「exhausting」に関連した英語例文の一覧と使い方(47ページ目) - Weblio英語例文検索

In this outboard engine, a counterflow type four cycle engine 26 is arranged in a cowling 17, and an intake passage for supplying air to a combustion chamber and an exhaust passage for exhausting air from the combustion chamber are arranged on one side of the right or left side of the engine 26.例文帳に追加

船外機は、カウリング（１６，１７）内に４サイクルエンジン（２６）が配置され、このエンジンはカウンターフロータイプで、燃焼室に空気を供給する吸気通路および燃焼室から空気を排出する排気通路が前記エンジンの右または左側の一方の側に配置されている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device by which the yield of a product is improved by preventing a backflow from an atmosphere-side exhaust pipe so as to prevent the deterioration of the semiconductor device when exhausting atmosphere containing gas used for manufacturing the semiconductor from a reaction chamber.例文帳に追加

半導体装置の製造に用いられるガスを含む雰囲気を、反応室から排気する際に、大気側の排気配管からの逆流を防止することによって、半導体装置の劣化を防止し、製品の歩留まりを向上する半導体装置の製造方法を実現する。 - 特許庁

To provide a high-performance gas diffusion body capable of smoothly supplying/exhausting hydrogen gas and oxygen gas, and supplying/draining water, in a porous gas diffusion body of a constituent part of a solid polymer type reversible cell having two functions of a water electrolytic cell and a fuel cell.例文帳に追加

水電解槽と燃料電池の二つの機能を有する固体高分子型の可逆セルの構成部分である、多孔質ガス拡散体において、水素ガス・酸素ガスの供給排出および水の供給排出を円滑に行なうことができる、高性能のガス拡散体を提供すること。 - 特許庁

To provide a fuel cell system capable of efficiently utilizing energy consumed during scavenging treatment and enhancing starting performance of a fuel cell by enhancing exhausting performance of residual water in addition to condensed water, and to provide the control method of the fuel cell system.例文帳に追加

掃気処理中に消費するエネルギーを効率的に利用することができるとともに、凝縮水のみならず残留水分についても排出性能を高めて燃料電池の始動性を高めることができる燃料電池システムおよび燃料電池システムの制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fuel electrode separator capable of quickly exhausting gas generated at a fuel electrode catalyst face by electrochemical reaction and supplied into liquid fuel with a simple structure, and a fuel cell provided with the fuel cell electrode exerting stable performance.例文帳に追加

簡単な構成で、電気化学反応により燃料極触媒面で発生し、液体燃料中に供給された気体を速やかに排出することができる燃料極セパレータ、および、かかる燃料極セパレータを備え、安定した性能を発揮する燃料電池を提供すること。 - 特許庁

The electric charges of a positive electrode and a negative electrode are applied to coarse-meshed filters 2 which exhausts heat efficiently by using a positive electrode voltage applying part 5 and a negative electrode voltage applying part 6, thereby the toner is adsorbed efficiently without deteriorating the exhausting efficiency of heat though the mesh of the filter 2 is coarse.例文帳に追加

熱の排気効率の高い目の粗いフィルタ２に正極電圧印加部５と負極電圧印加部６を使用して、正極と負極の電荷を印加することにより、フィルタ２の目が粗くとも、熱の排気効率を低下させずに、トナーを効率良く吸着する。 - 特許庁

A heat sink 12, constituted of a heat absorbing part 121 and a heat exhausting part 122 inside the vent pipe 11, is arranged in the vent pipe 11, the air passing through the vent pipe 11 is cooled, and the cooled air cools the heat source by circulating inside the chassis 21.例文帳に追加

通気管１１には、通気管１１内部の吸熱部１２１と排熱部１２２とで構成されたヒートシンク１２が配されているため、通気管１１内部を通過する空気が冷却され、冷却された空気が筐体２１内部を循環することによって熱源を冷却する。 - 特許庁

In this gas vent structure for exhausting gas in the repeated charges and discharges in a secondary battery, an opening and closing valve is provided to be opened at prescribed pressure P1 lower than operation pressure (safety valve pressure) of a safety valve in the secondary battery, and higher than the internal pressure of the secondary battery brought by the repeated charges and discharges.例文帳に追加

二次電池の繰返し充放電に伴うガスを放出するためのガス抜構造であって、二次電池の安全弁の動作圧力（安全弁圧）より低く、かつ繰返し充放電による二次電池の内圧より高い所定圧力Ｐ１で開く開閉弁を設けた。 - 特許庁

