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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > density pattern methodに関連した英語例文

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density pattern methodの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 284



例文

To provide a method of manufacturing a photomask that deals with deterioration in positional accuracy due to generation of a drift where drawn pattern density changes largely when the photomask is drawn with an electron beam.例文帳に追加

フォトマスクを電子線描画するときに、描画パターン密度の変化の大きいところでのドリフトが生じ位置精度が悪化することに対応するフォトマスクの作製方法を提供する。 - 特許庁

To provide a probe unit capable of precisely and efficiently performing an inspection even to a pattern aligned with high density, an inspection device, an inspection method of electro-optical panel board, and a manufacturing method of electro-optical apparatus.例文帳に追加

高密度に配列されたパターンに対しても高精度且つ効率的に検査を行うことのできるプローブユニット、検査装置、電気光学パネル基板の検査方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a fine pattern for mass-producing the highly precise pattern of high density with high positional accuracy on a board having flexibility, such as an insulating board with copper foil, which is used for a flexible wiring board, and to provide the printed wiring board using the manufacturing method, and to provide the manufacturing method of the printed wiring board.例文帳に追加

本発明は、フレキシブル配線板に用いるような銅箔付絶縁性基板等の可撓性を有する基板に対して、高精度で高密度な微細パターンを高い位置精度で量産できる微細パターンの製造方法、それを用いたプリント配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a high-recording density recording medium having a minute recording pattern and a servo pattern, by which a mold and the recording medium can be manufactured in a short time, while preventing defects generation.例文帳に追加

微細な記録パターンおよびサーボパターンを有する記録密度の高い記録媒体の作製方法において、モールドの形成および記録媒体の作製を短時間でかつ欠陥の発生の防止を可能とする記録媒体の作製方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a ceramic package and its manufacturing method capable of improving breaking performance by dispersing a plating pull wiring pattern layer, relieving wiring density, preventing a short circuit and forming a division groove without cutting the wiring pattern.例文帳に追加

めっき引き回し配線パターンの層を分散させて配線密度を緩和させショートを防止し、めっき引き回し配線パターンを切断することなく分割用の溝を形成し、ブレイク性を向上できるセラミックパッケージ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁


例文

To provide a substrate for a semiconductor device which is thin and has a high-density wiring pattern, and its manufacturing method in which a wiring pattern connecting part can be further microfabricated without using a facility such as a laser working apparatus for forming via holes.例文帳に追加

レーザー加工装置などのビアを形成するための設備を用いずに、配線パターンの接続部の更なる微細化を可能とした、薄型で高密度な配線パターンを有する半導体装置用基板及び製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a low-cost printed substrate and a method of mounting an electric component thereon which can enhance transfer speed of a signal pattern and reduce noise while maintaining high density in electric component mounting and in conductive pattern design.例文帳に追加

本発明の課題は、電気部品実装、導電パターン設計の高密度化を維持すると共に信号パターンの伝達速度の高速化、低ノイズ化を可能とする安価なプリント基板及びその電気部品実装方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a silicon wafer having the effective density and size of a BMD for preventing the dislocation of a pattern by restraining slip dislocation caused in a particularly controversial device heat treatment process accompanied by the fining of a device wiring pattern, and to provide a method for manufacturing the silicon wafer.例文帳に追加

デバイス配線パターンの微細化に伴い特に問題視されるデバイス熱処理工程で発生するスリップ転位を抑制し、パターンずれを防止するために効果的なBMDの密度とサイズを有するシリコンウェーハとその製造方法を提供する。 - 特許庁

To allow a user to customize a recognizing dictionary by finely adapting to an original business environment in a pattern recognizing device, a method, a program, and a recording medium for recognizing a pattern on the basis of a value of a probability density function defined with every category in a characteristic vector space of the pattern.例文帳に追加

本発明はパターンの特徴ベクトル空間においてカテゴリ毎に定義された確率密度関数の値に基づいて認識を行うパターン認識装置,方法,プログラム及び記録媒体に関し,ユーザが独自の業務環境により細やかに適応して認識辞書をカスタマイズすることを目的とする。 - 特許庁

