「GAS-PHASE」に関連した英語例文の一覧と使い方(34ページ目) - Weblio英語例文検索

In a process S3, the temperature of the vapor phase growth apparatus 11 is changed in the term after the time t1 while supplying a gas containing ammonia, so that the temperature of a reactor 15 of the vapor phase growth apparatus 11 becomes a temperature Temp 2 lower than the temperature Temp 1 of the time t1 at the time t2.例文帳に追加

工程Ｓ３では、時刻ｔ２において気相成長装置１１の反応炉１５の温度が、時刻ｔ１における温度Ｔｅｍｐ１よりも低い温度Ｔｅｍｐ２になるように、アンモニアを含むガスを供給しながら時刻ｔ１以降の期間中に気相成長装置１１の温度を変更する。 - 特許庁

To provide a high heat-resistant porous tubular membrane which can be suitably used as a separation membrane in a gas-liquid mixture phase or a liquid phase at high temperature and high pressure and which has high heat resistance, excellent corrosion resistance, excellent shape stability at high pressure, excellent handling property, durability and preferable filtering performance and filtering efficiency.例文帳に追加

高温および高圧下での気液混合相または液相における分離膜としては好適に使用することができ、高い耐熱性を有し、耐食性に優れ、高圧下で形態安定性に優れ、取扱い性に優れ、耐久性があり、濾過性能が良好かつ濾過効率に優れた高耐熱性多孔質管状膜。 - 特許庁

The complex oxide is preferable, which is obtained by mixing the molybdenum- and cobalt-containing complex oxide catalyst, which is used in the vapor-phase catalytic oxidation reaction, with an aqueous extracting solution, which is obtained by dissolving at least one of ammonia and an organic base in water, to extract molybdenum and cobalt in the aqueous phase, drying the aqueous phase and calcining the extracted molybdenum and cobalt in an atmosphere of an oxidizing gas.例文帳に追加

前記複合酸化物は、気相接触酸化反応に使用されたモリブデン及びコバルトを含有する複合酸化物触媒を、アンモニア及び有機塩基の少なくとも一方が水に溶解してなる抽出用水溶液と混合することにより、モリブデン及びコバルトを水相に抽出させた後、該水相を乾燥し、次いで酸化性ガスの雰囲気下に焼成して得られる複合酸化物が好ましい。 - 特許庁

In the vapor phase growth method of placing the wafer on a susceptor in a reaction chamber and forming the thin film on the wafer by vapor phase deposition, the material gas is branched to at least two lines, each of the branched material gases is temporarily branched into two and then mixed together, and further branched into two to be supplied to the reaction chamber, thereby carrying out the vapor phase growth.例文帳に追加

反応室のサセプタ上にウエーハを載置し、該ウエーハ上に薄膜を気相成長させる方法であって、少なくとも、原料ガスを、２つのラインに分岐し、その後該分岐させた原料ガスの各々を一旦２つに分岐させた後に合流させ、その後更に２つに分岐させて、原料ガスを前記反応室に供給しながら気相成長させることを特徴とする薄膜の気相成長方法。 - 特許庁

Therein, the partial pressure of a group III element raw material gas in a gas charged into a reaction vessel is reduced, while the constant composition layer is grown in the gas phase.例文帳に追加

単結晶基板上に、それぞれＧａ、ＡｓおよびＰを構成元素として含む組成変化層および一定組成層を基板側からこの順に含むIII-Ｖ族化合物半導体層を気相成長させて、エピタキシャルウエハを製造する方法において、該一定組成層の気相成長中に、反応容器内に導入されるガス中のIII 族原料ガスの分圧を減少させることを特徴とする。 - 特許庁

The method for producing maleic anhydride comprises steps for feeding a maleic anhydride-containing gas obtained by catalytic vapor phase oxidation reaction of a hydrocarbon from the lower part of a vertical multitubular collector having a plurality of catching pipes into these catching pipes, making the gas flow from the lower parts of these catching pipes to the upper parts, condensing maleic anhydride in the gas in the catching pipes and catching the maleic anhydride.例文帳に追加

炭化水素の接触気相酸化反応によって得た無水マレイン酸含有ガスを、捕集管を複数有する竪型多管式捕集器の下部から該捕集管内に供給し、該捕集管の下部から上部へ該ガスを流通させ、該ガス中の無水マレイン酸を該捕集管内で凝縮させて捕集する工程を含む、無水マレイン酸の製造方法。 - 特許庁

