「gas supply equipment」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

The microwave plasma treatment equipment 100 has a dielectric window constituted of a plurality of dielectric parts 31 transmitting a microwave through a slot antenna 30, a plurality of gas nozzles 27 fixed to the lower surface of a beam 26, a gas supply section for supplying predetermined gas, and a chamber U for treating a workpiece by generating plasma of the predetermined gas by the microwave transmitted the dielectric window.例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置１００は、スロットアンテナ３０を介してマイクロ波を透過する複数の誘電体パーツ３１０から構成された誘電体窓と、梁２６の下面に固定された複数のガスノズル２７と、所定のガスを供給するガス供給部と、誘電体窓を透過したマイクロ波により所定のガスをプラズマ化して被処理体を処理する処理室Ｕとを備えている。 - 特許庁

This combustion equipment has a cylindrical combustion tower 5 for conducting and burning combustion gas supplied from a combustion gas supply device upward from below, and is provided with outer towers 2, 3 and 4 being a cylindrical shape coaxially arranged with this combustion tower 5 on the outside of the combustion tower 5 and forming combustion gas conducting passages 2b, 3b and 4b for conducting the supplying combustion gas.例文帳に追加

燃焼ガス供給装置から供給される燃焼ガスを下から上に向けて導通させて燃焼させる筒状の燃焼塔（５）を備えた燃焼装置において、燃焼塔（５）の外側にこの燃焼塔（５）と同軸に設けられた筒状であり、供給される燃焼ガスを導通させる燃焼ガス導通路（２ｂ，３ｂ，４ｂ）を形成する外塔（２，３，４）を設けた。 - 特許庁

The flowrate of gas supplied to a external gas using equipment 9 through a tube 3 from a gas cylinder 2 of a gas supply system 1 is measured with a flowmeter 4, its measurement result is output to an arithmetic unit 5 where, with the use of the measured data and a measurement data of a balance 6, the opening of a valve 8 is adjusted so that a specific flowrate is supplied.例文帳に追加

ガス供給系統１のガスボンベ２からパイプ３を介して外部のガス利用機器９に供給されるガスの流量を流量計４によって計測し、演算装置５にその計測結果を出力し、演算装置５ではその計測データの他、秤６の計測データにより所定の流量が供給されるようにバルブ８の開度調整を行うようにしている。 - 特許庁

To provide a fuel supply system to supply such fuel as combustible and incombustible components are contained and the composition may be changed (especially gas fuel) to an equipment that uses the fuel (for example, combustor) and the system is capable of realizing constant charging of heating value to the equipment that is supplied fuel (for example, combustor) without requiring additional device such as an analyzer.例文帳に追加

可燃成分及び不燃成分を組成として含有しており、且つ、組成の変動を生じ得る様な燃料（特に気体燃料）を、当該燃料を使用する機器（例えば燃焼器）へ供給するための燃料供給装置であって、分析計等の付加設備を必要とすることなく、燃料を供給するべき機器（例えば燃焼器）への投入熱量を一定に出来る様な燃料供給装置の提供。 - 特許庁

The combustion equipment blows the convection air from a convection blower 12 for mixing combustion gas exhausted from a combustion gas outlet 23 of a combustion cylinder 10 with the convection air to a combustion cylinder cover 11 of a combustion cylinder 10, and supplies a part of the convection air to an air supply port 24 provided at a sidewall of the cylinder 10 and an air supply duct 25 communicating with the port 24.例文帳に追加

燃焼筒１０の燃焼ガス排出口２３から排出される燃焼ガスと対流空気とを混合する対流送風機１２から燃焼筒１０の燃焼筒蓋１１に対流空気を吹き付けるとともに、燃焼筒１０の側壁設けた空気供給口２４および空気供給口２４に連通する空気供給ダクト２５に対流空気の一部を供給するように構成した。 - 特許庁

To provide a carbon dioxide membrane separation system in a coal gasification process which, in addition to having no absorbent regeneration process required for a conventional carbon dioxide absorption method, can concentrate a fuel gas, gasified from coal, by separating carbon dioxide at high temperature to enable supply of the obtained fuel gas to a gas turbine, and coal gasification combined power generation equipment using the carbon dioxide membrane separation system.例文帳に追加