例文

To provide a developer for circuit formation which achieves sharpness of line edges of a circuit pattern, narrowing of the minimum line width of the circuit pattern, image density capable of imparting satisfactory conductivity to the circuit pattern, and perfect prevention of toner scattering by an electrophotographic process, and to provide a circuit forming method using the same.例文帳に追加

本発明は、電子写真法により、回路パターンのラインエッジのシャープさ、回路パターンの最少ライン幅の狭幅化、回路パターンに十分な導電性を付与し得る画像濃度、トナー飛散の完全防止を実現する回路形成用現像剤及びそれを用いた回路形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

例文

A manufacturing method of a gray scale mask having a variable density pattern corresponding to change of optical transmissivity has a step of forming a dry plate 430 by applying a photoemulsion onto a transparent substrate and a step of irradiating the dry plate 430 with laser beams which are subjected to a plurality of gradations of intensity modulation corresponding to the variable density pattern.例文帳に追加

本発明に係るグレイスケールマスクの製造方法は、光透過率の変化に対応した濃淡模様を有するグレイスケールマスクの製造方法であって、透明基板上にフォトエマルジョンを塗布して乾板を形成するステップと、濃淡模様に対応して複数階調の強度変調を行ったレーザー光を乾板に照射するステップと、を備える。 - 特許庁

A manufacturing method of a grayscale mask having a variable density pattern corresponding to change of optical transmissivity has a step of forming a dry plate by applying a photoemulsion onto a transparent substrate and a step of irradiating the dry plate with laser beams which are subjected to a plurality of gradations of intensity modulation corresponding to the variable density pattern.例文帳に追加

本発明に係るグレイスケールマスクの製造方法は、光透過率の変化に対応した濃淡模様を有するグレイスケールマスクの製造方法であって、透明基板上にフォトエマルジョンを塗布して乾板を形成するステップと、濃淡模様に対応して複数階調の強度変調を行ったレーザー光を乾板に照射するステップと、を備える。 - 特許庁

Gradation correction by a method of gradation correction for laser scanning exposure is performed on the basis of measured density values of a test print including a horizontal stripe test pattern comprising horizontal line groups extending in a main scanning direction and a vertical stripe test pattern comprising vertical line groups extending in a sub scanning direction.例文帳に追加

主走査方向に延びる横ライン群からなる横縞テストパターン及び副走査方向に延びる縦ライン群からなる縦縞テストパターンを有するテストプリントの測定濃度値に基づいて、レーザ走査露光のための階調補正方法階調補正が行われる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a photomask by which not only correction for the light proximity effect caused in a region within several μm range but correction for the density of a pattern in a larger region can be carried out to correct the pattern profile of a photomask.例文帳に追加

フォトマスクのパターン形状を補正する際に、数μmの領域内で生じる光近接効果などに対する補正だけでなく、より広い領域内で生じるパターンの疎密に対する補正も行うことができるフォトマスクの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a magnetic recording medium which significantly increases a recording density while performing smoothing of a magnetic layer having a sharp magnetic recording pattern, and minimizes cohesive force and residual magnetization in an area between magnetic recording pattern parts.例文帳に追加

鮮明な磁気記録パターンを有する磁性層の平滑化プロセスを高速で行いつつ、記録密度を大幅に増加させ、また磁気記録パターン部間領域の保磁力、残留磁化を極限まで低減できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for adjusting an image forming position by which an image forming position is automatically adjusted at high speed only by printing a pattern for alignment once and measuring the average density thereof, and to provide a color image forming apparatus using the method.例文帳に追加

位置合わせ用パターンを一度印字してその平均濃度を測定するだけで画像形成位置の高速な自動調整が可能な画像形成位置調整方法及びそれを用いたカラー画像形成装置を提供する。 - 特許庁

To provide an tint block image generating method generating a tint block image in which a camouflage pattern is duplicated clearly even in a latent image area in which comparatively large dots are arranged in low density.例文帳に追加