A porous separator 1 impregnated with an electrolyte solution comprising ferrous chloride, calcium chloride and water is interposed between a porous gas-exchangeable negative electrode 3 and a porous gas-exchangeable positive electrode 2, and power is supplied from an external DC power source to both the electrodes through a power collection structure to thereby transfer oxygen from the negative electrode side to the positive electrode side, the electrode sides being mutually isolated in a gas phase.例文帳に追加

多孔質のガス交換性の負極３、多孔質のガス交換性の正極２の間に、塩化第一鉄、塩化カルシウム、水を含む電解質溶液を含浸せる多孔質セパレータ１を挟み、集電構造を介して外部直流電源より両電極に給電して、互いに隔離された気相の負極側から正極側に酸素の移動を行うものである。 - 特許庁

In the decomposition method for global warming gas, the global warming gas in a gas phase is decomposed in the presence of water vapor or/and molecular oxygen by using a catalyst which contains sulfates consisting of oxides of sulfur and at least one kind of element selected from aluminum, boron, alkaline earth metals, titanium, zirconium lanthanum, cerium, yttrium, rare earth metals, vanadium, niobium, chromium, manganese, iron, cobalt and nickel.例文帳に追加

気相にて地球温暖化ガスを水蒸気または水蒸気と分子状酸素の存在下、分解する反応において、硫酸塩がアルミニウム、ホウ素、アルカリ土類金属、チタン、ジルコニウム、ランタン、セリウム、イットリウム、希土類金属、バナジウム、ニオブ、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケルからなる群より選ばれた少なくとも１種の元素と硫黄との酸化物とからなる触媒を用いる地球温暖化ガスの分解法。 - 特許庁

The raw material gas supply pipe 622S through which a vaporized liquid fuel prepared by mixing the liquid fuel with steam is supplied to the reforming vessel 622 and a structure of leaking the gas phase component when the inner pressure is increased, for example, by the clogging of the reforming vessel 622 are used in common and then, the productivity of the structure of stably producing the reformed gas is improved and miniaturized.例文帳に追加

液体燃料に水蒸気を混合した気化液体燃料を改質容器６２２へ供給する原料ガス供給管６２２Ｓと、例えば改質容器６２２の閉塞などにより内圧が増大した場合に気相成分をリークさせる構成とを共有化でき、安定して改質ガスを生成できる構成の製造性を向上でき小型化できる。 - 特許庁

A gas mixture (G) consisting of molecular oxygen, inert gas, and optionally steam, is introduced through the fixed catalyst bed at 250-550°C by increasing over time the temperature of a fixed heterogenous catalyst bed in which acrolein is produced from propene, and interrupting the gas phase partial oxidation at least once in 4,000 hour.例文帳に追加

プロペンからアクロレインを生じさせる不均一系触媒固定床の温度を経時的に高くしかつ前記気相部分酸化を４０００時間内に少なくとも１回中断しそして分子酸素、不活性ガスおよび場合により水蒸気で構成させたガス混合物Ｇを前記触媒固定床の中に前記触媒固定床の温度を２５０から５５０℃にして導入する。 - 特許庁

The air conditioner is characterized by using a refrigerant with a small refrigeration capability per unit volume compared with a refrigerant R410A as a refrigerant to be sealed in a refrigerant circuit, separating a gas refrigerant and a liquid refrigerant from a refrigerant which is gas-liquid two phase coming out of a first indoor heat exchanger by an indoor gas-liquid separator, and the liquid refrigerant only is made to flow into a second indoor heat exchanger.例文帳に追加

冷媒回路に封入する冷媒として、Ｒ４１０Ａ冷媒に比べて単位体積当たりの冷凍能力が小さな冷媒を用い、冷房運転時に、第１の室内熱交換器を出た気液二相の冷媒を室内側気液分離器で、ガス冷媒と液冷媒に分離し、液冷媒のみ第２の室内熱交換器に流すことを特徴とする。 - 特許庁

