| 意味 | 例文 |
Impurity diffusionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 887件
Each first impurity diffusion region 20 (20A and 20B) of low concentration and of the same conductive type as a source 26 and a drain 28 is provided on the lower side of a gate so as to adjoin the source 26 and the drain 28.例文帳に追加
ソース26とドレイン28と同一の導電型で且つ低濃度である第1不純物拡散領域20をソース26とドレイン28にそれぞれ隣接するようゲート下方側に設ける。 - 特許庁
The vertical transistor has a semiconductor region, a columnar region provided on the semiconductor region, a gate insulating film provided covering a side face of the columnar region, a gate electrode provided on the gate insulating film, a first impurity diffusion region provided over the columnar region, and a second impurity diffusion region provided in the semiconductor region to surround the columnar region.例文帳に追加
縦型トランジスタは、半導体領域と、半導体領域上に設けられた柱状領域と、柱状領域の側面を覆うように設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、柱状領域の上部に設けられた第1の不純物拡散領域と、半導体領域内に柱状領域を囲むように設けられた第2の不純物拡散領域と、を有する。 - 特許庁
A drain region of the N-type MOS transistor for protection against ESD is electrically connected to a drain contact region formed of an impurity diffusion region identical in conductivity with the drain region via a drain extension region formed of an impurity diffusion region identical in conductivity with the drain region disposed on a side face and a lower face of a trench isolation region.例文帳に追加
ESD保護用のN型MOSトランジスタのドレイン領域は、トレンチ分離領域の側面および下面に設置されたドレイン領域と同一の導電型の不純物拡散領域によって形成されたドレイン延設領域を介して、ドレイン領域と同一の導電型の不純物拡散領域によって形成されたドレインコンタクト領域と電気的に接続している半導体装置とした。 - 特許庁
The film formation composition is used to form a protection film to partially prevent the diffusion of impurities when the impurities are diffused to a silicon wafer, and it contains a high molecular silicon compound and a compound including a protective element that has eight valency electrons after the covalent bonding with an element as a diffusion source for the impurity diffusion.例文帳に追加
本発明の膜形成組成物は、シリコンウエハへの不純物拡散を行う際に、この不純物拡散を部分的に防止するための保護膜を構成する膜形成組成物であって、高分子ケイ素化合物と、前記不純物拡散の拡散源となる元素と共有結合して価電子が8個となる保護元素を含む化合物とを含有する膜形成組成物である。 - 特許庁
To provide a method for refining materials where materials of a metal, an alloy, a semiconductor or the like are melted by the irradiation of electron beams, thus impurity elements included in the materials are removed, the convection current stirring and diffusion of the impurity elements are suppressed, and sufficiently refined high purity materials can be obtained.例文帳に追加
金属、合金、半導体などの材料を電子ビームの照射により溶融することにより、その材料に含まれる不純物元素を除去し、不純物元素の対流攪拌や拡散を抑制し、十分に精製された高純度の材料を得ることができる材料の精製方法を提供する。 - 特許庁
Oblique ion implantation is executed at least twice at different implanting energies with different implanting doses to form first pocket regions 1061 having a high impurity concentration at the side faces of the source-drain diffusion regions, and second pocket regions 1062 having a low impurity concentration at the bottom faces.例文帳に追加
異なる注入エネルギーで、異なる注入ドーズ量の斜めイオン注入を少なくとも2回以上行うことで、ソース・ドレイン用拡散領域8の側面では不純物の濃度が高い第1ポケット領域1061と、底面で濃度が低い第2ポケット領域1062の2種類のポケット領域を形成する。 - 特許庁
To provide a film forming method which can form a semiconductor device by epitaxial growth without segregating an impurity; and to provide a semiconductor device manufacturing method which can shallowly keep the depth of diffusion of the impurity on surface of the semiconductor substrate by elevating source/drain in an application of the film forming method.例文帳に追加
不純物の偏析なく半導体層をエピタキシャル成長によって形成することが可能な成膜方法および、この成膜方法を適用して積み上げソース・ドレインすることにより半導体基板の表面側における不純物の拡散深さを浅く保つことが可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
In a triple well NMOS transistor 311 having a P well region 22 formed in an N well region 28 and an MOSFET formed in the P well region 22, an impurity diffusion region 29 having an impurity concentration lower than that of an N+ drain region 25 is provided on the N+ drain region 25 side in order to suppress substrate current.例文帳に追加
Nウェル領域28内にPウェル領域22が形成され、Pウェル領域22にMOSFETが形成されたトリプルウェルNMOSトランジスタ311において、N^+ドレイン領域25側にN^+ドレイン領域25よりも不純物濃度が低い不純物拡散領域29を設け、それによって基板電流を抑制する。 - 特許庁
The surface concentration top region 14A of the p-type diffusion region 14 can be made comparatively high in impurity concentration because an opening is provided to a field oxide film 4 avoiding the gate electrode 6 and impurities are diffused by implanting impurity ions through the opening, and a surface leakage current occurring between itself and the source region and drain region of the adjacent MOS transistor can be restrained.例文帳に追加
