Multilayerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 15235件
To obtain a color multilayer coating film having a under layer formed from an anionic electrodeposition coating material (B) containing a color pigment and an upper layer formed from an anionic coating material (A) containing no color pigment without contaminating a bath for the anionic electrodeposition coating material (A) containing no color pigment.例文帳に追加
着色顔料を含有しないアニオン電着塗料(A)の浴を汚染することなく、着色顔料を含有するアニオン電着塗料(B)を下層に、着色顔料を含有しないアニオン電着塗料(A)を上層とした着色複層塗膜を得ること。 - 特許庁
Data of the color picture pattern block are compressed by the color 24-bit jpeg method (120), data of the monochromatic picture pattern block and the monochromatic background block are compressed by the monochromatic 8-bit jpeg method (128, 134), and the compressed data are assembled with a background layer in the multilayer format as other picture plane data (158, 160).例文帳に追加
カラー絵柄ブロックのデータはカラー用の24ビットjpeg形式方式で圧縮し(120)、モノクロ絵柄ブロック及びモノクロ下地ブロックのデータはモノクロ用の8ビットjpeg形式で圧縮し(128,134)、別の画像プレーンのデータとして多層フォーマットにおけるバックグラウンド層に組み込む(158,160)。 - 特許庁
Consequently, a certain amount of space is provided between the lead-out conductor 13 and the coil conductor 12 even if the multilayer electronic component 1 is made compact, and since excessive wedge effect can be prevented, occurrence of a problem in the coil conductor 12 can be prevented.例文帳に追加
このため、積層型電子部品1が小型化した場合であっても、引出導体13とコイル導体12との間に一定のスペースが設けられ、楔効果が過剰となることを防止できるので、コイル導体12に不具合が生じることを抑制できる。 - 特許庁
A resist underlayer film material for forming a resist underlayer film of a multilayer resist film used in lithography contains a polymer containing a styrene derivative unit having at least a fluorine atom as a repeating unit.例文帳に追加
リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜材料であって、少なくともフッ素原子を有するスチレン誘導体単位を、繰り返し単位として含有する重合体を含むものであることを特徴とするレジスト下層膜材料。 - 特許庁
To provide a method for improving conductivity by treating a multilayer carbon nanotube in a nitric acid solution and a method for producing a carbon nanotube composition having high conductivity simply at high yield.例文帳に追加
多層カーボンナノチューブを硝酸溶液中で処理することによって導電性を向上させる方法を提供することを課題とし、高い導電性を有するカーボンナノチューブ組成物を簡便かつ収率よく製造することができる方法を提供することを課題とする。 - 特許庁
The semiconductor device 200 comprises an internal circuit 600 having a multilayer structure, an output pad 300a, a common wiring layer 100a connected to the pad 300a, and an electrostatic protective element 210 for protecting the circuit 600 against the static electricity.例文帳に追加
本発明の半導体装置200は、多層構造を有する内部回路部600と、出力パッド300aと、出力パッド300と接続される共通配線層100aと、静電気から内部回路部600を保護する静電保護素子210とを含む。 - 特許庁
A multilayer wiring structure is formed by laminating multiple layers of interlayer insulating films 15, 17, and 19 using a Low-k film having a porous structure to assure low dielectricity and laser dicing is conducted along a scribe line until the front surface of a semiconductor substrate 11 is exposed.例文帳に追加
低誘電性を確保するために多孔質な構造を有するLow‐k膜を用いた層間絶縁膜15,17,19を多層に積層して多層配線構造を形成し、スクライブラインに沿ってレーザーダイシングを半導体基板11表面が露出するまで行う。 - 特許庁
The connection wire includes multilayer wired instruction information wires (command address wire) and data wires, the instruction information wire is formed of a private wire (dedicated wire), and at least a second-directional wire is formed of a private wire, in the data wire.例文帳に追加
接続配線は、多層配線された指示情報配線(コマンドアドレス配線)とデータ配線を含み、指示情報配線は、プライベート配線(専用配線)により形成され、データ配線は、少なくとも第2方向(X方向)の配線がプライベート配線により形成されている。 - 特許庁
