| 意味 | 例文 |
Beam Deflectionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 826件
To provide an electrostatic deflection control circuit of an electron beam measuring device, as well as an electrostatic deflection control method, in which high precision in measuring an electron beam can be attained and structural simplification of a device is obtained.例文帳に追加
電子線計測の高精度化を図ることができるとともに、装置の構成の簡易化に寄与することができる電子線計測装置の静電偏向制御回路および静電偏向制御方法を提供する。 - 特許庁
A deflection reflective mirror of an optical deflector 12 is rigidly supported by a support body 28 via the beam member 20, and when the deflection reflective mirror shakes, the beam member 20 is deformed to work as a spring.例文帳に追加
光偏向器12の偏向反射ミラーは梁部材20を介して支持体28にリジッドで支持されており、偏向反射ミラーが揺動する際は梁部材20が変形することでスプリングとして働いている。 - 特許庁
When the electron beam 2 is made to perform exposure on an XY arbitrary deflection position, lens correction control voltage is added and applied to polar lenses (18, 19), and thus beam deflection control is performed.例文帳に追加
電子ビーム2をXY任意の偏向位置に露光する際に、偏向XY座標位置に応じて極子レンズ18、19にレンズ補正制御電圧を加算して印加することによりビーム偏向制御をおこなう。 - 特許庁
When the deflection amount of the movable beam part 5 increases with a high impact applied to the wiring appliance, the restricting rib 9a is brought into contact with the inner peripheral surface of the groove 9, to restrict the deflection amount of the movable beam part 5.例文帳に追加
配線器具に大きな衝撃が加わった場合などにおいて可撓梁部5の撓み量が大きくなると、規制リブ9aが溝9の内周面に当接して可撓梁部5の撓み量を規制する。 - 特許庁
Switching between a primary electron ray fact deflection control circuit 43 for inspection and a primary electron beam deflection control circuit for obtaining a defective image 56 is done through a switch 54.例文帳に追加
検査用一次電子線高速偏向制御回路43と欠陥画像取得用一次電子線偏向制御回路56はスイッチ54により切り替えられる。 - 特許庁
A beam is deflected toward two stop edges, a correction deflection field calculated, based on a necessary signal for obtaining quenching is given to a deflection part, and an automatic alignment is processed.例文帳に追加
ビームを絞りの2つのエッジに向けて偏向し、消光を得るために必要な信号から計算した補正偏向フィールドを偏向部に与えて自動アライメントを行なう。 - 特許庁
Thus, an useless space can be eliminated between the deflection yoke 25 and the electron beam deflecting are M, so that magnetic field generating efficiency of the deflection yoke 25 can be improved.例文帳に追加
これにより、偏向ヨーク25と電子ビーム偏向領域Mの間に無駄な空間をなくすことができ、偏向ヨーク25の発生磁界効率を改善することが可能となる。 - 特許庁
At a signal processing part 6, a deflection angle control signal is applied to the electron scan device 2 according to the measured distance value and the deflection angle of laser beam, for scanning the proximity of object's outline.例文帳に追加
信号処理部6では測距値とレーザ光の偏向角に応じて偏向角制御信号を電子スキャン装置2に与えて、被測定物の外形近傍をスキャンする。 - 特許庁
Each deflection scanning of laser beams from two laser beam sources 11, 21 is performed by each rotating polygon mirror 14, 24, and the light beams subjected to the deflection scanning are imaged on the photoreceptor 17.例文帳に追加
2のレーザ光源11,21からのレーザビームを各回転多面鏡14,24で偏向走査させ、偏向走査された光ビームを感光体17上に結像させる。 - 特許庁
To prevent a ghost occurring in an optical scanning device performing scanning at a rotation speed nearly 4 times as high as the speed of a deflection reflecting surface by reflecting a light beam twice on the deflection reflecting surface.例文帳に追加
偏向反射面で2回反射させて偏向反射面の略4倍の回転速度で走査する光走査装置において発生するゴーストを防止する。 - 特許庁
The calculated quantity of deflection is fed-back to a controller 6 controlling an electron beam generating source 5, the quantity of deflection is corrected, and a vapor deposited film is formed on the object to be vapor-deposited.例文帳に追加
演算した偏向量を電子ビーム発生源5を制御するコントローラ6にフィードバックして偏向量を補正して被蒸着物に蒸着膜を形成する。 - 特許庁
