「surface acoustic wave substrate」に関連した英語例文の一覧と使い方(6ページ目) - Weblio英語例文検索

The surface acoustic wave element is provided with a piezoelectric single crystal substrate 1, an interdigital electrode 2 provided on one principal surface of the substrate 1, and a back electrode 3 provided on the other surface of the substrate 1.例文帳に追加

弾性表面波素子１１は、圧電単結晶基板１と圧電単結晶基板１の一主面１ａに設けられた櫛形電極２と、圧電単結晶基板１の他主面に設けられた裏面電極３とを備える。 - 特許庁

To provide a surface cleaning method of a surface acoustic wave element for easily cleaning the surface of a ball like substrate and repetitively reusing the substrate by removing foreign materials from the substrate.例文帳に追加

ボール状基材表面の洗浄を容易とし、異物を取り去り、繰り返しの再利用も可能とする弾性表面波素子表面の洗浄方法を提供する。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave element using a thin film formed by applying epitaxial growth of (100)KNbO_3 to the surface of a Si substrate, capable of corresponding to high frequency and having high k^2 and a fine temperature characteristic, a frequency filter, an oscillator and an electronic circuit provided with the surface acoustic wave element, and electronic equipment to which these components are applied.例文帳に追加

Ｓｉ基板上に（１００）ＫＮｂＯ_3をエピタキシャル成長させ、高周波化に対応できｋ^2が高く温度特性も良い薄膜を用いた表面弾性波素子及びこれを備えた周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びにこれらを適用した電子機器を提供する。 - 特許庁

When the unbalanced oscillation signal outputted from a single end VCO 10 is given to an input interdigital electrode 20 of a balanced output type surface acoustic wave filter 12, an input side electrode 14 converts the unbalanced oscillation signal into a surface acoustic wave, which propagates on the surface of a piezoelectric substrate.例文帳に追加

シングルエンド型ＶＣＯ１０から出力された不平衡型発振信号が平衡出力型弾性表面波フィルタ１２の入力櫛形電極２０に入力されると、この不平衡型発振信号は入力側電極１４にて弾性表面波に変換されて圧電性基板表面を伝搬する。 - 特許庁

To provide a substrate for a surface acoustic wave device which has surface orientations suitable for the surface acoustic wave device, can be easily processed at a high yield rate by effectively reducing defective processing and is preferably provided with favorable characteristics for downsizing of the device.例文帳に追加

表面弾性波素子に好適な表面方位を有するとともに、加工不良を効果的に低減し、高歩留まりにて容易に加工を行うことができ、好ましくは素子の小型化にも有利な特性を備えた表面弾性波素子用基板を提供する。 - 特許庁

The surface acoustic wave device 100 includes: a mounting substrate 102; a surface acoustic wave element 150 arranged oppositely over the top surface of the mounting substrate 102; pads 118 provided on the top surface of the mounting substrate 102; a solder layer 122 covering the pads 118; and a dam material 134 provided on the top surface of the mounting substrate 102 and surrounding the pads 118.例文帳に追加

弾性表面波装置１００は、実装基板１０２と、実装基板１０２の上面に対向配置された弾性表面波素子１５０と、実装基板１０２の上面に設けられているパッド１１８と、パッド１１８を被覆する半田層１２２と、実装基板１０２の上面に設けられ、パッド１１８を囲むダム材１３４と、を備える。 - 特許庁

In the surface acoustic wave device on a piezoelectric substrate on which an interdigital transducer 10 is formed, a main component of an electrode material forming the interdigital transducer 10 is copper; and the piezoelectric substrate is a LiNbO3 substrate and its surface wave propagation mode is a Love wave mode.例文帳に追加

圧電基板上にすだれ状電極１０が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極１０を形成する電極材料の主成分が銅であり、且つ圧電基板がＬｉＮｂＯ３基板で、その表面波伝搬モードがラブ波モードである弾性表面波装置。 - 特許庁

The ladder surface acoustic wave filter is configured by placing a plurality of one-port surface acoustic wave resonators on a piezoelectric substrate in a ladder form and connecting an inductor with an inductance greater than that of others in series with a resonator whose impedance is least among the one-terminal pair surface acoustic wave resonators placed on the parallel arms.例文帳に追加

