「Interferometer」に関連した英語例文の一覧と使い方(27ページ目) - Weblio英語例文検索

A fixed measuring member and a displacement measuring member are located at both ends of a cylinder and a laser beam is introduced to a laser light wave interferometer 400 of the autonomous control caliper having inside a nearly-vacuum closed hollow space.例文帳に追加

固定測定部材および変位測定部材を外筒の両端に設け、内部に略真空の密閉中空部を有した自律制御端度器のレーザ光波干渉計４００にレーザ光を入射する。 - 特許庁

This inspecting device 10 is provided with the work mounting table 5 having a black mounting face 5a for mounting the work 2 via an index matching liquid 3, and a laser interferometer 4 arranged in an upper side of the mounting table 5.例文帳に追加

ワーク表面検査装置１０は、ワーク２をインデックスマッチング液３を介して載置する黒色載置面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５の上方に配置されたレーザー干渉計４とを備えている。 - 特許庁

To reduce a correction error caused by the deviation between the phase of air vibration generated in an air conditioner at the laser optical axis of a laser interferometer for measuring positions and the phase of a position at a wavelength detection position by a wavelength sensor.例文帳に追加

空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。 - 特許庁

A diffraction grating 20 for an X-ray Talbot interferometer has a plurality of X-ray absorption parts 20b formed on a substrate 22 by cutting a metal film 20bx in a wavy shape at prescribed intervals in one direction.例文帳に追加

基板２２上に金属膜２０ｂｘを切削して形成したＸ線吸収部２０ｂが、一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成されているＸ線タルボ干渉計用回折格子２０である。 - 特許庁

A carbon fiber sheet 31 with a negative thermal expansion coefficient in a two dimensional planar direction is fixedly adhered on the front face side of a waveguide on an asymmetric type Mach-Zehnder interferometer with an epoxy resin by heating at 80°C for two hours.例文帳に追加

２次元平面方向に負の熱膨張係数を有する炭素繊維シート３１を、非対称型マッハツェンダ干渉計の導波路の表面側にエポキシ樹脂で８０℃、２時間の加熱により接着固定した。 - 特許庁

A laser length measuring system comprises a laser light source 31, a three-axis interferometer 32, bar mirrors 33, 34, 36, 38 and uniaxial interferometers 35, 37 and detects the position of a chuck 10 and the position of a mask holder 20.例文帳に追加

レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。 - 特許庁

A distance value to the moving mirror 14 detected by the laser interferometer 51 is corrected based on an environmental condition detected by the environment sensors 53 in a position detection means 55, to thereby determine the accurate distance value.例文帳に追加

位置検出手段５５において、レーザー干渉計５１で検出された移動鏡１４までの距離の値を、環境センサ５３において検出した環境の条件に基づいて補正し、正確な距離値を求める。 - 特許庁

To provide a position detecting apparatus which optically detects the position of an object to be detected using an interferometer and accurately detects position movement even when the movement of the object fluctuates.例文帳に追加

干渉計を用いて光学的に検出対象の位置を検出する位置検出装置において、検出対象の移動が例え揺れても正確に位置移動を検出できる位置検出装置を提供する。 - 特許庁

The optical waveguide device 200 is composed of a an input/ output waveguide 202 formed on an optical waveguide substrate 201, the optical ring resonator 203 and a Mach-Zehnder interferometer 204 which connects these devices.例文帳に追加

光導波路デバイス２００は、光導波路基板２０１上に形成された入出力導波路２０２と光リング共振器２０３と、これらを接続するマッハツェンダ干渉計２０４とで構成されている。 - 特許庁

A computer 70 determines transmission time for the lateral waves based on waveform data representing frequency change of the second laser beam detected by an interferometer 50, and determines sound speed of the lateral wave based on the transmission time.例文帳に追加

コンピュータ７０は、干渉計５０で検出された第二レーザビームの周波数変化を表す波形データに基づき当該横波の伝播時間を求め、その伝播時間に基づき当該横波の音速を算出する。 - 特許庁