従来の二酸化炭素吸収法に必要な吸収剤の再生工程がないことに加え、石炭からガス化させた燃料ガスを高温のまま二酸化炭素分離することで濃縮させて、ガスタービンへ供給することが可能となる、炭ガス化プロセスにおける二酸化炭素膜分離システム、およびこれを用いた石炭ガス化複合発電設備を提供する。 - 特許庁

To provide charcoal combustion equipment capable of burning charcoal continuously for a long period while regulating thermal power automatically, capable of heating a green house and capable of emitting combustion gas into the green house to supply carbon dioxide necessary for photosynthesis in plants.例文帳に追加

火力を自動調節しながら長時間連続的に木炭を燃焼させることができ、また、温室内を暖めるとともに、燃焼ガスを温室内に放出して、植物の光合成に必要な二酸化炭素を供給する木炭燃焼装置の提供を目的とする。 - 特許庁

One or two or more agricultural management units are characterized by operating a cogeneration equipment utilizing gas fuel relating to one or two or more agricultural facilities consuming heat and electric power as a whole to supply heat and electric power.例文帳に追加

一又は二以上の農業経営体において、熱及び電力を全体として消費する一又は二以上の農業施設に対してガス燃料を利用したコージェネレーション設備を運転して熱及び電気を供給することを特徴とする。 - 特許庁

To obtain a substrate heater for semiconductor-manufacturing equipment, that can stably supply heat to a semiconductor substrate by avoiding the oxidation of a surface that directly makes contact with at least the semiconductor substrate or a susceptor within a heating plate surface, even if oxygen is used as the reaction gas.例文帳に追加

例え反応ガスとして酸素を使用しても、加熱板表面の内の、少なくとも半導体基板またはサセプタと直接接触する面の酸化を極力回避して、半導体基板に安定した熱供給を行えるようにした半導体製造装置用基板ヒータを提供する。 - 特許庁

This system is provided with a hybrid electric equipment cooling system cooling EGR gas of an EGR device 35 by an EGR cooler 37 without receiving heat supply from a combustion chamber of the engine 11, and is provided with a variable water pump 44 varying flow rate of cooling water pumped to the EGR cooler 37.例文帳に追加

エンジン１１の燃焼室からの熱供給を受けずにＥＧＲ装置３５のＥＧＲガスをＥＧＲクーラ３７によって冷却するハイブリッド電気機器用冷却系４０を備え、ＥＧＲクーラ３７へ圧送する冷却水の流量を可変とする可変ウォータポンプ４４を備えた。 - 特許庁

To provide an air header in which a plurality of nozzles for blowing bubbling air into a slurry in the liquid holding tank of a stack gas desulfurization equipment can be washed uniformly by intermittent supply of a small amount of water to the header and to provide a method for washing the nozzles.例文帳に追加

排煙脱硫設備の液溜槽内スラリー中にバブリング用エアを吹き込む複数のノズルを、これらノズルのヘッダへの間欠的少量給水により可及的均等に洗浄可能としたエアヘッダおよびそのノズル洗浄方法を提供する。 - 特許庁

A district acoustic complete stop switch SW1 and a batch interlock stop switch SW2 are connected to a main CPU 10 and power supply to a district acoustic device 23 or to stack gas and fume tight equipment 24 is simultaneously interrupted by a software system at the time of switch operation.例文帳に追加

地区音響完全停止スイッチSW1及び一括連動停止スイッチSW2はメインＣＰＵ１０に接続され、スイッチ操作時にソフトウェア系統により地区音響装置23又は防排煙機器24への電源供給を一括して停止させる。 - 特許庁

To provide a reliable fuel cell container that is capable of housing an electrolyte member and is small in size and sturdy, and is capable of equal supply of gas, having uniformity of temperature gradient in the container, and highly efficient electrical connection, as a fuel cell for portable electronic equipment, and a fuel cell.例文帳に追加