比較的大きいドットを低密度で配置する潜像領域においても、カモフラージュパターンが明確に再現される地紋画像を生成することのできる地紋画像生成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a reflective liquid crystal display panel by which a level difference in film thickness caused by difference in pattern density in CMP of an interlayer insulating film can be decreased.例文帳に追加

層間絶縁膜のCMPでパターン密度差起因により発生する膜厚段差を低減することができる反射型液晶表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a low-temperature baked laminated ceramics substrate capable of providing a high-density and low-resistance-loss wiring pattern with a simple manufacturing process, and small in time required for processing; and its manufacturing method.例文帳に追加

簡単な製造工程で、処理に要する時間が短く、高密度且つ低抵抗損失の配線パターンが実現できる低温焼成積層セラミックス基板およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a silver halide photographic sensitive material giving high image quality and high image density, having high safety to safelight, and capable of reproducing a faithful image pattern; and to provide an image forming method.例文帳に追加

高画質で、高い画像濃度が得られ、かつセーフライトに対する安全性が高く、忠実な画像パターンの再現が可能なハロゲン化銀写真感光材料および画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a printed wiring board by which even a substrate having a micro copper pattern with high density of L/S=50/50 μm or less can be selectively plated by nonelectrolytic metal.例文帳に追加

L/S=50/50μm以下の高密度な微細銅パターンを有する基板であっても、選択的に無電解金属めっき処理を行うことのできるプリント配線板の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a plating method capable of obtaining a fine and thick plated film pattern of high density and uniform film thickness which is necessary for a front plate member for a field emission type display over a large area.例文帳に追加

電界放出型ディスプレイ用前面板部材として必要な、大面積にわたって均一な膜厚で微細で高密度の厚いめっき膜パタ−ンを得るめっき方法を提供することである。 - 特許庁

The manufacturing method for the inner packaging material comprises laminating the low-density paper containing the foamed particle in the pulp fibrous layer on the support, then applying a recording layer on the low-density paper, drying it, forming an irregularity pattern by profiling working, and recording the image.例文帳に追加

また、パルプ繊維層に発泡体粒子を含有する低密度紙と、支持体とを貼り合せ、次に、低密度紙上に記録層を塗布乾燥して設け、型付け加工により凹凸模様を形成した後、画像の記録を行なうことを特徴とする内装材の製造方法である。 - 特許庁

To provide a multiwire board, wherein since there is no need for increasing the number of layers of a wiring layer, while coping with increase in the density of a power supply wiring pattern, is able to attain increased density as a whole, and reduce the man-hours and material cost, and to provide a method for manufacturing the multiwire board.例文帳に追加

電源配線パターンの高密度化に対応しつつも、布線層の層数を増加させる必要はないため、全体として高密度化を図ることが可能で、工数や材料コストを抑制することが可能なマルチワイヤ配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The correction method includes the steps of recording a predetermined gradation image as a test pattern on an object recording medium for the image to be printed and on a recording medium for correction of the nonuniformities in density respectively; producing data reflecting the correlation from the results of read images on both of the mediums; and producing a correction table for the nonuniformities in density based on the data.例文帳に追加

画像印字対象の記録媒体と、濃度むら補正用の記録媒体の夫々に対して、テストパターンである所定の階調画像を記録し、それぞれを読み取った結果から、相関関係を考慮したデータ類を作成し、これを用いて濃度むら補正用テーブルを作成する。 - 特許庁

To provide encapsulated particles for static charge image development which is capable of print a wiring pattern with high density and high accuracy by electrostatic recording method or electrophotography, and is capable of forming a conductive patter with high accuracy and low resistance without vacant space and fault, and to provide a manufacturing method of the same and conductive wiring pattern forming method using above encapsulated particle.例文帳に追加

