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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > upper- layerの意味・解説 > upper- layerに関連した英語例文

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upper- layerの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 11093



例文

The upper part of the lamination structure is formed at the same intervals as stripe-shaped ridges 31a to 31f, channel width is successively set to 2.0 to 3.5 μm in 0.3 μm steps, the equivalent refractive index of the active layer is changed, and the oscillation wavelength of each element is changed.例文帳に追加

積層構造の上部は、同じ間隔で、ストライプ状リッジ31aから31fとして形成され、チャンネル幅は、順次、0.3μm刻みに、2.0μmから3.5μmとし、活性層の等価的な屈折率を変化させ、各素子の発振波長を変える。 - 特許庁

Most of the cooling air introduced to the fired article cooling device 21 does not flow upwards from the fired article packed layer 23, instead passing through a duct 30 connected to an upper space section 21c and being used as combustion air in a lower combustion chamber 17.例文帳に追加

焼成品冷却装置21に導入された冷却用空気は、焼成品充填層23から上方にはほとんど流入せず、上方空間部21cに接続されたダクト30を通って下部燃焼室17にて燃焼用空気として使用される。 - 特許庁

The surface-emitting semiconductor laser 1, having a vertical resonator while sandwiching an active layer 7, includes a hole 21 provided in the laser oscillation of the resonator, and a light-shielding means 26 provided in between at least an upper part of the hole part 21 and a bottom of the same.例文帳に追加

活性層7を挟んで垂直方向の共振器が形成された面発光半導体レーザー1であって、共振器のレーザー発振部に孔部21を設け、少なくとも孔部21の上部と底部との間に遮光手段26を設ける構成とする。 - 特許庁

A bottom widening member 2 is welded to the front end of a pile main body 1 consisting of a steel pipe having a predetermined length, the bottom widening member 2 has a cone section 3 having an outside diamer larger than the pile main body and a side wall section 4, and an earth of a bearing layer can be prevented from flowing to the upper side of the bottom widening member.例文帳に追加

所定長さの鋼管から成る杭本体1の先端に拡底部材2を溶接し、この拡底部材2は杭本体より外径が大きい円錐部3と側壁部4を有し、支持層の土が拡底部材の上側へ流動しないようにしている。 - 特許庁

例文

To provide a semiconductor device which is provided with a conductive plug penetrating an insulation film and an upper layer wiring that is formed on the insulation film and is connected thereto, and which can improve the degree of freedom of layout on the insulation film; and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

絶縁膜を貫通する導電性プラグと、絶縁膜上に形成され導電性プラグに接続する上層配線とを備える半導体装置であって、絶縁膜上のレイアウトの自由度を高める半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁


例文

In the layer structure M, warp 10a made of flat monofilaments is confounded with the upper and lower high shrinkage yarns 11 and holds the interval to maintain the communicating gap parts 12, and the warp 10a supports the skelton formation of the communicating gap parts 12.例文帳に追加

層構造Mでは、扁平モノフィラメントからなる経糸10aが上下の高収縮糸11に交絡して間隔を保持することで連通空隙部12が維持されるようになっており、経糸10aが連通空隙部12の骨格形成を担っている。 - 特許庁

In a circuit apparatus, a projection 60 projecting in a thickness direction is provided on the upper surface of and the lower surface of a conductive pattern 11 of a metal core layer, and an interlayer connection for making wiring layers conduct to each other is provided on a region in which the projection 60 is provided.例文帳に追加

回路装置では、金属コア層である導電パターン11の上面および下面に厚み方向に突出する突出部60を設けており、この突出部60が設けられた領域に、各配線層同士を導通させる層間接続部を設けている。 - 特許庁

An optical sheet layer 5 of a diamond shape capable of changing angles of light in the wide range from a shallow angle to a vertical upper side according to an angle of light emitted from a light guide plate 2 is provided in an optical path from the light guide plate 2 to a liquid crystal panel 7.例文帳に追加

導光板2から液晶パネル7の間の光路中に、導光板から出光する光線角度に応じて光を浅い角度から垂直上方まで幅広く変角することができる菱形形状の光学シート層5を設けることとした。 - 特許庁

In an area wherein the battery case and a positive electrode collector face each other via the separator without a positive electrode mix layer of the positive plate, an insulating member with an optimum width is arranged on the separator of an outermost circumference in a position facing both upper and lower end parts of the positive electrode collector.例文帳に追加