As a result, the light beam L passes through a space other than the space in the vicinity of the deflection mirror face 651, i.e., through a space in the vicinity of the central part of the deflection mirror face.例文帳に追加
したがって、光ビームLは偏向ミラー面651の周辺空間以外の空間、つまり偏向ミラー面の中央部近傍の空間を通過している。 - 特許庁
The cell is divided in each unit lithography area having width obtained by reducing only the MSD pattern width from maximum available lithography width in charged particle beam deflection only of sub-deflection.例文帳に追加
副偏向のみの荷電ビームの偏向で描画可能な最大幅から、その長辺方向のパターン幅だけ小さくした幅を有する単位描画領域でセルを分割する。 - 特許庁
This MEMS element has a beam 36 formed of a multi-layer, and a stress balance adjusting layer 41 for restraining the deflection of the beam 36 is formed in the multi-layer.例文帳に追加
複数層によるビーム36を有し、複数層の中にビーム36のたわみを抑制するための応力バランス調整層41が形成されて成る。 - 特許庁
The optical scanner 1 includes a mirror 100, a twist beam 110, a deflection beam 120, an outer edge 130, drive units 141, 142, and adjusting units 151-154.例文帳に追加
光スキャナ1は、ミラー部100と、捩れ梁部110と、撓み梁部120と、外縁部130と、駆動部141,142と、調整部151〜154とを備える。 - 特許庁
To establish a high speed operation and deflection capability in a range necessary for an electronic beam exposure apparatus, concerning a transmission line type blanking device and an electronic beam exposure apparatus.例文帳に追加
伝送線路型ブランキング装置及び電子ビーム露光装置に関し、高速動作と偏向能力を電子ビーム露光装置に必要な範囲で両立させる。 - 特許庁
Blanking deflectors 22 and 23, which shut off or introduce an electron beam that impinges on a drawing material 6, constitute a two-staged deflection system, by which an electron beam is deflected in the same direction.例文帳に追加
描画材料6上のビームを遮断、投入するブランキング偏向器22,23は2段偏向系を構成し、同一方向にビームを偏向する。 - 特許庁
A deflection yoke comprises a pair of horizontal deflection coils 7a, 7b opposed to each other with a horizontal axis therebetween for deflecting and scanning an electron beam in a first axis direction and a pair of vertical deflection coils opposed to each other with a vertical axis therebetween for deflecting and scanning the electron beam in a second axis direction.例文帳に追加
偏向ヨークは、水平軸を挟んで対向配置され電子ビームを第1軸方向に偏向走査する一対の水平偏向コイル7a、7bと、垂直軸を挟んで対向配置され電子ビームを第2軸方向に偏向走査する一対の垂直偏向コイルと、を備えている。 - 特許庁
The polygon mirror 20 has deflection faces 20a, 20b with 90 degree of a rotation phase where the beam A1 that is deflected by the deflection face 20a and the beam A2 that is deflected by the deflection face 20b are respectively formed into an image on the photoreceptor drum 102 at almost the same position in a sub-scanning direction Z.例文帳に追加
ポリゴンミラー20は、90°の回転位相を有する偏向面20a,20bを備え、ビームA1は偏向面20aで偏向され、ビームA2は偏向面20bで偏向され、それぞれ、感光体ドラム102上において副走査方向Zに略同一位置に結像される。 - 特許庁
Each color light, incident on the polarization beam splitter, transmits a deflection separation part and is made incident on the reflection light valve.例文帳に追加
偏光ビームスプリッタに入射した各色光は、偏向分離部を透過し、反射型ライトバルブに入射する。 - 特許庁
HEAD LIGHT FOR AUTOMOBILE COMBINING REFLECTION MIRROR NOT FLATLY BLOCKING LIGHT BEAM AND DEFLECTION COMPONENT例文帳に追加
光ビームの遮断が平坦ではない反射鏡と偏向要素とを組み合わせた自動車用前照灯装置 - 特許庁
A rotary erroneous landing quantity D1 of the electron beam is preliminarily calculated in a whole plane for each kind of deflection yoke.例文帳に追加
また、偏向ヨーク種ごとに電子ビームの回転ミスランディング量D1を予め全画面で計測しておく。 - 特許庁
When, for example, the laser beam is deflected upward, the photodetector 2 moves downward correspondingly to the deflection.例文帳に追加
例えば、レーザビームが上方向に偏向している場合は、光検出器2はそれに合わせて下方に移動する。 - 特許庁
A correction signal is transmitted to a servo control section and a deflection control section to control a stage position and an electron beam position.例文帳に追加
補正信号は、サーボ制御部や偏向制御部に送られて、ステージ位置や電子ビーム位置が制御される。 - 特許庁
This element can deflect a beam at a larger deflection angle within the XZ plane than a conventional element.例文帳に追加