To provide a gas suction amount confirmation device with which a slight gas amount sucked into a device for generating fine bubbles is confirmed and adjusted and to provide a fine bubble generator with which a large amount of fine bubbles are generated in the liquid phase of a river, a fresh fish carrying vehicle and a gas-liquid reaction vessel and the clogging of reactants and filth is prevented.例文帳に追加

微細な気泡を発生させる装置に吸い込まれる微量の気体量の確認及び調節をすることができる気体吸入量確認器、及び河川や鮮魚運搬車、気液反応槽の液相に微細な気泡を多量に発生させることができ、反応物や汚物の詰まりを防止することができる微細気泡発生装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

In the process for producing a crystal of Al based III nitride such as aluminium nitride by causing reaction of the gas of Al based III halide such as aluminium trichloride and ammonia gas on a substrate held in a reaction region thereby causing vapor phase epitaxy on the substrate, the Al based III halide gas is touched to metal aluminium 15 before being fed out to a growth reaction tube 16 to cause reaction.例文帳に追加

三塩化アルミニウム等のAl系III族ハロゲン化物ガスとアンモニアガス等とを反応域に保持された基板上で反応させることにより、基板上に気相成長させて窒化アルミニウム等のAl系III族窒化物結晶を製造する方法において、該Al系III族ハロゲン化物ガスを金属アルミニウム１５と接触させた後に成長反応器１６に流出せしめて反応させる。 - 特許庁

The vapor-phase growth method includes the steps, to form a film on a semiconductor substrate 6 set on a box 5, of sending a first gas to the box 5 as the original of the film, and sending a second gas to a support member 9 that prevents the first gas 1 from getting in contact with the support member 9 supporting the box 5.例文帳に追加

気相成長方法は、箱体５に載置された半導体基板６に膜を形成すべく、前記膜の元となる第１の気体を当該箱体５に送出する第１の送出工程と、前記箱体５を支持する支持部材９に前記第１の気体が接触することを抑止するための第２の気体を前記支持部材９に送出する第２の送出工程とを含む。 - 特許庁

This method for separating/recovering an unreacted hydrocarbon comprises the following steps: the remaining gas flow after recovering the objective product is contacted with an organic solvent to absorb an unreacted alkane-based vapor phase component thereinto, and the resulting organic solvent is stripped by the use of a nitrogen-based gas ≤10 vol.% in oxygen content and the resultant effluent gas is cooled and partially condensed.例文帳に追加

目的生成物を回収した残りのガス流を有機溶剤に接触させることにより未反応のアルカンを主体とする気相成分を吸収した後に、該未反応アルカンを主体とする気相成分を吸収した有機溶媒を、酸素含有量が１０％以下の窒素を主体とするガスを用いてストリッピングし、流出するガスを冷却し分縮する。 - 特許庁

Material gas containing In is supplied to a GaAs substrate 11 by using an organic metal vapor phase epitaxy device, thus obtaining the amount of deposit heaped up at the center of a susceptor 1 by the material gas when the compound semiconductor layer containing In is formed on the GaAs substrate 11, and changing the amount of supply of In contained in the material gas according to the obtained amount of deposit.例文帳に追加

有機金属気相成長装置を用いて、Ｉｎを含む材料ガスをＧａＡｓ基板１１に供給することにより、Ｉｎを含む化合物半導体層をＧａＡｓ基板１１上に形成する際に、材料ガスによってサセプタ１の中央部に堆積した堆積物の量を求め、求められた堆積物の量に応じて、材料ガスが含むＩｎの供給量を変更する。 - 特許庁

A mixture gas, containing a chlorinated silane gas such as hydrogen and dichloro-silane and having an H/Cl ratio of 1 to 50 as a ratio of the number of hydrogen atoms to the number of chlorine atoms is used as a material gas, polycrystalline silicon is deposited on a substrate, such as a glass substrate through a plasma chemical vapor deposition method to form a polycrystalline silicon film which does not substantially contain amorphous silicon phase.例文帳に追加

水素、及びジクロルシラン等の塩素化シランガスを含む混合ガスであって、且つ該混合ガス中の塩素原子数に対する水素原子数の比（Ｈ／Ｃｌ）が１〜５０である混合ガスを原料ガスとして用いて、プラズマ化学蒸着法によりガラス基板等の基層上に多結晶シリコンを析出させ、実質的に非晶質シリコン相を含まない多結晶シリコン膜を形成する。 - 特許庁

