「High-Resolution」に関連した英語例文の一覧と使い方(95ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a functional resin composition which has not only excellent transparency and excellent etching resistance but also high sensitivity and high resolution when used as a resist raw material for lithography and which is technically preferable for improving integration density, as regards development of the functional resin composition which is excellent in sensitivity, resolution, alkali developability achieving improvement of line edge roughness, and substrate adhesiveness.例文帳に追加

感度や解像度、ラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基板密着性に優れた機能性樹脂組成物の開発に関し、リソグラフィー用レジスト原料として、透明性、エッチング耐性に優れるだけでなく、更に高感度、高解像度を有し、集積密度向上に対して技術的に好ましい機能性樹脂組成物の提供。 - 特許庁

To provide a printing method by which an image pattern where low resolution parts and high resolution parts are mixed is collectively printed with high precision on a base material such as a glass base material and a plastic film without pattern missing, and to provide a method of printing a color filter using the printing method and the color filter manufactured by using the printing method.例文帳に追加

ガラス基材やプラスチックフィルムなどの基材上へ、高解像度部と低解像度部とが混在する画像パターンをパターン欠落なく一括で精度よく印刷できるようにした印刷方法とこの印刷方法を利用したカラーフィルターの印刷方法、並びに前記した印刷方法によって製造されたカラーフィルターの提供を目的とする。 - 特許庁

Scrambling is applied to the compressed codes of a hierarchy for a high-resolution image in a compressed image string which is hierarchically compression-coded by applying discrete wavelet transform to pixel values for each rectangular region where image data are separated into one or a plurality of regions, and the scrambling is not applied to the compressed codes other than the compressed codes of the high-resolution image.例文帳に追加

画像データを１又は複数に分割した矩形領域毎に画素値を離散ウェーブレット変換して階層的に圧縮符号化された圧縮符号列における高解像度画像に係る階層の圧縮符号にはスクランブル処理を施し、当該高解像度画像に係る階層の圧縮符号以外にはスクランブル処理を施さないようにする。 - 特許庁

To obtain a polymerizable composition for color filter, which suppresses illuminance dependency upon forming a color pattern even when exposure machines having different illuminance values are used, achieves excellent curability of a formed color pattern, and forms a rectangular pattern with superior resolution, to provide a color filter having high color separation property, and to provide a solid-state imaging device having high resolution.例文帳に追加

着色パターンを形成するに際して、照度の異なる露光機を用いても照度依存性を抑制することができ、形成された着色パターンの硬化性に優れ、解像度の優れた矩形のパターンを得ることができるカラーフィルタ用の重合性組成物を得ることであり、色分離性が良好なカラーフィルタ、および高解像度の固体撮像素子を得る。 - 特許庁

This pattern formation method is provided with process for forming a super-high resolution film, for narrowing the beam diameter of irradiated light on the resist film formed on a substrate, the process for irradiating the resist film with the light via the super-high resolution film and performing pattern alignment and the process for developing the resist film, to which the pattern alignment is performed.例文帳に追加

基板上に形成されたレジスト膜上に、照射される光のビーム径を絞る超解像膜を形成する工程と、前記超解像膜を介して前記レジスト膜に対して光を照射し、パターン露光を行なう工程と、前記パターン露光が行なわれた前記レジスト膜を現像する工程とを備えるパターン形成方法である。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition which has high transparency for radiations, has excellent resist fundamental physical properties such as sensitivity, resolution, dry etching resistance, and pattern formation, and has high resolution performance and small pattern line edge roughness, to provide a polymer capable of being used for the composition, and to provide a new compound used for synthesizing the polymer.例文帳に追加

放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、解像性能が高く、パターンのラインエッジラフネスが小さい感放射線性樹脂組成物、その組成物に利用できる重合体およびこの重合体合成に用いられる新規化合物を提供する。 - 特許庁

This IC tester for testing a test IC has a high-resolution digitizer digitizing and fetching a settling signal outputted from the test IC; and a digital signal processor adding the data fetched sequentially from the high-resolution digitizer to the preceding data, and scaling the added data by the number of additions to execute the averaging process of the taken-in data.例文帳に追加

被試験ＩＣの試験を行なうＩＣテスタにおいて、被試験ＩＣが出力するセトリング信号をデジタイズして取込むハイレゾルーションデジタイザと、このハイレゾルーションデジタイザから順次取込むデータをその直前のデータに加算すると共に加算されたデータを加算回数でスケーリングし、取込みデータの平均化処理を行なうデジタルシグナルプロセッサを備えた構成とする。 - 特許庁

