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GAS-PHASEの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2455件
In the portion 22 of the pipe which at least leads to an opened pipe end and which lets the reaction fluid of the gas-liquid two-phase flow containing the gas containing oxygen pass through, the reaction fluid passing the pipe portion 22 is pressurized.例文帳に追加
酸素を含有するガスを含む気液二相流の反応流体が流通する、少なくとも開放された管端に通じた配管部分22において、その配管部分22を流通する反応流体を加圧する。 - 特許庁
A bubble charging apparatus 4 which forms a gas-liquid two phase flow comprising the treatment liquid a and bubbles c by injecting an inert gas b into the treatment liquid a in the form of bubbles is installed on the upstream side from the membrane module 9.例文帳に追加
この膜モジュール9の上流側に、被処理液aの中に不活性ガスbを気泡状に注入して被処理液aと気泡cとからなる気液2相流を形成する気泡投入装置4を設ける。 - 特許庁
To provide a production method for an aluminum nitride single crystal by a gas phase process for reducing the solid solubilizing of oxygen derived from that included in a raw material gas or in a furnace to the single crystal.例文帳に追加
気相法による窒化アルミニウム単結晶の製造において、原料ガスや炉内に含まれる酸素に由来する窒化アルミニウム単結晶への酸素の固溶を低減するための単結晶製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a fuel tank capable of reducing the amount of explosion-proof gas generated, maintaining an explosion preventing effect, by setting oxygen concentration in a gaseous phase inside of a fuel tank at a value below a predetermined value, and capable of miniaturizing an explosion-proof gas generating device.例文帳に追加
燃料タンク内の気相領域の酸素濃度を所定値以下とし、防爆効果を維持しつつ、防爆気体発生量を低減し、防爆気体発生装置を小型化可能な燃料タンクを提供する。 - 特許庁
To provide a method for stably producing a (meth)acrylic acid solution of high (meth)acrylic acid concentration in a process of producing (meth)acrylic acid by a catalytic gas-phase oxidation reaction, irrespective of a change in the temperature of a gas discharged from a reactor.例文帳に追加
接触気相酸化反応による(メタ)アクリル酸の製造工程において、反応器から排出されるガスの温度変動にかかわらず、高濃度の(メタ)アクリル酸溶液を安定的に得るための方法。 - 特許庁
THFA and a hydrogen gas are supplied by a gas phase in a process which produces 3,4-dihydro-2H-pyran from THFA under the presence of a catalyst which supports copper oxide (II) or rhodium to a solid oxide catalyst.例文帳に追加
固体酸化物触媒に酸化銅(II)又はロジウムが担持された触媒の存在下でTHFAから3,4−ジヒドロ−2H−ピランを製造する工程において、THFA及び水素ガスを気相で供給する。 - 特許庁
The method for manufacturing the p-type nitride compound semiconductor comprises the steps of growing the p-type nitride layer 4, grown by vapor phase growth method such as MOVPE method, and then cooling the layer 4 in an atmosphere of rare gas which does not contain hydrogenated gas, such as ammonia or the like, and which contains hydrogen.例文帳に追加
MOVPE法等の気相成長法によりp型窒化物層4を成長させた後、アンモンニア等の水素化物ガスを含まず、かつ、水素を含む希ガスの雰囲気内において冷却を行う。 - 特許庁
To provide greater indirect heat exchange than conventional heat exchange tubes with or without fins in usage in a medium comprising a liquid phase, in which flowing gas bubbles or particulate solids and flowing gas bubbles are dispersed.例文帳に追加
流動ガス気泡、または微粒子固体および流動ガス気泡が分散している液体相を含む媒体中で、従来のフィン付きまたはフィンなし熱交換チューブより大きな間接熱交換を提供する。 - 特許庁
To provide an urgent shutdown method for a reactor for the gas-phase partial oxidation of an unsaturated hydrocarbon by a molecular oxygen-containing gas, designed to omit unnecessary urgent shutdown of operation and surely conduct necessary urgent practice only.例文帳に追加
運転の無駄な緊急停止を省き、必要な緊急のみを確実に行なうための不飽和炭化水素の分子状酸素含有ガスによる気相部分酸化反応装置の緊急停止方法を提供する。 - 特許庁