The multilayer resin sheet can be suitably used for an advertising display board with a backlight or a dummy display in a vending machine since it is excellent in continuous printability, good in thermoformability, good in adhesion of printing ink, good in thermal resistance and good in thermal processability.例文帳に追加
本発明の多層樹脂シートは、連続印刷適性に優れ、良好な熱成形性を有し、印刷インキの密着性が良く、耐熱性が良く、熱加工性が良いため、自動販売機内のバックライト付広告表示板やダミーディスプレイに好適に使用できる。 - 特許庁
To provide a transmission line conversion part of a coaxial line and a microstrip line with which the coaxial line and the microstrip line formed on a multilayer dielectric substrate are converted and connected without using additional components such as substrate for mediation and in which impedance variation is reduced.例文帳に追加
同軸線路と多層誘電体基板に形成されたマイクロストリップ線路を、仲介用基板などの追加部品を用いることなく変換接続でき、インピーダンス変化が低減された同軸線路とマイクロストリップ線路の伝送線路変換部を提供すること。 - 特許庁
To provide the manufacturing method of a semiconductor device having a highly reliable multilayer wiring structure without disconnection and shape abnormality and the semiconductor device by reducing overetching to suppress process time and preventing polymer production in simultaneous hole formation.例文帳に追加
同時ホール形成時、過剰オーバーエッチが低減されて工程時間を抑制させると共に、ポリマー発生を防止し、断線や形状異常のない高信頼性の多層配線構造を有する半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。 - 特許庁
To provide an absorption type multilayer film ND filter having an oxide dielectric film layer having the uniform thickness and a metallic absorption film layer having density distribution (width) narrower in the gradation density distribution than before, and a simple method of manufacturing the same.例文帳に追加
酸化物誘電体膜層の膜厚は均一で且つ金属吸収膜層の膜厚のみ膜厚分布を形成し、グラデーション濃度分布の範囲(幅)が従来よりも狭い吸収型多層膜NDフィルター、及びその簡単な製造方法を提供する。 - 特許庁
The method includes steps of providing a semiconductor substrate on which a gate electrode pattern is formed, implementing many-time simultaneous vapor deposition and etching processes to form an interlayer dielectric film made up of multilayer HDP oxidized films so as to embed the gate electrode pattern.例文帳に追加
ゲート電極パターンが形成された半導体基板を提供する段階と、多数回の同時蒸着及びエッチング工程を行い、前記ゲート電極パターンが埋め込まれるように多層のHDP酸化膜からなる層間絶縁膜を形成する段階とを含む。 - 特許庁
To enhance the reflectance of a diffractive optical element comprising a substrate, having a diffraction grating formed on the surface and a dielectric multilayer film disposed on the diffraction grating on the surface of the substrate, and having steps nearly perpendicular with respect to the entire surface of the substrate in the diffraction grating.例文帳に追加
表面に回折格子が形成された基板と、基板表面の回折格子上に設けられた誘電体多層膜より成り、回折格子が基板表面全体に対して略垂直な段差を有する回折光学素子の反射率の向上を図る。 - 特許庁
The method of etching the multilayer film comprising at least one kind of metal film and at least one kind of oxide film provided on a substrate uses, as etching gases, a gas generating a radical in plasma and a gas generating an ion in plasma.例文帳に追加
基板上に設けられた少なくとも1種の金属膜と少なくとも1種の酸化物膜とからなる多層膜をエッチングする方法であって、エッチングガスとして、プラズマ中でラジカルを発生するガスとプラズマ中でイオンを発生するガスとを用いて行う。 - 特許庁
A multilayer semiconductor device 1 comprises: a first semiconductor element 5 adhered to a circuit board 2; and a second semiconductor element 8 laminated on the first semiconductor element 5, and having a projection 8a outward from the periphery of the first semiconductor element 5.例文帳に追加
積層型半導体装置1は、回路基板2上に接着された第1の半導体素子5と、その上に積層されると共に、第1の半導体素子5の外周より外側に突出した部分8aを有する第2の半導体素子8とを具備する。 - 特許庁