携帯電子機器用の燃料電池として、電解質部材を収納可能な、小型で堅牢であり、ガスの均等供給・容器内の温度勾配の均一化・高効率な電気接続が可能な信頼性のある燃料電池用容器および燃料電池を提供すること。 - 特許庁

The device test equipment 100 includes a stage 40 for mounting the device to be tested 130, a medium supply means 80 which supplies a medium consisting of a liquid or gas on the stage, and a temperature control means 30 which controls the stage temperature below freezing temperature of the medium.例文帳に追加

デバイス試験装置（１００）は、被試験デバイス（１３０）を搭載するためのステージ（４０）と、ステージ上に液体もしくは気体からなら媒介物を供給する媒介物供給手段（８０）と、ステージの温度を媒介物の凍結温度以下に制御する温度制御手段（３０）と、を備える。 - 特許庁

To provide a cold wind supply system capable of contributing to prolong lives of an existing air conditioner and peripheral equipment thereof installed in a yard of a power station, and capable of supplying flexibly cold wind to deal in response to a consumption state of liquefied gas, irrespective of an existing place in the yard.例文帳に追加

発電所の構内に設置されている既設の空調装置及びその周辺機器の延命に寄与することができると共に、構内の居場所に関わらず又液化ガスの消費状態に応じて柔軟に冷風を供給して取り扱うことができる冷風供給システムを提供する。 - 特許庁

To provide a liquefied hydrogen storage supply equipment capable of effectively filling the inside of the inner tank with liquefied hydrogen by reducing the releasing quantity of hydrogen gas to the air for maintaining the pressure inside of the inner tank constant without relying on the position of the liquid surface of the liquefied hydrogen in the inner tank.例文帳に追加

本発明は、内槽内の液化水素の液面の位置に依存することなく、内槽内の圧力を一定に保つための水素ガスの大気放散量を低減させて、内槽内に効率よく液化水素を充填可能な液化水素貯蔵供給設備を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide a purge device of a fuel cell even in a situation that energy supply from outside is difficult (for example, electric service interruption) wherein combustible gas in a fuel cell system can be purged surely without necessitating the use of an equipment (for example, high pressure bomb) wherein a work by specialty engineer(s) is necessary.例文帳に追加

専門技術者による作業が必要な機器（例えば高圧ボンベ）の使用を必要とせず、外部からのエネルギ供給が困難な状況（例えば停電等）でも燃料電池システム内の可燃ガスを確実にパージすることが出来る燃料電池のパージ装置の提供。 - 特許庁

An ozone adsorber 13 for adsorbing ozone in a cooling state and desorbing ozone in a heating state is provided in a passage between the ozonizer 11 and the ozone using equipment 14 and an ozone supply passage 211 for supplying an ozone-containing gas generated in the ozonizer 11 to the ozone using equipment 14 without passing through the ozone adsorber 13 is provided.例文帳に追加

オゾン発生器１１とオゾン使用設備１４との間の経路に、冷却状態でオゾンを吸着し、加熱状態でオゾンを脱着するオゾン吸着器１３を設けるとともに、オゾン発生器１１で発生したオゾン含有ガスを前記オゾン吸着器１３を通さずに前記オゾン使用設備１４に供給するオゾン供給経路２１を設ける。 - 特許庁

The slave station device 30 of the remote monitor equipment which monitors and controls the gas supply equipment has a communication processing function part 44 which performs data communication with a monitor center, a main function part 48 which controls all functions of the slave station device 30, and a group of modules 46 which receives an instruction from the main function part 48 and performs the corresponding function.例文帳に追加

ガス供給設備を監視・制御するために使用する遠隔監視設備の子局装置３０において、監視センターとの間でデータ通信を行う通信処理機能部４４と、子局装置３０の全体の機能を統括するメイン機能部４８と、メイン機能部４８からの指示を受けて、個々の機能を実現するモジュール群４６と、を備える。 - 特許庁