The exhaust gas tube of a battery includes: safety valve mounting parts 6 each formed of a synthetic resin material (PE-based resin) and connected to a discharge port 5 of a safety valve 4; and an exhaust pipe 7 having a predetermined inner diameter, communicating with and connected to the safety valve mounting parts 6, and guiding and exhausting hydrogen gas to the outside.例文帳に追加

合成樹脂素材（ＰＥ．系樹脂）により構成して、安全弁４の吐出口５に連結する安全弁取付部６と、これら安全弁取付部６と連通接続して、外部に水素ガスを導いて放出する、所定内径の排出パイプ７とを有する。 - 特許庁

To provide a grille assembly of a cyclone dust collector for a vacuum cleaner easy to remove dust, foreign objects, and the like, by making the dust and the foreign objects stuck onto only a side of a lower part of the grille assembly by improving an air exhausting route to exhaust air through the lower part of the grille assembly.例文帳に追加

グリル組立体の下部を通した空気排出がなされるように空気排出経路を改善してグリル組立体の下部側にだけホコリ及び異物が付着されることによってホコリ及び異物等の除去が容易な真空清掃機用サイクロン集塵装置のグリル組立体を提供する。 - 特許庁

Further, the warm air exhausted from the air exhausting holes 12 of the appliances 8 is so passed through the rear space present between the rack 1 and the appliances 8 by the sucking force of the cooling fan apparatus 13, and so moves to the cooling fan apparatus 13 as to be exhausted to the external by the cooling fan apparatus 13.例文帳に追加

そして、機器８の排気孔１２から排出された暖かい空気は冷却ファン装置１３の吸引力によってラック１と機器８の間にある背面スペースを通って冷却ファン装置１３に向かい、冷却ファン装置１３によって外部に排出される。 - 特許庁

An opening that is part of the passage for exhausting building internal air outdoors is formed between the outside of an exhaust hood 832 of the exhaust tower body 80 and the side surface 81B of a cover 81, and a cloth 85 that usually hangs down is provided at the outside of the exhaust hood 832.例文帳に追加

排気塔本体８０の排気フード部８３２の外側面と、カバー８１のカバー側面部８１Ｂとの間には建物内部の空気を排出する排出通路の一部となる隙間が形成されており、排気フード部８３２の外側面に、通常時は垂下する布８５を取り付ける。 - 特許庁

Mounting surface 17 is furnished with a vent 17a for sucking or exhausting the air into/out of a hollow seal part 18 when a door 10 is opened and shut, and a hole 14a is provided in a door inner panel 14 of a door frame 11 in such a manner as mating with the vent 17a.例文帳に追加

ドア１０を開閉する際に中空シール部１８内に空気を吸入または中空シール部１８内の空気を排出するための通気口１７ａを取付面１７に設けるとともに、この通気口１７ａに対応するようにドアフレーム１１のドアインナパネル１４に孔１４ａを設ける。 - 特許庁

Water is gathered by sticking a waterdrop separated from the air to an inner wall of a cooling pipe in a process of exhausting the air by cooling the air by the colling pipe 4 erected on the ground surface after heating the air sucked in from a suction pipe 1 erected on the ground surface by a heating pipe 3 buried in the ground.例文帳に追加

地面に立設した吸気管１から吸い込んだ空気を、地中に埋設した加熱管３で加熱したのち、地面に立設した冷却管４で冷却して排気する過程で、空気から分離した水滴を冷却管の内壁に付着させて採水する。 - 特許庁

To provide the air curtain equipment of a freezer and a refrigerator to reduce the flowing in of outside air and to reduce the air flow for shutting off the flow of air through an entrance by arranging sucking holes and exhausting holes of the air for an air curtain around the entrance.例文帳に追加

出入口の周囲にエアーカーテン用の空気の吸込口と排出口とを設けて、外部の空気が流入するのを出来る限り少なくするとともに、出入口に流れる空気を遮断する流量を少なく出来る冷凍庫および冷蔵庫等のエアーカーテン装置を提供する。 - 特許庁

The auxiliary exhaust port 33 keeps an opening state capable of exhausting the gas G for expansion, when expansion of the air bag 10 during the expansion to the back side near the upper surface 1a side of the instrument panel 1 is regulated by the interference object HP and is reduced less than a suitable expansion.例文帳に追加

