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surface defect detectionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 143件
In this surface inspection instrument, a first detection means 2a, 2b outputs a detective signal by finding the reflected light of a light-beam corresponding to the defect on the surface of the frontal side of the light- penetrating substrate having the semi-transparent film.例文帳に追加
第1の検出手段2a及び2bは、表面に半透明膜を有してなる透光性基板の基板表面側で該基板表面の欠陥に応じた光ビームの反射光を検出して、検出信号を出力する。 - 特許庁
A surface wave 9 and the elastic wave 10 in the irradiation are detected with the lapse of time by a laser interferometer 8 for collimating the surface 2 of the diagnosed portion 4, the presence of an internal defect 5 or a buried body in the concrete structure 1 in the diagnosed portion 4 is diagnosed based on a waveform change from detection of the surface wave 9 to detection of the final elastic wave 10.例文帳に追加
被診断部位4の表面2を視準するレーザ干渉計8により前記照射時の表面波9と弾性波10とを経時的に検出し、表面波9の検出から最終の弾性波10の検出までの波形変化から被診断部位4におけるコンクリート構造物1の内部欠陥5又は埋設物の有無を診断する。 - 特許庁
A second detection means 3a, 3b outputs a detective signal by finding a transmission light of the beam corresponding to the defect on the surface of the opposite side of the above substrate.例文帳に追加
第2の検出手段3a及び3bは、上記透光性基板の基板表面とは反対側で該基板表面の欠陥に応じた光ビームの透過光を検出して、検出信号を出力する。 - 特許庁
Thus, the accuracy of defect detection can be improved by minimizing the width of the mask 37, and the deviation correction can be performed in parallel with the surface inspection, so that the reduction in productivity is prevented.例文帳に追加
これにより、マスク37の幅を極力細くして欠陥検出の精度を高めることができ、さらに、表面検査と並行してずれ補正を実施できるので生産性の低下が防止される。 - 特許庁
To provide a streak surface inspection device, capable of preventing the erroneous detection caused by the vibration of a streak to be inspected to accurately detect the flaw such as a defect or a stain of a linearly extending wire material.例文帳に追加
被検査線条の振動による誤検知を防止し、線状に伸びる線材の欠陥や汚れ等の欠陥を正確に検出することのできる線条表面検査装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a defect detection method for easily detecting defects in an SOI substrate by performing etching while restraining deterioration in the surface roughness of a silicon film and uniformity in a film thickness within a plane.例文帳に追加
シリコン膜の表面粗さおよび面内の膜厚均一性の悪化を抑えながらエッチングすることで、SOI基板の欠陥を検出容易にする、欠陥検出方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To detect the projection defect of a surface in the manufacturing line or the like of a material of continuous length such as a sheet and a tubing accurately with a simple device and with low detection costs and maintenance costs.例文帳に追加
シートや管材等の長尺材の製造ライン等で、その表面の突起欠陥の検出を、簡単な装置により、精度よく、かつ安価な検出コストおよびメンテナンスコストで行うことを可能にする。 - 特許庁
To provide a flaw type classification boundary setting method in surface defect detection allowing even an operator without having a special technique to simply realize complicated defect classification, and enabling evaluation capable of remarkably reducing work and of rapidly responding to change of an operation state.例文帳に追加
特殊な技術をもたないオペレータでも簡便に複雑な欠陥分類が実現され、労力が大幅に削減されるとともに操業状態の変化に迅速に対応した評価が可能となるような表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法を提供する。 - 特許庁
To provide a visual inspection device and a visual inspection method capable of defect detection even in a domain other than a repeated pattern domain without generating a reference image, when detecting a defect appearing in the appearance of a substrate on whose surface an electric pattern is to be formed or has been formed.例文帳に追加
表面に電気的パターンが形成される、又は形成された基板の外観に現れる欠陥を検出する際に、基準画像を生成することなく、繰り返しパターン領域以外の領域においても欠陥検出が可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。 - 特許庁
The wafer appearance inspection device 201 includes: a measuring stage 205; a monitor camera 203 for imaging a surface shape of a wafer 204 placed on the stage; and a control computer 202 for executing detection processing of surface shape defect of the wafer 204.例文帳に追加
ウェーハ外観検査装置201は、測定ステージ205と、その上に載置されたウェーハ204の表面形状を撮像するモニタカメラ203と、ウェーハ204の表面形状欠陥の検出処理を実行する制御用コンピュータ202を備える。 - 特許庁
