At first, the set flow rate in an He flow rate controlling mechanism 105 is changed to diposit a TiN film on the surface of a substrate 102, and a graph with the set flow rate as the abscissa and the film deposition rate as the ordinate is prepared.例文帳に追加

まず、Ｈｅ流量制御機構１０５の設定流量を変化させて基板１０２の表面にＴｉＮ膜を成膜し、設定流量を横軸に成膜速度を縦軸にとるグラフを作成する。 - 特許庁

To provide a flow meter which can accelerate the deceleration component in the vicinity of an inner wall surface in a low flow rate zone, and detect the flow rate even in the low flow rate zone.例文帳に追加

低流量域において内壁面近傍の減速成分を加速し、低流量域においても流量検出を可能にした流量計を提供する。 - 特許庁

Then, when the filtering flow rate becomes lower than a set flow rate (YES in S04), the membrane surface is washed (S08).例文帳に追加

そして、濾過流量が設定した流量よりも少なくなると（Ｓ０４でＹＥＳとなると）、膜面を洗浄する処理を行う（Ｓ０８）。 - 特許庁

Within the range of the rotation angle of <360° in the outer peripheral surface of the operation ring 70, flow rate marks corresponding to the minimum flow rate position and maximum flow rate position of a movable valve element 62 are provided.例文帳に追加

そして、操作リング７０の外周面の３６０°より小さな回転角範囲内に、可動弁体６２の最小流量位置および最大流量位置に対応する流量マークを設ける。 - 特許庁

The flow passage 2 has no unevenness on its internal wall surface, so a flow of fluid is not disordered and excellent variance characteristics of instrumental errors and excellent lower- limit flow rate characteristics can be secured, so that the flow rate can stably be measured.例文帳に追加

流路２の内壁面に凹凸が形成されていないため、流体の流れが乱れるようなことがなく、良好な器差特性及び下限流量特性を確保でき、流量計測を安定して行える。 - 特許庁

The flow rate adjusting member 12 has a circular inner peripheral surface 12b eccentric with respect to the outer peripheral surface 12a thereof and the material flow channel 19 between the mandrel 3 and the flow rate adjusting member 12 has a passage cross-sectional area non-uniform in the peripheral direction thereof.例文帳に追加

流量調整部材１２は、外周面１２ａに対し偏心した円形の内周面１２ｂを有し、マンドレル３との間の材料流路１９は、周方向に不均一な通路断面積となる。 - 特許庁

The ejector part 2 increases the flow rate of the air from the air intake part 1 and blows the air onto the substrate surface.例文帳に追加

エジェクタ部２はエア導入部１からのエアの流速を高めてワーク表面に吹き出す。 - 特許庁

As a result, excessive flow rate by excessive fuel pressure is regulated and the sheet surface 321 acts as a safety valve.例文帳に追加

これにより、過度の燃料圧力による過度の流量が規制され、安全弁として作用する。 - 特許庁

To provide a technology for uniformly cooling a steel plate at a high cooling rate while feeding cooling of a large flow rate onto an upper surface of the steel plate.例文帳に追加

大流量の冷却水を鋼板上面に供給し、高冷却速度で均一に鋼板を冷却する技術を提供する。 - 特許庁

Critical lift rate α which is a lift rate when the flow receiving area S(X) is consistent with pressure receiving surface all area S0 is set not less than 0.5 and not greater than 1.例文帳に追加

受流面積Ｓ（Ｘ）が受圧面全面積Ｓ０に一致するときの臨界リフト率αは、０．５以上１以下に設定される。 - 特許庁

To provide a thermal flow rate detector element capable of obtaining stable flow rate detection characteristics while reducing the disturbance of a flow caused by the unevenness of the surface of a substrate or reducing deposition of dust on the substrate, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

この発明は、基材の表面の凹凸に起因する流体の流れの乱れやダストの堆積の発生を抑え、安定した流量検出特性が得られる感熱式流量検出素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The air piping 32A with the most flow rate (volumetric flow) is arranged on the end side of the rear end surface positioned rearward, and the gas piping 36A with the least flow rate is arranged on the end side positioned ahead of the other end.例文帳に追加

最も流量（体積流量）の多い空気配管３２Ａが、後端面の、より後方に位置する端寄りに配置され、最も流量の少ない燃料ガス配管３６Ａが、より前方に位置する端寄りに配置される。 - 特許庁

To provide an airflow sensor that can accurately measure the flow velocity, flow rate, direction, etc., of a fluid flowing along the surface of a substrate.例文帳に追加

