| 意味 | 例文 |
Beam Deflectionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 826件
To provide a manufacturing method of a deflection device for a multiple electron beam drawing equipment capable of forming through-holes of a high aspect ratio having a deflection electrode with high precision and high density.例文帳に追加
マルチ電子ビーム描画装置用偏向デバイスの製造方法において、偏向電極を備えた高アスペクト比の貫通孔を基板に高精度かつ高密度に成形できるようにすること。 - 特許庁
To obtain a system of outputting the examination result of a beam depth reinforcing material, which can quickly present a kind of a low cost beam and a method satisfying a roof load W, a bending stress σb of a beam, a shearing stress τ of a beam, a deflection δ and the like when a change in a beam is necessary for extension and rebuilding and the like.例文帳に追加
増改築等において梁を変更する必要がある場合に、屋根荷重W、梁の曲げ応力度σb、せん断応力度τ、たわみδ等を満足した安価な梁種及び工法をスピーディーに提示できる梁成補強材検討結果出力システムを得る。 - 特許庁
To provide an electron beam exposure apparatus wherein an electron beam is deflected toward each position on a mask and a testpiece is exposed to the electron beam which has passed through the mask and the parallelism and astigmatism of the electron beam which changes according to an amount of deflection is calibrated, and to provide an electron beam calibration method.例文帳に追加
電子ビームをマスク上の各位置に偏向して、マスクを通過した電子ビームで試料に露光を行う電子線露光装置において、偏向量によって変動する電子ビームの平行度及び非点収差を較正する、電子線露光装置及び電子線較正方法を提供する。 - 特許庁
Depending on the outputs from a plurality of magnetic detectors 41-46 disposed in the vicinity of an electron beam generator 25 or in a vacuum tank 10, an electron beam deflection electrode 31 is driven to deflect an electron beam in the direction for canceling deflection of electron beam due to variation of magnetic field thus correcting positional shift of an electron beam spot focused on an original board 21 due to variation of magnetic field.例文帳に追加
電子ビーム発生装置25の近傍や真空槽10の内部に設置した複数の磁気検出器41〜46の出力に応じて電子ビーム偏向電極31を駆動し、磁場変動による電子ビームの偏向を打消す方向へ電子ビームを偏向させることによって、磁場変動による電子ビームの集束スポットの原盤21上の位置ずれを補正する。 - 特許庁
To provide an optical scanner that easily adjusts displacement of an optical path in a direction perpendicular to the beam deflection direction, and reliably detects a light beam at a sensor part.例文帳に追加
光走査装置において、光ビームの偏向方向と直交する方向への光路ずれに容易に対応可能とし、センサ部において光ビームを確実に検出可能とする。 - 特許庁
Therefore, a restoration force H toward the positive direction of the Y-axis occurs at the tip end part 1a of the cantilever beam 1, to reduce the deflection of the tip end part 1a of the cantilever beam 1a.例文帳に追加
そのため、片持ち梁1の先端部1aにはY軸の正方向に向かう復元力Hが発生し、片持ち梁1先端部1aの撓みが減少する。 - 特許庁
The light beam from the light source unit 104K and the light beam from the light source unit 104C are made incident on the deflection and reflection face of a polygon mirror while keeping the angle θ.例文帳に追加
そして、光源ユニット104Kからの光束と光源ユニット104Cからの光束は、角度θを維持したままポリゴンミラーの偏向反射面に入射する。 - 特許庁
To provide an electron beam correcting method which precisely corrects deflection distortion of a deflector which corrects an electron beam to be applied on a desired area of a wafer.例文帳に追加
ウェハにおける所望の領域に電子ビームを照射させるべく電子ビームを偏向する偏向器の偏向歪みを精度良く補正する電子ビーム補正方法を提供する。 - 特許庁
To provide an ion implanter and its control method wherein reduction of real beam current in the beam deflection part is analyzed, and a dose control method is adopted from the result.例文帳に追加
ビーム偏向部における実ビーム電流の減少を解析し、結果からドーズ制御方法を採用したイオン注入装置及びその制御方法を提供する。 - 特許庁