圧電基板上に一端子対弾性表面波共振子を梯子状に複数個配設して構成するラダー型弾性表面波フィルタであって、並列腕に配置された前記一端子対弾性表面波共振子の中でインピーダンスの最も小さな共振子に他より大きなインダクタンスを直列接続してラダー型弾性表面波フィルタを構成する。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave element capable of accurately and precisely measuring the deceleration degree of the propagation speed, the degree of the phase delay and the reduction degree of the intensity of a surface acoustic wave when langasite is used as the material of a substrate including a surface acoustic wave circulating passage being a part of a spherical shape and having an annular shape.例文帳に追加

球形状の一部で円環形状の弾性表面波周回路を含む基体の材料としてランガサイトを使用した場合、弾性表面波の伝搬速度の減速の程度，位相の遅れの程度，強度の減少の程度を正確に精密に測定出来る、弾性表面波素子を提供することである。 - 特許庁

The surface acoustic wave filter includes a substrate, a composite thin film that is formed on the substrate, consists of a carbon nanotube(CNT) and a piezoelectric body and has piezoelectric characteristics for delivering surface acoustic waves and includes an interdigital transducer(IDT), that receives the surface acoustic wave transmitted from the composite thin film and provides an output of an electrical signal.例文帳に追加

本発明は基板及び基板上に形成され、炭素ナノチューブ（ＣＮＴ）と圧電体で形成され表面弾性波を伝達するように圧電特性が具備された複合体薄膜と；入力される電気信号を複合体薄膜に伝達して表面弾性波を発生させ、複合体薄膜から表面弾性波の伝達を受けて電気信号を出力するインターデジタル変換器（ＩＤＴ）とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

An acoustic wave device includes: a piezoelectric substrate having a surface constituted so as to allow leaky surface wave to propagate thereon; an interdigital electrode provided on a portion of the surface of the piezoelectric substrate; and a dielectric layer which covers the interdigital electrode and is provided on the surface of the piezoelectric substrate.例文帳に追加

弾性波素子は、擬似弾性波が伝播するよう構成された表面を有する圧電基板と、圧電基板の表面の一部に設けられた櫛歯電極と、櫛歯電極を覆いかつ圧電基板の表面に設けられた誘電体層とを備える。 - 特許庁

The acoustic wave filter apparatus 101 comprises a plurality of surface acoustic wave filters, and an interdigital transducer electrode (IDT electrode) and a wiring electrode connected to the IDT electrode are provided on one main surface of a piezoelectric substrate.例文帳に追加

弾性波フィルタ装置１０１は、複数の弾性表面波フィルタで構成され、圧電基板の一方の主面上にインター・ディジタル・トランスデューサ電極（ＩＤＴ電極）と、このＩＤＴ電極に接続される配線電極が設けられている。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave filter having tapered input- and output-side IDT electrodes and having a wide frequency passband while reducing diffraction loss of a surface acoustic wave and the size of a piezoelectric substrate.例文帳に追加

入力側及び出力側のＩＤＴ電極をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、弾性波の回折損及び圧電基板の大きさを小さく抑えつつ、広い通過周波数帯域を持つ弾性波フィルタを提供すること。 - 特許庁

The frequency of the surface acoustic wave element is adjusted by additionally forming a frequency adjustment material to at least one end face in two opposed end faces of the piezoelectric substrate or etching the frequency adjustment material after being additionally formed so as to change a wavelength of the surface acoustic wave.例文帳に追加

圧電基板の対向する２端面の少なくとも１端面に周波数調整材料を付加形成を行うか、若しくは付加形成後に周波数調整材料をエッチングすることで、表面波の波長を変化させることで周波数調整を行う。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave device which can enhance the reflection efficiency of the strip of an IDT electrode and/or a reflector electrode, in a surface acoustic wave device in which an IDT electrode and/or a reflector electrode is made between an elastic substrate and a dielectric film.例文帳に追加