基板の表面に沿って流れる流体の流速、流量、方向等を正確に測定することができる気流センサを提供する。 - 特許庁

Turbid water is supplied and the turbidity of the surface water flow is measured on the downstream side, to measure the flow rate in the hydrometry method.例文帳に追加

濁水を投入し、下流側でその表流水の濁度を測定して流量を測定する流量測定方法である。 - 特許庁

To reduce the pressure loss of a filter remarkably by making a fluid to flow-in from the a nearly whole surface of the filter at a uniform flow rate.例文帳に追加

フィルターのほぼ全表面から均一な流速で流体を流入させ、フィルターの圧力損失を大幅に低減させる。 - 特許庁

Consequently, the conductance of the gas flow can be increased and, accordingly, the gas can be supplied to the surface of the substrate 8 at a large flow rate.例文帳に追加

これにより、ガス流れのコンダクタンスを大きくでき、基板８の表面上に大流量のガスを供給できる。 - 特許庁

A resin flow is made fast and a flow rate is increased on the reverse surface side of the control circuit board 3 to shorten the filling time.例文帳に追加

制御回路基板３の裏面側での樹脂流れの高速化と流量増加の措置を講ずることで、充填時間の短縮化が図れる。 - 特許庁

The flow velocity is calculated back from the surface temperature of the heater 22 by use of this principle to measure the coolant flow rate.例文帳に追加

この原理を応用してヒータ22の表面温度から流速を逆算して冷却材流量を測定する。 - 特許庁

During formation of a silicon epitaxial layer, flow rate of the raw gas, which is made to flow along a substrate surface, is made to vary for parts on a wafer.例文帳に追加

シリコンエピタキシャル層の成長時には、基板表面に沿って流す原料ガスの流量をウェーハ上の場所によって異ならせる。 - 特許庁

For floor surface temperature a refrigerant flow rate and so on are controlled such that dew point temperature in the space is prevented from the floor surface temperature becomes lower than the due point temperature in the space, whereby condensation on the floor surface is prevented.例文帳に追加

床面温度は、空間内の露点温度を下回らないように冷媒流量等を制御して、床面での結露を防止する。 - 特許庁

At this time, machining quantity of the surface contracted layer 2 is adjusted so the its flow rate matches with a predetermined value by delivering compressed air to the back surface side of the bearing plate 1 and measuring a flow rate of air passing through the bearing plate 1.例文帳に追加

その際、軸受板１の背面側に圧縮空気を送り込み、軸受板１を通過する空気の流量を測定し、その流量が予め設定された値に一致するように表面絞り層２の機械加工量を調整する。 - 特許庁

Because a mutual relation is present between the surface temperature (baking temperature) of the work 10 and the flow rate of the air, the surface temperature of the work 10 is set to the required baking temperature by controlling the flow rate of the air.例文帳に追加

ワーク１０の表面温度（焼付温度）は、吹き付けるエアの風速と相関関係を有することから、風速を制御することで、ワーク１０の表面温度を目標焼付温度まで迅速に設定することができる。 - 特許庁

To grow a group III-V compound semiconductor crystal whose V group contains phosphate using an MOCVD method by reducing a phosphate raw material flow rate necessary for growing a thin film crystal whose surface is finished to a mirror surface than a flow rate in a conventional manner.例文帳に追加

Ｖ族にリンを含むIII−Ｖ族化合物半導体結晶をＭＯＣＶＤ法を用いて成長するとき、表面が鏡面状態の薄膜結晶を成長するために必要なリン原料流量を、従来よりも少なくすること。 - 特許庁

To prevent water from easily collecting in a part between an inner wall surface of a throttle bore and an outer edge of a throttle valve positioned near a full close position in addition to reduction of influence on flow rate controllability in a low flow rate zone by reducing sudden change of intake air flow rate.例文帳に追加

吸気流量の急激な変化を低減して低流量域での流量制御性へ与える影響を少なくしたうえで、全閉位置近傍に位置しているスロットルバルブの外縁とスロットルボアの内壁面との間に水が溜まり難いようにすること。 - 特許庁

Therefore, the flow rate of the melting liquid becomes faster at a plurality of positions on the surface of the substrate W, high removal rate is obtained in each area on the surface of the substrate W, and in-plane uniformity of removal rate is also improved.例文帳に追加