A processor 5, which is connected to the energy sensor ES and to the steering mirrors 21, calculates and adjusts the beam size on the basis of the deflection angles of the steering mirrors and the change in beam intensity.例文帳に追加
プロセッサ5がこのセンサESおよび操向ミラー21に接続してあり、このミラーの偏向角とビーム強度の変化からこのビームサイズを計算し且つ調整する。 - 特許庁
Further, an electron beam deflection magnet 35 generates a magnetic field to make the electron beam exiting from the exit 51 direct to the side face of the PET bottle PB stored in the cavity 24.例文帳に追加
また、電子線偏向磁石35は、出射口51から出射される電子線をキャビティ24に収容されるペットボトルPBの側面に向かわせる磁界を発生させる。 - 特許庁
A deflection position computing means 208 corrects for the beam drift amount ΔD, to compute a deflected position data Dd of the beam 203 corresponding to the next irradiation position design data.例文帳に追加
偏向位置計算手段208が、ビームドリフト量ΔDを補正して、次の照射位置設計データに対応する電子ビーム203の偏向位置データDdを計算する。 - 特許庁
To provide a light beam scanner in which the deviation of a focusing position of a light beam in an optical path direction due to the thermal expansion of a constant speed deflection means is reduced.例文帳に追加
等速度偏向手段の熱膨張による光ビームの焦点位置の光路方向のズレを減少させることができる光ビーム走査装置を提供する。 - 特許庁
This focal distance measuring instrument is equipped with a light source unit 2 for generating a collimated beam, a diffraction grating 3 for deflecting the collimated beam at a deflection angle θ, and an imaging element 4 for detecting the position of a spot beam into which the deflected beam is formed through a tested lens TL.例文帳に追加
コリメート光を発生する光源ユニット2と、コリメート光を偏向角θで偏向させる回折格子3と、偏向した光が被検レンズTLを通して結像するスポット光の位置を検出する撮像素子4とを備えている。 - 特許庁
The optical element for shaping a beam spot gives a prescribed deflection angle difference between the first deflection angle of first luminous flux emitted from the central part of an effective aperture and the second deflection angle of second luminous flux emitted from the outer peripheral part of the effective aperture.例文帳に追加
有効開口の中心部から出射する第1の光束の第1の偏角と有効開口の外縁部から出射する第2の光束の第2の偏角とに所定の偏角差を与えるビームスポット整形用光学素子である。 - 特許庁
When an X direction measuring line is specified, a Y direction position data is given to a partial deflection stopping circuit 45, and the partial deflection stopping circuit 45 stops the deflection of the laser beam by the perpendicular deflecting device 14b, and fixes it at a Y direction position.例文帳に追加
X方向測定ラインが指定されると、そのY方向位置データが部分偏向停止回路45に与えられ、部分偏向停止回路45は垂直偏向装置14bによるレーザ光の偏向を停止し、そのY方向位置に固定する。 - 特許庁
A first beam deflection device (43, 67 and 78) moves the scanning area (31, 33) to the interested area (27, 29), and a second beam deflection device (49, 72 and 94) works as scanning in a form of bent pattern in the scanning area (31, 33).例文帳に追加
第1のビーム偏向装置(43,67,78)が、関心のある領域(27,29)に走査領域(31,33)を移動し、第2のビーム偏向装置(49,72,94)は、走査領域(31,33)の内部で曲折模様形状の走査を行うように作用する。 - 特許庁
This elongation diagnosing device for a chain includes: a multi-beam sensor 7 for detecting the vertical deflection width of the chain 6 for driving the movable handrail; and an indicator 9 for indicating the vertical deflection width of the chain 6 for driving the movable handrail detected by the multi-beam sensor 7.例文帳に追加
移動手摺駆動用チェーン6の鉛直方向の振れ幅を検出するマルチビームセンサー7と、マルチビームセンサー7によって検出された移動手摺駆動用チェーン6の鉛直方向の振れ幅を表示するインジケーター9とを設けた。 - 特許庁
To reduce variation in scanning speed of electron beam by calibrating the displacement between each desired deflection position and each actual deflection position of the electron beam well during scanning.例文帳に追加