In the mask including a multilayer coating having a specified periodic film thickness distribution used in a lithographic apparatus, the periodic film thickness distribution in a mask plane is selected so as to be larger than the periodic film thickness distribution optimum for obtaining maximum reflectivity.例文帳に追加
リソグラフィ装置で使用される、特定の周期膜厚分布を有する多層コーティングを有するマスクにおいて、マスク平面内での周期膜厚分布が、最大の反射率を得るために最適な周期的膜厚分布よりも、大きくなるように選択する。 - 特許庁
The antenna element 1, its grounding layer 13, the antenna circuit 14 and its grounding layer 15 are arranged on the multilayer circuit board 7 so that the distance from the antenna element 1 to its grounding layer 13 is greater than that from the antenna circuit 14 to its grounding layer 15.例文帳に追加
アンテナエレメント1からそのアース層13までの間の距離が、アンテナ回路14からそのアース層15までの間の距離より大きくなるように、アンテナエレメント1とそのアース層13,及びアンテナ回路14とそのアース層15を多層回路基板7に配置する。 - 特許庁
Respective film thicknesses of the optical multilayer film 12 are so designed as to have high reflection characteristics to primary-color wavelength range light and high transmission characteristics to light in an at least visible wavelength range other than the wavelength range of the primary-color wavelength range light.例文帳に追加
光学多層膜12の各膜厚は、三原色波長域光に対して高反射特性を有すると共に、この三原色波長域光の波長領域以外の少なくとも可視波長域の光に対して高透過特性を有するように設計する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a multilayer printed wiring board having sheets of a material laminated continuously and liquid crystal polymers used as insulating layers, which can prevent deformation of wiring circuit layers formed on the surfaces of the wiring board.例文帳に追加
原料シートを連続的に積層して液晶ポリマーを絶縁層に有する多層プリント配線板を製造する方法において、配線板の表面に形成される配線回路層の変形を防止することができる多層プリント配線板の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a polylactic acid non-extended multilayer film having excellent biodegradability, having no wrinkles and slacks, and being excellent in transparency, blocking resistant properties, low temperature sealing properties and film impact properties, with a biodegradable resin.例文帳に追加
生分解性樹脂によりしわ、たるみがなく、透明で耐ブロッキング性、低温シール性及びフィルムインパクトの良好な生分解性を有するポリ乳酸無延伸多層フィルムを得ることができるポリ乳酸無延伸多層フィルムの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a multilayer wiring board and a semiconductor device manufactured by this method which can uniformly thin electrolytic copper plating layers formed on both sides of a core base at a low cost.例文帳に追加
コア基材の両面に形成された電解銅めっき層の膜厚を均一に薄くすることができ、かつそれを低コストで行なうことができる多層配線基板の製造方法、及びその製造方法を用いて作成された半導体装置を提供すること。 - 特許庁
A semiconductor light emitting element 51 is opposed to the second external electrodes 7 and 8 of the multilayer chip varistor V1 on a plurality of the second external electrodes 7 and 8 and connected in parallel to the varistor V1 with them.例文帳に追加
半導体発光素子51が、積層型チップバリスタV1における第2の外部電極7,8に対向するように複数の第2の外部電極7,8上に配され、積層型チップバリスタV1に並列接続されるように第2の外部電極7,8に接続されている。 - 特許庁
To provide a multilayer ceramic substrate which has excellent resistance in high temperature and high humidity environments, can prevent degradation in characteristics, forms a highly reliable external electrode and improves adhesion intensity between the external electrode and glass ceramic, and its manufacturing method.例文帳に追加
高温高湿下での耐性が大きく、特性の劣化を防止することが可能で、信頼性の高い外部電極を形成し、かつ外部電極とガラスセラミックスの密着強度を向上させた多層セラミック基板およびその製造方法を提供するものである。 - 特許庁
The silicon-containing resist underlayer film material of a multilayer resist film used in lithography contains at least a high molecular compound comprising repeating units a1 and/or a2 shown by formulae (1).例文帳に追加
リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜の珪素含有レジスト下層膜材料であって、少なくとも、下記一般式(1)で示される繰り返し単位a1及び/又はa2からなる高分子化合物を含むものであることを特徴とする珪素含有レジスト下層膜材料。 - 特許庁