このため、基板Ｗ表面の複数位置で融解液の流速が速くなり、基板Ｗ表面の各部で高い除去率が得られるとともに、除去率の面内均一性も向上している。 - 特許庁

While, the flow velocity on the surface is determined based on the PIV analysis, the surface flow velocity data and relevant data are extracted from the database, and the river flow rate is calculated in real time.例文帳に追加

一方、ＰＩＶ解析に基づいて、表面の流速を求め、その表面流速データと関連するデータを前記データベースから引き出し、リアルタイムに河川流量を算出することとした。 - 特許庁

An air flow control part for controlling the flow rate of the air flow flowing, between the inner wall surface of the housing and the member surface of the heating member and/or the pressure member, is provided between the housing and the heating member and/or the pressure member.例文帳に追加

ハウジングと加熱部材及び／又は加圧部材との間には、これらハウジング内壁面と加熱部材及び／又は加圧部材の部材表面との間を流れるエアフローの流量を制御するエアフロー制御部を設けた。 - 特許庁

This relative flow is present as a circumferential flow along a circumferential surface 7 of the liquid in the unit 2, and its magnitude is present as a magnitude of a flow rate, and the flow rate corresponds to an angular speed change generated at a moving state detecting sensor 1.例文帳に追加

この相対流動は容積部２内部の液体の円周面７に沿った円周方向流動として現れ、その大きさは、流量の大きさとなって現れこの流量は、運動状態検出センサ１に生じる角速度変化に対応する。 - 特許庁

SURFACE TREATMENT METHOD, CONTROL DEVICE FOR FLOW RATE OF TREATMENT LIQUID, AND SURFACE TREATMENT APPARATUS PROVIDED WITH THE CONTROL DEVICE例文帳に追加

表面処理方法、並びに、処理液の流速調整装置及び該流速調整装置を備えた表面処理装置 - 特許庁

To stabilize the flow rate of washing water from a nozzle for cleaning a leading edge surface at the time of washing the leading edge surface of an endoscope.例文帳に追加

内視鏡の先端部端面の洗浄時の先端面洗浄用ノズルからの洗浄水の流速を安定させる。 - 特許庁

The second nozzle 23 is formed between the surface 25a of the flow rate control valve 25 and the inside surface 21a of a hole 21 which are separated from each other through rotation of the flow rate control valve, and the nozzle 23 is inclined to approach the turbine wheel 14 toward an exhaust flow downstream side (arrow Y1 side) in a scroll passage.例文帳に追加

この回動を通じて互いに離間した流量制御バルブ２５の面２５ａと孔２１の内側面２１ａとの間に第２ノズル２３が形成され、同ノズル２３はスクロール通路内の排気の流れの下流側（矢印Ｙ１側）に向かうほどタービンホイール１４に近づくよう傾斜する。 - 特許庁

The method of the present invention includes taking images of undulation pattern of water surface generating at the surface due to water flow or wave by a video camera with a certain time interval and measuring traveling rate and direction at a certain area thereby to measure one or both of flow rate and direction of the water flow.例文帳に追加

この発明の方法は、水の流れや波によって水面に生じる水面の起伏模様を一定の時間間隔でビデオカメラ撮影し、一定の領域の起伏模様の移動量、移動方向を測定して水流の流速及び方向の何れか一方又は双方を測定するものである。 - 特許庁

The surface temperature of the heating cylinder is controlled by reading the pressure of steam in the heating cylinder such as the chest or the calendar roll and controlling pressure in the heating cylinder by steam flow rate control by a steam flow rate adjustment valve.例文帳に追加

チェストやカレンダロールなどの加熱胴内の蒸気の圧力を読みとり、蒸気流量調整弁による蒸気流量制御により、当該加熱胴内の圧力制御を行うことで、加熱胴の表面温度を制御している。 - 特許庁

To provide a flow rate calculator of a river for accurately and easily determining the flow rate at one point of the river based on the water level and water surface gradient at the point.例文帳に追加

本発明は、河川の１地点における流量を、その地点での水位及び水面勾配に基づいて、精度よくかつ容易に求めることが可能な河川の流量算出装置を提供する。 - 特許庁

The flow rate adjusting mechanism 73 can adjust a flow rate of the fluid on the basis of the detected fluid temperature so that a temperature of the fluid is kept at a prescribed temperature or more to prevent dew condensation on an outer surface of the heat exchanger 60.例文帳に追加

流量調整機構７３は、検出した流体の温度にもとづいて、流体の温度を熱交換器６０の外表面に結露が生じない所定温度以上になるように、流体の流量を調整可能である。 - 特許庁