電池ケースと前記正極板の正極合剤層が無く正極集電体とがセパレータを介して対向する領域では正極集電体の上下両端部に対向する位置の最外周のセパレータ上に絶縁部材を最適な幅で配設する。 - 特許庁

例文

Also, the protective member is an upper winding tape 6 wound around the outer periphery of a slot in a slot type optical cable 1, and the protective member is the yarn of a buffer layer 16 filled between a pipe-like jacket and an optical fiber unit in a non-slot type optical cable 11.例文帳に追加

なお、スロット型光ケーブル1においては、保護部材が、スロットの外周に巻かれた上巻きテープ6であり、非スロット型光ケーブル11においては、保護部材が、パイプ状の外被と光ファイバユニットの間に充填された緩衝層16のヤーンである。 - 特許庁

例文

By such a connection, a gate insulating film 8 can be prevented from being broken due to the charge-up of the n-channel MISFET in the logical section, and all channels on the upper layer formed in the following steps can be used for wiring in the cell or between the cells.例文帳に追加

この接続により、論理部のnチャネルMISFETのチャージアップによるゲート絶縁膜8の破壊を防ぐことができ、さらに後の工程において形成される上層の配線のチャネルを全てセル内またはセル間の配線に用いることができる。 - 特許庁

The heat-treated surface of the steel material is exposed on the ball rolling groove (raceway surface) 51, upper surface (mounting reference surface) 52, and left side surface (mounting reference surface) 53 of a slider 5, and the synthetic resin layer containing the fluororesin is formed on the other surfaces with intermediate layers disposed therebetween.例文帳に追加

スライダ5のボール転動溝(軌道面)51、上面(取り付け基準面)52、および左側面(取り付け基準面)53に、鋼材の熱処理面を露出させ、これ以外の面に、中間層を介して、フッ素樹脂を含有する合成樹脂層を形成する。 - 特許庁

Then the parts of both a recording gap layer 8 and a second lower magnetic pole 7b are etched by RIE similarly to the above-mentioned method using a part of a first mask 21a and a tip part 11a (1) of the upper pole chip 11a as masks to form a magnetic part 100.例文帳に追加

続いて、第1のマスク21aの一部と上部ポールチップ11aの先端部11a(1) とをマスクとして、記録ギャップ層8および第2の下部磁極7bの双方の一部を上記と同様のRIEによりエッチングして、磁極部分100を形成する。 - 特許庁

The substrate part 3 is constituted to bring an under face into contact with an upper end of a terminal pin 12 projected from a substrate abutting part 1a provided in the stem 1 toward the substrate part 3 to be fixed bondedly, and an insulating layer 6 is formed only in the substrate mounting part 1a, in the stem 1.例文帳に追加

そして、基板部3は下面をステム1に設けた基板当接部1aより基板部3に向けて突出させた端子ピン12の上端に当接して端子ピン12に接合固定され、ステム1は基板搭載部1aのみに絶縁層6を形成している。 - 特許庁

A cap insulating film 102 is formed on a low-dielectric-constant film 101, and the cap insulating film and upper portions of the low-dielectric-constant film are etched to form trenches 103, penetrating the cap insulating film, in the low-dielectric-constant film in a region where a wiring layer 105a is formed.例文帳に追加

低誘電率膜101上にキャップ絶縁膜102を形成し、キャップ絶縁膜および低誘電率膜の上部をエッチングして、配線層105aを形成する領域にキャップ絶縁膜を貫通して低誘電率膜にトレンチ103を形成する。 - 特許庁

Next, a portion of both a recording gap layer 8 and a second lower magnetic pole 7b is etched by the similar RIE by using a portion of a first mask 21a and a tip part 11a (1) of the upper pole chip 11a as a mask to form a magnetic pole part 100.例文帳に追加

続いて、第1のマスク21aの一部と上部ポールチップ11aの先端部11a(1) とをマスクとして、記録ギャップ層8および第2の下部磁極7bの双方の一部を上記と同様のRIEによりエッチングして、磁極部分100を形成する。 - 特許庁

The air cleaner 10 itself is composed of a foam body such as foam urethane, and is formed into a two-layer structure for covering a side surface part 13 and an upper surface part 12 of a substantially truncated cone-shaped first foam body 15 for forming the hollow part 14 with a second foam body 16.例文帳に追加