To improve the yield of a laser semiconductor device by preventing a nitride semiconductor multilayer film including a light emitting layer deposited on a semiconductor wafer from cracking and by increasing uniformity of oscillation wavelengths of a plurality of nitride semiconductor laser devices obtained from the wafer.例文帳に追加
基板ウエハ上に堆積される発光層を含む窒化物半導体多層膜中のクラック発生を防止し、かつそのウエハから得られる複数の窒化物半導体レーザ素子における発振波長の均一性を高めてレーザ素子歩留まりを改善する。 - 特許庁
This multilayer film is composed of a polyalkylene terephthalate layer and an olefinic polymer layer which are laminated respectively with an adhesive layer containing an epoxidized diene block copolymer through a liquid crystalline polymer layer containing a thermotropic liquid crystalline polymer.例文帳に追加
サーモトロピック液晶性ポリマーを含有する液晶性ポリマー層を介して、ポリアルキレンテレフタレート層とオレフィン系ポリマー層とがそれぞれエポキシ化ジエン系ブロック共重合体を含有する接着層で積層されていることを特徴とする多層フィルムを製造し用いる。 - 特許庁
Since the titanium nitride peeling liquid comprises inorganic acid other than the hydrofluoric acid, even in the case the semiconductor multilayer stacked body comprises the tungsten or the tungsten alloy, the titanium nitride peeling liquid does not erode such a layer, and a titanium nitride film can be peeled.例文帳に追加
本発明によれば、窒化チタン剥離液が、フッ酸以外の無機酸を含むので、半導体多層積層体がタングステン又はタングステン合金を含む層を有する場合においても、窒化チタン剥離液がこの層を浸食することなく、窒化チタン被膜を剥離することができる。 - 特許庁
Green sheets 21 on which the electrodes are formed are disposed as a multilayer and connected so as to bundle inner electrodes 11 composed of the driving terminal electrodes 14 on each layer to form driving electric terminals 18.例文帳に追加
また、検出用エネルギー閉じ込め電極15,15’を備えている、そしてそれらが形成されたグリーンシート21が多層に配置され、各駆動用端子電極14からなる各層の内部電極11を束ねるように接続して駆動用電気端子18が形成されている。 - 特許庁
The method for determining the quantity of cholesterol in the high specific gravity lipoprotein includes a first step for adding a sample onto a multilayer dry slide, where at least one layer contains phosphotungstic acid and another layer contains a high specific gravity lipoprotein selective surfactant.例文帳に追加
高比重リポタンパク質中のコレステロールの前記定量方法は、少なくとも1層がリンタングステン酸を含み、そして他の1層が高比重リポタンパク質選択性界面活性剤を含む多層乾式スライド上にサンプルを添加する最初のステップを含む。 - 特許庁
The multilayer capacitor array 1 achieves the high ESR because terminal conductors 4 to which internal electrodes 7 in capacitance sections 12 are connected in parallel are connected in series through the internal electrodes 7 in ESR control sections 11 to external electrodes 3.例文帳に追加
積層コンデンサアレイ1では、静電容量部12における内部電極7が並列接続された端子導体4が、ESR制御部11における内部電極7を介して外部電極3に直列に接続されているので、高ESRを実現できる。 - 特許庁
The borosilicate glass compositions for a sintering aid include an alkali oxide, an alkaline earth oxide and a rare earth oxide, can sinter ceramic dielectrics at low temperatures and improve the hot insulation resistance of a multilayer ceramic capacitor.例文帳に追加
本発明による焼結助剤用ホウケイ酸塩系ガラス組成物は、アルカリ酸化物、アルカリ土類酸化物、及び希土類酸化物を含むもので、セラミック誘電体を低温で焼結することができ、積層セラミックキャパシタの高温絶縁抵抗特性を向上させる。 - 特許庁
In this polypropylene multilayer blow-molded bottle comprising an oxygen barrier resin layer and at least one polypropylene resin layer, the polypropylene resin layer is composed of a resin composition containing a polypropylene resin and a hydrogenerated petroleum resin with a molecular weight of 500-1300.例文帳に追加
酸素バリアー性樹脂層と少なくとも1層のポリプロピレン系樹脂層を有するポリプロピレン系多層ブローボトルにおいて、ポリプロピレン系樹脂層をポリプロピレン系樹脂及び分子量500〜1300の水添石油樹脂を含有する樹脂組成物により構成する。 - 特許庁