この場合は、XZ面内において、従来よりも大きな偏向角で光束を偏向することができる。 - 特許庁
This makes it possible to freely set an entering position where an electron beam discharged from a cathode ray tube enters a deflection magnetic field.例文帳に追加
陰極線管より発射された電子ビームの偏向磁界への突入位置を自由に設定できる。 - 特許庁
To make patterns of prepits, grooves, etc., with good accuracy by using one exposure beam without requiring high-speed deflection.例文帳に追加
高速偏向を必要とせずに1つの露光ビームを用いて、プリピット、グループなどのパターンを精度良く作製する。 - 特許庁
For example, these devices 24, 26 may be beam deflection units which, for example, respectively contain a tiltable mirror.例文帳に追加
この装置24,26は例えば、それぞれ1つの傾動可能な鏡を有しているビーム変向ユニットであって良い。 - 特許庁
Another mirror may be arranged opposite to the deflection mirror 5, so as to reflect the beam from the light source 1 a plurality number of times.例文帳に追加
偏向ミラーで複数回反射させるように、別のミラーを偏向ミラーに対向させて配置してもよい。 - 特許庁
An electronic beam deflection mechanism 23 changes a position of an X-ray irradiation range on the X-ray detector 15.例文帳に追加
電子ビーム偏向機構23は、X線検出器15上でのX線照射範囲の位置を切替える。 - 特許庁
By a structure in which a pinhole 105 for beam forming is arranged in front of the deflection modulator 107, the fluctuation of the wavefront of the laser beam accumulated before being inputted to the deflection modulator 107 is dissolved, the fluctuation of the wavefront of the deflection modulator output light is reduced and the focusing performance of the laser beam after the objective lens is improved.例文帳に追加
偏向変調器107の前にビーム整形用のピンホール105を配置する構造にすることによって、偏向変調器107に入力されるまでに蓄積されたレーザ光の波面の乱れを解消し、偏向変調器出力光の波面の乱れを軽減させ、対物レンズ後のレーザ光の絞り性能を向上させる。 - 特許庁
To provide a light beam scanner which enables the scanning in a wide range by widenning the deflection half angle of a light beam to the extent exceeding 45°, and to dissolve the pitch unevenness caused by the plane tilt of the deflection reflective surface of the highly precise deflector.例文帳に追加
光ビームの偏向半角度を45度を超える程度に広げて広い範囲で走査でき、且つ、高精度の偏向器の偏向反射面の面倒れに起因するピッチムラを解消することができる光ビーム走査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a simple and inexpensive laser beam scanner, with which an image forming apparatus for forming high quality images at high speed, for example, is obtained, and to provide a light deflection mechanism and a light deflection optical element that are used for the laser beam scanner.例文帳に追加
簡素且つ低コストでありながら、例えば高画質な画像を高速で形成できる画像形成装置を実現できるレーザビーム走査装置、及びそれに用いる光偏向機構及び光偏向光学素子を提供する。 - 特許庁
An inlet side beam deflection part 2 is arranged between the convergent lenses 31, 32 in two stages whose focuses each can be adjusted, and an electron gun 1; and an outlet side beam deflection part 4 is arranged between the convergent lenses 31, 32, and an objective aperture plate 5.例文帳に追加
それぞれ焦点調整が可能な二段の収束レンズ31、32と電子銃1との間に入口側ビーム偏向部2を、収束レンズ31、32と対物アパーチャ板5との間に出口側ビーム偏向部4を配置する。 - 特許庁
The case 79 housing the deflection member which deflects the beam emitted from a light source is made to be removable from the body 69 of the optical scanner from B-direction which is in parallel with the emission direction of the beam deflected with the deflection member.例文帳に追加
光源から出射されたビームを偏向する偏向部材を収納したケース79を、光走査装置本体69に対し、偏向部材により偏向されたビームの出射方向に平行なB方向から着脱可能とした。 - 特許庁
Plane wave-shaped laser beam 5 that is made incident from a left side are deflected by a polarization beam splitter 6, a deflection angle is changed in accordance with voltage applied to each pixel of a spatial photomodulator 7 and the laser beam 5 is reflected.例文帳に追加
左側から入射する平面波状のレーザ光5は、偏光ビームスプリッタ6で反射され、空間光変調器7の各画素に印加される電圧に応じて偏向角が変えられ、反射する。 - 特許庁
To provide an electron beam lithography apparatus which can compensate the drawing position with high accuracy, a deflection amplifier, an electron beam lithography method, a method for manufacturing a semiconductor device, and an electron beam lithography program.例文帳に追加