電子線源から発生させた電子ビームで試料を走査する電子線装置において、走査の際に電子ビームを偏向する所望の各偏向位置と実際の各偏向位置とのズレを良好に較正し、電子ビームの走査速度の変動を低減する。 - 特許庁
To enable an ion beam in an ion beam system having a scanning deflector to be deflected with high accuracy at a high deflection frequency (high speed) and without expanding the dynamic range of a deflection voltage in both high energy and low energy operation modes.例文帳に追加
走査用偏向器を有するイオンビームシステムにおいて、イオンビームの高エネルギー動作モード及び低エネルギー動作モードの両方において、高偏向周波数(高速)で、かつ偏向電圧のダイナミックレンジを広くすることなく高精度に偏向できるようにする。 - 特許庁
The optical path opening/closing mechanism 3 comprises a light deflector 4 to control the angle of deflection of the laser beam, and an aperture 5 having an opening 5a to pass through the laser beam, and the emission/non-emission of the laser beam from the opening 5a of the aperture 5 can be switched by controlling the angle of deflection of the laser beam by the light deflector 4.例文帳に追加
光路開閉機構3は、レーザ光の偏向角を制御する光偏向器4と、レーザ光を通過させるための開口5aを有するアパーチャ5とを有し、光偏向器4によってレーザ光の偏向角を制御することによりアパーチャ5の開口5aからのレーザ光の出射/非出射を切り替えることができる。 - 特許庁
The recording device includes a beam deflection section for relatively moving an irradiation position of the exposure beam with respect to a substrate; a substrate velocity adjustment section for adjusting a moving velocity of the substrate according to roughness and fineness of the latent pattern; and a deflection control section for controlling to change a deflection velocity of the exposure beam during formation of the latent pattern according to the moving velocity of the substrate.例文帳に追加
基板に対して相対的に露光ビームの照射位置を移動させて潜像パターンの記録を行なうビーム偏向部と、潜像パターンの疎密に応じて基板の移動速度を調整する基板速度調整部と、潜像パターンの形成時における露光ビームの偏向速度を基板の移動速度に対応させて変化させる制御をなす偏向制御部と、を有する。 - 特許庁
To provide a laser beam regulation device and laser beam regulation method capable of easily and exactly regulating the beam shapes or deflection angles of the laser beams deflected by an acousto-optic deflector.例文帳に追加
音響光学偏向器により偏向されたレーザビームのビーム形状または偏向角度を容易かつ正確に調整することができるレーザビーム調整装置およびレーザビーム調整方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
A calculating part 8 calculates the quantity of deflection of electron beam locus from the memorized locus of the electron beam 4 at the time of the start of the evaporation and the locus of the electron beam 4 detected by a locus detecting part 7 after the start of the evaporation.例文帳に追加
記憶した蒸発開始時の電子ビーム4の軌跡と蒸発開始後に軌跡検出部7が検出した電子ビーム4の軌跡とから電子ビーム軌道の偏向量を演算部8が演算する。 - 特許庁
To provide a column-to-beam joint structure capable of decreasing disadvantages of a beam in terms of strength at the time of short-term load application during an earthquake, while capable of restraining deflection of the beam under long-term load.例文帳に追加
長期荷重に対する梁の撓みを抑制することができながら、しかも、地震時等の短期荷重作用時における梁の強度的不利を低減することができる柱と梁の接合構造を提供すること。 - 特許庁
This deflection yoke comprises a pair of vertical deflection coils 17, 17 connected in series with each other and a correction coil 21 that forms a correction magnetic field to deflect vertically an electron beam on the rear end of the deflection yoke and that is connected in parallel with the pair of vertical deflection coils 17, 17.例文帳に追加
偏向ヨークの構成として、互いに直列に接続された一対の垂直偏向コイル17,17と、偏向ヨークの後端側で電子ビームを垂直偏向させる補正磁界を形成するとともに、一対の垂直偏向コイル17,17に対して並列に接続された補正コイル21とを備える。 - 特許庁
To provide uniform sound field characteristics irrelevant to a beam deflection angle θ and a transmission focal depth r in an ultrasonic diagnostic apparatus.例文帳に追加
超音波診断装置において、ビーム偏向角度θ及び送信焦点深度rによらずに均一な音場特性を得る。 - 特許庁