To provide an optical disk player not detecting the disk as defective at the detection when the exact detection of a defect of optical disk is carried out and a signal component of the information recorded on the optical disk is satisfactorily being obtained even though a surface of the optical disk is stained or scratched.例文帳に追加
光ディスクのディフェクトを正確に検出し、光ディスクの表面が汚れたり傷がついたりしていても光ディスクに記録された情報の信号成分が十分得られている場合は、ディフェクトとして検出しない光ディスク再生装置を提供する。 - 特許庁
Since the reflected beam from the sample surface is detected by each light receiving element (19) separated by a light shielding member, a con-focal optical system is established, resulting in higher resolution for defect detection.例文帳に追加
さらに、試料表面からの反射ビームは、遮光部材により分離された各受光素子(19)により受光されるので、コンフォーカル光学系が構成され、この結果、欠陥検出の分解能が一層高くなる。 - 特許庁
To provide a defect detection method and detector capable of detecting, for example, microdefects caused on a reduction roll circumferential surface in inspection, so that a steel sheet (rolled material) of good surface quality can be produced, and to provide a grinding device and grinding method for achieving this method.例文帳に追加
表面品質のよい鋼板(圧延材)を製造できるようにするため、例えば検査時に圧延ロール外周表面に生じた微小の欠陥を検出することができる欠陥検出方法、装置並びにその方法を実現できるような研削装置、研削方法を得る。 - 特許庁
To prolong the lifetime of products and the intervals of inspection and maintenance by preventing the degradation in reflectivity of a deflective reflecting surface of a rotary deflecting means by adhesion of dirt and by suppressing exposure unevenness and the defect in synchronous detection for controlling exposure timing.例文帳に追加
汚れの付着による回転偏向手段の偏向反射面の反射率の低下を防ぎ、露光ムラや露光タイミングを制御するための同期検出不良を抑え、製品寿命や点検保守間隔を長くする。 - 特許庁
The defect detection apparatus has a configuration, in which dc voltage is applied to the coaxial flexible piezoelectric body 2 through an electrode means 5 for inspection which makes contact with an outer peripheral surface of a piezoelectric tube 3 while winding up the piezoelectric tube 3.例文帳に追加
圧電体チューブ3の外周面と接触する検査用電極手段5を経て、圧電体チューブ3を巻取りながら同軸状可撓性圧電体2に直流電圧を印加する構成の欠陥検出装置を提供する。 - 特許庁
To solve a problem wherein, when performing vertical illumination with a catadioptric objective lens, specularly reflected light from a defect which passes through the center of the catadioptric objective lens does not provide an image, thereby causing a flare component on a detection surface and resulting in a low SN.例文帳に追加
反射屈折型対物レンズを用いた垂直落射照明を行う場合、反射屈折型対物レンズ中心を通過する欠陥からの正反射光が結像されないため、検出面ではフレア成分となり低SNになる。 - 特許庁
Thereby, visibility of the substrate 1 for the magnetic recording medium is enhanced, sensing of the substrate for the magnetic recording medium by a ray such as a laser light is made easy and detection of a defect and the like is made easy in a surface appearance inspection step.例文帳に追加
これにより、磁気記録媒体用基板1の視認性が向上し、レーザ光などの光線による磁気記録媒体用基板の検知が容易になり、さらに、表面外観検査工程において欠陥などの検出が容易になる。 - 特許庁
The image processing means generates added image data including information of wavelengths and signal intensity by additionally processing the signals of respective wavelengths correspondingly to the incident positions on the detection surface, determines whether or not a defect exists on the pattern to be inspected based on the added image data, and when determining the existence of a defect, detects the position of the defect in a direction vertical to the substrate.例文帳に追加
前記画像処理手段は、前記波長毎の信号を前記検出面の入射位置に対応付けて加算処理して波長および信号強度の情報を含む加算画像データを生成し、該加算画像データに基づいて検査対象のパターンにおける欠陥の有無を判定し、欠陥が有ると判定した場合に前記基体に垂直な方向における前記欠陥の位置を検出する。 - 特許庁
To prevent stray light, such as lens-reflected light reaching an image surface from disturbing the inspection sensitivity in a dark field defect detection method by high elevation angle illumination for detecting groove bottom short-circuit defects or scratch, after the completion of etching.例文帳に追加
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。 - 特許庁