The fluorine containing silicon oxide thin film is formed on a surface of a substrate 40 using a vapor phase growth process by introducing a mixture of oxygen plasma, fluorine containing silicon compound gas, and hydrogen containing silicon compound gas.例文帳に追加
酸素のプラズマに弗素を含む硅素化合物ガスと水素を含む硅素化合物ガスとを混合させて導入し、気相成長を利用して基板40の表面に弗素を含む酸化硅素薄膜を作成する。 - 特許庁
To provide an apparatus for producing pure water prevents carbon dioxide gas from being re-dissolved in a water storage tank by keeping a water level in the water storage tank constant, and reduces the amount of nitrogen consumption in a gas phase.例文帳に追加
貯水タンク内の水面レベルを一定に保つことにより、貯水タンク内での炭酸ガスの再溶存を防止するとともに、気相部での窒素消費量を低減できるようにした純水製造装置を提供する。 - 特許庁
This piping for supplying the prepolymerization catalyst, used for transporting the prepolymerization catalyst to a gas phase fluidized bed type polymerization reactor for an olefin with a carrier gas, is characterized in that the inner surface of the pipe comprises a fluororesin.例文帳に追加
予備重合触媒をキャリアガスでオレフィン類の気相流動床式重合反応器に移送する際に用いられる配管であって、配管の内面が弗素樹脂から成る予備重合触媒供給用配管。 - 特許庁
To provide a catalytic component provided with porous ceramics generally useful for accelerating catalytic gas phase reaction and for modifying a supplied gas containing particularly a hydrocarbon or tar compound.例文帳に追加
本発明は、一般に触媒気相反応を促進するのに有用であり、特に炭化水素又はタール化合物を含有する供給ガスを改質するのに有用な多孔質セラミック体を備えた触媒成分に関する。 - 特許庁
The measuring object is weighed, put into a sealed container, and heated up to a prescribed temperature to evaporate the volatile component, and a gas phase portion is measured by using gas chromatography, to thereby determine a peak area (Ax) of the volatile component.例文帳に追加
被測定物を秤量した後に密閉容器に入れ、所定温度まで加熱して揮発性成分を揮発させ、ガスクロマトグラフィを用いて気相部を測定し揮発性成分のピーク面積(Ax)を求める。 - 特許庁
To provide a gasification apparatus for a gas hydrate not requiring motive power for elevating the pressure at the inside of an intermediate vessel by making it to a structure that the gas hydrate is placed from a liquid phase side of a gasification tank , and a gasification method.例文帳に追加
ガスハイドレートをガス化槽の液体相側から入れる構造にすることで、中間容器内を昇圧するための動力を不要にしたガスハイドレートのガス化装置及びガス化方法を提供すること。 - 特許庁
The invention relates to the exhaust gas treating device comprising a water reserving tank to reserve water, and an exhaust gas introducing tube which is immersed in the water of the water reserving tank to introduce the exhaust gas containing carbon nano fibers produced in flowing gas-phase method into the water, and is formed as capable of maintaining the width of fluctuation of the exhaust gas pressure substantially constant.例文帳に追加
前記課題を解決するための手段は、水を貯留する水貯留槽と、流動気相法により生成するカーボンナノファイバー含有排ガスを前記水貯留槽内の水中に導入するように水中に浸漬され、排ガスの圧力の変動幅を実質的に一定に維持可能に形成されてなる排ガス導入管とを備えてなること特徴とする排ガス処理装置である。 - 特許庁
A liquid A having the dissolved oxygen is made to flow into a pump 11 together with a gas B, the liquid A and the gas B are mixed by the pump 11, next these are sent to a gas-liquid separator 12 and a gas phase portion D is separated in the gas-liquid separator 12, thereby obtaining a deoxidized liquid E which is made to reduce a dissolved oxygen amount in the liquid.例文帳に追加
溶存酸素を有する液体Aを、ガスBとともにポンプ11に流入させ、上記ポンプ11により上記液体Aと上記ガスBとを混合させて、次いで気液分離器12に送り、この気液分離器12において気相分Dを分離することにより、上記液体中の上記溶存酸素量を低減させた脱酸素液体Eを得る。 - 特許庁
The process for manufacturing chlorine by reacting the gas containing hydrogen chloride with the gas containing oxygen by using catalytic gas-phase oxidation method using a catalyst containing ruthenium tetroxide, is characterised in that, after unreacted hydrogen chloride gas is absorbed in water or a diluted hydrochloric acid to be recovered, hydrogen chloride gas is added to the absorption liquid to manufacture the hydrochloric acid at the same time.例文帳に追加
