「SPM」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a scanner for SPM (scanning probe microscope) which is miniaturized without sacrificing displacement amount and which is suitable for a high-speed scanning operation having a high resonance frequency.例文帳に追加

変位量を犠牲にすることなく、小型化された、従って高い共振周波数を有する高速走査に適したＳＰＭ用スキャナを提供する。 - 特許庁

SPM is supplied onto the surface of a substrate so as to remove a disused resist pattern from the surface of the substrate.例文帳に追加

まず、基板の表面にＳＰＭが供給されることにより、基板の表面の不要なレジストが除去される。 - 特許庁

With this configuration, since the exact position of the scanning tip 4 is shown on the upper surface 7 of the cantilever 3, the SPM sensor 1 can be easily adjusted.例文帳に追加

そのため走査尖端部４の正確な位置がカンチレバー３の上面７に示されるので、ＳＰＭセンサが簡単に調整できる。 - 特許庁

To provide an air-conditioning system that sufficiently blocks suspended matter in the air, such as SPM and sufficiently introduces outside air.例文帳に追加

ＳＰＭ等の大気中の浮遊物質を十分に遮断可能であり、且つ外気を十分に導入することが可能な空調システムを提供する。 - 特許庁

To provide a conveying device conveying non-magnetic blank materials while maintaining high SPM, and having simple structure.例文帳に追加

高いＳＰＭを維持しつつ、非磁性体のブランク材を搬送でき、かつ構造が簡易な搬送装置を提供する。 - 特許庁

The response signal undergoes frequency-analysis to decide whether each of the speakers SP1 to SPm has a failure.例文帳に追加

この応答信号を周波数解析してスピーカＳＰ1〜ＳＰmのそれぞれについての故障の有無を判定する。 - 特許庁

SPM MAINTENANCE/MANAGEMENT METHOD AND COMPUTER- READABLE RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM FOR MAKING COMPUTER EXECUTE THE METHOD RECORDED THEREIN例文帳に追加

ＳＰＭ保守管理方法およびその方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - 特許庁

This error signal subjects a spindle motor to CAV control through a filter 22 and an SPM driver 23.例文帳に追加

この誤差信号はフィルタ２２及びＳＰＭドライバ２３を介してスピンドルモータをＣＡＶ制御する。 - 特許庁

By using such a constitution, it is possible to attenuate the vibrations of the upper board 7 of the inertial-drive stage and observe the atomic images of SPM images.例文帳に追加

このように構成すれば、慣性駆動ステージの上盤７の振動を減衰させ、ＳＰＭ像の原子像観察が可能になる。 - 特許庁

The output value of each displacement sensor is read in the SPM controller 14 and transmitted to an operation and display means 16.例文帳に追加

また、各変位センサの出力値は、ＳＰＭコントローラ１４に取り込まれ、操作・表示手段１６に送られる。 - 特許庁

To reduce power consumption in a motor driver while keeping seek speed to drive an SPM and a VCM.例文帳に追加

ＳＰＭとＶＣＭとを駆動するのに、シーク速度を維持したまま、モータドライバでの電力損失を減らすことができるようにする。 - 特許庁

To provide a single-mode optical waveguide for removing nonlinear effect such as FWM and SPM which occur in a high-performance and high-speed system.例文帳に追加

高性能及び高速システムで生じるＦＷＭやＳＰＭといった非線形効果を除去するためのシングルモード光導波路を提供する。 - 特許庁

To remove a foreign substance lying in a recess of a sample that is observed by an SPM device.例文帳に追加

ＳＰＭ装置で観察する試料において、試料凹部にある物質を凹部外へ除去することを課題とする。 - 特許庁

To provide a substrate processor for operating treatment using mixed liquid in a high temperature such as SPM in an inexpensive configuration.例文帳に追加

安価な構成で、ＳＰＭのような高温の混合液を用いた処理を基板に施すことができる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