高精度な描画位置補正を行なうことのできる電子ビーム描画装置、偏向アンプ、電子ビーム描画方法、半導体装置の製造方法、及び電子ビーム描画プログラムを提供すること。 - 特許庁
To provide an ion beam measurement method which measures at least one of angle deflection in the y direction perpendicular to the scanning direction of an ion beam, a divergent angle, and beam size.例文帳に追加
イオンビームの走査方向と垂直なy方向の角度偏差、発散角およびビームサイズの内の少なくとも一つを簡単な構成によって計測することができるイオンビーム計測方法を提供する。 - 特許庁
The deflector which deflects a light beam includes: a light source which outputs the light beam; a deflection means which deflects the light beam; a driving means which drives the deflection means; a power source circuit which applies an electric voltage on the driving means; and a storage means which is charged by the regenerative energy of the driving means.例文帳に追加
光ビームを偏向する偏向器は、光ビームを出力する光源と、光ビームを偏向する偏向手段と、偏向手段を駆動する駆動手段と、駆動手段に電圧を印加する電源回路と、駆動手段の回生エネルギーによって充電される蓄電手段とを含む。 - 特許庁
Thus, the rocking amplitude of the deflection mirror face is reduced when the driving frequency fd is varied by Δ toward a high frequency side, a light beam deflected by the deflection mirror face passes through a light beam detection position A at a time t11, and passes through a light beam detection position B at a time t12.例文帳に追加
したがって、駆動周波数fdが高周波側へΔ変動した場合、偏向ミラー面の揺動振幅は減少するので、該偏向ミラー面によって偏向された光ビームは、時刻t11の時に光ビーム検出位置Aを通過し、時刻t12の時に光ビーム検出位置Bを通過する。 - 特許庁
To efficiently compensate for upper and lower pin cushion distortions, while improving deflection efficiency and reducing change of shape of beam spot.例文帳に追加
偏向能率を向上し、ビームスポットの形状変化を低減しつつ、上下のピンクッション歪を効率良く補正する。 - 特許庁
This deflection optical system AO has a mechanism which determines an incidence angle δα of the laser beam LSt to a work W.例文帳に追加
この偏向光学系AOは、工作物WへのレーザビームLStの射し込み角度δαを定める機構をもつ。 - 特許庁
To improve the performance of even a multibeam antenna which has a large angle of beam deflection by making an F/D ratio not so large.例文帳に追加
ビーム偏向角が大きいマルチビームアンテナであっても、F/D比を余り大きく取らずに性能を向上させる。 - 特許庁
To provide a charged particle beam lithography apparatus capable of suppressing deterioration of lithography accuracy caused by distortion of the deflection of a deflector.例文帳に追加
偏向器の偏向の歪みによる描画精度の劣化を抑制する荷電粒子ビーム描画装置を提供する。 - 特許庁
To achieve change of a beam pitch performed using a liquid crystal deflection element with an easy driving method and constitution.例文帳に追加
液晶偏向素子を用いて行うビームピッチの切り替えを、より単純な駆動方法および構成によって実現する。 - 特許庁
To provide charged particle beam equipment in which the center of deflection of a deflector is aligned accurately with the intermediate image of an optical system.例文帳に追加
偏向器の偏向中心と光学系の中間像を正確に一致させた荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁
Thus, beam light quantity is not lowered due to an image angle (deflection angle), and excellent writing quality is obtained.例文帳に追加
このため、画角(偏向角)によりビーム光量が低下することがなく、良好な書き込み品質を得ることができる。 - 特許庁
To provide a hybrid deflector for reducing energy contamination in ion implantation, and to provide a deflection method of ion beam.例文帳に追加
イオン注入におけるエネルギーコンタミネーションを低減するハイブリッド偏向器およびイオンビームの偏向方法を提供する。 - 特許庁
To provide an optical scanner capable of suppressing decrease in the light quantity of a beam deflected by a deflection means.例文帳に追加
偏向手段により偏向されたビームの光量の低下を抑制できる光走査装置を提供することである。 - 特許庁
The two-dimensional optical beam deflector 100 includes a deflection element 10 which contains resin and deflects light L in one direction and a deflection element 50 which contains Si and deflects light L in other direction.例文帳に追加
2次元光偏向器100は、樹脂を含み光Lを一方向に偏向する偏向素子10とSiを含み光Lを他方向に偏向する偏向素子50とを備える。 - 特許庁
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