To provide a method for synthesizing an image due to a plurality of reliable reflection radar waves that has a high resolution for a distance direction for the front in a flight direction and at the same time a high resolution also for a direction that orthogonally crosses the flight direction and can be miniaturized entirely, and an image radar for mounting on an aircraft utilizing the method.例文帳に追加

飛行方向の前方に対する距離方向には高い分解能を有する共に、飛行方向に直交する方向についても高い分解能を有し、且つ全体的に小型化を可能とした信頼性の複数の反射レーダ波による画像合成方法およびこれを利用した高い航空機搭載用画像レーダを提供すること。 - 特許庁

To provide a minute sample processing/observing device and a minute sample processing/observing method, which execute cress section observation and analysis of a wafer cross section from a horizontal direction to a vertical direction without dividing the wafer used as a sample, with high resolution, high precision and high throughput.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a minute sample working observation apparatus and a minute sample working observation method where cross-sectional observation and analysis of wafer cross section from horizontal direction up to vertical direction can be performed with high resolution, high precision and high throughput, without breaking the wafer which is to become samples.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide an electrophotographic device which resolves instability of a light source regardless of write with a high resolution and gives a high stability to a surface potential of a photoreceptor and maintains a high sensitivity peculiar to titanyl phthalocyanine even in using a non-halide solvent as a charge transport layer coating liquid.例文帳に追加

高解像度で書き込みを行なっても、光源の不安定さを解消し、かつ感光体の表面電位の安定性の高くまた、電荷輸送層用塗工液に非ハロゲン系溶媒を用いた場合においても、チタニルフタロシアニン固有の高感度を維持した電子写真装置を提供する。 - 特許庁

Since the photosensitive resin composition can be developed with only an aqueous alkali solution as a developing solution at a high developing speed, a good light-colored negative type pattern film having high sensitivity, high resolution and little reduction in film thickness can be formed while preventing coloration.例文帳に追加

このような感光性樹脂組成物によれば、アルカリ水溶液のみを現像液として用い、迅速な現像速度において現像でき、その結果、高感度および高解像度で、膜減りの少ない、良好なネガ型のパターンの皮膜を、着色を防止して淡色で形成することができる。 - 特許庁

To provide a positive type resist material characterized by having high sensitivity and high resolution equivalent to or higher than those of a conventional positive type resist material, alleviating the formation of standing waves because of the good pattern shape on especially a high-reflecting substrate, and therefore causing reduced edge roughness.例文帳に追加

従来のポジ型レジスト材料と同等か若しくはこれを上回るほど高感度、高解像度であるとともに、特に高反射基板上でのパターン形状が良好で、定在波の発生が軽減され、エッジラフネスが少ない特性を示すポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To provide an image measuring method and device capable of acquiring a radiogram of an aiming object having high resolution in a short time by utilizing X-rays having high output, high brightness and excellent parallelism, and applicable to wide medical use or the like.例文帳に追加

広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用して、高解像度かつ短時間で目的とする被写体のＸ線画像を得ることが可能な画像測定方法及び画像測定装置を提供する。 - 特許庁

Simultaneously, since a high-energy image as a diagnostic image in extracting a soft part (removing a bone part) utilizes high-energy entire pixel data SH made of first and second high-energy pixel group data (Sh1+Sh2), a radiation conversion panel performs an energy subtraction treatment maintaining resolution of a chest soft part image.例文帳に追加

同時に、軟部抽出（骨部除去）の際の診断画像としての高エネルギ画像は、高エネルギ第１及び第２画素群データ（Ｓｈ１＋Ｓｈ２）からなる高エネルギ全画素データＳＨを利用するので、胸部軟部画像の分解能を維持したエネルギサブトラクション処理を行うことができる。 - 特許庁

To provide a trace sample working observation apparatus and a minute sample working observation method where cross-sectional observation and analysis of wafer cross section from horizontal direction up to vertical direction can be performed with high resolution, high precision and high throughput, without having to breaking the wafer which is to become samples.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方角からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition having high sensitivity, high resolution, a tenting property, a low scumming property, a high following property, low edge fusibility and good removability and useful as alkali- developable DFR for production of a printed circuit board, a lead frame and a semiconductor package.例文帳に追加