SPM drained from the cleaning tank 60 is made to flow into the circulation circuit 72 and sent out by the pump 73 to drain.例文帳に追加

洗浄槽６０内から排液されるＳＰＭを，循環回路７２に流入させ，ポンプ７３によって送液して排液する。 - 特許庁

In the sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture treatment chamber 1, a wafer W is subjected to sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture treatment using SPM.例文帳に追加

硫酸過水処理チャンバ１内において、ウエハＷに対して、ＳＰＭを用いた硫酸過水処理が行われる。 - 特許庁

Only when the resource possesses the access rights for the identified region, SPM permits access to the identified region.例文帳に追加

該資源が該被識別領域へのアクセス権をもっている場合のみ該被識別領域へのアクセスを許可する。 - 特許庁

Vapor generated from the SPM liquid supplied from the nozzle 3 is sucked in by the suction head 81, thereby removed from the neighborhood of the wafer W.例文帳に追加

ノズル３から供給されるＳＰＭ液から生じる蒸気は、吸引ヘッド８１によって吸引され、ウエハＷの近傍から持ち去られる。 - 特許庁

Thus, the intensity change in optical pulses transmitted through an optical fiber 102 is reduced to decrease waveform degradation due to the SPM effects.例文帳に追加

これによって、光ファイバ１０２を伝送される光パルスの強度変化が緩やかになり、ＳＰＭ効果による波形劣化が低減される。 - 特許庁

Also, in the treatment chamber 2, a moving nozzle 14 for supplying SPM to the surface of the wafer W is provided.例文帳に追加

また、処理チャンバ２内には、ウエハＷの表面にＳＰＭを供給するための移動ノズル１４が設けられている。 - 特許庁

The PWM circuit 124 stationarily rotates the SPM 11 by controlling the drive circuit 127 to which the low voltage is applied during the PWM mode.例文帳に追加

ＰＷＭ回路１２４はＰＷＭモードの期間、低電圧が印加された駆動回路１２７を制御することでＳＰＭ１１を定常回転させる。 - 特許庁

To provide a cantilever capable of changing its spring constant, according to the sample to be measured and measurement mode at SPM observation.例文帳に追加

ＳＰＭによる観察時において、測定するサンプルや測定モードに応じて、カンチレバーのバネ定数を可変できるカンチレバーを提供する - 特許庁

An SPM drive circuit 177 of the motor driver IC 17 controls the current supplied to the SPM 13 according to a control signal corresponding to the counterelectromotive voltage signal 171 in the 1st mode and a control signal corresponding to the sector mark signal 220 in the 2nd mode.例文帳に追加

モータドライバＩＣ１７のＳＰＭ駆動回路１７７は、第１のモードでは逆起電圧信号１７１に対応する制御信号に応じ、第２のモードではセクタマーク信号２２０に対応する制御信号に応じ、ＳＰＭ１３に供給する電流を制御する。 - 特許庁

A time duration after generation of an SPM processing solution until the generation of a new SPM processing solution is divided into two time bands (a first time zone TZ1 and a second time zone TZ2), and a monitor interval for accumulation is individually set for each of first and second monitor intervals TI1 and TI2.例文帳に追加

ＳＰＭ処理液が生成されてから新たなＳＰＭ処理液を生成するまでの間を二つの時間帯（第１の時間帯ＴＺ１、第２の時間帯ＴＺ２）に区切り、積算するための監視間隔がそれぞれ第１の監視間隔ＴＩ１と第２の監視間隔ＴＩ２との個別に設定されている。 - 特許庁

Since the adsorbent can collect SPM by bringing an SPM-containing polluted air into contact therewith, it, unlike a filter, need not be formed in the state interrupting the flow of air, causes a lowered pressure loss upon the pass of the polluted air, and necessitates less dependency on power.例文帳に追加

また吸着材であれば、ＳＰＭを含む汚染空気を接触させることでＳＰＭを捕集することが可能であり、フィルターのように空気の流れを遮るが如き状態で設ける必要がなく、汚染空気が通過するときの圧力損失を低減することができ、動力に依存する必要が少なくできる。 - 特許庁