To solve the problems wherein, when an illuminance distribution in an illumination spot by an actual illumination optical system is not a Gaussian distribution, each accuracy of particle size calculation of a foreign matter or a defect to be detected and coordinate position detection on the inspection object surface is lowered.例文帳に追加
実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布がガウス分布になっていない場合には、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の検出精度が低下してしまう。 - 特許庁
To provide an image forming apparatus that can form an image of high quality by preventing a defect in fixation by controlling the surface temperature of a heat roller always into a proper fixation temperature range even if a detection surface of a non-contact temperature sensor is stained with toner and oil, and further paper powder scattering during fixation.例文帳に追加
定着時に飛散するトナーやオイル、更には紙粉などにより、非接触式温度センサの検知面が汚れても、常に加熱ローラの表面温度を適正な定着温度範囲内に制御し、定着不良の発生を防止し、高品質の画像が得られる画像形成装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
Light is emitted toward the steel pipe of an inspection object, reflected light from the first area of the steel pipe surface is received by a two-dimensional camera to measure luminous energy thereof, and a reference level used in defect detection is set based on the measured luminous energy (S3).例文帳に追加
検査対象物である鋼管に光を照射し、鋼管表面の第1領域から反射光を2次元カメラにより受光してその光量を計測し、計測した光量に基づき、欠陥検出の際に用いる基準レベルを設定する(S3)。 - 特許庁
If verified, it is decided whether the verification has been performed by the usually used information recording and reproducing device (a usually used drive) and, when it is performed by a drive other than the usually used drive, it is decided that the defect detection is necessary again and the whole surface of the optical disk 1 is automatically verified.例文帳に追加
ベリファイ済みであれば、それが自社機の当該情報記録再生装置(自ドライブ)でなされた否かを判定し、自ドライブ以外でなされた場合には、再度欠陥検出が必要と判断して、光ディスク1の全面を自動的にベリファイする。 - 特許庁
The magneto-optic defect detection method applies a magnetic field to the object 1 to be inspected to detect a leakage magnetic field generated at a defective part 2 on the surface of the object 1 to be inspected by a magneto-optic effect of light penetrated through a magneto-optic element 10 approximated to the object to be inspected.例文帳に追加
被検査物1に磁界を印加して、その表面の欠陥部2に生じた漏洩磁界を、被検査物に近接させた磁気光学素子10に透過させた光の磁気光学効果により検出する磁気光学式欠陥検出方法である。 - 特許庁
In addition, inspection systems, circuits, and methods are provided to enhance defect detection by reducing thermal damage to large particles by dynamically altering the incident laser beam power level supplied to the specimen during a surface inspection scan.例文帳に追加
加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。 - 特許庁
To provide an electron beam equipment capable of obtaining an image for inspection with little distortion and enabling a surface observation and a defect detection as well as a device manufacturing method for inspecting a device on the way of a process with a good throughput with the use of the electron beam equipment.例文帳に追加
歪みの少ない検査画像が得られ、信頼性の高い表面観察および欠陥検出を可能にする電子ビーム装置、および、該電子ビーム装置を用いてスループット良くプロセス途中のデバイスを検査するデバイス製造方法を提供すること。 - 特許庁
To easily and surely detect a coating defect of an insulation film coated on an inner circumferential side face of a pipe or tubular container, without using an electrolyte requiring complicated and troublesome work, and a conductive brush or the like having the tendency that the detection of the coating defect is unsure, and having the possibility of damaging a surface of the inside of an inspection object.例文帳に追加
煩雑な作業が必要となる電解質や被覆欠陥の検知が不確実になりやすくかつ検査対象の内部の表面を損傷するおそれのある導電性ブラシなどを用いることなく、管または管状の容器の内周側面にコーティングされた絶縁膜の被覆欠陥を簡易かつ確実に検知する検査装置および検査方法を提供する。 - 特許庁
To prevent occurrence of the detection of brake out caused by the defect of the stability in the temperature of a mold frequently shown in the case the content of SiO_2 in mold powder is reduced for dealing with the problem of contamination of the powder to a slab causing the surface flaw of a cold-rolled steel sheet.例文帳に追加
冷間圧延鋼板の表面疵の原因となる鋳片へのモールドパウダーの巻き込みの問題に対処するためパウダーのSiO_2の含有量を減らした場合に多く見られる、鋳型温度安定度の不良に起因するブレークアウトの検知の発生を防止する。 - 特許庁