高感度、高解像度であり、テンティング性、低スカム性、高追従性、低エッジフュ−ズ性及び良好な剥離性を有する、アルカリ現像型のプリント回路板、リ−ドフレ−ム及び半導体パッケ−ジ製造用のＤＦＲに有用な、感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide an electrophotographic photoreceptor in which adhesion properties of a photoconductive layer are improved by combining a specific charge generation material with a resin, which has high sensitivity and high potential stability to writing light, and which can obtain a clear electrophotographic image with high resolution.例文帳に追加

本発明は、特定の電荷発生物質と樹脂を組み合わせることで、感光層の接着性が向上すると共に、高感度、かつ、書き込み光に対する電位安定性が高く、解像度の高い鮮明な電子写真画像が安定して得られる電子写真感光体を提供することである。 - 特許庁

To provide a blue-violet laser photosensitive composition, having high sensitivity to blue-violet laser light, high safelight properties of a photosensitive composition layer formed on a temporary support film and high resolution, and to provide an image forming material, an imaging material and a method for forming an image thereon.例文帳に追加

青紫色レーザーに高感度であり、仮支持フィルム上に形成された感光性組成物層のセーフライト性が良好で、かつ高い解像性を有する青紫色レーザー感光性組成物、画像形成材料、画像形成材及びその画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To realize a minute sample processing observation device and a minute sample processing observation method where cross-sectional observation and analysis of a wafer cross section from a horizontal direction up to a vertical direction can be performed with high resolution, high precision and a high throughput, without breaking the wafer to be a sample.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a liquid developer which suppresses the generation of solvent vapor in fixing, is capable of dealing with high-speed printing, is well dispersed with toners, has good solid uniformity, high image density, stability and high resolution and is capable of imparting the highly chromatic images and an image forming method using the same.例文帳に追加

定着時の溶剤蒸気の発生を抑え、高速プリントに対応できると共に、トナーが良好に分散して、ベタ均一性が良く、画像濃度が高く、安定且つ高解像、及び高色彩の画像を付与するができる液体現像剤及びそれを用いた画像形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide photomask blanks which, even when a light blocking material is contained in large quantity, cure with high sensitivity upon exposure and are excellent in storage stability, and a photomask which is produced using the photomask blanks, enables image formation with high resolution, and ensures high linearity of an image edge part.例文帳に追加

遮光材料を大量に含有する場合であっても露光により高感度で硬化し、且つ保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、及び、該フォトマスクブランクスを用いて作製された、高解像度で画像形成が可能であり、画像エッジ部の直線性の高いフォトマスクを提供する。 - 特許庁

To perform reading with high sensitivity and high resolution at a high speed with a radiation image reading method and device which detect stimulated luminous light by irradiating a stimulable phosphor sheet in which radiation energy is accumulated with exciting light by scanning the sheet in a horizontal scanning direction and vertical scanning direction.例文帳に追加

放射線エネルギーが蓄積された蓄積性蛍光体シートに励起光を主走査方向および副走査方向に走査して照射することにより輝尽発光光を検出する放射線画像読取方法および装置において、高感度かつ高解像度かつ高速な読取りを行う。 - 特許庁

To provide a photosensitive siloxane composition having high heat resistance, high transparency and a low dielectric constant, capable of forming a cured film with a pattern having high chemical resistance and good resolution, and being used for forming a planarizing film for a TFT substrate, an interlayer insulation film or a core or cladding material of an optical waveguide.例文帳に追加

高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を併せ持ち、かつ耐薬品性が高く、良好な解像度のパターンを有する、ＴＦＴ基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる感光性シロキサン組成物を提供する - 特許庁

To provide a pigment dispersion composition which is uniformly dispersed while keeping low viscosity and has excellent dispersion stability and to provide a colored photosensitive resin composition which contains the pigment dispersion composition and is capable of forming a high resolution picture with high sensitivity and at high rate by using light of ≥405nm.例文帳に追加

低粘性を保持しながら均一に分散され、その分散安定性に優れた顔料分散組成物、及び該顔料分散組成物を含み、４０５ｎｍ以上の光で高感度かつ高速に、しかも高解像度な画像を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a positive type heat resistance photosensitive polymer composition having high sensitivity and ensuring a good pattern shape and a good rate of a residual film in the unexposed part, a method for producing a pattern by which a high resolution pattern having a good shape is obtained by using the composition and electronic parts having high reliability.例文帳に追加