弾性体基板と誘電体薄膜との間にＩＤＴ電極及び／または反射器電極が形成されている弾性表面波装置において、ＩＤＴ電極及び／または反射器電極のストリップの反射効率を高めることができる、弾性表面波装置を提供する。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave sensor in which measurement and monitoring of a desired medium are achieved based on the propagation characteristics of a surface acoustic wave on a piezoelectric substrate, performance is improved without increasing the cost sharply, and variation in characteristics is avoided stably and reliably.例文帳に追加

本発明は、圧電基板上における弾性表面波の伝搬特性に基づいて所望の媒質にかかわる計測や監視を実現する弾性表面波センサに関し、コストが大幅に増加することなく、性能が向上し、かつ特性のバラツキが安定かつ確実に回避されることを目的とする。 - 特許庁

A surface acoustic wave chip includes: a first IDT 14, a second IDT 16, and a third IDT 18 arranged along a propagation direction of a surface acoustic wave on a piezoelectric substrate; and a pair of reflectors provided by sandwiching the IDTs 14, 16, 18.例文帳に追加

弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に沿って配置した第１ＩＤＴ１４、第２ＩＤＴ１６、第３ＩＤＴ１８と、これらのＩＤＴ１４、１６、１８を挟んで設けた一対の反射器とを備えている。 - 特許庁

This surface acoustic wave device is provided with a diamond layer or a substrate layer and a diamond layer, a ZnO piezoelectric film layer, an interdigital electrode layer and short-circuit electrode layer and then especially includes (2π.H/λM)=3.0-10.0 when the thickness of the ZnO layer is H and the wavelength of a surface acoustic wave is λM.例文帳に追加

本発明の表面弾性波素子は、ダイヤモンド層あるいは基板層とダイヤモンド層と、ZnO圧電体膜層と櫛形電極層と短絡電極層とを備え、ZnO層の厚みをＨ、表面弾性波の波長をλMとした時、（2π・Ｈ／λM）=３．０〜１０．０が含まれる事を特徴とする。 - 特許庁

A surface acoustic wave filter 209 provided with respective interdigital transducers 211, 212 and 213 and a surface acoustic wave filter 210 provided with respective interdigital transducers 216, 217 and 218 are provided on a piezoelectric substrate 208 so as to have a balance-unbalance conversion function.例文帳に追加

圧電基板２０８上に、各くし型電極部２１１、２１２、２１３を備えた弾性表面波フィルタ２０９と、各くし型電極部２１６、２１７、２１８を備えた弾性表面波フィルタ２１０とを平衡−不平衡変換機能を有するように設ける。 - 特許庁

Two or more pieces 1, 2, 3 and 4 composed of surface acoustic wave converting parts respectively provided with a plurality of interdigital electric fingers 11, 12, 21, 22, 31 and 41 and a reflector part are provided on a piezoelectric substrate 10 along the propagation direction of a surface acoustic wave.例文帳に追加

複数のすだれ状電極指１１、１２、２１、２２、３１、４１をそれぞれ備えた弾性表面波変換部および反射器部からなる構成体１、２、３、４を圧電体基板１０上に２以上、弾性表面波の伝搬方向に沿って設ける。 - 特許庁

To provide a surface acoustic wave element formed by epitaxial growth of (001) orientation KNbO_3 on a Si substrate, capable of corresponding to high frequency and having high k^2 and a fine temperature characteristic, a frequency filter, an oscillator and an electronic circuit provided with the surface acoustic wave element, and electronic equipment to which these components are applied.例文帳に追加

Ｓｉ基板上に（００１）配向ＫＮｂＯ_3をエピタキシャル成長させ、高周波化に対応できｋ^2が高く温度特性に優れる表面弾性波素子、及びこれを備えた周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びにこれらを適用した電子機器を提供する。 - 特許庁

In the surface acoustic wave device A where a piezoelectric substrate 1, input interdigital electrodes 2, 6 and output interdigital electrodes 3, 7 are arranged, and each length of dummy electrodes 2c, 3c, 6c, 7c of the input/output interdigital electrodes 2, 3, 6, 7 is selected to be different in each of the surface acoustic wave propagation sections B, C.例文帳に追加

圧電基板１と、入力用交叉指電極２，６及び出力用交叉指電極３，７を配置した弾性表面波装置Ａにおいて、入出力交叉指電極２，３，６，７のダミー電極２ｃ，３ｃ，６ｃ，７ｃの長さを各弾性表面波伝搬部Ｂ，Ｃ毎に異ならせた構成である。 - 特許庁