An optical detecting element 107 detects the first and the second reflected light deflected by a deflection beam splitter 106.例文帳に追加
光学検出素子107は偏向ビームスプリッター106より偏向された前記第1及び第2反射光を検出する。 - 特許庁
The heater arrangement HA is controllable to provide a distribution of heat on the optical element 56 by deflection of the electron beam 54.例文帳に追加
ヒータ装置HAは、電子ビーム54の偏向によって光エレメント56上の熱分布を与えるように制御可能である。 - 特許庁
At the inside of the coil 12 for primary deflection, a protective net 16 is arranged so as to surround the proper locus of the electron beam (b').例文帳に追加
第1偏向用コイル12の内側には、適正な電子ビームbの軌跡を囲むように防御ネット16が配置されている。 - 特許庁
Fluctuation of the electron beam behavior is reduced and a deflection quantity of the electron beams is reduced to obtain high-brightness and high-definition image quality.例文帳に追加
電子ビーム挙動のばらつきが低減され、電子ビーム偏向量が低減され、高輝度、高精細な画質が得られる。 - 特許庁
To provide charged beam equipment which has further improved resolution by a simple structure while suppressing deflection aberration on a sample.例文帳に追加
簡易な構成で試料上での偏向収差を抑制しながら分解能をさらに高めた荷電ビーム装置を提供する。 - 特許庁
NEW OPTICAL MICROSCOPE, METHOD FOR OBSERVING CELL AND/OR LIVING TISSUE BY USING DETECTION OF BEAM DEFLECTION, AND ITS USE例文帳に追加
新規光学顕微鏡、および、ビーム偏向の検出を利用した細胞および/あるいは生体組織観察方法、並びに、その利用 - 特許庁
At this time, the ends 61 in the short side direction of the mask stripes 49 are drawn in nearly the central part of a charge particle beam deflection range.例文帳に追加
このとき、マスクストライプ49の短手方向の端61を、荷電粒子線偏向範囲のほぼ中央部で描画する。 - 特許庁
When a voltage is applied across the transparent upper electrode 10 and the conductive substrate 1, the light beam is vertically deflected, however, the light beam is increased in the deflection angle by tilting the slant face 9A at 0-10 degrees from the total reflection angle of an incident light beam toward the direction of non-total deflection.例文帳に追加
透明上部電極10と導電性基板1との間に電圧が印加されると垂直偏向が行われるが、斜面9Aを入射される光ビームが全反射される角度から全反射されない方向に0°〜10°傾けた角度で傾斜させることにより、偏向角度が大きくなる。 - 特許庁
By connecting the switch 54 to the primary electron beam high-speed deflection control circuit 43 for inspection allows high-speed deflection that follows stage movement, which conducts the inspection of a circuit pattern.例文帳に追加
スイッチ54を検査用一次電子線高速偏向制御回路43に接続することによりステージ移動に追従した高速偏向が可能となり、これによって回路パターンの検査が行われる。 - 特許庁
The deflection control part 30 acquires information from a stage driving circuit 4, determines whether or not the actual drawing is being performed, and determines a deflection position of the electron beam 54 on the basis of information from a position circuit 5.例文帳に追加
偏向制御部30は、ステージ駆動回路4から情報を取得して実描画が行われているか否かを判断し、位置回路5からの情報を基に電子ビーム54の偏向位置を決定する。 - 特許庁
Each beam is deflected into upper or lower stage with a micromirror of the second deflection means 4, deflected through a cylindrical lens 5 with a first deflection means (polygon mirror) 7, to scan each of different faces to be scanned 12.例文帳に追加
第二の偏向手段4のマイクロミラーにより各ビーム毎上下段に偏向され、シリンドリカルレンズ5を通り、第一の偏向手段(ポリゴンミラー)7により偏向され、異なる被走査面12を走査する。 - 特許庁
A crossing angle calculating section calculates a crossing angle θ of the flow measuring beam 42 with relation to the blood flow from the deflection angle ϕ and the deflection angle ξ based on the relation of θ=90-|ϕ|-|ξ|.例文帳に追加
交差角度演算部は、偏向角度φと偏向角度ξとから、θ=90−|φ|−|ξ|の関係に基づいて、流速計測ビーム42の血流に対する交差角度θを算出する。 - 特許庁
A scanning processing part 210 controls the plurality of deflection processing units 130 from the degrees of delay corresponding to the respective deflection processing units 130 to make the ultrasonic beam scan in the direction of azimuth.例文帳に追加