The signal including the error is converted into the polar coordinate, and then a correction value (amplitude, zero point, and phase difference) of the orthogonal two-phase signal of the interferometer is determined by a least squares method based on the relation between the phase angle and radius variation.例文帳に追加

誤差を含む前記信号を極座標に変換した後、位相角と半径変化の関係から干渉計直交２相信号の補正値(振幅、零点および位相差)を最小自乗法により求める。 - 特許庁

The interferometer 1 is arranged on an optical path of the branched light beams L1, L2, and has phase plates 13, 15 for compensating a phase difference between the branched light beams L1, L2 generated when branching the incident light beam L0 by the half mirror 12.例文帳に追加

この干渉計１は、分岐光Ｌ１，Ｌ２の光路上に配置され、入射光Ｌ０をハーフミラー１２で分岐する際に生ずる分岐光Ｌ１，Ｌ２間の位相差を補償する位相板１３，１５を備える。 - 特許庁

To provide an interferometer which is made so as to be capable of freely adjusting and changing the coherent distance of a measurement light emitted from a light source, according to the state, the shape, and the property of a sample or the operational contents.例文帳に追加

試料の状態、形状、性質や行う操作内容に応じて、光源から発せられる測定光の可干渉距離を自在に調整、変化させることができるようになされた干渉計を提供する。 - 特許庁

Eccentricity of the i-surface of a tested object 1 placed in an optical path of an interferometer is obtained from the interference fringe of the optical path including the i-surface obtained by passing luminous flux through the tested object 1, and data on eccentricity obtained by calculation.例文帳に追加

干渉計光路中に置かれた被検物１に光束を通し得られたｉ面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物１のｉ面の偏心を求める。 - 特許庁

The wave front interferometer for inspecting convergent wave front is provided with at least one branching means, a mask aslant arranged to the optical axis of the incidence light and a detector, wherein the slit and an aperture are formed on the mask.例文帳に追加

集光する波面を検査する波面干渉計において、少なくとも1つの分波手段と、入射光の光軸に対して斜めに配置したマスクと、検出器を有し、マスクにはスリットと開口が形成されている。 - 特許庁

A phase modulator 5 is arranged on the reference surface luminous flux side of an interferometer part to shift the phase of the reference face luminous flux side by a maximum π with a fixed frequency by the modulation drive signal from a phase modulator controller 6.例文帳に追加

干渉計部の参照面光束側に位相変調子５を配設し、位相変調子制御器６からの変調駆動信号によって参照面光束側の位相を一定の周波数で最大πずらす。 - 特許庁

To provide a corrector plate holding frame for easily holding a corrector plate while preventing the corrector plate from being distorted and achieving the thinning of a device, an interferometer equipped therewith, and a corrector plate holding method.例文帳に追加

補正板の歪みを防止した上で、補正板を容易に保持することができるとともに、装置の薄型化を図ることができる補正板の保持枠、それを備えた干渉計及び補正板の保持方法を提供する。 - 特許庁

To provide an optical fiber interference type sensor using a Sagnac type interferometer, capable of detecting a disturbance applied to an optical fiber loop with high sensitivity, whatever the installation form of the optical fiber loop may be.例文帳に追加

光ファイバループの設置形態がどのようなものであっても、光ファイバループに加えられた外乱を高感度で検知することができるサニャック型干渉計を用いた光ファイバ干渉型センサを提供する。 - 特許庁

This planar optical interference circuit is adapted such that the polarized state of light propagated in a long-sized arm waveguide and output from an interferometer, and the polarized state of light propagated in a short-sized arm and output from the interferometer, are the same by arranging a polarization coupling induction part for generating polarized coupled light in at least one of the long-sized arm waveguide and the short-sized arm waveguide constituting N interferometers.例文帳に追加

本発明の平面型光干渉回路では、偏波結合光を発生させる偏波結合誘起部分を、Ｎ個のそれぞれの干渉計を構成する長尺アーム導波路と短尺アーム導波路の少なくとも一方に配置することにより、長尺アーム導波路を伝搬し干渉計から出力される光の偏波状態と、短尺アームを伝搬し干渉計から出力される光の偏波状態が同一になるようにする。 - 特許庁