To provide a manufacture method for a surface acoustic wave element by which a characteristic deterioration caused by an excessive adhesive adhering a cap and an insulation substrate that reaches an upper face of a piezoelectric film is prevented and a small sized surface acoustic wave element can be supplied.例文帳に追加

キャップと絶縁基板とを接着する接着剤がはみ出て圧電膜の上面に至ることによって生じる特性劣化を防ぎ、小型の弾性表面波素子を供給できる弾性表面波素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

In the surface acoustic wave element wherein interdigital electrodes 12 each stimulating a surface acoustic wave on a piezoelectric substrate 11 and an insulation protection film for protecting the interdigital electrodes 12 are arranged, the insulation protection film is configured of a plurality of layers of insulation films 13, 14 with different densities.例文帳に追加

圧電基板１１上に弾性表面波を励振するための櫛歯型電極１２と該櫛歯型電極１２を保護するための絶縁保護膜とを配置する弾性表面波素子において、前記絶縁保護膜を密度の異なる複数層の絶縁膜１３、１４で構成する。 - 特許庁

Two surface acoustic wave filter elements each consisting of 1st and 2nd surface acoustic wave resonators 6a, 6b provided with comb-like electrodes 3a, 3b and reflector electrodes 4a, 4b placed on a piezoelectric substrate 2 and connected through common bus bars 5a, 5b, are connected in series.例文帳に追加

圧電基板２上に櫛形電極３ａ，３ｂと反射器電極４ａ，４ｂを設けた第１及び第２の弾性表面波共振子６ａ，６ｂを、共通バスバー５ａ，５ｂで接続した弾性表面波フィルタ素子を二つ直列接続する。 - 特許庁

The device is further provided with a surface acoustic wave filter 700 having comb-shaped electrodes 701, 202 and 203 formed along the propagation direction of the surface acoustic wave on the substrate, so as to have the balancing-unbalancing function by making the phase different from that of the filter 100.例文帳に追加

上記基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された各くし型電極部７０１、２０２、２０３を有する弾性表面波フィルタ７００を弾性表面波フィルタ１００と位相を異ならせて平衡−不平衡機能を有するように設ける。 - 特許庁

In the flip chip ladder type surface acoustic wave filer where surface acoustic wave resonators are alternately arranged as a parallel arm, a series arm and a parallel arm on a major side of a piezoelectric substrate, a lead electrode of the parallel arm toward the ground side is connected to the ground via one pad electrode.例文帳に追加

弾性表面波共振子を圧電基板の主面上に交互に並列腕、直列腕、並列腕と配置したフリップチップラダー型弾性表面波フィルタであって、並列腕の接地側のリード電極を１つのパッド電極を介して接地する。 - 特許庁

To provide an acoustic touch sensing device provided with a thin transducer which can be disposed in a small space and generate an acoustic wave on a surface of a substrate with high efficiency.例文帳に追加

小さなスペースに配設でき、かつ基板の表面に高い効率で音響波を生成できる薄型のトランスデューサを備えた音響的接触位置検出装置を提供する。 - 特許庁

The multilayer substrate module comprises a ceramic multilayer substrate 1, an IC 4 for antenna switch, surface acoustic wave duplexers 2 and 3 mounted on the upper surface of the ceramic multilayer substrate 1, and a plurality of mounted components 7 for matching.例文帳に追加

セラミック多層基板１、アンテナスイッチ用ＩＣ４、セラミック多層基板１の上面に搭載された弾性表面波デュプレクサ２、３及び複数の整合用実装部品７とを備えた多層基板モジュール。 - 特許庁

The surface acoustic wave actuator includes a stator 2 consisting of a piezoelectric substrate having an interdigital electrode for exciting surface acoustic waves, and a mobile 3, which shifts, being added driving force by the surface acoustic wave actuator excited on the surface of the stator 2, by power supply to the interdigital electrode.例文帳に追加

弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振する交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、交差指電極への電力供給により固定子２の表面に励振された弾性表面波による駆動力を当該表面との接触面に生じる摩擦力を介して加えられて移動する移動子３と、を備えている。 - 特許庁