To provide an apparatus for electroplating a steel strip, which is capable of increasing the flow rate of a plating solution flowing on the surface of the steel strip, almost uniformalizing the flow rate of the plating solution in the width direction and increasing the processing rate of the plating compared with the conventional art, with a simple structure.例文帳に追加

簡単な構成で、鋼帯の表面を流れるめっき液の流速を速くできると共に、めっき液の流速を鋼帯の幅方向にわたって略均一にでき、めっきの処理速度を従来よりも上昇できる鋼帯の電気めっき装置を提供する。 - 特許庁

To measure a flow rate of a fluid with high accuracy by an ultrasonic flow measuring device even if it is used over a long period of time, by stabilizing the flow of the fluid by providing and fixing an ultrasonic propagation membrane to the inner surface of a passage including an ultrasonic propagation path.例文帳に追加

超音波伝搬路を含む流路内面に超音波透過膜を固定して備えることで流体の流れを安定させ、長期的に使用しても精度よく流量を計測できることを目的とする。 - 特許庁

To provide semiconductor wafer drying equipment wherein flow rate and flow velocity of air flow in a drying chamber can always be made constant and the amount of adhesion of foreign objects on the surface of a semiconductor wafer can be reduced.例文帳に追加

乾燥チャンバ内の気流の流量および流速を常に一定にでき、半導体ウエハ表面への異物の付着を低減することのできる半導体ウエハ乾燥装置を提供する。 - 特許庁

As a result, the peeling of the exhaust gas flow Ge is prevented at the downstream side of the exhaust gas flow path 16 on the inner side of the curve, and the flow rate of exhaust gas contacting with the inner peripheral surface 16b can be maintained sufficiently.例文帳に追加

このことにより湾曲内側の排気流路１６の下流側において排気流Ｇｅの剥離が防止され、内周面１６ｂに接触する排気流量を十分に維持することができる。 - 特許庁

To hold a valve element in the proper opening condition and secure the rated rate of flow by shutting off the flow along the spherical surface of the valve element at opening the valve and reducing the flow pressing it in the valve closing direction from behind the valve element.例文帳に追加

開弁時に弁体の球形表面に沿う流れを断じて弁体背部から閉弁方向へ押し付ける流れを低減し、弁体を適正な開弁状態に保持して定格流量を確保する。 - 特許庁

To provide a thermal flow rate sensor for inhibit an air flow from entering the backside of a diaphragm, inhibiting a pressure difference from being generated between a surface and a backside of the diaphragm, and accurately measuring a flow rate.例文帳に追加

ダイアフラム部の裏面側に気流が入り込むことを抑制することができると共に、ダイアフラム部の表面と裏面とで差圧が生じることを抑制することができ、正確な流量を測定することができる熱式流量センサを提供する。 - 特許庁

To provide a centrifugal pump capable of inhibiting separation of flow in a negative pressure surface side of a part near a shroud side blade leading edge in low flow rate operation of the centrifugal pump and enabling stable operation of the centrifugal pump in a wide flow rate range without increasing manufacturing cost.例文帳に追加

製作コストを上げることなく、遠心式ポンプにおける低流量運転時のシュラウド側羽根前縁付近の負圧面側における流れの剥離を抑制することが可能で、広範な流量域で遠心式ポンプを安定に動作させることを可能とする遠心式ポンプを提供することを目的とする。 - 特許庁

In this cross flow membrane filter control type water treatment equipment, a controller 6 controls the number of rotations and torque of a pump 2 corresponding to the deviation between the membrane filter flow rate measuring value of a membrane module 3 and the set value thereof to automatically control the membrane filter flow rate transmitted through the surface of the membrane module 3.例文帳に追加

クロスフローろ過方式の水処理設備において、コントローラ６は膜モジュール３の膜ろ過流量計測値とその設定値の偏差に応じてポンプ２の回転数・トルクを制御し、膜モジュール面を透過する膜ろ過流量を自動制御する。 - 特許庁

In this valve element for the ball valve, a recessed part 37 is provided on a surface of a flow rate adjusting window 35b forming a flow rate characteristic part among opening parts at both ends of a through flow passage 35 provided in the valve element 4 for the ball valve formed by a mold 85 for injection molding.例文帳に追加

射出成形用金型８５によって形成されるボール弁用弁体４に設けた貫通流路３５の両端開口部のうち、流量特性部を形成する流量調整窓３５ｂの表面に凹み部３７を設ける。 - 特許庁