静電記録方式あるいは電子写真法により高密度かつ高精度の配線パターンの印刷が可能であり、空隙や欠陥等のない高精度、かつ低抵抗の導電性パターンを形成することが可能な静電荷現像用カプセル化粒子及びその製造方法、及びそれを用いた導電性配線パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of fabricating a substrate with a high density and high reliability, by forming a resist pattern through coating of a photosensitive material on an electroless copper plating layer, exposure to light and development, and then preparing a bump pad by pulse plating and direct current plating of the resist pattern.例文帳に追加

無電解銅鍍金層に感光材を塗布した後に露光現像してレジストパターンを形成してパルス鍍金と直流鍍金をしてバンプパッドを形成させることにより高密度で高信頼性の基板を製造するフリップチップバンプパッド形成方法及びその構造に関する。 - 特許庁

To provide a method for generating a pattern, with which a border line does not appear by continuing arranged generated patterns when generated patterns are arranged in the same direction or generated patterns are repeatedly arranged while being rotated at 180°, similar to an original pattern, with which a density cooccurrence matrix is calculated.例文帳に追加

濃度共起行列を算出した元の模様に類似で、かつ、生成模様を同一方向に並べたとき、または、生成模様を180回転しながら繰り返し並べたとき、並べた生成模様が連続し境界線が現れない模様の生成方法を提供する。 - 特許庁

To decrease uneven resolution and density caused by errors in relative positions of drawing heads and installation angles thereof and by influences of pattern distortion or the like in an image drawing apparatus and an image drawing method for forming a desired two-dimensional pattern on a drawing surface by using a plurality of drawing heads.例文帳に追加

複数の描画ヘッドを用いて所望の2次元パターンを描画面上に形成する描画装置および描画方法において、描画ヘッド間の相対位置および相対取付角度の誤差や、パターン歪み等の影響による、解像性や濃度のむらを軽減する。 - 特許庁

To provide a thermoelectric conversion device obtaining a high electromotive force by improving density of a pattern implementation facing a heat generation source in the thermoelectric conversion device in which a pattern consisting of a thermoelectric conversion material implemented on a substrate, and a method of manufacturing the thermoelectric conversion device.例文帳に追加

熱電変換材料からなるパターンが基板に実装されてなる熱電変換装置において、熱発生源に対向するパターン実装密度を向上させ、高い起電力を得る熱電変換装置および熱電変換装置の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

This method for producing the sheet-like article having the pattern includes ejecting a fluid on the surface of a grinding material when napping the sheet-like article, and forming the pattern on the surface of the sheet-like article by changing the density of the surface of the grinding material.例文帳に追加

本発明の模様を有するシート状物の製造方法は、シート状物を立毛化するに際し研削材の表面に流体を噴射し、研削材表面の目詰まりを変化させることによりシート状物の表面に模様が形成されることを特徴とするものである。 - 特許庁

To provide a carrier and printed circuit board manufacturing method capable of forming a circuit pattern on each of pair of mold release layers in one process and transferring it on each side of an insulating substrate, thereby shortening manufacturing processes to form the high-density circuit pattern.例文帳に追加

一対の離型層各々に一度の工程で回路パターンを形成することができ、これを絶縁基板の両面に転写することにより、製造工程を短縮することができ、高密度の回路パターンを形成することができるキャリア及び印刷回路基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a silicone device, which is capable of highly accurately forming a thin film pattern on a silicone substrate, and a manufacturing method of an ink jet recording head, which is capable of forming a piezo-electric element consisting of thin films with high density and high accuracy.例文帳に追加

シリコン基板上に薄膜パターンを高精度に形成することができるシリコンデバイスの製造方法及び薄膜からなる圧電素子を高密度且つ高精度に形成することのできるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a magnetic recording medium which can be manufactured by a simple method and has high recording density and peeling resistance and whose film thickness and pattern are easily controlled, to provide its manufacturing method and to provide a magnetic recording and reading device using the same.例文帳に追加

簡単な方法で製造することができ、高い記録密度と耐剥離性とを兼ね備え、かつ膜厚およびパターン制御が容易な磁気記録媒体およびその製造方法ならびにそれを用いた磁気記録読取装置を提供する - 特許庁