The coating apparatus comprises a substrate made of a piezoelectric material, an electrode formed on the substrate for oscillating surface acoustic wave, and a liquid storage chamber formed on the substrate and having a discharge port and the liquid in the liquid storage chamber is discharged through the discharge port by the surface acoustic wave transmitted on the surface of the substrate.例文帳に追加

圧電材料からなる基板と、前記基板上に設けられ、表面弾性波を励振する電極と、前記基板上に設けられ、吐出口を有する貯液室と、を備え、前記貯液室内の液体は、前記基板の表面を伝播する表面弾性波により前記吐出口から吐出されることを特徴とする塗布装置を提供する。 - 特許庁

In a surface acoustic wave element 1, a surface on the side of a transducer 2 is arranged so as to face the surface of a base substrate 6 where a wiring pattern is formed, and the element 1 is covered with a cap member 9 and the base substrate 6 and sealed.例文帳に追加

弾性表面波素子１はトランスデューサ２側の面がベース基板６の配線パターン形成面に対向するように配置され、素子１がキャップ部材９及びベース基板６で覆われ封止された構造を有する。 - 特許庁

In a surface acoustic wave element SAW 1, an electrode forming face 201 is mounted above a surface 101 of the multi-layered substrate 100 while opposing to the surface 101 of the multi-layered substrate 100 at a prescribed interval d1.例文帳に追加

弾性表面波素子ＳＡＷ１は、電極形成面２０１が所定の間隔ｄ１を保って多層基板１００の表面１０１に対向して、多層基板１００の表面１０１上に搭載されている。 - 特許庁

Disclosed is the surface acoustic wave device which has at least one IDT electrode on a top surface of the lithium tetraborate piezoelectric substrate and also has a plurality of grooves with a tilt angle θ to the propagation direction of a surface acoustic wave excited by the IDT electrode on the reverse surface of the piezoelectric substrate, the grooves being deep to ≥29% of the thickness H of the piezoelectric substrate.例文帳に追加

四硼酸リチウム圧電基板の表面上に少なくとも１つのＩＤＴ電極を備えた弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板の裏面に前記ＩＤＴ電極によって励起される弾性表面波の伝搬方向に対し、傾斜角θを有する複数の溝を備え、前記溝は前記圧電基板の厚さＨの２９％より深くした弾性表面波デバイスを構成する。 - 特許庁

The acoustic wave focusing body 11 is so constituted that an acoustic Fresnel lens 22 is formed on a surface of a fixed substrate 10 and piezoelectric elements 26 nipped with a lower common electrode 24 and individual electrodes 28 are arranged on a face opposite to the face having the acoustic Fresnel lens 22 formed thereon.例文帳に追加

音響波集束体１１は、固定基板１０の表面に音響フレネルレンズ２２を形成すると共に、音響フレネルレンズ２２が形成された面と反対面上に下部共通電極２４および個別電極２８に挟持された圧電素子２６を配設することによって構成されている。 - 特許庁

While ensuring the isolation with the substrate 11 by using the porous layer or foaming layer 17 whose acoustic impedance is considerably small, the thin film bulk acoustic wave resonator with a low loss and high reliability can be attained by smoothing the surface roughness of the acoustic isolation layer 12 by using the intermediate layer 16.例文帳に追加

音響インピーダンスの著しく小さい多孔質層もしくは発泡層17により基板11とのアイソレーションを確保しつつ、中間層16により音響アイソレーション層12の表面の凹凸を平滑化することで、低損失で信頼性の高いものとなる。 - 特許庁

The surface acoustic wave apparatus 40 is composed of a surface acoustic wave device 42 set on a base 41 and having the combed input electrode 44 and the combed output electrode 45 arranged in parallel along a propagation direction of surface acoustic waves on a piezoelectric substrate 43, and a plurality of metallic wires 49a, 49b, 49c and 49d led out from the input electrode 44 and the output electrode 45 respectively.例文帳に追加

弾性表面波装置４０は、ベース４１上に設けられ圧電基板４３上に櫛歯状の入力電極４４および出力電極４５を弾性表面波の伝搬方向に沿って並設した弾性表面波デバイス４２と、入力電極４４および出力電極４５からそれぞれ導出した複数の金属製の線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄからなる。 - 特許庁

