| 例文 |
phase defectsの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 75件
To accurately detect defects or classify defects with respect to inspecting defects in a halftone phase shift mask.例文帳に追加
ハーフトーン型の位相シフトマスクの欠陥検査に対して、欠陥検出や欠陥分類をより的確に行えるようにする。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a mask blank substrate for decreasing minute projection defects resulting in phase defects or decreasing minute recess defects which induce decrease in transmitted light quantity.例文帳に追加
位相欠陥となる微小な凸欠陥や、透過光量の低下を引き起こす微小な凹欠陥を低減できるマスクブランク用基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for a halftone type phase shift mask in which black defects of a light shield layer are removed and black defects in a phase shift layer are not generated and transmissivity is not deduced due to gallium stain and phase difference due to decrease in thickness of a phase shift layer pattern is not varied.例文帳に追加
遮光層の黒欠陥は除去され、位相シフト層の黒欠陥は発生させず、ガリウムステインによる透過率の低下、位相シフト層パターンの厚みの低下による位相差の変化のないハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。 - 特許庁
To surely discriminate a three-phase short circuit accident or a two- phase short circuit accident, eliminating the defects of a conventional method of detecting the short circuit accident of a heavy load power system from the current with reverse phase.例文帳に追加
重負荷電力系統の短絡事故を逆相分電流から検出するのでは、3相短絡事故や2相短絡事故を確実に判別できない。 - 特許庁
To provide a retardation substrate, including a phase difference layer, which hardly causes alignment defects, and has uniform phase difference and excellent film thickness.例文帳に追加
配向欠陥が発生しにくく、均一な位相差を有し、膜厚の均一性に優れた位相差層を備えたリターデイション基板を提供する。 - 特許庁
To provide various methods which eliminate printable alternate phase shift defects from an alternate phase shift mask without the need for using a trim mask.例文帳に追加
トリム・マスクを使用する必要なしに交互位相シフト・マスクから印刷可能交互位相シフト欠陥をなくす様々な方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a phase difference defect inspection device which easily discriminates and detects the residual defect of a phase shifter and the surface flaw defect of a glass substrate from another defects, such as foreign matter (light shielding) defects.例文帳に追加
位相シフターの残存欠陥及びガラス基板の表面傷欠陥を異物(遮光)欠陥等の他の欠陥と区別して検出することを簡便に行なう位相差欠陥検査装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a method for producing a Levenson type phase shift mask having excellent resolution and free of defects.例文帳に追加
解像性に優れた欠陥のないレベンソン型位相シフトマスクの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a photoresist capable of phase conversion of a surface by which occurrence of defects on a semiconductor substrate is prevented.例文帳に追加
半導体基板の欠陥が発生することを防ぐ表面の交換が可能なフォトレジストを提供する。 - 特許庁
A phase-change substance layer pattern, which the HARS is fully filled through an in-situ reflow mechanism without defects, is formed.例文帳に追加
インサイチュリフローメカニズムを通じてHARSを欠陥なく充分に満たす相変化物質層パターンを形成する。 - 特許庁
Consequently, the densities of crystal defects in the vicinities of the recesses 11 after the metal organic vapor phase epitaxy is performed can be reduced.例文帳に追加
その結果、有機金属気相成長後の凹部11の近傍の結晶欠陥密度を低減することができる。 - 特許庁
By heat treating the sintered body at 685°C or lower after sintered, a planar structure (lattice defects) in the sintered phase is reduced.例文帳に追加
焼結後、685℃以下で焼結体を熱処理することで、焼結相中の板状組織(格子欠陥)を減少させる。 - 特許庁
To provide a method for producing a Levenson type phase shift mask having excellent balance of quantity of transmitted light and free of defects.例文帳に追加
透過光量バランスに優れた欠陥のないレベンソン型位相シフトマスクの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a method for producing a halftone phase shift mask blank having small unevenness in transmittance, few defects and stable quality.例文帳に追加
透過率のバラツキが小さく、低欠陥である品質の安定したハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法を提供する。 - 特許庁
To develop a novel chemical mechanical polishing (CMP) composition capable of removing a phase change material selectively at high removal rate, while reducing total defects and Te residuum defects.例文帳に追加