In 1 wt.% of n-Pd/n-ZnCr_2O_4 utilized during gas-phase synthesizing methyl isobutyl ketone (MIBK), MIBK selectivity is 70-72% at 66-77% acetone conversion at 300-350°C.例文帳に追加

その中で、１重量％のｎ−Ｐｄ／ｎ−ＺｎＣｒ_2Ｏ_4は、気相ＭＩＢＫ合成反応において、３００℃〜３５０℃で、６６％〜７７％のアセトン転化率、７０％〜７２％のＭＩＢＫ選択性を示した。 - 特許庁

A refrigerant is circulated in a refrigerant circuit 10 so that the refrigerant is carried to the recovery container 50 in a two-phase state including the liquid refrigerant and a gas refrigerant to recovery foreign matters to the recovery container 50.例文帳に追加

そして、回収容器（５０）に液冷媒とガス冷媒とが混在した二相状態の冷媒が流入するように冷媒を冷媒回路（１０）内で循環させて異物を回収容器（５０）に回収する。 - 特許庁

After the pulling up of the substrate into the gas phase (S2) and before drying up of the liquid film (S5), the substrate is immersed again in the particulate dispersion (S1), and the immersion of the substrate (S1) and the pulling up of the substrate (S2) are repeated.例文帳に追加

この際、基板を気相中に引き上げた（Ｓ２）後に、液膜が乾燥しきる（Ｓ５）前に、再び基板を微粒子分散溶液中に浸漬させ（Ｓ１）、基板の浸漬（Ｓ１）と基板の引き上げ（Ｓ２）とを繰り返し行う。 - 特許庁

To provide a steam separation facility capable of achieving low carryover as the overall steam separator by promoting the mixture of gas-liquid two-phase flow in an upper plenum and reducing the quality distribution in a radial direction at a steam separator entrance.例文帳に追加

上部プレナム内での気液二相流の混合を促進させ、気水分離器入口での径方向のクオリティ分布を減少させ、気水分離器全体として低キャリーオーバーを実現できる気水分離設備を提供する。 - 特許庁

Consequently, a gas-liquid mixed-phase refrigerant can be made to surely flow in the refrigerant outlet 142, and a variation in the flow rate of the refrigerant flowing out downstream can be suppressed without making a cycle constitution complicated.例文帳に追加

これにより、冷媒流出口１４２へ確実に気液混相冷媒を流入させることができ、サイクル構成の複雑化を招くことなく下流側へ流出する冷媒流量の変動を抑制できる。 - 特許庁

When a carbon-based protective film 5 to cover a magnetic layer 4 on a board 1 is formed by a chemical vapor phase deposition method or sputtering method, water is added to the reaction gas to incorporate hydroxyl groups into the carbon-based protective film 5.例文帳に追加

基板１上の磁性層４を覆うカーボン系保護膜５を化学気相堆積法或いはスパッタリング法を適用して成膜する際に反応ガスに水を添加して該カーボン系保護膜５に水酸基を含有させる。 - 特許庁

In the manufacturing method for a stimulable phosphor panel of this invention, the phosphor plate 4 on which the specified substrate 2, a stimulable phosphor layer 3 is formed in vapor-phase deposition method is heated under an organic solvent gas atmosphere.例文帳に追加

本発明に係る輝尽性蛍光体パネルの製造方法では、所定の基板２上に気相堆積法で輝尽性蛍光体層３が形成された蛍光体プレート４を有機溶剤ガス雰囲気下で加熱する。 - 特許庁

The fuel cell system has a solid polymer electrolyte fuel cell (a fuel cell stack 1); and a fluid supply means (a fuel supply system SS1) supplying a fluid containing a gas-phase antioxidant to the fuel cell.例文帳に追加

固体高分子電解質型の燃料電池（燃料電池スタック１）と、この燃料電池へ気相の抗酸化剤を含む流体を供給する流体供給手段（燃料供給系ＳＳ１）とを有する。 - 特許庁

The method for manufacturing a copolymer resin foam comprises contacting a high pressure gas with a resin material comprising a copolymer composed of at least two monomers and having a micro-phase separation structure, and subsequently effecting expansion.例文帳に追加