エアクリーナ10自体は、発泡ウレタンなどの発泡体から構成されており、中空部14を形成する略円錐台形の第一発泡体15の側面部13と上面部12を第二発泡体16が覆う二層構造となっている。 - 特許庁

To provide an active matrix substrate in which a faulty connection in a storage capacitor element caused by a short circuit between storage capacitor electrodes due to conductive contamination or a pinhole in an insulating layer or by a short circuit between a data signal line and a storage capacitor upper electrode can be repaired with ease.例文帳に追加

導電性異物や絶縁膜のピンホールによる保持容量電極間の短絡や、データ信号線と保持容量上電極との短絡により発生する保持容量素子の不良を容易に修復することが可能なアクティブマトリクス基板を提供する。 - 特許庁

A mask 10 having a machining pattern for a laser machining is formed of a mask member layer 12 made of a metallic material having the machining pattern and a first and a second base plate members 11 and 13, composed of a laser beam transmissible material, which clamp the mask member layers on the upper and lower faces.例文帳に追加

レーザ加工用の加工パターンを持つマスク10を、前記加工パターンを持つ金属材料によるマスク部材層12と、該マスク部材層を上下両面から挟んでいるレーザ光の透過材料より成る第1、第2の基板部材11、13とで形成した。 - 特許庁

A selectively absorptive wire-grid polarizer 10a for polarizing incident light 12 comprises a thin film lamination layer 18 disposed on an upper side of a substrate 14, composed of a wire-grid array of elongated metal elements 26 having a period less than half of wavelength of the light.例文帳に追加

入射光12を偏光するための選択吸収性ワイヤーグリッド偏光素子10aは、基体14の上側に配設され、光の波長の半分よりも短い周期を有する延設金属素子26のワイヤーグリッド配列からなる薄膜積層18を備えている。 - 特許庁

An III-family nitride-system compound semiconductor laser diode 100 is provided with a substrate 1, a III-family nitride-system compound semiconductor layer 3, and a resonator Rd in a rectangular parallelepiped shape being formed by etching by laminating a plurality of III-family nitride-system compound semiconductor layers at the upper portion.例文帳に追加

III族窒化物系化合物半導体レーザダイオード100は、基板1と、III族窒化物系化合物半導体層3と、その上部に複数のIII族窒化物系化合物半導体層を積層しエッチングで形成された直方体状の共振器Rdを有する。 - 特許庁

The substrate for an inkjet recording head 11 is equipped with a planarized layer 1 having a plane upper surface which is formed in the position corresponding to a lower end surface 21b connected to a side-wall 21a of the foaming chamber 22 in the periphery of the foaming chamber 22 of the flow path forming member 21.例文帳に追加

このインクジェット記録ヘッド用基板11において、流路形成部材21の、発泡室22の周縁であって発泡室22の側壁21aに繋がる下端面21bに対応する位置に形成された、上面が平坦な平坦化層1を有する。 - 特許庁

An underground column 10 is established by filling an active carbon bag 14 at the upper space of the layer of the recycled concrete crushed stones 11, water is poured into the underground column 10, and the generation of hydrogen sulfide is restrained by the water leached from the vicinity of the recycled concrete crushed stones 11.例文帳に追加

コンクリート再生砕石11層の上部空間に活性炭袋14を充填して地中コラムを造成10し、地中コラム10に注水して、コンクリート再生砕石11近傍から浸出した用水で、硫化水素の発生を抑止する。 - 特許庁

The heat insulation material packs 7 which are compressed in the thickness direction and the length or width direction, are set in a space between a venting layer 12 and an internal wall 13 formed of a plaster board, at upper and lower edge of a heat insulation material 15 obtained according to an ordinary production method.例文帳に追加

通気層12と石膏ボードからなる内壁13との空間内で且つ通常の製法で得られた断熱材15の上下に厚み方向と長さまたは幅方向に圧縮された状態の本発明に係る断熱材パック7がセットされている。 - 特許庁

This illumination device is specially provided with a first reflection layer (204) on an upper surface (203) facing the light radiation surface (11) of the channels, and also an input joining of light to the light guide plate is proceeded from the side walls (201, 202) of the channels.例文帳に追加