This method comprises processes of: dividing light radiated from a white light source 109 into reference light and signal light by a beam splitter 102; emitting the signal light to a sample 107 through a Morou interferometer 105; making light reflected from the sample surface with the reference light and imaging the interference intensity occurring in the Morou interferometer 105; and applying voltage current to the semiconductor circuit chip as the sample.例文帳に追加

白色光源１０９から放射された光をビームスプリッタ１０２により参照光と信号光に分割する工程と、信号光を試料１０７にミラウ干渉計１０５を通して入射する工程と、試料表面より反射した光と参照光を干渉させてミラウ干渉計１０５に生じた干渉強度を画像化する工程と、試料である半導体回路チップに電圧電流を印加する工程とを含む。 - 特許庁

In one embodiment, a method for discriminatingly regenerating an optical signal comprises a step for counter-propagating an input signal and a regenerating signal within an all-optical signal regenerator based on free-space optics, where the all-optical signal regenerator based on free-space optics comprises a step for preparing a Sagnac loop interferometer, and a step for extracting a regenerated output signal from the Sagnac loop interferometer.例文帳に追加

例示の一実施形態では、光信号を識別再生するための方法は、自由空間光通信に基づいて、全光信号識別再生装置内で入力信号と識別再生信号を対向伝送させるステップであって、自由空間光通信に基づく全光信号識別再生装置が、サニャック・ループ干渉計を備えるステップと、サニャック・ループ干渉計から識別再生された出力信号を抽出するステップとを含む。 - 特許庁

In the optical tomography measurement that uses a periodically-swept light L, the light L emitted from a light source unit 30 is branched by an optical branching means 20 and is made incident to an interferometer 20 and a period clock generating means 80.例文帳に追加

周期的に掃引した光Ｌを用いた光トモグラフィー計測において、光源ユニット３０から射出された光Ｌが光分岐手段２により分岐され、干渉計２０と周期クロック生成手段８０とに入射される。 - 特許庁

Only the electricity of the circuit for the light source and the heater 3 is turned on and that of the other parts that do not participate in the humidity control in the interferometer 12 is turned off when the spectrophotometer is turned off and the measurement is not performed.例文帳に追加

非測定時で装置の電源がＯＦＦにされているときには、制御部１内の光源点灯回路および赤外光源用ヒータ３のみに常時通電し、干渉計１２内の湿度コントロールに関係しない部分には通電しない。 - 特許庁

To provide an interference measuring method capable of measuring efficiently an absolute shape of a specimen by realizing shortening of a measuring time, reduction of a drift error or the like, an interferometer, an exposure device using it, and a device manufacturing method using the exposure device.例文帳に追加

計測時間の短縮、ドリフト誤差低減等を図り被検物の絶対形状を効率よく計測する干渉計測方法、干渉計、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a body or the like with a pattern which allows evaluation of the reproducibility or the like of an alignment sensor without being subject to the effect by the fluctuation of air on the measuring optical path of an interferometer in a VRA type reticle alignment device.例文帳に追加

ＶＲＡ方式のレチクルアライメント装置において、干渉計の計測光路上の空気のゆらぎに影響されることなくアライメントセンサの再現性等を評価することができるパターン付き物体等を提供する。 - 特許庁

To measure the position of one direction of the rotational axis of a rotary table by using one interferometer in a stage apparatus equipped with the rotary table on the linear stage and an exposure device equipped with the stage apparatus.例文帳に追加

本発明は、リニアステージ上に回転テーブルを備えたステージ装置、および、このステージ装置を備えた露光装置に関し、回転テーブルの回転軸の１方向の位置を１つの干渉計により測定することを目的とする。 - 特許庁

An interferometer assembly 100 is constituted so as to measure the position of a reticule or substrate positioning assembly with the position of the end of an image reduction assembly 230 closest to the reticule or substrate positioning stage of a position measurement object as a reference.例文帳に追加

干渉計組品100は、レチクル又は基板位置決め組品の位置を位置測定対象のレチクル又は基板位置決めステージに最も近いイメージ縮小組品230の端部の位置を基準として測定するように構成されている。 - 特許庁