酸化ルテニウムを含む触媒を用い、接触気相酸化法により塩化水素を含むガスと酸素を含むガスとを反応させて塩素を製造するプロセスにおいて、未反応の塩化水素ガスを水または希塩酸に吸収して回収後、吸収液に塩化水素ガスを添加することによって塩酸を同時に製造することを特徴とする塩素および塩酸の製造方法。 - 特許庁
This constitution increases the pressure of the gas phase part of the daily container 9 to pressurize the liquid phase part, and LNG in the daily container 9 is pressurized to a pressure higher than a pressure obtained by adding a necessary effective water head of the LNG pump 3 to a saturated steam pressure.例文帳に追加
これにより、小出し容器9の気相部を昇圧させて、液相部を加圧し、小出し容器9内のLNGを飽和蒸気圧にLNGポンプ3の必要有効吸込水頭を加えた圧力以上に加圧させる。 - 特許庁
When ambient temperature is lowered to lower the pressure of the gaseous phase of the naphtha tank 1, off-gas stored in the pressure accumulator 3 is returned back via a pressure reducing valve so as to adjust the pressure of the gaseous phase to be kept in a specified range.例文帳に追加
気温が低下して、ナフサタンク1の気相部の圧力が下降するときには、蓄圧容器3から貯蔵されているオフガスを減圧弁13を介して戻し、気相部の圧力が所定範囲内に保たれるように調整する。 - 特許庁
To provide a valve timing control device for internal combustion engine capable of ensuring a proper valve timing by preventing cam phase hunting in a cam phase holding state, and thereby improving the fuel consumption and the exhaust gas properties.例文帳に追加
カム位相保持状態におけるカム位相ハンチングの防止によって、適正なバルブタイミングを確保でき、それにより、燃費および排気ガス特性の向上を図ることができる内燃機関のバルブタイミング制御装置を提供する。 - 特許庁
This method for producing the methyl acetophenone is characterized by adding an alkali aqueous solution to a reaction solution obtained by oxidizing the ethyltoluene with a molecular oxygen-containing gas in a liquid phase to separate the produced benzoic acid compounds into the aqueous phase, and then distillation-purifying the methyl acetophenone.例文帳に追加
エチルトルエンを分子状酸素含有ガスにより液相酸化することにより得られた反応液に、アルカリ水溶液を添加し、反応で生成した安息香酸類を水層に分離した後、メチルアセトフェノンを蒸留精製する。 - 特許庁
The solid phase physical adsorbent medium provided with the adsorption affinity of this fluid is disposed in the container for storage and dispensing with inside gas pressure and fluid is physically adsorbed on the solid phase physical adsorbent medium.例文帳に追加
この流体の吸着親和性を備える固相物理的吸着媒体は、内部気体圧力で貯蔵ならびに計量分配用容器に配置し、そして流体を固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着させる。 - 特許庁
To provide a method for producing an aromatic polycarbonate by a solid phase polymerization method using a crystalline aromatic polycarbonate, in which an inert gas exhausted from a solid phase polymerization tank is recycled to efficiently produce the aromatic polycarbonate.例文帳に追加
結晶性芳香族ポリカーボネートを用いた固相重合法による芳香族ポリカーボネートの製造方法において、固相重合槽から排出された不活性ガスを再利用するにあたって、効率的な生産方法を提供する。 - 特許庁
In the cooling device 1, an evaporator 2 for vaporizing working fluid filled into the device and a condenser 3 for condensing vapor vaporized by the evaporator 2 and re-liquifying it are interconnected through a gas phase passage 4 and a liquid phase passage 5.例文帳に追加
冷却装置1では、装置内に封入された作動液を気化するエバポレータ2とエバポレータ2で気化した蒸気を凝縮して再び液化するコンデンサ3とが、気相路4及び液相路5により相互に接続されている。 - 特許庁
To provide a fuel supply control device for an internal-combustion engine capable of controlling the fuel pressure accurately irrespective of the cam phase even in case a cam phase variable mechanism is installed, and of maintaining well the fuel consumption and the exhaust gas characteristics.例文帳に追加
カム位相可変機構が設けられた場合でも、カム位相にかかわらず、燃料の圧力を精度良く制御でき、燃費や排ガス特性を良好に維持することができる内燃機関の燃料供給制御装置を提供する。 - 特許庁