走査処理部210は、複数の偏向処理ユニット130を各偏向処理ユニット130に応じた遅延量に基づいて制御することにより、超音波ビームをアジマス方向に走査させる。 - 特許庁
To provide a deflection device correcting upper/lower and right/left pincushion distortion while reducing effects on the spot configuration of an electron beam, and a cathode-ray tube device provided with the deflection device.例文帳に追加
電子ビームのスポット形状に与える影響を少なくしつつ、上下及び左右のピンクッション歪みを補正する偏向装置、及び前記偏向装置を備えた陰極線管装置を提供する - 特許庁
The manufacturing method of the deflection device for the multiple electron beam drawing equipment forms deflection electrodes for deflecting electron beams on side walls of through-holes 2 after forming a plurality of the through-holes 2 on a silicon substrate 1.例文帳に追加
マルチ電子ビーム描画装置用デバイスの製造方法は、シリコン基板1に貫通孔2を複数形成した後、電子ビームを偏向するための偏向電極を貫通孔2の側壁に形成する。 - 特許庁
When a controller 40 instructs the amount of excitation current of suitable deflection devices 3-5, a particle beam 1 is offset almost in parallel by the deflection electromagnets 3, 4 to irradiate an affected part while drawing a circular orbit in a magnetic field space by the third deflection electromagnet 5.例文帳に追加
制御装置40が適切な偏向装置3〜5の励磁電流量を指令すると、粒子線ビーム1は偏向電磁石3,4により略平行にオフセットされ、第3偏向電磁石5による磁場空間において、円軌道を描きながら、患部に照射される。 - 特許庁
Otherwise, the light beam deflection member is arranged at each of the light projecting optical system and the photoreceiving optical system, and the rotation means synchronously rotates the light beam deflection members arranged at the light projecting optical system and the photoreceiving optical system around the respective measurement optical axis.例文帳に追加
または、光束偏向部材は投光光学系と受光光学系のそれぞれに配置されており、回転手段は投光光学系と受光光学系に配置された前記光束偏向部材を、それぞれの測定光軸の回りに同期して回転する。 - 特許庁
The light beam from a laser light source 62 is made incident onto a deflection mirror face 651 from a swinging axis direction (subscanning direction Y) with an acute angle γ with respect to the normal line NL of the deflection mirror face 651, and a plane is scanned with the light beam in a main scanning direction X.例文帳に追加
レーザ光源62からの光ビームが偏向ミラー面651の面法線NLに対して鋭角γをなすように揺動軸方向(副走査方向Y)から偏向ミラー面651に入射され、これによって光ビームが主走査方向Xに走査される。 - 特許庁
The polygon mirror deflects an incident light beam to scan a plurality of photoreceptors, and includes deflection surfaces as many as the plurality of photoreceptors, each of the deflection surfaces deflecting the incident light beam so that they reach the different photoreceptors respectively.例文帳に追加
入射した光ビームを偏向し、複数の感光体を走査させるポリゴンミラーであって、複数の感光体の個数と同じ数の偏向面を持ち、それぞれの偏向面は、入射した光ビームを、それぞれ異なる感光体に到達させるように偏向する。 - 特許庁
To provide an SEM type inspection device improved in image quality and defect detection sensitivity by reducing pixel displacement when a two-dimensional image is formed by displacement of an electron beam irradiation position by deflection circuit noise generated in a constituent element of a beam deflection control circuit.例文帳に追加
ビーム偏向制御回路の構成素子で発生する偏向回路雑音による電子ビーム照射位置のずれによる二次元画像化したときの画素ずれを低減して画質及び欠陥検出感度を向上させたSEM式検査装置を提供することにある。 - 特許庁
A received light beam reflected from a mark is guided to a receiver through a deflection unit, and the photosensitive surface of the receiver is arranged at least partially to surround the received light beam.例文帳に追加
マークから反射された受信光ビームが、偏向ユニットを介して受信器に導かれ、該受信器の感光面は送信光ビームを少なくとも部分的に取囲むように配置構成する。 - 特許庁
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