To provide an SPM sensor which is provided with a holding part, a cantilever and a sensor tip, in which the sensor tip protrudes from a face of the cantilever at a free end part of the cantilever and in which the cantilever and the three-face sensor tip are composed of single-crystal (100) silicon and to provide a method of manufacturing the SPM sensor.例文帳に追加

保持部、片持ちばりおよびセンサーチップを備え、このセンサーチップは片持ちばりの自由端部で片持ちばりの面から突出し、片持ちばりと三面センサーチップが単結晶（１００）−シリコンより成るＳＰＭセンサーの提供、およびこのセンサーを生産するための製造法の提供。 - 特許庁

By supplying the jet stream of liquid droplets from the two-fluid nozzle 13 to the surface of the wafer W, after damaging a cured layer of the surface of the resist, the SPM of high temperature is supplied from the SPM nozzle 12 to the surface of the wafer W, and the resist is separated from the surface of the wafer W.例文帳に追加

二流体ノズル１３からウエハＷの表面に液滴の噴流が供給されることにより、レジストの表面の硬化層が破壊された後、ＳＰＭノズル１２からウエハＷの表面に高温のＳＰＭが供給されて、ウエハＷの表面からレジストが剥離される。 - 特許庁

If the liquid temperature of the SPM flowing through the first supply piping 13 is less than the predetermined reference temperature, the second switching valve 25 is opened and the first switching valve 20 is closed, and the SPM flows into the second supply piping 24 in a midway point of the first supply piping 13.例文帳に追加

第１供給配管１３を流れるＳＰＭの液温が予め定める基準温度未満であれば、第２切替バルブ２５が開かれ、第１切替バルブ２０が閉じられて、ＳＰＭは、第１供給配管１３の途中から第２供給配管２４に流れ込む。 - 特許庁

To provide a probe position control method which enables more accurate observation or operation by correcting the change of the relative position of a sample and a probe during observation or operation in a scanning type probe microscope (SPM) or an atomic manipulator (operation) by excluding the effect of a heat drift or the like, and a probe position control device.例文帳に追加

熱ドリフト等の影響を排除し、走査型プローブ顕微鏡(SPM)や原子マニピュレータ(操作)装置において、その観察又は操作の間に試料とプローブの相対位置が熱により変化するのを補正して、より正確な観察又は操作を可能にする位置制御方法及び装置を提供すること。 - 特許庁

The sulfuric acid and the oxygenated water are mixed and made to react so that SPM can be generated on the surface of the wafer, and the temperature of the SPM is increased to such a high temperature that the resist of the surface of the wafer can be satisfactorily peeled by using reaction heat of formation at that time.例文帳に追加

これにより、ウエハの表面上で、硫酸と過酸化水素水とが混じり合って反応することによってＳＰＭが生成され、このときの反応生成熱を利用して、そのＳＰＭがウエハ表面のレジストを良好に剥離可能な高温に昇温される。 - 特許庁

According to information about revolver holes 1 to 5 and mounted positions of the objective lenses 5-1, 5-2, 5-3, 5-5, and SPM unit 5-4 mounted on the corresponding revolver holes 1 to 5, the rotation of the revolver 4 is controlled in the direction of rotation where the SPM unit 5-4 does not come into contact with a housing 1.例文帳に追加

各レボルバ穴「１」〜「５」とこれらレボルバ穴「１」〜「５」に取り付けられた各対物レンズ５−１、５−２、５−３、５−５及びＳＰＭユニット５−４との各取り付け位置の情報に従ってＳＰＭユニット５−４が筐体１に接触しない回転方向にレボルバ４を回転制御する。 - 特許庁

Therefore, it becomes possible to measure the mutual reaction between the sample surface and the probe 12 by detecting the amount of flexion of the SPM probe by the piezo resistor 20, and it also becomes possible to measure the surface potential of the sample surface without using a detector which requires complicated location adjustments.例文帳に追加