補助排気孔３３は、展開膨張途中のエアバッグ１０におけるインパネ１の上面１ａ近傍付近の後方側への展開を、干渉物ＨＰに規制されて、適正な展開より少なくする際に、膨張用ガスＧを排気可能に開口状態を維持する。 - 特許庁

The direct dust collecting system 30 is constituted by providing a first bug dust collector 18 and a first blower 20 on a direct exhaust passage 16 for directly suction-exhausting exhaust gas from the arc furnace 10, while the building dust collecting system 40 is constituted by providing a second bug dust collector 36 and a second blower 34 on a building exhaust passage 32.例文帳に追加

アーク炉10からの排ガスを直接吸引排出する直接排気路16上に第1バグ集塵機18と第1送風機20とを設けて直接集塵系30を構成する一方、建屋排気路32上に第2バグ集塵機36と第2送風機34とを設けて建屋集塵系40を構成する。 - 特許庁

In this heat pump type water heater 1, a casing 10 has a first side face 13 provided with a supply opening 13a for exhausting, a partitioning face 17 opposite to the first side face 13 through a prescribed distance, and a front face 11 and a back face 12 adjacent to the first side face 13.例文帳に追加

ヒートポンプ式給湯機１では、ケーシング１０が、排気用の吹出口１３ａが形成されている第１側面１３と、第１側面１３と所定距離を隔てて向かい合う仕切面１７と、第１側面１３と隣接する正面１１及び背面１２とを有している。 - 特許庁

To hold a flare 41 with one mount head even if the dimension of a flange part 41a of the flare 41 is varied in the mount head in the assembly of a stem mount containing the flare 41 to be fit to the end part of a glass tube bulb of a fluorescent lamp, an exhausting pipe, and a lead wire for fitting a coil.例文帳に追加

蛍光ランプのガラス管バルブの端部に取り付けられるフレア４１および排気管ならびにコイル取付け用のリ−ド線など含むステムマウント組立におけるマウントヘッドにおいて、フレア４１の鍔部４１ａの寸法が変わっても一つのマウントヘッドでフレア４１を保持できる。 - 特許庁

To provide a means of securing inner fluidity by forcibly installing a gap between a rib of a rear face side glass substrate and a front face side glass substrate by increasing pressure inside a panel more than an outside atmosphere upon sealing and exhausting PDP, and as a result, providing a panel having uniform characteristics.例文帳に追加

ＰＤＰの封着・排気中に、パネル内部の圧力を外部気圧より増加することで背面側ガラス基板のリブと前面側ガラス基板との間に隙間を強制的に設けることで内部の流動性を確保し、結果、均質な特性を有するパネルを提供する手段を提供する。 - 特許庁

Alternatively, or additionally, the support assembly may accommodate a fluid inlet 531 for receiving a fluid flow, a fluid outlet 535 for exhausting the fluid, and a means for acting on the fluid flow received by the inlet such as a filter or suction apparatus.例文帳に追加

それに代えて、あるいは付加的に、支持体組立品は、流体の流れを受け入れる流体導入口（５３１）と、流体を排出する流体排出口（５３５）と、フィルタあるいは吸気装置など、入口が受け入れた流体の流れに作用する手段とを収容することができる。 - 特許庁

In the rotary valve element 100 having switching through holes 106 and 107 supplying or exhausting fluid and relatively rotating, a distortion sensor 201 for detecting longitudinal distortion of a pin 105A transmitting driving force is provided on a rotating moving valve element 101 side through a hole 105.例文帳に追加

流体を供給または排気する切替用通孔１０６，１０７を有し相対回転する回転弁体１００において、回転する移動弁体１０１側に孔１０５を介して、駆動力を伝達するピン１０５Ａの長手方向に歪みを検出する歪みセンサ２０１を設ける。 - 特許庁

The fuel reformer 1 for the fuel cell is equipped with a reformer body 10 having a thin membrane heater on the inside, an outside container 20 for housing the reformer body 10 and keeping the inside in a vacuum state, an electric wire for supplying electric power to the thin membrane heater, and a plurality of fuel introducing/exhausting pipes 12.例文帳に追加

燃料電池用燃料改質器１は、内部に薄膜ヒータを有する改質器本体１０と、改質器本体１０を収容し、内部が真空に保たれた外部容器２０と、薄膜ヒータに電力を供給する電線と、複数の燃料導入・排出管１２とを備える。 - 特許庁