この照明装置は、特に、前記チャネルの光放射表面(11)に面するそれらの上面(203)に第1反射層(204)が設けられ、且つ前記導光板への光の入力結合が前記チャネルの側壁(201、202)から行なわれる点を特徴とする。 - 特許庁

A metallic plate 2 with hooks is used as a core material of this gasket 1, the hooks 2a originally projecting to upper and lower parts (front and rear faces) of the metallic plate 2 main body part are collapsed, and a compound layer 3 is formed in a state of covering the collapsed hooks 2a.例文帳に追加

ガスケット1は、芯材としてフック付金属板2を使用しているが、当初フック付金属板2本体部の上下(表裏面)に突出していたフック2aが潰された状態となっており、潰されたフック2aを覆うようにコンパウンド層3が形成されている。 - 特許庁

To provide a method for forming a protective film of dense film quality at a low temperature of200°C on an upper part of a pixel controlling element and a wiring pattern for preventing mixing of impurities into a liquid crystal cell layer when the pixel controlling element is selectively transferred to a liquid crystal display substrate.例文帳に追加

液晶ディスプレイ基板に画素制御素子を選択的に転写するにあたり、液晶セル層への不純物混入を防止するため、画素制御素子及び配線パターンの上部に、緻密な膜質の保護膜を200℃以下の低温で形成する。 - 特許庁

To provide a solid-state image sensing element which prevents abnormal expansion of a tungsten film which is an upper layer film of a transfer electrode due to absorption of oxygen and increase of resistivity of a transfer electrode, and prevents damage of the shape of a clearance part, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

転送電極の上層膜であるタングステン膜が酸素を吸収して異常膨張することおよび転送電極の抵抗率の増大が防止され、また、間隙部の形状の損壊が防止される固体撮像素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

In a sample holder 10, a layer 16 working as a diffraction plane positioned on the bottom of a recessed part 13a of a base plate 13 with which a filter 14 mounting the samples on its upper surface is treated or processed so that the direction of metallic crystal is not intentionally aligned.例文帳に追加

試料ホルダ10において、上面に試料を装荷するフィルタ14を嵌め込む基底板13の凹部13aの底部に位置する回折面となる層16を、金属結晶の方向が意図的に揃わないような処理又は加工が施されたものとする。 - 特許庁

The press-mold 1 is for press-molding a glass material G, a raw material, to form a glass disk member 50 and consists of an upper mold 10 having a protective film layer 12 formed on the surface 11 for forming the disk member 50 and a lower mold 20.例文帳に追加

プレス用金型1は、原材料である硝材Gをプレス成形してガラス製のディスク部材50をつくり出すためのものであり、ディスク部材50を成形する側の面11に保護膜層12が形成されている上型10と、下型20とからなる。 - 特許庁

In the liquid crystal display device 1, a semiconductor layer 14 constituting the channel of a thin-film transistor 12 is arranged on the upper side of a gate line 11 formed of a metallic material and, thereby, a part of the gate line 11 also serves as the gate of the thin-film transistor 12.例文帳に追加

液晶表示装置1は、薄膜トランジスタ12のチャネルを構成する半導体層14を、金属材料によって形成されるゲート線11の上方に配置することにより、ゲート線11の一部が薄膜トランジスタ12のゲートを兼ねる構成になっている。 - 特許庁

Moreover, contact plug 10 for connecting the second electrodes 8 to upper-layer metallic wiring 14a are buried in areas surrounded by the sidewalls 9 and a metal silicide 12 and metal nitride films 13 are formed at the connections between the contact plugs 10 and metallic wiring 14a.例文帳に追加

また、第二電極8と上層の金属配線14aとを接続するためのコンタクトプラグ10をサイドウォール9で囲まれる領域に埋め込み、コンタクトプラグ10と金属配線14aとの接続部に、金属シリサイド12と窒化金属膜13とを形成する。 - 特許庁

Then, when a voltage is applied between the upper electrode 61 and the lower electrode 62 to generate an electric field on the display layer 5 (housing section 33), the particles A in the dispersion liquid 4 locally concentrate so as to form arrays along the electric field direction.例文帳に追加

そして、上部電極61および下部電極62間に電圧を印加して、表示層5(収容部33)に電界を生じさせたとき、分散液4中の粒子Aが電界の方向に沿って列を作るように局所的に集中するよう構成している。 - 特許庁