To provide a manufacturing method of a silicone device, which is capable of highly accurately forming a thin film pattern on a silicone substrate, and a manufacturing method of an ink jet recording head, which is capable of forming a piezo-electric element consisting of a thin film with high density and high accuracy.例文帳に追加

シリコン基板上に薄膜パターンを高精度に形成することができるシリコンデバイスの製造方法及び薄膜からなる圧電素子を高密度且つ高精度に形成することのできるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a lamination wiring board which enables high density pattern formation and its manufacturing method by making charging of a via hole easy when an interlayer connection structure, wherein the thickness of an insulation layer is relatively large, is formed.例文帳に追加

絶縁層の厚さが比較的大きい層間接続構造を形成する際のビアホールの充填を容易にし,高密度なパターン形成ができる積層配線板およびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a packaging method which can prevent an electric interference without using electric shield wiring and effectively solve heavy density between respective gold wirings, difficulty of interconnect line, complication of a circuit pattern, and package difficulty.例文帳に追加

電気的シールド配線を使用せずに、電気的干渉を阻止でき、各金線間の過密な密度や、配線の難度、回路パターンの複雑化、およびパッケージ難度を効果的に解決できるパッケージ方法を提供する。 - 特許庁

The data imbedding device selects a plurality of rectangular ranges (cells) for a block on the basis of a density pattern method for imbedding an electronic watermark to a binary image and imbeds data in the unit of blocks so as to imbed many more data to the binary image.例文帳に追加

データ埋め込み装置は、2値画像に電子透かし埋め込みを行う濃度パターン法を基礎に、複数の矩形範囲(セル)をブロックとして、このブロック単位にデータを埋め込むことにより、より多くのデータを埋め込む。 - 特許庁

To provide a manufacturing method which can reduce a manufacturing cost by increasing arrangement density of circuit pattern parts constituting a circuit board, as compared with the conventional case, in a manufacturing process for isolating the circuit board from an original board.例文帳に追加

元基板から回路基板を分離する製造工程において回路基板を構成する回路パターン部の配列密度を従来よりも高めることにより、製造コストを低減できる製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a mask for mask ROM as well as manufacturing method for mask ROM, wherein the variation in size of a resist opening part caused by difference in density of an ROM pattern is controlled to provide a sufficient work margin.例文帳に追加

ROMパターンの疎密によるレジスト開口部の大きさのばらつきを制御し、十分な加工マージンを得ることができるマスクROM用マスクと、これを用いたマスクROMの製造方法を提供すること - 特許庁

In the transfer method for a laser printer 90 in which electrostatic latent images formed on plural photoreceptor drums are made an image pattern with developer from a developing unit and the image pattern P is transferred to an intermediate transfer belt 4, the transfer starting position of the image pattern P to the belt 4 is made different according to the transfer number and the image density of the image pattern P transferred to the belt 4.例文帳に追加

複数の感光体ドラムに形成される静電潜像を、現像ユニットからの現像剤により画像パターン化し、この画像パターンPを中間転写ベルト4に転写するレーザプリンタ90における転写方法において、中間転写ベルト4に転写される画像パターンPの転写数と画像密度とによって、中間転写ベルト4に対する画像パターンPの転写開始位置を異ならせる。 - 特許庁

The printed circuit substrate and method of manufacturing the same according to the present invention relate to a printed circuit substrate including an insulating layer, and a circuit pattern disposed on the insulating layer and a barrier layer that is disposed to cover at least one surface of the circuit pattern and suppresses electrochemical migration from the circuit pattern, thereby making it possible to achieve high-density besides securing reliability, and relate to the method of manufacturing the same.例文帳に追加