The reactive sputtering device is provided with a wafer holder 11 on which a wafer 22 is arranged, a target 12 obliquely arranged above the wafer holder 11 deviating from its rotary shaft, and a gas introducing part 17 and exhausting port 16 respectively provided interposing the wafer holder 11 between them below the wafer holder 11.例文帳に追加

反応性スパッタリング装置であって、ウエハー２２が配置されるウエハーホルダ１１と、ウエハーホルダ１１の回転軸から外れた上方に傾斜して設けられたターゲット１２と、ウエハーホルダ１１の下方に該ウエハーホルダ１１を挟んでそれぞれ設けられたガス導入部１７と排気ポート１６とを設ける。 - 特許庁

To provide an exhausting device for a kitchen, which is adapted to discharge exhaust of the kitchen sucked in a suction case from an exhaust port of a multiblade fan, facilitating maintenance, downsized to decrease the installation space, and removing oil without constraining the design of an exhaust passage.例文帳に追加

吸入ケースに吸い込んだ厨房の排気をシロッコファンの排気口から排出する形式の厨房用排気装置のメンテナンスを簡単に行うこと、装置を小型コンパクトに構成して設置スペースを減少化し、排気経路の設計を拘束せずに油分の除去を行なう。 - 特許庁

Moreover, the cooker is provided with an air sending duct 16 and an exhaust duct 21 for forcedly exhausting the lamp soot smell occurring from the surrounding of the plate 1 in the case of heating the food material 5, and a thermal decomposition type lamp soot smell removing unit 11 which burns and removes organic components in the exhaust is provided at the exhaust duct 21.例文帳に追加

さらに、加熱プレート１の周囲から食材５の加熱時に発生する油煙臭を強制排気する送気ダクト１６と排気ダクト２１とを設け、排気ダクト２１に排気中の有機成分を燃焼して除去する熱分解式油煙臭除去ユニット１１を設けた。 - 特許庁

Since the foreign matters adhered or sucked to the exhaust port and the exhaust pipes are prevented from flowing back to the processing chamber by supplying the nitrogen gas while evacuating and exhausting the processing chamber in the standby step, harmful effects such as re-adhesion of the foreign matters which flow back to the wafer can be prevented.例文帳に追加

待機ステップにおいて処理室を減圧排気しつつ窒素ガスを供給することで、排気口や排気管に付着ないし吸着した異物が処理室に逆流するのを防止できるため、逆流した異物のウエハへの再付着等の弊害を未然に防止できる。 - 特許庁

The HDA52 is mounted on one of the surfaces of the backboard 33 and a cooling function is provided by introducing cooling air into the casing by the operation of the fun and exhausting the air from the casing through the region, where the HDA51 is mounted, and a ventilation port 35 on the backboard 33.例文帳に追加

バックボード３３の一方の面に対しＨＤＡ５２が装着され、ファン動作により筐体に冷却風を流入してＨＤＡ５１が装着される領域及びバックボード３３上の通気口３５を経由して筐体から排気する冷却機能を有する。 - 特許庁

This dust collector 4 includes: a mounting base 14 removably installed on the grasping portion 10; a dust collecting cover 20 for surrounding a bit 3; and a dust exhaust portion 24 formed with the exhaust path portion 28 for exhausting dust outside the dust collecting cover 20 in an extended manner.例文帳に追加

集塵装置４は、把持部１０に着脱可能に取り付けられる取付基部１４と、ビット３を包囲する集塵カバー２０と、粉塵を集塵カバー２０の外部へ排出するための排出経路部２８が延伸形成された粉塵排出部２４とを有している。 - 特許庁

The inside of the chamber 21 is provided with: a heater block-fitted wafer stage 24 to be set with a semiconductor substrate 22; a gas introduction port 23 of feeding a gaseous starting material from the side direction of the semiconductor substrate 22; and an exhaust port 25 of exhausting the gaseous starting material to the outside of the chamber 21, respectively.例文帳に追加

チャンバー２１内には、半導体基板２２を設置するためのヒータブロック付きウェハステージ２４と、半導体基板２２の側方から原料ガスを供給するガス導入口２３と、原料ガスをチャンバー２１の外部に排出する排出口２５とがそれぞれ設けられている。 - 特許庁