Since the lower light shielding film 42, the upper light shielding film 56 and the side light shielding film 55 are provided with no gap, a semiconductor film 44 becoming the active layer of a TFT can be prevented from being irradiated with light in any direction.例文帳に追加

下部遮光膜42及び上部遮光膜56及び側部遮光膜55は、それぞれに、間隙を生ずることなく設けられているので、あらゆる方向からの光がTFTの活性層となる半導体膜44に照射されることを防止することができる。 - 特許庁

Furthermore, the piezoelectric resonator 1 has an impedance-adjusting portion 20 provided on the piezoelectric thin film 15, connected with the upper electrode 16, has a grounding electrode 17 provided under the lower barrier layer 12, and is provided at a position facing the impedance-adjusting portion 20.例文帳に追加

圧電共振子1は、更に、圧電薄膜15の上に配置されると共に上部電極16に接続されたインピーダンス調整部20と、下部バリア層12の下において、インピーダンス調整部20と対向する位置に配置された接地電極17とを備えている。 - 特許庁

On a TFT array substrate 10 of the reflection type electro- optical device 100, a comparatively large contact hole 7b is formed in an upper layer insulating film 7a, a reflecting electrode 8a is electrically connected with a transmissive electrode 9a via this contact hole 7b.例文帳に追加

反射型電気光学装置100のTFTアレイ基板10において、上層絶縁膜7aに大きめのコンタクトホール7bを形成し、このコンタクトホール7bを介して透光性電極9aに反射性電極8aを電気的に接続する。 - 特許庁

When the thickness of the upper clad layer of a first actual refractive index-guiding type laser section is controlled to a prescribed value, the surface of the laser section can be planarized sufficiently and a second laser section having good crystallinity can be laminated upon the planarized surface.例文帳に追加

実屈折率ガイド型の第1のレーザ部の上側クラッド層の層厚を所定の厚みとすることにより、第1のレーザ部の表面を十分に平坦化することが可能となり、その上に結晶性の良好な第2のレーザ部を積層することができる。 - 特許庁

An elastic layer 143 having a plane coplanar to an upper face of an insulation substrate 141 is formed by filling an elastic material such as synthetic rubber in a recessed part 142 formed in a measured device mounting portion 141A of the insulation substrate 141 constituting a measuring substrate 14.例文帳に追加

測定用基板14を構成する絶縁基板141の被測定デバイス載置箇所141Aに形成した凹部142内に合成ゴム等の弾性材を充填することにより、絶縁基板141の上面と一致する平面の弾性層143を形成する。 - 特許庁

To provide a display device capable of reducing connection resistance between a source electrode made of Cr etc., and an external connection terminal for a drain line, and a pixel electrode made of metal oxide such as ITO and an external connection terminal for an upper-layer drain line, and its manufacturing method.例文帳に追加

液晶表示装置において、Crなどからなるソース電極およびドレインライン用外部接続端子とITOなどの金属酸化物からなる画素電極および上層ドレインライン用外部接続端子との間の接続抵抗値を低くする。 - 特許庁

The n^+ epitaxial layer 5 has a projection part 19 on the upper surface 5a, contacting the anode electrode 9, and the p-type impurity region 13 is formed to reach a region R closer to the lower surface 3b side of the n-type substrate 3 than to the tip of the projection part 19.例文帳に追加

n^+エピタキシャル層5はアノード電極9と接触する上面5aに突起部19を有しており、p型不純物領域13は突起部19の先端よりもn型基板3の下面3b側の領域Rに達するように形成されている。 - 特許庁

On the main surface of the semiconductor substrate, a conductive layer 50 which is electrically connected to the upper side faces of the electrodes in the capacity sections are formed so as to surround the tops of the electrodes of the capacity sections buried in the groove sections 24c and 24d.例文帳に追加

半導体基板の主面には溝部24c,24d内部に埋め込まれた容量部の電極の上部を取り囲むように配置され、容量部の電極の上部のすべての側面と電気的に接続された導電性層50が形成される。 - 特許庁

A heat conducting film 8 made of material with high heat diffusivity is provided in an inner-layer resin film 4 formed on an upper face of a semiconductor chip 1, so the heat generated on the semiconductor chip 1 can be diffused effectively in the semiconductor device.例文帳に追加

半導体チップ1上面に形成された内層樹脂膜4の内部に熱拡散率の高い材料でなる熱伝導膜8を設けたことにより、半導体チップ1上で発生した熱を半導体装置内に効果的に拡散することができる。 - 特許庁