The solid-phase physical sorbent medium having sorptive affinity of the fluid is arranged in the storage and dispensing vessel at an interior gas pressure, and the fluid is physically adsorbed onto the solid-phase physical sorbent medium.例文帳に追加
この流体の吸着親和性を備える固相物理的吸着媒体は、内部気体圧力で貯蔵ならびに計量分配用容器に配置し、そして流体を固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着させる。 - 特許庁
The process device 1 is a vacuum device, such as a vapor deposition device, a molecular beam epitaxial device or an ion beam sputtering device, or a thin-film growth device, such as an organic-metal gas-phase growth device or a liquid phase epitaxial device, or a surface treatment device, etc.例文帳に追加
プロセス装置1は、蒸着装置、分子ビームエピタキシャル装置、イオンビームスパッタ装置等の真空装置や、有機金属気相成長装置、液相エピタキシャル装置等の薄膜成長装置、表面加工装置等である。 - 特許庁
The thus constituted muffler A generates the spiral flow in the exhaust gas from a fuel cell stack, separates the liquid phase by a centrifugal force of the spiral flow, can reduce the exhaust noise and can exhaust the vapor phase to the exterior.例文帳に追加
このように構成したマフラーAは、燃料電池スタックからの排出ガスに螺旋流を生じさせ、同螺旋流による遠心力によって液相を分離し、排気騒音を低減して外部に気相を排出することができる。 - 特許庁
The phase difference (delay time) is set between the correction factors so that a phase of a cylinder air-fuel ratio materialized by injection of the liquid fuel coincides with that materialized by injection of the gas fuel.例文帳に追加
そして、液体燃料の噴射によって実現される筒内空燃比の位相と、気体燃料の噴射によって実現される筒内空燃比の位相とが一致するように、両補正係数間に位相差(遅れ時間)を設定する。 - 特許庁
To provide a fuel injection system of internal combustion engine using both a liquid phase injector and gas phase injector, in which the configuration remains simple and nevertheless it is possible to maintain high the quantitative preciseness in regulating the fuel injection from each injector.例文帳に追加
液噴インジェクタと気噴インジェクタとを併用するシステムにあって、簡単な構成でありながら、それら各インジェクタによる燃料噴射量の調量精度を高く維持することのできる燃料噴射システムを提供する。 - 特許庁
To provide a vapor-phase content removing device, which when attached to a post stage of a CVD apparatus for forming a film on the surface of a semiconductor wafer, efficiently collects vapor-phase components of the process gas exhausted from the CVD apparatus.例文帳に追加
半導体ウェハの表面に成膜をなすCVD装置の後段に装着され、当該CVD装置から排気される処理ガスの気相成分を効率よく補集することのできる気相成分除去装置を提供する。 - 特許庁
To provide a gas phase reduction method using a gaseous reducing agent by improving a liquid phase reduction method using a liquid reducing agent by a conventional technique in the manufacturing process of a catalyst used for the manufacture of acetic acid alkieny ester.例文帳に追加
酢酸アルケニルエステルの製造に用いる触媒の製造工程において、従来技術による液相還元剤を用いた液相還元方法を改善して、気体還元剤による気相還元方法を提供すること。 - 特許庁
The missing oxygen can effectively be replaced with sulfur and celenium atoms to prevent generation of electron seizing sites only by conducting a gas phase or liquid phase process on the oxide semiconductor or gate insulating film without large alteration in the manufacturing process.例文帳に追加
製造プロセスに大きな変更を伴わず、酸化物半導体上もしくはゲート絶縁膜上を気相または液相処理を行うだけで、酸素欠損を硫黄やセレン原子が効果的に置換し、電子補足サイトの発生を防止する。 - 特許庁
A reaction zone is made into a state that a solid catalyst exists in a liquid phase containing acetic acid and butadiene and an oxygen-containing gas containing ≥7 mol% oxygen is introduced into the liquid phase so as to form fine bubbles.例文帳に追加
反応帯域を酢酸及びブタジエンを含む液相中に固体触媒が存在している状態に形成し、この液相中に7モル%以上の酸素を含む酸素含有ガスを微細な気泡を形成するように導入する。 - 特許庁
Heat is recovered by liquid phase decomposition reaction (endothermic reaction) of methanol and methyl formate, then power is generated with an expansion turbine by using decomposition product gas, and heat of liquid phase synthetic reaction of methanol and methyl formate (exothermic reaction) is utilized.例文帳に追加