In order to prevent brittling of the material of the multilayer pipe, the radially innermost layer contains at least one material of polyolefin, polyolefin copolymer, polyolefin terpolymer, grafted polyolefin and polyamide, and at least one of the layers is modified against thermal aging.例文帳に追加
多層パイプの素材の脆化を防ぐため、半径方向に最も内側の層がポリオレフィン、ポリオレフィン・コポリマー、ポリオレフィン・ターポリマー、グラフト・ポリオレフィン、ならびにポリアミドのうち少なくとも1素材を含み、少なくとも1層が熱によるエージングに耐えうるよう修飾される。 - 特許庁
To provide a photochromic multilayer body having a photochromic coating layer of excellent tightness, on a translucent thermoplastic resin such as a plastic lens, and excellent in an optical characteristic, a photochromic characteristic and durability.例文帳に追加
本発明の目的は、プラスチックレンズなどの透光性を有する熱可塑性樹脂製基材上に、密着性の良好なフォトクロミックコーティング樹脂層を有し、光学特性、フォトクロミック特性および耐久性が良好なフォトクロミック積層体を提供することにある。 - 特許庁
In a multilayer holographic memory reproducing apparatus 10, access to the data block is performed based on a layer number of the holographic recording layer, a data page number numbered for each holographic recording layer, and a data block number numbered for each data page.例文帳に追加
多層ホログラフィックメモリ再生装置10では、ホログラフィック記録層の層番号と、このホログラフィック記録層毎に番号付けされたデータページの番号と、このデータページ毎に番号付けされたデータブロックの番号に基づいて、データブロックにアクセスするようにされている。 - 特許庁
The multilayer pipe for transporting a fluid for cars comprises (1) an inside layer made of a polyamide, (2) an intermediate layer based on a mixture of the polyamide and a polyolefine and (3) an outer layer made of a thermoplastic elastomer material based on a polyether-ether.例文帳に追加
自動車用流体を輸送するための多層パイプであって、 ポリアミド製の内部層(1)、 ポリアミドとポリオレフィンの混合物をベースとする中間層(2)、及び ポリエーテル−エーテルをベースとする熱可塑性エラストマー材料製の外部層(3)を含むことを特徴とするパイプ。 - 特許庁
The compound semiconductor epitaxial wafer comprises a semiconductor substrate 10, and an epitaxial layer 20 formed on the semiconductor substrate 10 wherein a single layer or multilayer insulation layer 15 is provided between the semiconductor substrate 10 and the epitaxial layer 20.例文帳に追加
半導体基板10と、この半導体基板10上に形成されたエピタキシャル層20とを有する化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、上記半導体基板10と上記エピタキシャル層20との間に、単層もしくは多層からなる絶縁層15を設ける。 - 特許庁
In this container for the hair dye, the hair dye containing hydrogen peroxide is infilled into the multilayer container having at least two ethylene-vinyl alcohol copolymer layers or an ethylene-vinyl alcohol copolymer layer into which denatured polyethylene is blended.例文帳に追加
少なくとも2層以上のエチレン・ビニールアルコール共重合体層、または変性ポリエチレンを配合したエチレン・ビニールアルコール共重合体層を有する多層容器に、過酸化水素を含有する染毛剤を充填したことを特徴とする染毛剤容器である。 - 特許庁
The multilayer printed wiring board is manufactured by the method in which resin powder is stuck to only a point containing no circuit in an internal layer circuit board, and a pre-preg and a metal foil are piled thereon, and the point is heated and pressurized to laminate and unit in a body.例文帳に追加
本発明は、内層回路基板の回路のない箇所にのみ、樹脂粉末を付着させ、プリプレグと金属箔を重ね、加熱・加圧して積層一体化する多層プリント配線板の製造方法と、その製造方法により製造された多層プリント配線板。 - 特許庁
A multilayer reflective film 2 and an absorber film 4 are formed on the mask blanking substrate 1 to make the reflective mask blank 10, and the absorber film 4 in the reflective mask blank 10 is patterned to form an absorber pattern to make the reflective mask 20.例文帳に追加
このマスクブランク用基板1上に多層反射膜2及び吸収体膜4を形成して反射型マスクブランク10とし、この反射型マスクブランク10における吸収体膜4をパターニングして吸収体パターンを形成して反射型マスク20とする。 - 特許庁
The plastic multilayer container 1 comprises inner and outer layers each made of a thermoplastic polyester, the oxygen absorption layer between the inner and outer layers so that a half-width of a peak of a diffraction profile by an X-ray diffraction of the inner and outer layers in at least a container body 4 is 15° or less.例文帳に追加