The liquid crystal display device includes the above film for optics disposed in at least the upper side or lower side of a liquid crystal cell having two glass substrates with electrodes at least one of which is transparent and having a liquid crystal layer disposed between the glass substrates.例文帳に追加

電極を有する2枚のガラス基板の少なくとも一方が透明であり、このガラス基板の間に液晶層を配置した液晶セルにおいて、液晶セルの少なくとも上側又は下側に上記の光学用フィルムを配置してなる液晶表示装置。 - 特許庁

Substantially similar rhombic driving electrodes 20A are formed at positions corresponding to respective ink chambers 19A on the upper surface of the first piezoelectric layer 21, and a land pattern 20B is formed continuously from the acute angle part of the driving electrode 20A.例文帳に追加

また、第1圧電層21上面部の各インク圧力室19Aに対応する位置には、相似形状の略菱形形状の駆動電極20Aが形成されると共に、この駆動電極20Aの鋭角部から連続してランドパターン20Bが形成されている。 - 特許庁

An insulation film formed on a Si substrate and containing Hf or Zr and a deposited film present on the upper or lower layer thereof or in the film are removed by repeating dry etching and wet etching one or more times by putting the wet etching first.例文帳に追加

Si基板上に形成されたHfあるいはZrを含む絶縁膜とその上層あるいは下層あるいは膜中に存在するMg,YあるいはAlとを含む堆積膜の除去を、ドライエッチングとウエットエッチングを、ウエットエッチングを先にして少なくとも1回繰り返して行う。 - 特許庁

Matrix-like grooves are then formed in a direction where an upper portion of the spacer is excluded from an acoustic matching layer side of the block body, and in a direction where the piezoelectric material in a short strip shape is separated into a plurality of parts, and the piezoelectric material in the short strip shape is separated into individual elements corresponding to the lead wires.例文帳に追加

その後、ブロック体の音響整合層側からスペーサーの上部を排除する方向と、短冊状の圧電材を複数に分離する方向にマトリックス状の溝を形成し、短冊状の圧電材を各引出線に対応した個別素子に分離する。 - 特許庁

To provide an active matrix substrate in which the faulty connection in a storage capacitor element as caused by a short circuit between storage capacitor electrodes due to a conductive foreign material or a pinhole in an insulating layer or by a short circuit between a data signal line and a storage capacitor upper electrode can be repaired with ease.例文帳に追加

導電性異物や絶縁膜のピンホールによる保持容量電極間の短絡や、データ信号線と保持容量上電極との短絡により発生する保持容量素子の不良を容易に修復することが可能なアクティブマトリクス基板を提供する。 - 特許庁

The reflection faces 34A and 34B of the core 32 face to the cavity part 35 sealed by the upper clad layer 36 and are not exposed, thus adhesives 12 and 22 do not come into contact with the reflection face 34A and 34B even though the optical waveguide 30 and substrates 10 and 20 are bonded.例文帳に追加

コア32の反射面34A,34Bが上部クラッド層36により封止された空隙35に面しており、露出していないため、光導波路30を基板10,20に接着しても、接着剤12,22が反射面34A,34Bに接することがない。 - 特許庁

A metal layer to serve as a source electrode 12 or a drain electrode 13 is formed so as to have a part overlapping with the upper light shielding film 16 on the periphery of a contact hole 19 for the pixel electrode when viewed from the direction vertical to the surface of a transparent substrate 1.例文帳に追加

ソース電極12またはドレイン電極13となる金属層を、透明基板1の基板面に垂直な方向から見て、画素電極用コントクトホール19の周囲にて、該金属層と上部遮光膜16とが重なる重なり部を有するように形成する。 - 特許庁

例文

In the method for manufacturing a semiconductor device having the DRAM region provided with a stacked capacitor and the logic region on a semiconductor substrate, etching is performed when a cell plate pattern is formed in such a manner that an upper capacitor electrode layer 124 is left at least partly in the logic region.例文帳に追加

半導体基板上にスタックキャパシタを有するDRAM領域と、ロジック領域とを有する半導体装置の製造方法において、セルプレートパターン形成時に、ロジック領域にも少なくとも部分的に上部キャパシタ電極層124を残してエッチングする。 - 特許庁




  
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