Oxygen partial pressure in the argon atmosphere in the furnace is kept to extremely low degree by easily exhausting disturbance caused by the air, etc., brought about in the furnace together with the heat- treating product, in some case, with the argon having the sp. gr. at larger than that of the air, coupled with action of carbon content constituted of the wall in the furnace.例文帳に追加

空気よりも比重の大なアルゴンによって、被加熱処理品と共に炉内に時としてもたらされる空気等の外乱も容易に炉外に排出され、炉内壁を構成する炭素質の働きと相まって、炉内のアルゴン雰囲気中の酸素分圧は極めて低く保たれる。 - 特許庁

The humidifier device 19 is provided with a humidification module 15 humidifying and exhausting the supplied gas, piping 11a, 11b connected to the humidification module 15, and adjusting means 17, 18 for adjusting a gas supply amount to the humidification module 15 provided on the piping 11a, 11b.例文帳に追加

加湿装置１９は、供給されたガスを加湿して排出する加湿モジュール１５と、加湿モジュール１５に接続されている配管１１ａ，１１ｂと、配管１１ａ，１１ｂに設けられて加湿モジュール１５へのガス供給量を調整する調整手段１７，１８と、を備える。 - 特許庁

In the stage apparatus, the electrostatic chuck 17 is loaded to be removable to a base member, and the base member is provided with a gas supplying pipe L1 and a gas exhausting pipe L2 which are communicated with the cooling gas route 13b for cooling the electrostatic chuck 17.例文帳に追加

ベース部材に静電チャック１７を着脱可能に配置してなるステージ装置において、前記ベース部材に、前記静電チャック１７を冷却するための冷却ガス流路１３ｂに連通するガス供給配管Ｌ１およびガス排出配管Ｌ２を設けてなることを特徴とする。 - 特許庁

This manufacturing is provided with the gas processing chamber 20 for manufacturing by processing a target object with a gas and exhausting the exhaust gas used for the manufacturing process, and the infrared spectroscopic analyser 10 for analyzing the exhaust gas exhausted from the gas processing chamber 20.例文帳に追加

本発明の半導体装置の製造装置は、対象物をガスで処理することによって製造処理を行い、製造処理に用いた排出ガスを排出するガス処理チャンバー２０と、ガス処理チャンバー２０から排出される排出ガスを分析する赤外分光分析装置１０と、を備える。 - 特許庁

To provide a fuel cell device with an exhausting way of fuel exhaust gas improved, free from draining exhaust gas containing a fuel gas component such as hydrogen gas outside a fuel cell device system and free from risk of causing undesirable reaction of hydrogen gas outside a system of a fuel cell.例文帳に追加

水素ガス等燃料ガス成分を含んだ排気ガス燃料電池装置系外へ垂れ流すことがない、燃料電池の系外で水素ガスが好ましくない反応を引き起こすおそれがない燃料排気ガスの排気の仕方の改良された燃料電池装置を提供する。 - 特許庁

To provide small plane stack structure capable of suppressing internal pressure variation and internal pressure increase by exhausting CO_2 gas 14 in the methanol aqueous solution fuel 15 generating in proportion to the power generation current of an active direct methanol polymer electrolyte fuel cell (DMFC).例文帳に追加

能動型ダイレクトメタノール固体高分子電解質型燃料電池（ＤＭＦＣ）の発電電流に比例して発生するメタノール水溶液燃料１５中のＣＯ_2ガス１４を排出することで、内圧変動おおび内圧上昇を抑制できる小型の平面スタック構造を提供すること。 - 特許庁

A fuel cell system 10 includes a pressure regulator 42 provided in an offgas supply pipe 40 for exhausting the spent oxidant gas from a fuel cell stack 14 and for regulating pressure of the oxidant gas supplied to the fuel cell stack 14.例文帳に追加

燃料電池システム１０は、燃料電池スタック１４から使用済みの前記酸化剤ガスを排出するオフガス供給配管４０に設けられ、前記燃料電池スタック１４に供給される前記酸化剤ガスの圧力を調整する圧力調整装置４２を備える。 - 特許庁

In this vacuum pump device S, a main pump 10, a second booster pump 27, and a first booster pump 55 are serially connected with each other, and the first booster pump 55 and the second booster pump 27 are arranged to an upstream side of the main pump 10 in a hydrogen gas exhausting direction in an exhaust passage.例文帳に追加