To provide a flexible tube connected with equipment such as a beer server through a detachable joint to supply gas and liquid, having excellent resistance to bending fatigue and shock and capable of remaining transparent without leaving a whitened folding trace even when it is necessary to bend the tube because the equipment is installed in a narrow place and allowing easy visual confirmation of a passing condition of the liquid.例文帳に追加

ビールサーバなどの機器に対し着脱可能なジョイントを介して接続し、気体や液体を供給するフレキシブルなチューブを、耐屈曲疲労性、耐衝撃性に富み、機器を狭い箇所に設置したためにチューブを折り曲げる必要があるような場合でも、白色化した折れ痕が残るようなこともなく、透明であり、液体などの通過状態が視認しやすいものとする。 - 特許庁

This composite gas supply device has the air compressor 21, an air piping system 22 for supplying the pressurized air from this air compressor 21 to the load equipment, a branch piping 23 branched from the air piping system 22, a nitrogen separating membrane module 24 disposed at the branch piping 23 and a nitrogen piping system 25 for supplying the separated pressurized nitrogen to the load equipment.例文帳に追加

複合気体供給装置は、空気圧縮機２１と、その空気圧縮機２１からの加圧空気を負荷設備に供給する空気配管系統２２と、空気配管系統２２から分岐された分岐配管２３と、分岐配管２３に設けられた窒素分離膜モジュール２４と、分離された加圧窒素を負荷設備に供給する窒素配管系統２５とを備える。 - 特許庁

To provide liquefied hydrogen supply equipment and a tank lorry for liquefied hydrogen supply keeping temperature of a gas phase at an upper part of an inside of the liquefied hydrogen storage tank at set temperature by providing a bypass line bypassing a pressurized evaporator to a pressurized evaporation line and controlling flow rates of liquefied hydrogen passing through the pressurized evaporator and the bypass line respectively.例文帳に追加

加圧蒸発ラインに加圧蒸発器をバイパスするバイパスラインを設けて、加圧蒸発器及びバイパスラインを流通する液化水素のそれぞれの流量を制御することにより、液化水素収納槽内の上方のガス相の温度が設定温度となるようにした液化水素供給設備及び液化水素供給用のタンクローリーである。 - 特許庁

To provide technology relating to liquefied hydrogen storage supply equipment keeping pressure rise in a liquefied hydrogen storage tank small when liquefied hydrogen is filled into the liquefied hydrogen storage tank by keep degree of over-heat of hydrogen gas in the liquefied hydrogen storage tank low by cooling over-heated hydrogen gas passing through an inside of a return pipe of a pressurized evaporation line by liquefied hydrogen in the liquefied hydrogen storage tank.例文帳に追加

加圧蒸発ラインの戻り管内を流通する過熱状態の水素ガスを液化水素貯槽内の液化水素で冷却することにより、液化水素貯槽内の水素ガスの過熱度を小さくして、液化水素貯槽内への液化水素充填時に液化水素貯槽内の圧力の上昇を小さくした液化水素貯蔵供給設備に関する技術である。 - 特許庁

This cogeneration system includes a reformer 12 serving as common equipment for a plurality of sites 10, a fuel cell 22 installed in each site 20 to carry out cogeneration by consuming a reformed gas 2 manufactured in the reformer, and a distribution network 14 to supply the reformed gas from the reformer 12 to each fuel cell 22 disposed side by side.例文帳に追加

複数のサイト１０の共同設備である改質器１２と、該改質器で製造される改質ガス２を消費して熱電併給を行うために、各サイト２０に設置された燃料電池２２と、該改質器１２から並列に配置された各燃料電池２２に該改質ガス２を供給するための分配ネットワーク１４とを含んでなることを特徴とする。 - 特許庁

This film forming equipment 10 includes parallel plate electrodes 16, 22 provided in a reaction chamber 12, gas supply sources 20, 30 for introducing process gases containing SiH4, SiF4, and an oxygen source substance into the reaction chamber 12, valves 36, 38, 40, a gas mixing chamber 28 and a power source 44 for supplying RF power to generate plasma of the process gases.例文帳に追加