本発明による印刷回路基板およびその製造方法は、絶縁層及び前記絶縁層に配置された回路パターンと前記回路パターンの少なくとも一面を覆うように配置されて前記回路パターンから電気化学的マイグレーション(electrochemical migration)を抑制するバリア層を含んで、信頼性を確保するだけではなく、高密度化を実現することができる印刷回路基板及びその製造方法に関する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a high-density printed circuit board by applying a strippable adhesive layer on a reinforced substrate (rigid substrate or carrier film) used as a base substrate, forming a metal foil on the adhesive layer by means of plating, lamination, or sputtering, and forming a high-density circuit on the metal foil serving as a seed layer by means of pattern plating.例文帳に追加

ベース基板として使用する補強用基材(リジッド基板またはキャリアフィルム)上に剥離可能な接着層を塗布し、接着層上にメッキ、積層またはスパッタリング金属薄膜を形成し、形成された金属薄膜をシード層としパターンメッキで高密度回路を形成する高密度基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To supply a construction method in which laminating-bonding is easily performed even a circuit board having a high-density and fine wiring pattern, and a build-up circuit board, by resolving connection failure caused by dimensional position accuracy generated by connection between circuit boards in the case of building up, even when a wiring width is narrow and wiring density increases on a substrate.例文帳に追加

配線幅が細くなり、基板上の配線密度がアップしても、ビルドアップの際の回路基板間の接続で発生する寸法位置精度から生じる接続不良を解消し、高密度微細な配線パターンを持つ回路基板でも容易に積層貼りあわせが可能である工法とビルドアップ回路基板を供給する。 - 特許庁

To provide a pattern forming method by which fine patterning with a metal oxide can directly be carried out on a substrate by treatment at ordinary temperature or treatment at a relatively low temperature and to inexpensively provide various high density electronic devices having a high degree of integration, a high functional optical element and a photocatalytic member to markets by utilizing the pattern forming method.例文帳に追加

常温処理或いは比較的低温での処理により基板上に直接金属酸化物による微細形状のパターニングを行うことを可能としたパターン形成方法を提供し、また、このパターン形成方法を利用することで、高密度、高集積度の各種電子デバイス、高機能の光学素子、光触媒性部材を安価に市場に提供する。 - 特許庁

To provide a double surface treatment method of a substrate increasing adhesive strength between metal ink and the substrate and forming a micro-wiring pattern of high density by reducing spread of ink, and to provide a surface-treated substrate by the method.例文帳に追加

金属インクと基板との間の接着力を向上させることができ、かつインクの広がりを低減して高密度の微細配線パターンを形成することができる、基板の二重表面処理方法及びこの方法により表面処理された基板を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition excellent in photosensitivity, resolution, adhesion, mechanical strength and flexibility, and useful to increase the density and resolution of a printed circuit, a photosensitive element using the composition, a method for producing a resist pattern and a method for producing a printed circuit board.例文帳に追加

光感度、解像度、密着性、機械強度及び柔軟性が優れ、プリント配線の高密度化及び高解像化に有用である感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供すること。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition excellent in adhesion and resolution and suppressing the generation of scum and a photosensitive element useful for increasing the density of a printed wiring board, to provide a method for producing a resist pattern and to obtain a printed wiring board.例文帳に追加

密着性、解像度に優れ、かつスカムの発生を抑える感光性樹脂組成物を提供し、さらにプリント配線板の高密度化に有用な感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板を得る。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a printed board and a printed board by which when a thick copper circuit pattern of, for example, 70 μm or more in thickness is formed, a high-density current is not used to achieve a uniformed film thickness distribution.例文帳に追加

例えば70μm以上の厚銅回路パターンを形成する際に、高い電流密度を用いることなく、したがって膜厚分布を揃えることができるプリント基板の製造方法及びプリント基板を提供する。 - 特許庁

例文

This is a resist pattern surface modifying method to radiate either an ionizing radiation ray or a far-ultraviolet ray to the resist layer after forming asperities to increase the carbon-carbon bonding density at least on the outermost surface of the resist layer.例文帳に追加

凹凸パターン形成後のレジスト層に電離性放射線及び遠紫外光のいずれかを照射し、該レジスト層の少なくとも最表面部分の炭素−炭素結合密度を増加させるレジストパターンの表面改質方法である。 - 特許庁




  
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