高い除去速度で選択的に相変化物質の除去ができ、その一方でまた、総欠陥及びTe残査欠陥の減少をもたらす、新規なケミカルメカニカルポリッシング(CMP)組成物を開発する。 - 特許庁
To provide a polishing method useful for polishing a substrate containing a chalcogenide phase change alloy, and having a high removal rate of a chalcogenide phase change alloy with a selectivity advantageous for an additional material on the substrate, and low total defects and low Te residuum defects.例文帳に追加
カルコゲナイド相変化合金を含む基板の研磨に有用な、基板上の追加の材料に対して有利な選択性で、かつ低総欠陥及び低Te残渣欠陥にて、カルコゲナイド相変化合金の高い除去速度を有する研磨方法を提供する。 - 特許庁
To provide a vapor-phase processing apparatus and method that homogeneously performs processing with less defects on the processing surface of the target.例文帳に追加
処理表面の欠陥が少なく、かつ、均一な処理を行なうことが可能な気相処理装置および気相処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a vapor phase deposition film manufacturing method, a vapor phase deposition film manufacturing apparatus, and a radiation image conversion panel manufacturing method capable of manufacturing a radiation image conversion panel suppressing occurrence of point defects or the like and obtaining an image of high quality with less defects.例文帳に追加
点欠陥などの発生を抑制し、欠陥が少ない高品位な画像が得られる放射線像変換パネルを製造することができる気相堆積膜の製造方法および気相堆積膜の製造装置並びに放射線像変換パネルの製造方法を提供すること。 - 特許庁
As a result, a photomask blank having the phase shift film can be obtained, the phase shift film facilitating control of the transmittance and having excellent chemical resistance, less defects and high quality.例文帳に追加
その結果、位相シフト膜の透過率調整が簡便で、得られた膜が薬品耐性に優れ、しかも低欠陥の高品質な位相シフト膜を備えたフォトマスクブランクを提供することが可能になる。 - 特許庁
To provide an actuation method for a system overcoming defects of a conventional art and having a waveform generator transmitting an acoustic energy by phase inversion.例文帳に追加
従来技術の欠点を克服した、波形発生器が位相反転により音響エネルギを送信するシステムの作動方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a photomask blank having a phase shift film having excellent chemical resistance, less defects and high quality in which the transmittance is easily controlled.例文帳に追加
透過率調整が簡便で薬品耐性に優れ、しかも低欠陥の高品質な位相シフト膜を備えたフォトマスクブランクを提供すること。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a hot-rolled steel strip of ferritic single-phase stainless steel which is high in safety and by which the generation of scale defects is prevented or suppressed.例文帳に追加
安全性が高く、スケール欠陥の発生を防止または抑制し得るフェライト単相系ステンレス鋼の熱間圧延鋼帯の製造方法を提供する。 - 特許庁
To improve defects of a conventional device by proposing a signal regenerating device which is capable of regenerating a signal containing information encoded by phase modulation.例文帳に追加
位相変調により符号化された情報を含む信号を再生できる信号再生装置を提案することにより、従来の装置の欠点を改良する。 - 特許庁
A circuit system makes push-pull amplification possible without using the phase inversion circuit in order to eliminate the defects of a conventional push-pull amplifier circuit.例文帳に追加
従来のプッシュプル増幅回路の欠点を排除するために、位相反転回路を用いることなくプッシュプル増幅を可能とする回路方式である。 - 特許庁
Along with the solid-phase epitaxial growth, crystal defects 14 and 15 are formed and the boron inside the high concentration boron region 13 is activated.例文帳に追加
この固相エピタキシャル成長に伴い、結晶欠陥14及び15が形成されるとともに、高濃度ホウ素領域13内のホウ素が活性化される。 - 特許庁
The projecting linear defects K which occur on the main surface of the substrate W are vapor- phase etched by using a hydrogen chloride gas (step S3).例文帳に追加
シリコン単結晶基板の主表面に形成されている凸形状の線状形状欠陥Kを塩化水素ガスにより気相エッチングする(ステップS3)。 - 特許庁
Thus the occurrence of recessed portions on the phase-change material layer pattern or formation of a surface oxide film is suppressed to be able to considerably reduce the occurrence of defects in the phase-change memory device.例文帳に追加
これによって、相変化物質層パターンの上部に窪みが発生するか、あるいは表面酸化膜が形成されることを抑制して相変化メモリー装置の不良発生を著しく減少させることができる。 - 特許庁
Also, the device has advantages in that parameters for product defects by adhesion of films for forming the phase difference compensation film can be removed and the reliability of the products can be enhanced through the omission of the separate phase difference compensation film.例文帳に追加
