又はその両方（以下、これらを「リチウムイオン伝導性粉末」という）を含む成形体を、前記成形体を２０℃、１×１０^５Ｐａにおける熱伝導率が５０Ｗ・ｍ^−１・Ｋ^−１以下のセッターで挟み、焼成する工程を含む固体電解質の製造方法。 - 特許庁

The method for preparing the liposome includes a process for supplying an aqueous solution; a process for supplying a lipid solution, wherein the lipid solution has a Pa between about 0.84 and 0.88 and a Pv between about 0.88 and 0.93 and at least one lipid in the solution contains a polyethylene glycol(PEG) chain, and a process for mixing the lipid solution with the aqueous solution.例文帳に追加

リポソームを調製する方法であって、以下：水溶液を提供する工程；脂質溶液を提供する工程であって、この溶液が、約０．８４と０．８８との間のＰ_a、約０．８８と０．９３との間のＰ_vを有し、そしてこの溶液中の少なくとも１つの脂質がポリエチレングリコール（ＰＥＧ）鎖を含む、工程、および脂質溶液および水溶液を合わせる工程、を包含する、方法。 - 特許庁

After setting the substrate temperature at ≤500°C and the pressure at ≤50 Pa, a transparent conductive carbon film is deposited on the substrate surface of a thin film of copper or aluminum by a microwave surface wave plasma CVD method in a gas atmosphere formed by adding an oxidation inhibitor for inhibiting oxidation of the substrate surface as addition gas into mixed gas comprising carbon-containing gas and inert gas.例文帳に追加

基材温度を５００℃以下、圧力を５０Ｐａ以下に設定し、かつ含炭素ガスと不活性ガスからなる混合ガスに基材表面の酸化を抑制するための酸化抑制剤を添加ガスとして加えたガス雰囲気中で、マイクロ波表面波プラズマＣＶＤ法により、銅又はアルミの薄膜の基材表面上に透明導電性炭素膜を堆積させる。 - 特許庁

The water-in-oil type sunscreen cosmetic having an extremely high ultraviolet protection effect (SPF50+ PA+++) and containing no ultraviolet light absorbent comprises pretreated powder obtained by precoating titanium oxide and zinc oxide as an ultraviolet scattering agent with a polyether modified silicone by a wet method, a volatile oil agent, an elastomer organopolysiloxane and cetyl dimethicone.例文帳に追加

紫外線散乱剤としての酸化チタン及び酸化亜鉛をポリエーテル変性シリコーンにて予め湿式方法にてコーティングして前処理粉体とし、更に、揮発性油剤、エラストマーオルガノポリシロキサン、セチルジメチコンを含有することで非常に高い紫外線防御効果（ＳＰＦ５０＋ ＰＡ＋＋＋）を有した紫外線吸収剤を含まない油中水型日焼け止め化粧料を得ることが可能となる。 - 特許庁

The method for producing the aluminum article includes a step of preparing an aluminum material of the purity of 99.999% or more by mass ratio, a step of performing plastic working on the aluminum material with the jig containing iron in contact with it, and a step of heat-treating the aluminum material after plastic working under a reduced pressure of 1.0×10^-2 Pa or less.例文帳に追加

純度が質量比で９９．９９９％以上のアルミニウム材を準備する工程と、前記アルミニウム材に鉄を含有する治具を接触させて、前記アルミニウム材を塑性加工する工程と、前記塑性加工を行ったアルミニウム材を圧力が１．０×１０^−２Ｐａ以下の減圧下で熱処理する工程と、を含むことを特徴とするアルミニウム物品の製造方法である。 - 特許庁

In the oxidation method whereby the surface of the workpieces W, on which at least the nitride film is exposed, is oxidized in a processing vessel 8 accommodating a plurality of the workpieces W concurrently, the nitride film is oxidized by mainly using hydroxyl active species and oxygen active species in a vacuum atmosphere under a process pressure of 133 Pa or below at a process temperature of 400°C.例文帳に追加

一度に複数枚の被処理体Ｗを収容できる処理容器８内にて、表面に少なくとも窒化膜が露出している被処理体の表面を酸化する酸化方法において、真空雰囲気下にて水酸基活性種と酸素活性種とを主体として用いると共に、プロセス圧力を１３３Ｐａ以下に設定し、且つプロセス温度を４００℃以上に設定して前記酸化を行なう。 - 特許庁

This granular detergent composition having high bulkiness comprises granulated substance of protease in which solid casein decomposing activity against a protease derived from alkalophilic bacterium strains of the genus Bacillus is ≥1.5 (at 15°C) and 90% dissolution time (T90) by an enzymatic activity method at 15°C is ≤150 sec and granulated particles of detergent having ≤10,000 Pa particle cohesion parameter at 15°C.例文帳に追加