The correction of the background image according to the sensitivity characteristic of the imaging means can precisely match shading curves of the background image and an inspection image to implement a precise shading correction and increased accuracy of surface defect detection on a liquid crystal panel.例文帳に追加
そして、背景画像を撮像手段の感度特性に基づいて補正することで、背景画像と検査画像とのシェーディングカーブを精度よく合致させることができ、シェーディング補正を高精度に実行することができ、液晶パネルにおける表示欠陥の検出精度を向上させることができる。 - 特許庁
To provide a defect inspection device having an improved detection ability by inspecting a film or a pattern comprising an inorganic substance/inorganic compound by using a light in a wavelength range suitable for wavelength dependency carried by a refractive index, an extinction coefficient and a surface reflectivity of the substance.例文帳に追加
無機物/無機化合物から成る膜またはパターンを、その物質の屈折率,消光係数、および表面反射率が持つ波長依存性に関して好適な波長範囲の光を用いて検査することにより、向上した検出能力をもつ欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To allow easy eddy current examination of high senstivity as to the presence of a defect generated on a surface of a testing body having a circular cross section, in a hot condition, and reduce the possibility of damage of a flaw detection coil in the eddy current examination to a small extent.例文帳に追加
円形断面を有する試験体の表面に発生した欠陥の有無を、熱間において、高感度かつ簡便に渦流探傷することができ、しかも、渦流探傷の際に探傷コイルが破損するおそれの少ない熱間渦流探傷プローブを提供すること。 - 特許庁
On both end edges in the width direction of the flexible sheet 11, seal defect detection display 12 where many slanting lines SL are printed on an inner surface side at regular intervals is performed and, when the end edge in the width direction of the flexible sheet 11 is partially folded toward the inner surface side, many of the slanting lines SL are changed into V shaped lines.例文帳に追加
柔軟性シート11の幅方向の両端縁には、内面側に多数の斜線SLが一定間隔で印刷されたシール不良検出用表示12が施されており、柔軟性シート11の幅方向の端縁が部分的に内面側に折り込まれると、多数の斜線SLが、逆「く」字状の線に変化するようになっている。 - 特許庁
To provide a shading correction method wherein, in detection of surface defects using an image, a part or all of a large-area defect flatly extending over a wide range on a surface to be inspected is not removed from an image by correction, and no rebounding phenomenon occurs in the corrected image in the vicinity of a boundary between the inside and outside of the target to be inspected.例文帳に追加
画像を用いた表面欠陥検出に際し、検査対象表面上の広い範囲に平坦に広がる大面積欠陥が補正によって画像からその一部または全体が除去されず、かつ検査対象内と外との境界部付近において補正された画像に跳ね返り現象が発生しないシェーディング補正方法を提供すること。 - 特許庁
Thereby, even if a clearance of X direction is secularly changed by creeping of the plastic final gear 23 and the magnetic circuit 31, the state of surface contact is continued through the abutting surface 38 of the yoke 33 and the magnet 34, and the defect due to variation in sensor performance of the rotation angle detection apparatus 6 can be evaded and high reliability can be obtained.例文帳に追加
これにより、経時変化により樹脂製の最終ギヤ23と磁気回路部31とがクリープしてX方向の隙間が変化したとしても、ヨーク33と磁石34とが当接面38を介して面接触する状態が継続するため、回転角度検出装置6のセンサ特性が変化する不具合を回避でき、長期に亘って高い信頼性を得ることができる。 - 特許庁
This defect detection method includes a step for carrying out HF treatment for dipping the surface having an SOI layer into hydrofluoric acid for treatment, a step for depositing electrolytes at the site on the surface of the SOI layer closest or regarded as closest from a place having cavities or defects in an insulating layer due to the HF treatment, and a step for detecting the site where the electrolytes are decorated.例文帳に追加
SOI層がある面をフッ化水素に浸漬処理するHF処理をするステップと、HF処理されたことで生じた絶縁層の空洞または絶縁層の欠陥がある箇所から最短距離または最短距離とみなせるSOI層の面上の部位に電解物質を(析出)させるステップと、電解物質がデコレートされた部位を検出するステップと、を有する。 - 特許庁
The ultrasonic flaw detection method includes also the ultrasonic flaw detector including a plurality of sets of rollers R for supporting the steel material W to detect the internal defect, the array probes 2 for the gap method arranged on a surface of the steel material W via a water film, and the the array probes 10 for the local submerging method arranged on the surface of the steel material W via a water chamber 14.例文帳に追加