また、別途の位相差補償フィルムの省略を通じて、位相差補償フィルムを形成するフィルム付着による製品不良要因を除去することができ、製品信頼度を高めることができる長所を有する。 - 特許庁
The system comprises a coating process S3 for coating a region including crack defects and an oxygen consuming process S4 for consuming one of solved oxygen in water remaining inside the coating crack defects and oxygen in a gas phase by oxidizing the inside of the crack defects during using the reactor structure.例文帳に追加
き裂状欠陥を含む領域を被覆する被覆工程S3と、この被覆されたき裂状欠陥の内部に残存する水分中の溶存酸素及び気相中の酸素の少なくとも一方の酸素を原子炉構造物の使用中に前記き裂状欠陥の内部を酸化させて消費させる酸素消費工程S4と、を有する。 - 特許庁
To provide a method for correcting a phase-shift mask, wherein the method can accurately correct a micropattern without degrading throughput, damaging glass substrates and other half-tone patterns, or leaving correction traces, when correcting black defects in a half-tone phase-shift mask, and to provide a corrected phase-shift mask.例文帳に追加
ハーフトーン型位相シフトマスクの黒欠陥修正において、スループットを低下させずに、ガラス基板や他のハーフトーンパターンに損傷を与えず、修正痕を残さずに、微細パターンの修正を精度良く行うことができる位相シフトマスクの修正方法および修正された位相シフトマスクを提供する。 - 特許庁
To provide a rotational accuracy correction method of a measuring machine for solving the defects of the phase difference method and obtaining reliable measured data without improving an existing device.例文帳に追加
位相差法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の回転精度補正方法を提供する。 - 特許庁
To decrease defects or deposition of dust on a display screen when a polarizing plate produced from a phase difference type film in a roll state is used for a liquid crystal display device.例文帳に追加
ロール状位相差フイルムから作製された偏光板を液晶表示装置に用いた場合に、表示画面に生じる欠陥やゴミの付着を減少すること。 - 特許庁
The image detected by the detector represents a difference in amplitude and phase distributions of the reticle, allowing foreign particles, defects or the like to be easily distinguished.例文帳に追加
ディテクタにより検出される像は、レチクルの振幅及び位相分布における差を表し、これにより、外部パーティクル、異常などを容易に識別することが可能となる。 - 特許庁
To provide a sputtering target which is used for the manufacture of a halftone phase shift mask and a blank and which does not produce particle defects during depositing a film.例文帳に追加
ハーフトーン型位相シフトマスク及びブランクの製造に用いるスパッタリングターゲットであって成膜時にパーティクル欠陥を発生させることのないスパッタリングターゲットを提供すること。 - 特許庁
To properly detect various defects by securing sufficient defect detection sensitivity regarding an optical disk device, e.g. a phase change optical disk device.例文帳に追加
本発明は、光ディスク装置に関し、例えば相変化型光ディスク装置に適用して、充分なディフェクト検出の感度を確保して、種々のディフェクトを適切に検出する。 - 特許庁
To suppress the generation of defects and abnormal growth in performing epitaxial growth on a semiconductor film such as, for example, SiC and GaN after synthesizing the same in a gaseous phase.例文帳に追加
例えばSiC、GaNなどの半導体膜を気相から合成してエピタキシャル成長させていくときに、欠陥や異常成長が生じるのを抑制する。 - 特許庁
To provide a method for forming 3C-SiC single crystal thin film of a single phase having less crystal defects on an Si wafer by making hetero epitaxial growth on the surface of an Si substrate.例文帳に追加
Si基板表面にヘテロエピタキシャル成長させることにより、Siウェハ上に結晶欠陥の少ない単相の3C-SiC単結晶薄膜を形成する方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an optical sheet which has no outlook defects such as creases and flare due to low phase difference, and to provide the optical sheet manufactured by this method.例文帳に追加
本発明は、低位相差で皺やフレアなどの外観不良のない光学シートの製造方法及びこの製造方法で製造された光学シートを提供する。 - 特許庁
To provide a phase defect correction method of a reflective mask and a manufacturing method of the reflective mask which can correct an absorber pattern accurately without damaging a reflective layer and leaving correction marks, and which can obtain a good transfer pattern without being affected by phase defects.例文帳に追加
反射層に損傷を与えず、修正痕を残さずに吸収体パターンを精度良く補正し、位相欠陥の影響をなくして良好な転写パターンが得られる反射型マスクの位相欠陥補正方法および製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a three-dimensional imaging apparatus, to which contrast AF is adapted to obviate defects of phase-difference AF and in which processing time of contrast AF is shortened, and focusing accuracy is improved.例文帳に追加