よって、ピエゾ抵抗体によるSPMプローブの撓み量検出による試料表面と探針との間の相互作用の計測が可能になるとともに、試料表面の表面電位の計測を、煩雑な位置調整を必要とする検出器を使用せずに可能となる。 - 特許庁

The control unit 57 changes the number of reciprocative SPM scanning times, decided by a recipe to the number of the reciprocating SPM scanning times corresponding to the data given from the data comparator 63, and controls the process performed by means of a chemical cleaner 13 in accordance with the recipe after being changed.例文帳に追加

洗浄制御部５７は、レシピで定められているＳＰＭ往復スキャン回数を、データ比較部６３から与えられたデータに応じたＳＰＭ往復スキャン回数に変更し、その変更後のレシピに従って、薬液洗浄部１３における処理のための制御を行う。 - 特許庁

Since the hardened layer of the front surface of the resist has been broken, the SPM can permeate into the inside of the resist through a broken part of the hardened layer, and the resist can be peeled together with the hardened layer from the front surface of the wafer W by a chemical action of the SPM and can be removed.例文帳に追加

レジストの表面の硬化層が破壊されているので、その硬化層の破壊された部分からレジストの内部にＳＰＭを浸透させることができ、ＳＰＭの化学的な力により、レジストをウエハＷの表面から硬化層ごと剥離させて除去することができる。 - 特許庁

After a hardening layer on the surface of the resist is broken by the mixture fluid supplied from the two-fluid nozzle 13 to the surface of the wafer W, a high temperature SPM is supplied from the SPM nozzle 12 to the surface of the wafer W, resulting in resist peel-off from the surface of the wafer W.例文帳に追加

二流体ノズル１３からウエハＷの表面に混合流体が供給されることにより、レジストの表面の硬化層が破壊された後、ＳＰＭノズル１２からウエハＷの表面に高温のＳＰＭが供給されて、ウエハＷの表面からレジストが剥離される。 - 特許庁

Plural processors execute different operating systems, and a system protection map (SPM) defines a pair of address space region in the address space of a memory subsystem, assigns a resource access rights, for at least a part of the pair of address space regions, and displays which originating resource can be made to access each region.例文帳に追加

複数のプロセッサは別のオペレーティングシステムを実行し、システム保護マップ（SPM）は、メモリサブシステムのアドレス空間内の１組のアドレス空間領域を定義し、該１組の領域の少なくとも一部に資源アクセス権を割り当て、どの発信者資源が各領域にアクセス可能か表示する。 - 特許庁

To provide a semiconductor manufacturing method and device for suppressing the excess generation of dilution heat at the time of mixing SPM chemical and the fluctuation of a chemical volume and chemical rate, and for carrying out SPM peeling treatment of a treated film with satisfactory stability.例文帳に追加

ＳＰＭ薬液混合時の希釈熱の過剰発生及び薬液容積、薬液比率の変動を抑え、安定性良く被処理膜のＳＰＭ剥離処理を行うことが可能な半導体製造方法及び半導体製造装置を提供する。 - 特許庁

When the hardened layer of the front surface of the resist is broken, the SPM can permeate into the inside of the resist through a broken part of the hardened layer, and the resist can be peeled together with the hardened layer from the front surface of the wafer W by a chemical action of the SPM and can be removed.例文帳に追加

レジストの表面の硬化層が破壊されると、その破壊された部分からレジストの内部にＳＰＭを浸透させることができ、そのＳＰＭの化学的な力により、レジストをウエハＷの表面から硬化層ごと剥離させて除去することができる。 - 特許庁

The use of an adsorbent as a means for collecting SPM makes it possible to efficiently collect by collecting SPM on the adsorbent and to easily recover a collection performance by exchanging or adding the adsorbent when the collection performance is lowered.例文帳に追加