成膜装置１０は、反応チャンバ１２内に設けられた平行平板型電極１６、２２と、ＳｉＨ_4、ＳｉＦ_4および酸素ソース物質を含むプロセスガスを反応チャンバ１２内に導入するためのガス供給源２０、３２、３４、バルブ３６、３８、４０、およびガス混合室２８と、プロセスガスのプラズマを生成するためのＲＦ電力を供給する電力源４４と、を備える。 - 特許庁

To provide an ozone water cleaning apparatus capable of sterilizing and cleaning housed water while smoothing the flow of air and ozone gas without using an equipment such as an air feed pump, or the like, by performing the introduction of air into an ozone generator and the supply of the ozone gas from the ozone generator to a water tank under the same pressure.例文帳に追加

オゾン発生器への空気の導入と、オゾン発生器から貯水タンク内へのオゾンガスの供給が同一圧力下で行えるようにして、送気ポンプ等の設備を用いることなく、空気及びオゾンガスの流れをスムーズにしながら収容水の殺菌浄化ができるようにしたオゾン浄水装置の提供。 - 特許庁

To eliminate the necessity of separately installing a waste water treatment equipment for removing ammonium and methanol in the reformed gas condensed water, and to eliminate the necessity of separately installing a PH conditioner supply means for supplying PH conditioner to a methane fermentation tub, and to change the methanol in the reformed gas condensed water into a fuel for biogas generation or the like and effectively utilize the same.例文帳に追加

改質ガス凝縮水中のアンモニアおよびメタノールを除去するための排水処理設備を別個に設ける必要性を排除し、メタン発酵槽にｐＨ調整剤を供給するためのｐＨ調整剤供給手段を別個に設ける必要性を排除し、改質ガス凝縮水中のメタノールをバイオガス発電等のための燃料に変えてこれを有効利用する。 - 特許庁

The etching equipment 20 is provided with: a reaction chamber 10 having an exhaust vent 9; a table 2 which is installed in the reaction chamber and on which a silicon substrate 1 is mounted; a rotatingly driving part 8 for rotating the table; and gas supply piping having a nozzle 3 which supplies gas to the silicon substrate in the reaction chamber.例文帳に追加

エッチング装置２０は、排気口９を有する反応室１０と、前記反応室の内部に設けられ、シリコン基板１を載置するテーブル２と、前記テーブルを回転させる回転駆動部８と、前記反応室の内部で前記シリコン基板上にガスを供給するノズル３を有するガス供給配管とを備える。 - 特許庁

Substrate treatment equipment is provided with a reaction tube 30 which forms a substrate treatment region for treating a wafer W, the furnace throat flange 4 which supports the reaction tube 30, a gas supply line 7 which is arranged in the furnace throat flange 4 and supplies gas inside the reaction tube 30, and an electrode 32a and a ground electrode 32b which generate plasma.例文帳に追加

基板処理装置は、ウェーハＷを処理する基板処理領域を形成する反応管３０と、反応管３０を支持する炉口フランジ４と、炉口フランジ４に設けられて反応管３０内にガスを供給するガス供給管７と、プラズマを生成する電極３２ａとアース電極３２ｂとを備える。 - 特許庁

To provide an inert gas leak restraining equipment which is capable of preventing the oxidation of light alloy material charged from a material supply port and the firing or dust explosion of fine powder due to heater temperature, by restraining the outward leak of inert gas supplied into a hopper and a cylinder with a sealing member and is also capable of preventing the abrasion of the sealing member.例文帳に追加

ホッパーおよびシリンダ内に供給された不活性ガスの外部への漏出をシール部材で抑制して、材料供給口より投入された軽合金材料の酸化や、微粉末がヒータ温度などによって発生する発火燃焼や粉塵爆発を防止すると共に、前記シール部材の磨耗を防止することができる不活性ガス漏出減少装置を提供する - 特許庁

This combustion equipment has a fuel jetting nozzle 3 for jetting fuel gas, a combustion air supply passage 4 for supplying combustion air to a combustion area of the fuel gas jetted from the fuel jetting nozzle, and a high pressure air jetting part 8 arranged inside the fuel jetting nozzle 3, and sucking the fuel gas by jetting higher pressure air than the fuel gas in the jetting direction of the fuel jetting nozzle 3.例文帳に追加