また、内部の欠陥を検出すべき鋼材Wを回転可能に支持する複数組のローラRと、上記鋼材Wの表面に水膜を介して配置される上記ギャップ法用のアレイ探触子2と、上記鋼材Wの表面に水室(14)を介して配置される局部水浸法用のアレイ探触子10と、を含む、超音波探傷装置1も含まれる。 - 特許庁
This hologram product defect detection device is equipped with an imaging part 18 for irradiating inspection light h from the whole direction on the surface side excluding the normal direction to the surface of the hologram product 60, and acquiring image data by imaging light k emitted from the hologram product and proceeding along the normal direction, and a recognition part 38 for recognizing the hologram region based on reference image data.例文帳に追加
本発明のホログラム製品欠陥検出装置によれば、ホログラム製品60の表面に対する法線方向を除く表面側全方向から検査光hを照射し、このホログラム製品から発せられ法線方向に沿って進む光kを撮像して画像データを取得する撮像部18と、基準画像データに基づいてホログラム領域を認識する認識部38とを備える。 - 特許庁
To obtain three images which are to be compared in double detection through main scanning toward the same direction, and to perform main scanning in both the normal and reverse directions, in defect inspection for scanning a sample surface on which a repeated pattern where a plurality of basic patterns are repeated is formed, and comparing each image on corresponding parts of the plurality of respective basic patterns.例文帳に追加
複数の基本パターンが反復する反復パターンが形成された試料表面を走査し、複数の基本パターン相互の対応部分の画像同士を比較する欠陥検査において、ダブルデテクションで比較される3画像を同一方向に向かう主走査で取得しかつ正逆両方向において主走査を行う。 - 特許庁
To provide an image pickup device for detecting the surface condition of a circuit pattern-formed wafer with high resolution and a defect detection apparatus using the same, without being affected by steep pattern steps, reflectance distributions and optically transparent substance which are formed after resist patterns are formed and removed.例文帳に追加
本発明の目的は、レジストパターン形成後やレジスト除去後の回路パターン付ウェハに存在する急峻なパターン段差、反射率分布、光学的透明体に影響を受けることなく、表面状態を高解像度で検出する撮像装置並びにこれを用いた欠陥検査装置を提供することである。 - 特許庁
A magnetic inspection equipment 4 is composed of a magnetizer 5 for impressing a magnetic field to a running steel plate 1, magnetic sensors 6a, 6b arranged in a position opposed to the magnetizer 5 to sandwich the steel plate 1, and a signal processor 7 for detecting a defect 8 in the inside or surface of the steel plate 1 based on detection signals from the sensors 6a, 6b.例文帳に追加
磁気探傷装置4は、走行状態の鋼板1に磁界を印加する磁化器5と、鋼板1を挟んで磁化器5の対向位置に配設された磁気センサ6a、6bと、この磁気センサ6a、6bからの検出信号に基づいて鋼板1の内部または表面の欠陥8を検出する信号処理装置7とで構成されている。 - 特許庁
To detect defects, such as surface cracks, generated in a large steel structure, such as a bridge and each kind of cargo handling equipment, remotely, easily, and reliably by a simple apparatus configuration without assembling a scaffold for defect detection work, without requiring any heating means of the steel structure, and without requiring any means for applying a load to the steel structure, such as a shaking apparatus.例文帳に追加
橋梁や各種荷役機械などの大型鋼構造物に生じた表面亀裂などの欠陥を、欠陥検出作業用の足場を組むことなく、鋼構造物の加熱手段を必要とせず、しかも、加振装置などの鋼構造物への荷重負荷の付与手段を必要とせずに、簡単な装置構成によって、離れた場所から容易かつ確実に検出することができる。 - 特許庁
In the ultrasonic flaw detection method of solid shaft 1 for detecting a defect occurring from the surface at the step part 12 of a solid shaft 1 using an ultrasonic wave, a variable angle probe 14 capable of varying the incident angle is used when a longitudinal ultrasonic wave enters from the end face 10a of the solid shaft 1 and the refraction angle α satisfies the following conditions.例文帳に追加
段付部12を有する中実軸1の段付部表面から生じる欠陥を超音波により検査する中実軸の超音波探傷方法において、中実軸1の軸端面10aから縦波超音波を入射するに際して、入射角を変化可能な可変角探触子14を使用するものであり、屈折角αが下記条件式を満足する。 - 特許庁
In a defect detection method for remotely detecting defects S that are present in a girder 4 of a ceiling crane as a large steel structure, the girder 4 for causing repetitive stress variations by the drive of a crane carriage 7 is photographed by an infrared camera 9, and temperature distribution variations on the surface of the girder 4 are measured as images, thus detecting defects present in the ceiling crane.例文帳に追加
大型鋼構造物として天井クレーンのガーダ4に存在する欠陥(S)を離れた場所から検出する欠陥検出方法において、クレーン台車7の走行により繰り返し応力変動が生じているガーダ4を赤外線カメラ9により撮影して、ガーダ4の表面の温度分布変動を画像として計測し、これにより天井クレーンに存在する欠陥を検出する。 - 特許庁
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