To provide a positioning device capable of accurately disposing a sample base along the optical axis of a projection optical system without being influenced by surface shapes of reflecting elements arranged on the optical path of a beam from an interferometer.例文帳に追加

干渉計からのビームの光路上に配される反射素子の面形状の影響を受けることなく、試料台の投影光学系の光軸に沿う方向の位置決めを正確に行うことが可能な位置決め装置を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning type plane shape measuring device which takes highly accurate surface shape measurement of a large-size inspection surface by using an interferometer having a small observation region by reducing the influence of a movement error in scanning.例文帳に追加

走査時の運動誤差の影響を減少させ、観測領域が小さい干渉計を用いて大きなサイズの被検面に対して高精度な面形状測定を行うことができる走査型平面形状測定装置を提供する。 - 特許庁

The interferometer includes a light source unit 10 generating coherent light, having two kinds of different wavelengths and a CPU 1 selecting one of the two kinds of wavelengths for observing the interference fringes for the respective wavelengths.例文帳に追加

干渉計は、波長の異なる２種類の波長の可干渉光を生成する光源ユニット１０と、各波長について前記干渉縞を観測するために前記２種類の波長の一つを選択するＣＰＵ１とを有する。 - 特許庁

The position amount deciding system comprises an interferometer system, a global sensor for deciding the local value of the physical value of the fluid in the area, and a local sensor for deciding the local value of the physical value of the fluid in a part of the area.例文帳に追加

この位置量決定システムは、干渉計システムと、領域内の流体の物理量の大域的値を決定する大域センサと、領域の一部分内の流体の物理量の局所値を決定する局所センサとを含む。 - 特許庁

To reduce the thermal interference between arm waveguides or between channels of a Mach-Zehnder interferometer constituted of optical waveguides without increasing the size of an entire device and to improve output characteristics such as a response time.例文帳に追加

デバイス全体のサイズを大きくすることなく、光導波路で構成されるマッハ・ツェンダ干渉計のアーム導波路間熱干渉、あるいはチャンネル間熱干渉を低減でき、且つ応答時間などの出力特性を向上させる。 - 特許庁

In the phase adjusting method of the demodulating device 1, phase adjustments of Mach-Zehnder interferometer circuits (MZI) 6 and 7 are made by driving any of heaters on two waveguides 10 and 11 in the Mach-Zehnder interferometers 6 and 7.例文帳に追加

遅延復調デバイス１の位相調整方法は、各マッハツェンダー干渉計回路６，７の、２つの導波路１０，１１のいずれか一方上にあるヒータを駆動させることにより、各マッハツェンダー干渉計回路の位相を調整する。 - 特許庁

Laser light, emitted from a two-wavelength laser source 10, is made to pass through a quarter-wave plate 20 and an isolator 35 and is changed into a reference beam f_1 and a measuring beam f_2 isolated spatially, and they are led to an interferometer 45 through optical fibers.例文帳に追加

２波長レーザ源１０から出射されるレーザ光は４分の１波長板２０、アイソレータ３５を経て空間的に分離された基準ビームｆ_1、測定ビームｆ_2とされ、光ファイバを通して干渉計４５に導かれる。 - 特許庁

Tilt amounts of a laser interferometer support base on the body structure 7 and the projection optical system 6 are measured by tilt angle meters 17(a), 17(b), 17(c), and relative position error of the mask stage 4 and the plate stage 5 is corrected from the measurement results.例文帳に追加

本体構造体7上のレーザ干渉計支持台と投影光学系6の傾き量を傾斜角計１７(ａ),１７(ｂ),１７(ｃ)により計測して、該計測結果からマスクステージ4とプレートステージ5の相対位置誤差を補正する。 - 特許庁

A reference bottom surface CBS of a connecting housing C is parallel to an input ray axis r1 and an output ray axis r2, disposed on an extension line of a bottom surface of a prism interferometer 10, and arranged in contact with a reference surface RP.例文帳に追加