燃料ガスを噴出する燃料噴出ノズル３、及び、その燃料噴出ノズルから噴出された燃料ガスの燃焼域に燃焼用空気を供給する燃焼用空気供給路４が設けられ、燃料噴出ノズル３の内部に配置されて、燃料ガスよりも高圧の空気を燃料噴出ノズル３の噴出方向に沿って噴出して燃料ガスを吸引する高圧空気噴出部８が設けられている燃焼装置。 - 特許庁

To provide a processing equipment for waste wood capable of effectively manufacturing usable charcoal and pyroligneous acid without occurring harmful smoke in incineration process of waste wood and capable of selecting from carbonized gas processing and pyroligneous acid manufacturing line and a simple incineration line depending on the supply amount of the raw waste wood and processing amount.例文帳に追加

廃木材を焼却処理するにあたり、有害な煤煙を発生させずに、有効利用可能な木炭や木酢液を製造することができ、かつ、原料となる廃木材の供給量や処理量に応じて、炭化ガス処理・木酢液製造ライン及び単純な燃焼焼却ラインを適宜選択し得る廃木材の処理設備を提供すること。 - 特許庁

The equipment for producing a semiconductor comprises a section 40 for supplying liquid 24 arranged on a movable stage 36 for mounting a wafer 20 having a resist film formed thereon, an exposure section 34 for irradiating the resist film with exposing light via a mask under a state where the liquid 24 is arranged on the resist film, and an inert gas supply section 50 as a section for preventing ionization of the liquid 24.例文帳に追加

半導体製造装置は、レジスト膜が形成されたウェハ２０を載置する可動ステージ３６の上に配される液体２４を供給する液体供給部４０と、レジスト膜の上に液体２４を配した状態で、レジスト膜にマスクを介した露光光を照射する露光部３４と、液体２４のイオン化を防ぐイオン化防止部としての不活性ガス供給部５０とを有している。 - 特許庁

The equipment for cleaning a semiconductor substrate such as a wafer (W) comprises a processing chamber 100, a rotatable supporting section 200 arranged in the processing chamber 100 and being arranged with the semiconductor substrate, a nozzle 400 for supplying organic solvent, and a dry gas supply nozzle 500 for supplying organic solvent in vapor state into the processing chamber.例文帳に追加

ウェーハ（Ｗ）などの半導体基板を洗浄する装置であって、処理室１００と、前記処理室内１００に配置され、前記半導体基板を配置するための回転可能な支持部２００と、有機溶剤を供給するための有機溶剤供給ノズル４００と、前記処理室内に蒸気状態の有機溶剤を供給するための乾燥ガス供給ノズル５００と、を含むことを特徴とする洗浄装置。 - 特許庁

The evaluation system evaluates an environmental impact substance emission amount of a fuel with consideration given to an environmental property (a greenhouse effect gas emission amount) accumulated in processes for mining primary energy, transporting it, storing it, processing it into fuel, and supplying it in the fuel supply equipment 100 supplying primarily stored fuel to the consumer.例文帳に追加

本発明は、１次保存された燃料を需要家に供給する燃料供給施設において、一次エネルギーを採掘し、輸送・貯蔵，燃料製造および供給する過程で累積した環境性（温室効果ガス排出量）を考慮した燃料の環境影響物排出量を評価する評価システムである。 - 特許庁

To attain combustion stability up to the middle of speed-up from ignition; and to reduce delivery pressure of a fuel supply pump without arranging large-scale equipment such as a large capacity compressor and a heat exchanger applied to an air assist type liquid fuel injection nozzle in a dual orifice type liquid fuel injection nozzle for a gas turbine combustor.例文帳に追加

ガスタービン燃焼器用デュアルオリフィス形液体燃料噴射ノズルにおいて、エアアシスト形液体燃料噴射ノズル等に適用される大容量圧縮機や熱交換器等の大規模な設備を設けずに点火から昇速途中までの燃焼安定性を図ると共に、燃料供給ポンプの吐出圧力を低減する。 - 特許庁