メタノール、ギ酸メチル液相分解反応(吸熱反応)により熱回収を行い、分解生成ガスを用いて膨張タービンにより発電した後、メタノール、ギ酸メチル液相合成反応(発熱反応)により熱利用を行う。 - 特許庁
To provide a composition containing monofluoromethane and trifluoromethane, which is an azeotropic composition which can be regarded as a homogeneous substance, or capable of becoming the azeotropic like composition in which the compositions of gas phase part and liquid phase part are substantially the same.例文帳に追加
同一物質と見なせる共沸組成物もしくは、実質的に気相部と液相部の組成が同一の共沸様組成物となりうる、モノフルオロメタンとトリフルオロメタンとを含む組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide a gas-phase exothermic reaction method which well satisfies process stability and economy in performing a gas-phase exothermic reaction by using a fluidized bed reactor having heat removal tubes in its inside by performing the temperature control by efficiently passing a vapor through the heat removal tubes.例文帳に追加
内部に除熱管を有する流動層反応器を用いて気相発熱反応させる際に、蒸気を効率的に除熱管内に流通して反応器の温度制御を行うことで、十分にプロセス安定性及び経済性を満足する気相発熱反応方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a method of gas-phase catalytic oxidation by which the influence of a deposit on a metallic auxiliary filler on a catalyst is decreased to advantageously obtain a reaction product, using a fixed-bed reactor filled with the metallic auxiliary filler and a gas-phase catalytic oxidation catalyst.例文帳に追加
金属製充填補助材と気相接触酸化触媒とを充填した固定層用反応器を用いる気相接触酸化反応方法おいて、触媒に対する金属製充填補助材の付着物の影響を低減し、反応生成物を有利に得ることができる気相接触酸化反応方法を提供する。 - 特許庁
The aerosol composition for a human body is obtained by forming an emulsion with an oil phase containing a lipophilic liquefied gas and an active ingredient and an aqueous phase, and the aerosol composition contains 1-10 wt.% of the active ingredient and 35-85 wt.% of the lipophilic liquefied gas.例文帳に追加
親油性液化ガスと有効成分とを含有する油相と、水相とがエマルジョンを形成してなる人体用エアゾール組成物であって、該有効成分が、エアゾール組成物中1〜10重量%含有され、前記親油性液化ガスが、エアゾール組成物中35〜85重量%含有されてなる人体用エアゾール組成物である。 - 特許庁
As a targeted reaction, the following methods are cited: a method of producing an acrylonitrile by a gas phase ammoxidation reaction in which propane and/or propylene is used as a raw material, and a method of producing a maleic acid anhydride by a gas phase oxidation reaction in which one or more selected from n-butane, 1-butene, 2-butene, butadiene, and benzene are used as a raw material.例文帳に追加
対象反応としては、プロパンおよび/またはプロピレンを原料とする気相アンモ酸化反応によってアクリロニトリルを製造する方法、でn−ブタン、1−ブテン、2−ブテン、ブタジエン、ベンゼンから選ばれる一つ以上を原料とする気相酸化反応によって無水マレイン酸を製造する方法が挙げられる。 - 特許庁
To provide a repair and regeneration treatment method for a gas turbine high-temperature component capable of repairing a crack in the gas turbine high- temperature component wherein a precipitation form or phase of precipitated matter is varied by use under a high temperature or wherein the crack is generated by a creep or fatigue, solid-dissolving and newly precipitating the precipitated phase, and recovering material quality.例文帳に追加
高温下での使用により析出物の析出形態や相の変化を生じたり、クリープや疲労によりき裂が生じたガスタービンの高温部品のき裂を補修するとともに、析出相を固溶・再析出させ材質をも回復させることができるガスタービン高温部品の補修再生処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for a catalytic gas phase oxidation preventing a violent reaction or early deterioration of a catalyst and enabling the production stably in a high yield for a long period in producing (meth)acrylic acid, or the like, from propylene or isobutylene by the method for a catalytic gas phase oxidation using a multi-tubular reactor.例文帳に追加
多管式反応器を用いて接触気相酸化法によりプロピレンまたはイソブチレンから(メタ)アクリル酸等を製造する際、暴走反応または触媒の早期劣化を防止して、長期間にわたって安定的に高収率に製造することを可能にした接触気相酸化法を提供する。 - 特許庁