真空ポンプ装置Ｓは、主ポンプ１０、第２ブースターポンプ２７、及び第１ブースターポンプ５５が直列に接続されるとともに、排気通路での水素ガスの排気方向において第１ブースターポンプ５５及び第２ブースターポンプ２７が主ポンプ１０の上流側に配置されている。 - 特許庁

An emergency power supply 29 using a battery as a power source is provided and when the refrigerator 20 loses the temperature controllability, ozone exhausting devices 11-14 are forcibly operated to discharge the ozone-containing gas and the liquefied ozone by utilizing the time until ozone in the ozone chamber reaches the explosion temperature.例文帳に追加

バッテリーを電源とする非常用電源２９を設け、冷凍機が温度制御能力を喪失したときにオゾン排気装置１１〜１４を強制運転し、オゾンチャンバー内がオゾンの爆発温度になるまでの時間を利用してオゾン含有ガスおよび液化オゾンを排気させる。 - 特許庁

This combustion apparatus comprises a fuel jet part 42 for jetting at least either liquid fuel or gas fuel, and air exhaust parts 47 for exhausting combustion air, wherein a preheating part is provided upstream of the air exhaust parts 47.例文帳に追加

本発明は、液体燃料および気体燃料の少なくとも一方の燃料を噴出する燃料噴出部４２と、燃焼用空気を噴出する空気噴出部４７とを備えた燃焼装置であって、前記空気噴出部４７の上流側に予熱部を有することを特徴としている。 - 特許庁

To provide a washing/drying machine capable of improving a drying efficiency of laundry and preventing dew condensation in a housing by sufficiently exhausting hot and humid air generated in a drying process to the outside of the housing without accumulating the air in the housing.例文帳に追加

乾燥工程において生じる高温多湿の空気を筐体内に滞留させずに十分に筐体外へ排出でき，そのため，被洗濯物の乾燥効率の向上及び前記筐体内における結露水発生の防止を実現することができる洗濯乾燥機を提供すること。 - 特許庁

To provide the electrolyte filling method of a lithium secondary battery and electrode terminal structure contributing to simplification of a production process, reduction of production cost, and enhancement of energy density by easily filling an electrolyte, exhausting unnecessary electrolyte, and sealing a battery.例文帳に追加

電解液の注入と不必要な電解液の排出、ならびに電池の封止を容易に行うことを可能とすることにより、生産工程の簡素化と生産コストの低減、並びにエネルギー密度の向上に寄与するリチウム二次電池の電解液充填方法および電極端子構造を提供する。 - 特許庁

The method comprises a film formation process for carrying out film formation treatment by exhausting a vacuum tank while supplying reaction gas into the vacuum tank by a turbo-molecular pump and setting a cryocooling panel connected to the turbo-molecular pump at a temperature wherein reaction gas hardly liquifies.例文帳に追加

本発明では、ターボ分子ポンプによって、前記真空槽内に反応ガスを供給しつつ真空槽内を排気し、前記ターボ分子ポンプに接続されるクライオ冷却パネルを反応ガスが液化しにくい温度に設定することで成膜処理を行う成膜工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁

The equipment 10 of processing the waste plastic is provided with a combustion burner 11 generating combustion gas, heat processing units 55, 56 and 57 executing predetermined processing steps utilizing the heat of the combustion gas and exhausting the exhaust gas, and an exhaust gas combusting unit 12 combusting the exhaust gas.例文帳に追加

本発明の廃プラスチック処理装置１０は、燃焼ガスを発生させる燃焼バーナ１１と、燃焼ガスの熱を利用して所定の処理工程を実施すると共に、排ガスを排出する熱処理装置５５、５６、５７と、排ガスを燃焼させる排ガス燃焼装置１２と、を備えている。 - 特許庁

Steam of isopropyl alcohol is generated when a steam generator 37 is depressurized to bring a chamber 27 into a steam atmosphere, a substrate W is moved to a drying position, and a vacuum exhausting pump 19 is adjusted so that a pressure gauge 55 has a predetermined value, thereby depressurizing the chamber 27.例文帳に追加

蒸気発生部３７内を減圧させた状態でイソプロピルアルコールの蒸気を発生させ、チャンバ２７内を蒸気雰囲気にさせ、基板Ｗを乾燥位置に移動させ、圧力計５５が所定値となるように真空時排気ポンプ１９を調整してチャンバ２７内を減圧させる。 - 特許庁