立体撮像装置にコントラストAFを適用して位相差AFによる不具合を解消するとともに、コントラストAFによる処理時間の短縮化及び合焦精度の向上を図る。 - 特許庁
To provide a hot-extrusion manufacturing method for a metallic tube, by which the generation of both of outer surface defects, a deep wrinkle and an outer surface streak, is suppressed so that the cost for removing the defects is reduced and the yield of a material is improved, and which is suitable for extruding a ferritic stainless steel tube and a two-phase stainless tube.例文帳に追加
深い縦じわと外面すじの両方の外面欠陥の発生を抑制することが可能で、その除去費用の低減と材料歩留の向上が図り得るフェライト系ステンレス鋼管や二相ステンレス鋼管の押出しに好適な熱間押出し製管方法の提供。 - 特許庁
To provide an inspection method of an optical film capable of accurately inspecting the defects of an optical film including a liquid crystal film, satisfying Re≤20 nm and |Rth|≥20 nm, when an in-plane phase difference is set to Re and a phase difference in the thickness direction is set to Rth.例文帳に追加
面内位相差をRe、厚さ方向の位相差をRthとしたとき、Re≦20nmかつ|Rth|≧20nmを満たす液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display element using a ferroelectric liquid crystal, in which mono-domain alignment of the ferroelectric liquid crystal is achieved without causing zigzag defects, hairpin defects, and alignment defects such as double-domain, and this alignment is maintained even if the temperature exceeds the phase-transition point, and which is excellent in the alignment stability.例文帳に追加
本発明は、強誘電性液晶を用いた液晶表示素子において、ジグザグ欠陥、ヘアピン欠陥やダブルドメイン等の配向欠陥が形成されることなく強誘電性液晶のモノドメイン配向を得ることができ、相転移点以上に昇温してもその配向を維持することができる配向安定性に優れた液晶表示素子を提供することを主目的とする。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display element using a ferroelectric liquid crystal, in which mono-domain alignment of the ferroelectric liquid crystal is achieved without causing zigzag defects, hairpin defects, and alignment defects such as double-domain, and this alignment is maintained even if the temperature exceeds the phase-transition point, and which is excellent in the alignment stability.例文帳に追加
本発明は、強誘電性液晶を用いた液晶表示素子において、ジグザグ欠陥、へアピン欠陥やダブルドメイン等の配向欠陥が形成されることなく強誘電性液晶のモノドメイン配向を得ることができ、相転移点以上に昇温してもその配向を維持することができる配向安定性に優れた液晶表示素子を提供することを主目的とする。 - 特許庁
To provide a liquid crystal polyester fiber having further excellent processability in a high-order processing step with little defects and fibrils without fusion among single yarns even when solid-phase polymerization is performed in a package form.例文帳に追加
パッケージ形状で固相重合を行っても単糸間融着がなく、更に高次加工工程での加工性に優れる、欠陥およびフィブリルの少ない液晶ポリエステル繊維を提供する。 - 特許庁
As a result, even though the method is a solid phase method, the method for synthesizing a potassium niobate single crystal which can grow the crystal at a low temperature and hardly causes crystal defects and is excellent in production efficiency is obtained.例文帳に追加
固相法でありながらも低温で結晶育成が可能となり、結晶欠陥が生じにくく、製造効率に優れたニオブ酸カリウム単結晶の合成方法を提供することができる。 - 特許庁
To provide a resin composition for an optical film having excellent transparency, heat-resistance, film formability, film strength, and phase difference expression, and to provide an optical film with few film defects and a negative orientation birefringence.例文帳に追加
透明性、耐熱性、フィルム成形性、フィルム強度および位相差発現性が良好である光学フィルム用樹脂組成物、並びにフィルム欠陥が少なく、負の配向複屈折性を示す光学フィルムを提供する。 - 特許庁
To provide a method whereby a high-quality and high-purity zinc-oxide-based thin film excellent in its surface flatness and having a few oxygen defects is grown in an epitaxial way at a low temperature by an organic-metal vapor-phase growth method.例文帳に追加
表面平坦性に優れるとともに、酸素欠損の少ない高品質で高純度な酸化亜鉛系薄膜を、有機金属気相成長法により低温でエピタキシャル成長させる方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a polymer film with a visibility angle magnification effect which is free from rupture and surface defects during tenter stretching and also a trimming failure, and shows imparted appropriate retardation characteristics, and also to provide a phase differential film.例文帳に追加
テンター延伸時の破断や表面欠点がなく、耳切り不良もなく、適度なレタデーション特性が付与された視野角拡大効果を有するポリマーフィルムの製造方法及び位相差フィルムを提供すること。 - 特許庁
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