Gas-phase refrigerant bypass means 19, 19a are provided for introducing gas-phase refrigerant out of refrigerant decompressed and expanded by a second expansion valve 18 to refrigerant pipes 13i-13l laid from the refrigerant outlet of a second evaporator 21 to an intake port of a compressor 11 to bypass the second evaporator 21.例文帳に追加
第2膨張弁18にて減圧膨張された冷媒のうち気相冷媒を、第2蒸発器21を迂回するように流して、第2蒸発器21冷媒出口から圧縮機11吸入口へ至る冷媒配管13i〜13lへ導く気相冷媒バイパス手段19、19aを設ける。 - 特許庁
The method is used to form a microcrystal into a film through a plasma CVD method by using a first material gas containing such an element that a number of atoms are polymerized to form a polymer when they are joined in a vapor phase, as well as a second material gas that does not form a polymer in a vopor phase.例文帳に追加
気相中で結合した場合に多数の原子が重合することによってポリマーを形成する元素を含有する第1原料気体と、気相中でポリマーを形成することのない第2原料とを用いてプラズマCVD法によって微結晶を成膜する方法に関するものである。 - 特許庁
To make contamination caused by leaking oil when treating gas phase fluid inconspicuous by relatively small and simple structure, and further to minimize deterioration of a filter used in a dust removing apparatus due to the influence of dust or oil in the gas phase fluid to be treated in an early stage.例文帳に追加
気相流体の処理に際して漏れ出した油分による汚れを、比較的小型で簡単な構造で目立たないようにし、さらには、除塵装置で用いられるフィルターが処理対象の気相流体中の塵埃や油分による影響で早期に劣化することを極力抑制できるようにする。 - 特許庁
A tank body 51 of the gas liquid separator 50 is formed into a conical flask shape gradually increasing a tank cross sectional area S as approaching to its lower side, so that the turning speed of the refrigerant adjacent to a liquid-phase refrigerant outlet 54 is reduced to stabilize the level of the liquid-phase refrigerant accumulated in the gas-liquid separator 50.例文帳に追加
気液分離器50のタンク本体51を下方側に向かうほどタンク断面積Sが増大するような円錐フラスコ状とすることにより、液相冷媒流出口54近傍における冷媒の旋回速度を小さくして気液分離器50内に溜まった液相冷媒の液面を安定させる。 - 特許庁
While the hydrogen concentration in a gas phase space in the polymerization tank 210A is kept at a constant value or while the feed flow rate of the hydrogen is kept at a constant value, the gas phase components of the polymerization tank 210A are cooled with the vaporization latent heat of a monomer and circulated to control the temperature of the polymerization solution in such a state as giving the intrinsic viscosity of the polyolefin having a desired molecular weight.例文帳に追加
重合槽210A内の気相空間の水素濃度を一定、または、水素のフィード流量を一定としつつ、重合槽210Aの気相分をモノマーの蒸発潜熱を利用して冷却しつつ循環させ、所望とする分子量のポリオレフィンの極限粘度となる状態に重合溶液の温度を制御する。 - 特許庁
The reducer supply device 1 is provided with an air pump 21 blasting air to the first gas phase part 20, a first valve device 22 opening and closing the first gas phase part 20 to and from atmosphere, a liquid level detection sensor 25 provided at an equivalent position with a suction port 17 of the supply pump 3 and installed on the first tank 14.例文帳に追加
還元剤供給装置1は、第1気相部20に空気を送り込むエアポンプ21と、第1気相部20を大気に対して開閉する第1弁装置22と、供給ポンプ3の吸引口17と同位に配されて第1タンク14に装着される液面検知センサ25とを備える。 - 特許庁
In the ruthenium film manufacturing method, volatile inorganic ruthenium compound in a gas phase state and reducing agent in a gas phase state are introduced into a reaction chamber (11) in which at least one substrate is stored, the volatile inorganic ruthenium compound and the reducing agent are reacted with each other, and ruthenium is deposited on at least one substrate.例文帳に追加
少なくとも1つの基板を収容する反応チャンバ(11)内に気相状態の揮発性無機ルテニウム化合物と気相状態の還元剤を導入することにより両者を反応させ、前記少なくとも1つの基板上にルテニウムを堆積させることを特徴とするルテニウム膜の製造方法 - 特許庁
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