２種類以上のモノマーの共重合体よりなるミクロ相分離構造を有する樹脂材料に、高圧ガスを接触させた後、発泡させることを特徴とする共重合樹脂発泡体の製造方法。 - 特許庁

To particularly provide a distributor, and a heat exchanger and an air conditioner equipped with the same, for roughly uniformly distributing a refrigerant of a gas-liquid two phase state in which refrigerant vapor and refrigerant liquid are mixed.例文帳に追加

この発明は、特に、冷媒蒸気と冷媒液とが混在した気液二相状態の冷媒を略均等に分配できる分配器を得ること、さらには該分配器を搭載した熱交換器および空気調和機を得る。 - 特許庁

To enable easy calculation of rough value of the pressure loss in a sewage pressure feed pipe forming a gas-liquid two phase flow by air-injection or the like, at a site where piping work is actually carried out.例文帳に追加

空気注入を行うことなどによって気液二相流となっている下水圧送管の管内圧力損失の概算値を、実際に配管作業を行う現地で容易に計算できるようにする。 - 特許庁

To provide a method for packing a catalyst in a multitubular heat exchange type reactor which can improve a yield and a conversion ratio in a catalytic gas-phase oxidation reaction and a reaction rate, and the multitubular heat exchange type reactor.例文帳に追加

接触気相酸化反応の収率および反応率を向上させることが可能な、多管式熱交換型反応器内への触媒の充填方法および多管式熱交換型反応器を提供する。 - 特許庁

To provide a membrane element and an immersion-type flat membrane filter which allow cleaning of the filter membrane through synergetic effects comprising sufficient oscillation of the filter membrane with the gas-liquid multi-phase flow as a drive source and air scrubbing.例文帳に追加

気液混相流を駆動源としてろ過膜を十分に揺動させてエアースクラビングとの相乗によってろ過膜の洗浄を行なうことができる膜エレメントおよび浸漬型平膜ろ過装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method of accurately measuring the particle diameter distribution of agglomerative fine particles which measures the particle diameter distribution of aerosol particles formed from the agglomerative fine particles finely dispersed in a gas phase.例文帳に追加

凝集性粉体を気相において良好に分散させたエアロゾル粒子として、そのエアロゾル粒子の粒径分布を測定することによる高精度な凝集性粉体の粒径分布の測定方法の提供 - 特許庁

On the other hand, in the forming method of the negative electrode layer for a nonaqueous electrolyte battery, a negative electrode active material containing at least lithium is intermittently formed using a gas phase method, and the negative electrode layer of a laminated structure is formed.例文帳に追加

一方、非水電解質電池用負極層の形成方法は、少なくともリチウムを含む負極活物質材料を気相法により間欠的に成膜し、積層構造の負極層を形成する。 - 特許庁

The pressure load 105 raises the internal pressure of the cartridge 101 by moving a pressurizing syringe 105b in the direction of the side of the solid-phase extraction cartridge 101 to compress the gas in the cartridge 101.例文帳に追加

圧力負荷部１０５は、加圧用シリンジ１０５ｂを固相抽出カートリッジ１０１の側の方向に移動させてカートリッジ１０１の内部の気体を圧縮することで、カートリッジ１０１の内部の圧力を上昇させる。 - 特許庁

When CO_2 is phase-changed from liquid to gas, setting of a fuel injection amount is changed to a second injection amount larger than a first injection amount achieving a target air-fuel ratio by injecting CNG only (Step 170).例文帳に追加

ＣＯ_２が液体から気体へ相変化した場合に、燃料噴射量の設定を、ＣＮＧのみを噴射して目標空燃比を達成する第１噴射量よりも多量な第２噴射量に変更する（ステップ１７０）。 - 特許庁

Thus, fuel utilization efficiency can be improved by excellent gas supply and battery voltage efficiency can be improved by enlarging a three-phase interface compatibly, thereby improving power generation efficiency as a result.例文帳に追加

これにより、良好なガス供給による燃料利用率の向上と、三相界面を多くすることによる電池電圧効率の向上を両立できるので、結果として発電効率を向上させることができる。 - 特許庁

A reactor 1 is equipped with a reaction part 1a for subjecting a treating substrate S to gas phase reaction and, beneath this, a carry-in-and-out part 1b where a substrate-supporting means 6 is positioned upon carrying the substrate in and out by a conveying robot 10.例文帳に追加