本発明は、感度が高く、パタ−ン形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の耐熱性感光性重合体組成物、前記の組成物の使用により解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。 - 特許庁

To provide an inkjet recording medium which not only has excellent ink absorbency and high-speed inkjet printability but also brings about high image quality, high resolution and excellent color development properties, when printing is done by an inkjet printer, a manufacturing method for the inkjet recording medium, and an inkjet recording method.例文帳に追加

インクジェットプリンターで印字した際に、インク吸収性に優れ、高速インクジェット印字適性を有すると同時に、高画質、高解像度で発色性に優れたインクジェット記録媒体、インクジェット記録媒体の製造方法及びインクジェット記録方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide an electrophotographic photoreceptor having high sensitivity to laser light of visible rays and excellent durability without causing fatigue or deterioration by light, and to provide an electrophotographic device which uses the above photoreceptor and laser light of visible rays as the exposure light source, which has high sensitivity and high resolution and which can give stable picture quality.例文帳に追加

可視光のレーザ光に高感度を有し、光によって疲労劣化しない耐久性に優れる電子写真感光体、および該感光体を用いて可視光のレーザ光を露光光源とし、高感度かつ高解像力を有して安定した画質が得られる電子写真装置を提供する。 - 特許庁

To realize a micro testpiece processing and an observation device wherein cross-sectional observation and analysis of the wafer cross-section from horizontal to vertical direction can be made in high resolution and high precision with a high throughput, without splitting in pieces the wafer being a testpiece, and a micro testpiece processing and observation method.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a positive resist material with a high sensitivity, a high resolution, a small line width roughness, and an excellent post-exposure pattern shape, especially a positive resist material using a high polymer suitable as a base resin of a chemical amplification positive resist material, and to provide a pattern formation method.例文帳に追加

高感度、高解像度で、ラフネス（ＬＷＲ）が小さく、露光後のパターン形状が良好であるポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として好適な高分子化合物を用いたポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To improve boding strength of a high melting point metallic porous base body which constituted a structural body for a side heated immersed cathode with a cup-shaped holder, and to secure reliability of the bonding, and to greatly improve efficiency in a bonding work, and to provide a cathode-ray tube of high brightness, high resolution, and a long life.例文帳に追加

傍熱形含浸陰極構体を構成する高融点金属多孔質基体とカップ状ホルダーとの固着強度の向上と固着の信頼性を確保し、固着作業効率を大幅に向上すると共に、高輝度、高解像度で長寿命の陰極線管を提供する - 特許庁

To provide a radiation sensitive composition excellent in storage stability and resolution and capable of simply forming high-definition microlenses and microlens arrays, in a high product yield, having a high refractive index and excellent balance of properties such as transparency, heat resistance, heat discoloration resistance and solvent resistance.例文帳に追加

保存安定性および解像度に優れ、高屈折率を初めとして、透明性、耐熱性、耐熱変色性、耐溶剤性等の特性バランスに優れた高精細なマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを、高い製品歩留りで簡便に形成することができる感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition having high sensitivity, high resolution and a high radiation transmittance, excellent in smoothness of a pattern surface in micropattern and capable of preventing partial insolubilization in overexposure without impairing basic solid state properties as a resist such as pattern shape, dry etching resistance and heat resistance.例文帳に追加

パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なわずに、高感度、高解像度で、放射線透過率が高く、微細寸法でのパターン表面の平滑性に優れ、かつ過露光時の部分不溶化を解消しうる感放射性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a method for efficiently manufacturing an array-like plastic optical element composed of a non-transmission part and a transmission part of high resolution and high light utilization ratio (brightness), wherein a dimension between lens pitches is 1 mm or smaller, numeric aperture is 90% or greater and high shape precision of a lens is 0.1 μm or less.例文帳に追加

レンズピッチ間寸法が１ｍｍ以下、開口率を９０％以上、レンズの高形状精度が０．１μｍ以下の高解像度と高光利用率（明るさ）の透過部と、非透過部とからなるアレイ状のプラスチック光学素子を、能率的に製作できる製造方法を工夫すること。 - 特許庁

To provide a rotary manipulator which is to be introduced into a robot, manipulator and a positioning stage or the like and particularly to a small size and light weight rotary actuator, using an inch-worm and having high resolution, high propulsive force and high durability which assures no deviation during rotation and highly accurate rotation, and to provide a method of operating the same rotary actuator.例文帳に追加