ＢＡＣＩＬＬＵＳ属の好アルカリ性菌株由来のプロテアーゼに対する固体カゼイン分解活性が１．５以上（１５℃）であるプロテアーゼの造粒物であって、１５℃における酵素活性法による９０％溶解時間（Ｔ９０）が１５０秒以下であるプロテアーゼ造粒物と、１５℃での粒子凝集パラメーターが１０，０００Ｐａ以下である洗剤造粒粒子とを含有する高嵩密度粒状洗剤組成物。 - 特許庁

In an internal combustion pyrognetic oxidation (ISSG) method, an oxygen having an added hydrogen of about 0.5-33% is introduced directly into a chamber of about 900-1100°C and about 1000-2000 Pa, by using a rapid thermal oxidation apparatus to generate moisture on a heated semiconductor substrate 1 with the introduced oxygen and hydrogen.例文帳に追加

急速熱酸化装置を用いて、温度が約９００℃〜約１１００℃で、圧力が約１０００Ｐａ〜約２０００Ｐａのチャンバ内に、０．５％〜３３％程度の水素を添加した酸素を直接に導入し、加熱した半導体基板１１上で、導入された水素と酸素とから水蒸気を発生させる内燃方式のパイロジェニック酸化（ＩＳＳＧ）法により、フローティングゲート電極１４Ｂの上面及び側面を酸化する。 - 特許庁

The method of obtaining the porous body includes a process for preparing a target containing an inorganic material and the porous base material and a process for forming the porous film by arranging the target and the porous base material under 1-200 Pa atmospheric pressure, irradiating the target with pulse laser having 5-500 Hz frequency to produce the vapor of the inorganic material, and depositing the vapor on the surface of the porous base material.例文帳に追加

この多孔質体を得る方法は、無機質材料を含むターゲット及び多孔質基材を用意する工程と、１〜２００Ｐａの雰囲気圧下にターゲット及び多孔質基材を配置し、周波数が５〜５００Ｈｚの範囲内にあるパルスレーザを該ターゲットに照射して該無機質材料の蒸気を発生させ、多孔質基材の表面上に該蒸気を堆積させて多孔質膜を形成する工程と、を含む。 - 特許庁

In the method for fabricating a semiconductor laser where two stripe growth masks are formed on a semiconductor substrate and an optical waveguide of III-V compound semiconductor having double heterostructure is grown selectively in a region defined by the growth masks by organo- metallic VPE system, pressure of the V compound semiconductor is set in the range of 13.3-400 Pa.例文帳に追加

半導体基板上に２本のストライプ状の成長マスクを形成し、この成長マスクに挟まれた領域に、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体からなるダブルへテロ構造の光導波路を有機金属気相成長法を用いて、選択的に成長させる半導体レーザの製造方法において、前記Ｖ族の圧力を、１３．３Ｐａ乃至４００Ｐａとしたことを特徴とするものである。 - 特許庁

In the sealing method of sealing with resin a core wire joint formed by electrically connecting a plurality of wires exposed from the coated wires, the core wire joint is dipped in thermosetting resin, and the thermosetting resin is cured at a temperature range in which the thermosetting resin maintains at least for one minute a resin viscosity of 1 Pa/sec or less.例文帳に追加

被覆電線から露出した複数の芯線を電気的に接続して形成される芯線接続部を樹脂封止する封止方法であって、熱硬化性樹脂に前記芯線接続部を浸漬し、前記熱硬化性樹脂が１Ｐａ・ｓｅｃ以下の樹脂粘度を少なくとも１分間維持するような温度範囲で前記熱硬化性樹脂を硬化させることを特徴とする芯線接続部の封止方法による。 - 特許庁

The film formation method by vacuum deposition uses, as a concurrently evaporating substance, an inactive molecule which has vapor pressure of 1 Pa or less at room temperature but shows higher vapor pressure than that of an organic semiconductor molecule, evaporates or sublimes under the vacuum deposition condition, and exhibits volatility on a heated substrate, when vacuum-depositing the organic semiconductor molecule constituting the vapor deposition film of the organic semiconductor on the substrate.例文帳に追加

有機半導体の蒸着膜を構成すべき有機半導体分子を基板に真空蒸着させるに当たり、室温における蒸気圧が１Pa以下であるが有機半導体分子よりも高い蒸気圧を示し、真空蒸着条件下において蒸発又は昇華すると共に加熱された基板上において揮発性を示す不活性分子を共蒸発物として用いる真空蒸着成膜方法。 - 特許庁