熱可塑性ポリエステルからなる内外層と、前記内外層の間に酸素吸収層を有し、少なくとも容器胴部4における内外層のX線回折による回折プロファイルのピークの半値幅が15°以下であるプラスチック多層容器1とする。 - 特許庁
The cushion material used for the thermoforming of a multilayer laminated circuit board comprises: a net sheet of a metal fiber arranged on one surface or both surfaces of a rubber sheet; and a portion of the rubber of the pressed surface of the rubber sheet, which is deformed to enter the mesh of the net sheet in pressure forming.例文帳に追加
多層積層回路基板の熱成形に用いるクッション材であって、ゴムシートの片面又は両面に金属繊維の網状シートを配し、加圧成形に当たりゴムシートの加圧面のゴムの一部が変形し網状シートの網目に入り込むようにしたクッション材。 - 特許庁
The glass bead 103 has a multilayer structure.例文帳に追加
そしてこの目的を達成するために本発明は、電極101と、一端部が電極101に接続されたリード線102と、リード線102の少なくとも一部を覆うように形成されたガラスビード103とを有する電極構造体100であって、ガラスビード103は、多層構造である。 - 特許庁
The multilayer printed wiring board has first signal wirings 100 to 104 arranged on a plurality of layers through first VIA groups 3, 5, 7 and 9, and second signal wirings 200 to 204 arranged on a plurality of layers through second VIA groups 4, 6, 8 and 10.例文帳に追加
多層プリント配線板は、第1のVIA群3、5、7、9を介して複数の層に配置された第1の信号配線100〜104と、第2のVIA群4、6、8、10を介して複数の層に配置された第2の信号配線200〜204と、を備える。 - 特許庁
The multilayer wiring structure film 15 is laminated on a metal base 11 of a metal plate having an opening in which a semiconductor device 16 is fitted, the semiconductor device 16 is fitted into the opening formed in the metal base 11 and connected to a metal pad 12 in a flip-chip mounting manner.例文帳に追加
金属板からなり半導体素子16を嵌入するための開口部を有するメタルベース11上に多層配線構造膜15を積層し、半導体素子16をメタルベース11の開口部に嵌入し、金属パッド12にフリップチップ接続する。 - 特許庁
In a multilayer circuit board 1 which comprises a plurality of conductor layers and is provided with a conductor (inductor conductor segment) 21 including an inductor function in one or more conductor layers, the conductor thickness in at least part of the inductor conductor segment is made thicker than other conductors disposed within the circuit board.例文帳に追加
複数の導体層を備えかつ該導体層の一以上の層にインダクタ機能を有する導体(インダクタ導体部)21を設けた多層基板1で、インダクタ導体部の少なくとも一部の導体厚を当該基板内に設けた他の導体より厚くする。 - 特許庁
According to the method, a via-hole plugging process carried out in a conventional manufacturing method for a multilayer printed circuit board is made unnecessary by machining a via-hole having a diameter smaller than that of a conventional via-hole upon forming the circuit layer and filling the via-hole by plating.例文帳に追加
本発明によれば、回路層の形成時にビアホールを従来に比べて小さい直径に加工してメッキによってビアホールの内部を充填することにより、従来の多層印刷回路基板の製造方法でのビアホールプラッギング工程を必要としない。 - 特許庁
The multilayer printed-wiring board 1 includes: a first conductive layer 12 provided to a first substrate 11; a second conductive layer 22 provided to a second substrate 21; and a through-hole 2 passing through the second substrate 21 and having a first conductive layer 12 as its bottom.例文帳に追加
多層プリント配線板1は、第1の基板11に設けられた第1の導電層12と、第2の基板21に設けられた第2の導電層22と、第2の基板21を貫通するとともに第1の導電層12を底面とする貫通孔2とを備えている。 - 特許庁
To form a mask pattern having high verticality in an organic film of a multilayer resist which is stacked on a film to be etched, which includes the organic film and a resist film where a resist pattern stacked on the organic film is opened, and which becomes an etching mask of the film to be etched.例文帳に追加
被エッチング膜の上に積層された、有機膜と、その有機膜の上に積層されたレジストパターンが開口したレジスト膜とを備える、被エッチング膜のエッチングマスクとなる複数層レジストの前記有機膜に、高い垂直性を有するマスクパターンを形成すること。 - 特許庁
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