For power generation of the fuel cell 2 providing electric power to portable electronic equipment 20 through an electrode 6 and a conduction means 20a, gas 19 pushes a piston 11 to provide the fuel 18 from the fuel supply cartridge 1 to the fuel cell 2, and the water 21 generated by power generation is discharged from a power generating cell 3 to a water discharge part 5.例文帳に追加

電極６および導通手段２０ａを介して携帯電子機器２０に電力を供給するための燃料電池２の発電のために、気体１９がピストン１１を押して燃料供給カートリッジ１から燃料電池２へ燃料１８が供給され、発電によって生成された水２１が発電セル３から水排出部５に排出される。 - 特許庁

To improve a fuel cell equipment so that it becomes comparatively inexpensive, since a cathode 3 for an operational substance 13 to flow through is provided, and the operational substance flow 13 is a type having at least one oxidizer, an air oxygen in particular, and a cathode control unit to control the supply of a cathode gas by the oxidizer.例文帳に追加

運転物質流（１３）が貫流するカソード（３）を有する燃料電池設備であって、運転物質流（１３）が少なくとも１つの酸化剤、特に空気酸素を有しかつ酸化剤によるカソードガス供給をコントロールするためにカソードコントロールユニットを有する形式のものを比較的に低廉になるように改良すること。 - 特許庁

The process for forming a fluorine added carbon film on a substrate to be processed comprises a first step for performing surface treatment of the substrate to be processed with rare gas subjected to plasma excitation by a substrate processing equipment, and a second step for forming a fluorine added carbon film on the substrate to be processed wherein the substrate processing equipment has a microwave antenna electrically connected with a microwave power supply.例文帳に追加

被処理基板上にフッ素添加カーボン膜を形成するフッ素添加カーボン膜の形成方法であって、基板処理装置によって希ガスをプラズマ励起し、プラズマ励起された前記希ガスによって前記被処理基板の表面処理を行う第１の工程と、前記被処理基板上にフッ素添加カーボン膜を形成する第２の工程を含み、前記基板処理装置は、マイクロ波電源が電気的に接続されたマイクロ波アンテナを有することを特徴とするフッ素添加カーボン膜の形成方法。 - 特許庁

The hydrogen gas production system is provided with a reaction tank 10 having reaction equipment 12 which is equipped with a dehydrogenation catalyst outside and an oxidation catalyst inside and which has a plurality of tubular reactors to heat the dehydrogenation catalyst by an oxidative reaction and a supply means 14 to feed decalin to the surface of the dehydrogenation catalyst, and a pool separation tank 30 that separates the hydrogen gas generated by the dehydrogenation reaction of the hydrocarbon type fuel.例文帳に追加

外側に脱水素触媒を備え、且つ内側に酸化触媒を備え酸化反応によって前記脱水素触媒を加熱する筒状の反応器を複数有する反応装置１２、及び前記反応器の脱水素触媒面にデカリンを供給する供給手段１４、を有する反応タンク１０と、前記炭化水素系燃料の脱水素反応によって生じた水素ガスを分離する貯留分離タンク３０と、を備えている。 - 特許庁

This equipment for recovering phosphorus has a melt supply port 26 and an outlet 7, and is provided with both a heating oven 1 where melt supplied from the port 26 and containing phosphorus compounds is heated in a reducible atmosphere so as to generate hot gas containing vaporized phosphorus and phosphorus-recovering means 11-13 for recovering vaporized phosphorus as white phosphorus or phosphorus compounds from the hot gas exhausted from the outlet 7.例文帳に追加

本発明の燐回収設備は、溶融物供給口２６と排気口７とを有し、前記溶融物供給口２６から供給された燐化合物を含有する溶融物を還元性雰囲気下で加熱することにより気化された燐を含む高温ガスを発生させる加熱炉１、及び前記排気口７から排気された前記高温ガスから前記気化された燐を黄燐或いは燐化合物として回収する燐回収手段１１〜１３を具備する。 - 特許庁