In this plasma carburizing method, a titanium metal or a heat resistant steel such as austenitic heat resisting steel is heated to 350°C to <700°C in an atmosphere containing fluorine-type gas such as nitrogen fluoride gas to undergo surface fluoridizing treatment and then subjected to plasma carburizing treatment in a gaseous-hydrocarbon-containing atmosphere of 10-20,000 Pa and 350-<700°C.例文帳に追加

フッ化窒素ガスなどのフッ素系ガスを含有する雰囲気中でチタン金属またはオーステナイト系耐熱鋼などの耐熱鋼を３５０℃以上７００℃未満に加熱して表面をフッ化処理した後、前記チタン金属または耐熱鋼を炭化水素ガスを含有する１０〜２０００Ｐａ、３５０℃以上７００℃未満の雰囲気内においてプラズマ浸炭処理することからなるプラズマ浸炭処理方法とする。 - 特許庁

In the method for producing a plurality of kinds of aromatic polycarbonate resins having different structural units in the same production equipment, an aromatic polycarbonate resin A having a melt viscosity of ≤400 Pa s at a shear rate of 912 s^-1 and 300°C is produced, and then an aromatic polycarbonate resin B having a structural unit different from that of the aromatic polycarbonate resin A is produced.例文帳に追加

構造単位の異なる複数種の芳香族ポリカーボネート樹脂を同一の製造設備で製造する芳香族ポリカーボネート樹脂の製造方法であって、 ３００℃、剪断速度９１２ｓｅｃ^-1における溶融粘度が４００Ｐａ・ｓ以下である芳香族ポリカーボネート樹脂Ａを製造し、次いで、前記芳香族ポリカーボネート樹脂Ａの構造単位とは異なる構造単位を有する芳香族ポリカーボネート樹脂Ｂを製造する芳香族ポリカーボネート樹脂の製造方法。 - 特許庁

In the method of manufacturing toner by aggregating the dispersion liquid containing at least two kinds of polymer primary particles, the dispersion liquid is obtained by mixing at least two kinds of dispersion liquid which contain the polymer primary particles, and a viscosity (measurement temperature 150°C) of the polymer primary particles included in at least one kind of dispersion liquid departs from the range of 200 to 400 Pa s.例文帳に追加

２種以上の重合体１次粒子を含有する分散液を凝集してトナーを製造する方法において、該分散液が重合体１次粒子を含有する２種以上の分散液を混合して得られたものであり、かつ、少なくとも１種の分散液中に含まれる重合体１次粒子の粘度（測定温度１５０℃）が２００〜４００Ｐａ・秒の範囲を外れることを特徴とする静電荷像現像用トナーの製造方法。 - 特許庁

In this method for producing α-alumina powder by using an aluminum salt such as ammonium aluminum carbonate, aluminum sulfate, ammonium aluminum sulfate and aluminum nitrate, an aluminum hydroxide or intermediate alumina powder as a starting raw material and heating the starting raw material, the α-alumina fine powder having ≤100 nm average particle diameter is obtained by performing the heat treatment in a vacuum of ≤1 Pa or a hydrogen atmosphere.例文帳に追加

アンモニウムアルミニウム炭酸塩・アルミニウム硫酸塩・アンモニウムアルミニウム硫酸塩・アルミニウム硝酸塩などのアルミニウムの塩、またはアルミニウムの水酸化物、または中間アルミナ粉末を出発原料として使用し、当該出発原料を熱処理してα-アルミナ粉末を製造する方法において、１Ｐａ以下の真空または水素雰囲気中で前記熱処理することにより、平均粒径が１００ｎｍ以下のα-アルミナ微粉末を製造することを特徴とするα-アルミナ粉末の製造方法とする。 - 特許庁

The manufacturing method of the magnetic disk includes a hydrocarbon protective film depositing step of depositing the hydrocarbon protective film 4a in an atmosphere of 0.1 to 2 Pa degree of vacuum while performing plasma ignition using an igniter for securing stable plasma discharge.例文帳に追加

基板１と、磁気記録を行うために基板１上に成膜された磁性層３と、磁性層３を保護するために磁性層３上に成膜された保護層４とを少なくとも備える磁気ディスクの製造方法において、保護層４は、実質的に炭素及び水素からなる炭化水素保護膜４ａを磁性層３側に有し、磁気ディスクの製造方法は、安定したプラズマ放電を確保するためのイグナイターを用いてプラズマ点火を行いつつ、０．１Ｐａ以上２Ｐａ以下の真空度の雰囲気中で炭化水素保護膜４ａを成膜する炭化水素保護膜成膜工程を備える。 - 特許庁