A frame body overlapping with the peripheral edge part of the surface acoustic wave chip is formed on the upper surface of the mounting substrate, the frame body is thinner than a gap between the surface acoustic wave chip and the mounting substrate, and the frame body is formed so as to cover the dicing cut margin of the mounting substrate base material along the dicing cut margin.例文帳に追加

前記実装基板の上面に前記弾性表面波チップの周縁部と重複する枠体を形成し、該枠体は前記弾性表面波チップと前記実装基板との間隙よりも薄い厚みであり、且つ、実装基板母材のダイシング切り代に沿って該ダイシング切り代を覆うように枠体を形成する。 - 特許庁

The method for manufacturing the surface-acoustic wave device comprises a first step of disposing a plurality of surface acoustic wave elements 20 on a mounting set substrate 40, so as to form a space between comb-like electrodes of the elements 20 and one surface of the substrate 40, and connecting the connecting electrodes of the elements 20 to conductor patterns of the substrate 40 by flip-chip bonding.例文帳に追加

第１の工程は、実装用集合基板４０上に、弾性表面波素子２０の櫛形電極と実装用集合基板４０の一方の面との間に空間が形成されるように複数の弾性表面波素子２０を配置し、フリップチップボンディングによって弾性表面波素子２０の接続電極と実装用集合基板４０の導体パターンを接続する。 - 特許庁

This heating device is provided with a surface acoustic wave generator having a piezoelectric substrate and reed-screen-shaped electrodes formed on the substrate where a heating reaction zone is formed on a part of the piezoelectric substrate.例文帳に追加

圧電体基板と、該圧電体基板上に形成されたすだれ状電極と、を有する弾性表面波発生器を備え、前記圧電体基板の一部に加熱反応部が形成されている、ことを特徴とする加熱装置とする。 - 特許庁

To suppress occurrence of spurious while suppressing variation in piezoelectric substrate size under temperature change regarding a surface acoustic wave device obtained by depositing a piezoelectric substrate and a support substrate.例文帳に追加

圧電基板と支持基板とを貼り合わせた弾性表面波素子につき、温度が変化したときの圧電基板の大きさの変化を抑制しつつ、スプリアスの発生を抑制する。 - 特許庁

To obtain a substrate for a SAW device that has a value K2 between those of a crystal substrate and an LN substrate and has a slow propagation velocity advantageous to miniaturization of a surface acoustic wave(SAW) device and to obtain a SAW device.例文帳に追加

水晶基板とＬＮ基板との中間のＫ^2を有し、かつ弾性表面波（ＳＡＷ）デバイスの小型化に有利な遅い伝搬速度を有するＳＡＷデバイス用基板およびＳＡＷデバイスを得る。 - 特許庁

In the method for manufacturing the surface acoustic wave device, a piezoelectric substrate 11A and a silicon substrate 12A are laminated, and then each substrate is cut/polished as thin as possible but is thick enough not to cause chap or crack.例文帳に追加

圧電基板１１Ａとシリコン基板１２Ａとを貼り合わせた後、ひびや割れが生じない程度であって可能な限り薄くされた厚さまで、それぞれの基板を切削・研磨する。 - 特許庁

The surface acoustic wave element 2 is joined to the substrate 8 via a bump 7 formed on the electrode pad 6 with its comb-shaped electrode 4 including surface being opposed to the substrate 8.例文帳に追加

弾性表面波素子２はベース基板８に対して、くし型電極部４を有する面を対向させた状態で、電極パッド６上に形成されたバンプ７を介して接合される。 - 特許庁

A SAW (Surface Acoustic Wave) device 1 has a substrate 3; a SAW element 11 provided on a first principal surface 3a of the substrate 3; and a cover 5 covering and sealing the SAW element 11 while forming a vibration space S on the SAW element 11.例文帳に追加

ＳＡＷ装置１は、基板３と、基板３の第１主面３ａに設けられたＳＡＷ素子１１と、ＳＡＷ素子１１上に振動空間Ｓを形成しつつＳＡＷ素子１１を覆って封止するカバー５とを有する。 - 特許庁