ロボット，マニピュレータ、位置決めステージ等に採用される回転マニピュレータであり、特に、回転中におけるブレがなく、高精度回転ができ、小型，軽量で高分解能、高推力、高耐久性のあるインチワームによる回転アクチュエータとその作動方法を提供する。 - 特許庁

To provide an image processing apparatus and image processing method for detecting a motion of an image with simpler processing to the utmost and high accuracy without the need for using a memory with a large storage capacity from an image signal providing an image with high density (high resolution) and for applying pixel interpolation processing to moving pixels.例文帳に追加

高密度（高解像度）の画像を提供する画像信号について、記憶容量の大きなメモリを用いることなく、かつ、できるだけ簡単な処理で高精度に画像の動き検出を行ない、動画素については画素補間処理を行なえるようにする。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for observing the processing of a minute sample where the cross-sectional observation and analysis of a wafer cross section from a horizontal direction to a vertical direction can be performed with a high resolution, high precision and high throughput, without breaking a wafer being the sample.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a device for processing and observing a microscopic sample and a method for processing and observing the same, whereby the cross-sectional observation and analysis of a wafer cross-section can be performed with high resolution, high precision and high throughput from various directions from horizontality to verticality without breaking a wafer used as a sample.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a sheet for ink-jet recording which is strong and has surface smoothness and luster of a recording face and exhibits high ink absorbing properties and good ink receiving performance and has no blotting with time and can form an image with high resolution and high density and does not generate discoloration of the paper face.例文帳に追加

強固で、記録面の表面平滑性及び光沢性を有し、インク吸収性が高く、良好なインク受容性能を有し、経時でのニジミがなく、高解像度で高濃度の画像を形成でき、画像耐性に優れ、紙面の着色が発生しないインクジェット記録シートを提供する。 - 特許庁

To provide an ink jet recording sheet, with which an image having an high resolution and a high density can be formed, which is excellent in light resistance and gas resistance and in which no bleeding with time develops even when being stored under high temperature and highly humid environment for a long period of time after printing, which holds an image stably and is excellent also in manufacturability.例文帳に追加

高解像度で高濃度な画像を形成でき、耐光性及び耐ガス性に優れ、印画後、高温高湿度環境下に長時間保存された場合でも、経時ニジミを生じることなく、安定に画像を保持し、かつ製造適性にも優れたインクジェット記録用シートを提供する。 - 特許庁

To provide photomask blanks which, even when a light blocking material is contained in large quantity, cure with high sensitivity upon exposure and are excellent in storage stability, and a photomask which is produced using the photomask blanks, enables image formation with high resolution, and ensures high linearity of an image edge part.例文帳に追加

遮光材料を大量に含む場合であっても露光により高感度で硬化し、且つ保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、及び該フォトマスクブランクスを用いて作製された高解像度で画像形成可能であり、画像エッジ部の直線性の高いフォトマスクを提供する。 - 特許庁

To provide a device of processing/observing a minute sample and a method of processing/observing a minute sample, which can execute cross section observation and analysis of a wafer cross section from a horizontal direction to a vertical direction without dividing the wafer used as a sample, with high resolution, high precision and high throughput.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To achieve a minute sample processing observation device and a minute sample processing observation method where cross-sectional observation and analysis of a wafer cross section from a horizontal direction up to a vertical direction can be performed with high resolution, high precision and a high throughput, without breaking the wafer which is to become a sample.例文帳に追加

試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。 - 特許庁

To provide a pattern forming material having high exposure sensitivity, excellent resolution and a high prevention effect against light fog by a light source such as a safelight, and resulting in formation of a high definition pattern, and to provide a pattern forming apparatus equipped with the pattern forming material, and a pattern forming method using the pattern forming material.例文帳に追加

露光感度が高く解像度に優れ、かつ、セーフライトなどの光源での光カブリの防止効果が高く、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To provide a positive type photosensitive polymer composition having high sensitivity and ensuring a good pattern shape and a good rate of a residual film in the unexposed part, a method for forming a pattern by which a high resolution pattern having a good shape is obtained by using the composition and electronic parts having high reliability.例文帳に追加

本発明は、感度が高く、パターンの形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の感光性重合体組成物、前記の組成物の使用により、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。 - 特許庁