ＳＰＭの捕集手段に吸着材を用いることで、吸着材にＳＰＭを捕集させて効率的なＳＰＭの捕集ができると共に、捕集性能が低下した場合には吸着材を交換するか、又は追加することで容易に捕集性能を回復させることができる。 - 特許庁

To provide an optical wavelength multiplex transmission system that can set dispersion (group-velocity dispersion) caused by a difference in a propagation time through optical fibers through which optical signals with different wavelengths pass to a value is made small because an interaction (SPM-GVD effect) between a self-phase modulation effect and the group-velocity dispersion causes deterioration in transmission waveforms in optical fibers.例文帳に追加

光ファイバ中では、自己位相変調効果と群速度分散との相互作用(SPM-GVD効果)により伝送波形劣化が生じるため、異なる波長の信号光の光ファイバにおける伝搬時間が異なることによって生ずる分散（群速度分散）値はできるだけ小さい値に設定する。 - 特許庁

A card 1 is provided with a PCMCIA interface 13 to be connected to the PC, a UART 112 and an SPM 111 which are connected to the interface 13, and a CPU 121 connected with the UART 112 and the SPM 111.例文帳に追加

カード１には、ＰＣと接続されるＰＣＭＣＩＡインターフェイス１３と、ＰＣＭＣＩＡインターフェイス１３と接続されたＵＡＲＴ１１２およびＳＰＭ１１１と、ＵＡＲＴ１１２およびＳＰＭ１１１と接続されたＣＰＵ１２１とが備えられている。 - 特許庁

To quickly perform updating operation during program revising at a low cost when the function of a system provided with a SPM (system program data memory) is expanded to make controllers integral multiple about the SPM access system in a system composed of a plurality of controllers.例文帳に追加

本発明は複数の制御装置からなるシステムにおけるシステムプログラムデータメモリ（ＳＰＭ）アクセス方式に関し，ＳＰＭを備えたシステムの機能を拡張して制御装置を整数倍した場合に低コストでプログラムの改版時の更新動作を迅速に行うことを目的とする。 - 特許庁

This device comprises: an SPM nozzle 12 for supplying SPM acting as resist separation agent to the surface of a wafer W held by a spin chuck 11; and a two-fluid nozzle 13 for supplying jet stream of drops generated by mixing heated purified water and heated nitrogen gas to the surface of the wafer W held by the spin chuck 11.例文帳に追加

スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面にレジスト剥離液としてのＳＰＭを供給するためのＳＰＭノズル１２と、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面に加熱された純水と加熱された窒素ガスとを混合して生成される液滴の噴流を供給するための二流体ノズル１３とが備えられている。 - 特許庁

To reduce granular materials floating in the air, SPM in the air by adsorbing so called SPM and to dispense with electric supply to an electric source or filter exchange such as an electrostatic precipitation system or soil adsorption system, and impart an adsorption function not limiting application positions or application environment such as a photocatalyst cleaning system.例文帳に追加

大気中に浮遊する粒子状物質、いわゆるＳＰＭを吸着して大気中のＳＰＭを減少させ、大気環境を改善するようにするに際し、電気集塵機方式や土壌吸着方式のように動力源への電力供給やフィルター交換などを不要とし、また光触媒浄化方式のように適用箇所や適用環境を限定されない吸着機能を有した舗装道路とすること。 - 特許庁

This substrate treatment apparatus has an SPM nozzle 12 for supplying SPM as a resist peel-off liquid to the surface of a wafer W held with a spin chuck 11 and a two-fluid nozzle 13 for supplying a mixture fluid obtained by mixing the organic solvent and nitrogen gas to the surface of the wafer W held with the spin chuck 11.例文帳に追加

スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面にレジスト剥離液としてのＳＰＭを供給するためのＳＰＭノズル１２と、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面に有機溶剤と窒素ガスとを混合して得られる混合流体を供給するための二流体ノズル１３とが備えられている。 - 特許庁