接続筐体Ｃの基準底面ＣＢＳは入力光線光軸ｒ１および出力光線光軸ｒ２に平行であり、かつプリズム干渉計１０の底面の延長上にあり、基準面ＲＰに接して配設される。 - 特許庁

Position information on a wafer stage WST is measured by using: wafer X interferometers 18X_1, 18X_2, a wafer Y interferometer 18Y, etc., and encoders 50A, 50B, etc. with excellent short-term stability of measurement values in comparison with those of the interferometers.例文帳に追加

ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。 - 特許庁

To provide an interferometer type method for a waveform probe requiring no setting of a reference point near the active region on a semiconductor IC device (DUT) without affected by mechanical vibration nor temperature- induced movement of the DUT.例文帳に追加

半導体ＩＣデバイス（ＤＵＴ）の機械的振動および温度誘発の動きに影響されずしかもＤＵＴ上の活性領域近傍で基準点を定める必要のない波形プローブのための干渉計式の方法を提供する。 - 特許庁

A wavelength scanning interferometer measures an absolute distance to an object on the basis of a signal of interference light between reference light, which is divided from a light flux emitted from a light source while changing a wavelength of the light flux, and test light.例文帳に追加

波長走査干渉計は、光源から射出される光束の波長を変更しながら該光束から分割された参照光と被検光との干渉光の信号に基づいて被検体までの絶対距離を計測する。 - 特許庁

The processor 18 calculates the optical characteristics of the projection optical system 1 on the basis of interference patterns sequentially formed by the interferometer using the at least three different polarized light beams sequentially generated by the polarization controller 14.例文帳に追加

処理部１８は、偏光制御部１４によって順次生成される少なくとも３種類の偏光を使って干渉計によって順次形成される干渉パターンに基づいて投影光学系１の光学特性を算出する。 - 特許庁

When the detection phase of the interferometer is kept at an initial set value, the distance between measuring faces and the attitude can be kept at high accuracy even if the working environmental temperature is varied and the effect of aging can be eliminated.例文帳に追加

そのため、レーザ光波干渉計の検出位相を初期設定値に保てば、使用環境温度等が変わっても、測定面間の距離および姿勢を高精度に維持することができ、また、経時変化の影響を受けない。 - 特許庁

A Fizeau interferometer 10 incorporates an off-axis paraboloidal reflector 30 that forms virtual images of a reference surface and a test surface 18 and a camera lens system 46 that converts the virtual images into real images on a camera detector surface 48.例文帳に追加

基準表面と検査表面１８の虚像を形成するオフアクシス放物面反射器３０及び虚像をカメラ検出器表面４８上の実像に変換するカメラレンズ系４６がフィゾー干渉計１０に組み込まれる。 - 特許庁

To provide a multi-wavelength interferometer capable of measuring at high precision with accurately specifying a composed wavelength determined by a plurality of different wavelengths by measuring wavelength difference among a plurality of different wavelengths with a simple constitution.例文帳に追加

複数の異なる波長間の波長差を、簡易な構成により測定して、複数の異なる波長によって定められる合成波長を正確に特定することで、高精度な測定を可能にした多波長干渉計を提供する。 - 特許庁

To provide a spectrophotometer which can measure spectroscopy in THr(tera Hertz) region with good S/N by combining a variable wavelength tera Hertz wave light source having high spectral strength with a Type Fourier interferometer.例文帳に追加

強いスペクトル強度をもつ波長可変テラヘルツ波光源と、二光束干渉を用いたマーチン−パプレット型フーリエ干渉計を組み合わせることにより、ＴＨｚ領域での分光を、Ｓ／Ｎ良く測定できる分光光度計を提供する。 - 特許庁

An influence of refractive index is prevented by making a length-measuring optical path vacuum, and deformation of the slider 16 including the interferometer part 14 and the reflection mirror 20 is prevented by the sub-bellows 38, 40 to allow the flexible coupling.例文帳に追加

測長光路を真空とすることで屈折率の影響を防止し、また柔的な結合を可能とする副ベローズ３８、４０により干渉計部１４及び反射ミラー２０を含むスライダ１６のひずみを防止できる。 - 特許庁