反応炉1に、被処理基板Sに気相反応をせしめる反応部1aと、反応部1aの下方にあって搬送ロボット10による基板搬入出時に基板支持手段6が位置する搬入出部1bとが設けられている。 - 特許庁

A plurality of chambers is mounted in a common chamber 103, and include oxidation chamber 107, solution application chamber 108, plasticizing chamber 109 and gas-phase film forming chambers 110, 111.例文帳に追加

共通室１０３に複数の処理室が設けられ、複数の処理室には酸化用処理室１０７、溶液塗布用処理室１０８、焼成用処理室１０９、気相成膜用処理室１１０、１１１が含まれる。 - 特許庁

A method of manufacturing an organic polymer thermoelectric material is provided to have a feature that in place of implantation of charges by a conventional gas phase doping, fine particles of the conductive polymer are molded under pressure after doping processing.例文帳に追加

従来の気相ドーピングによる、電荷の注入に変えて、導電性高分子の粉体をドーピング処理後に加圧成形することを特徴とする有機高分子熱電材料の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for regenerating a deteriorated catalyst after use in plant operation in molybdenum-vanadium system multiple oxide catalyst used in gas phase catalytic oxidization which manufactures unsaturated carboxylic acid from unsaturated aldehyde.例文帳に追加

不飽和アルデヒドから不飽和カルボン酸を製造する気相接触酸化反応に使用されるモリブデン−バナジウム系複合酸化物触媒について、プラント運転で使用した後の劣化触媒の再生方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fuel cell membrane electrode assembly which increases three-phase interface and a gas permeability and secures an electron transfer pathway, resulting in power generation efficiency improvement, and to provide a method for fabrication thereof.例文帳に追加

三相界面を増大させ、ガス透過性を拡大すること、且つ電子移動経路を確保することが可能で、発電効率が向上した燃料電池用膜電極接合体及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

The ultrasonic therapy apparatus has a function that transmits a bubble generation pulse to turn a contrast medium into a gas phase and a bubble generation pulse that increases a diameter of the generated bubble to an object area of a subject.例文帳に追加

造影剤を気相化させる気泡生成パルスと、生成した気泡の径を増大させる気泡生成パルスを被検体の対象領域に送信する機能を備える超音波治療装置を提供する。 - 特許庁

Using a gas-phase deposition method, 5 to 80 μg/cm^2 of titanium is deposited on one side of a porous resin film having moisture permeability of ≥5,000 (g/m^2/24hr), and water pressure resistance of ≥500 mmH_2O.例文帳に追加

透湿度が５０００（ｇ／ｍ^2 ）・２４ｈｒ以上であり、且つ耐水圧が５００ｍｍＨ_2Ｏ 以上である多孔性樹脂フィルムの片面に、気相堆積法に従い、チタンを５〜８０μｇ／ｃｍ^2 付着せしめた。 - 特許庁

This system keeps a gas-phase part in the top portion of a tank narrowed down into a small volume to minimize the evaporation of the residual chlorine, so that the bacteria invading through a vent-hole attached thereto are killed by an ultraviolet light to avoid the bacteria coming into the water.例文帳に追加

タンク頂部の気相部を小さな容積にしぼり残留塩素の蒸発を最小限に抑え、そこに取付けた通気口から入って来る雑菌は紫外線灯で殺菌し、水中に菌を持込ませず。 - 特許庁

To uniformly circulate a refrigerant in a gas-liquid two phase state to each of branch slits 4, in a plate-type heat sink in which a number of branch slits 4 arranged in parallel with each other, communicate with a communication slit 5 or a branch section 6.例文帳に追加

並列された多数の分岐スリット４が、連通スリット５または分岐部６に連通するプレート型ヒートシンクにおいて、各分岐スリット４に均一に気液２相状態の冷媒を流通させること。 - 特許庁

By forming the first insulating film 63a by the gas phase method, the first insulating film 63a can be thickened without causing the failure such as charge-up and resist burning, so that a capacity of the TFD element can be reduced.例文帳に追加

第１の絶縁膜６３ａを気相法で形成したことで、チャージアップやレジストが焦げるような不具合は生じさせずに第１の絶縁膜６３ａを厚膜化でき、ＴＦＤ素子容量を小さくできる。 - 特許庁