P型拡散領域14の表面濃度頂上領域14Aは、ゲート電極6と重ならずフィールド酸化膜4を開孔しイオン打ち込みによって拡散するため、比較的高濃度にすることができ、隣接したMOSトランジスタのソース領域、ドレイン領域との表面リーク電流を抑制できる。 - 特許庁
A diffusion preventing film pattern 12 is formed on a semiconductor substrate 10, an SOG film doped with impurities is formed on the semiconductor substrate 10, and impurity ions are additionally implanted into the SOG film by a plasma ion implantation method to increase the SOG film in impurity concentration.例文帳に追加
拡散防止膜パターン12の形成された半導体基板10上にimpurityが含まれたSOG膜を形成した後で、impurityが含まれたSOG膜に追加的にプラズマイオン注入法でimpurityイオンを注入してimpurity濃度を高める。 - 特許庁
Since an impurity concentration profile in the thickness direction of the N type and P type impurity diffusion layers 32, 33 thus formed is formed in a way suitable for the generation and movement of carriers, the semiconductor device 30 provided with the light receiving element unit A with a high response speed and excellent light receiving sensitivity is obtained.例文帳に追加
このようにして形成されるN型およびP型不純物拡散層32,33の厚み方向における不純物濃度プロファイルは、キャリアの発生と移動とに好適なように形成されるので、応答速度と受光感度とに優れる受光素子部Aを備える半導体装置30が実現される。 - 特許庁
After introducing nitrogen ions 4 into the surface of a p-type SiC substrate 1, the nitrogen atoms present in an impurity-doped layer 6 are made to diffuse toward the rear surface of the SiC substrate 1, by increasing the number of the interstitial silicon atoms of the SiC substrate 1 by its thermal oxidation, so as to form an n-type impurity diffusion layer 7.例文帳に追加
p型SiC基板1の表面に窒素イオン4を導入した後、熱酸化によってSiC基板1の格子間シリコン原子の数を増加させることにより、不純物ドーピング層6の窒素をSiC基板1の裏面に向かって拡散させて、n型不純物拡散層7を形成する。 - 特許庁
Thereafter, impurity is diffused from the surface of the second polysilicon layer 110 into the second polysilicon layer 110 by one time of diffusion treatment and, at the same time, impurity diffused into the second polysilicon layer 110 is diffused further from the side wall of the first polysilicon layer 104a toward the inside of the first polysilicon layer 104a.例文帳に追加
その後、一回の拡散処理によって、第2ポリシリコン層110の表面から第2ポリシリコン層110内部に不純物を拡散させるとともに、第2ポリシリコン層110に拡散された不純物をさらに第1ポリシリコン層104aの側壁から第1ポリシリコン層104aの内部に向かって、拡散させる。 - 特許庁
Although tensile stress is applied to the SOG film 4b at a point in time of activation treatment of impurity ions introduced to the source/drain region 2c, generation of crystal defects in impurity diffusion regions 2a, 2b can be suppressed because of interposition of the O_3-TEOS film 4c, thus suppressing the occurrence of dislocation.例文帳に追加
ソース/ドレイン領域2cに導入された不純物イオンの活性化の処理の時点でSOG膜4bに引っ張り応力が発生するものの、O_3−TEOS膜4cが介在しているため結晶欠陥が不純物拡散領域2a、2bに発生することを抑制でき転位の発生を抑制できる。 - 特許庁
To provide an active matrix type light emitting device that can reduce reflection of light caused while the light is guided out of the light emitting device and sufficiently stop impurity diffusion from a substrate to a transistor.例文帳に追加
発光装置外部へ発光を取り出す課程で生じる発光の反射を低減すると共に、基板からトランジスタへの不純物拡散も十分に阻止できるようなアクティブマトリクス型の発光装置を提供すること。 - 特許庁
There are word line 33 electrically connected to the control electrode of the plurality of semiconductor non-volatile memory cells, and a bit line that is arranged so that it crosses the work line and is made of the impurity diffusion regions.例文帳に追加
上述の複数の半導体不揮発性メモリセルの制御電極と電気的に接続されるワード線33と、ワード線と交差するように配置され、かつ不純物拡散領域からなるビット線とを有している。 - 特許庁
This mask material composition is used for diffusion barrier of an impurity diffusing component into a semiconductor substrate, and includes a siloxane resin (A1) containing a constituent unit represented by formula (a1), where in the formula (a1), R_1 is a single bond or 1-5C alkylene group; and R_2 is a 6-20C aryl group.例文帳に追加
マスク材組成物は、半導体基板への不純物拡散成分の拡散保護に用いられるマスク材組成物であって、下記式(a1)で表される構成単位を含むシロキサン樹脂(A1)を含有する。 - 特許庁
To prevent short-circuiting between the wiring for etching and the p^+ impurity diffusion layer in electrochemical etching in an integrated pressure sensor having a diaphragm section formed by the electrochemical etching and an integrated circuit section in a silicon chip.例文帳に追加
シリコンチップに、電気化学エッチングにより形成されたダイアフラム部、集積回路部を有する集積化圧力センサにおいて、電気化学エッチング時におけるエッチング用配線とp^+不純物拡散層との短絡を防止する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device that prevents impurity ions of a source-drain region from being diffused abnormally and partially toward a channel region by suppressing diffusion of impurities in a gate electrode through a gate insulating film.例文帳に追加
ゲート電極中の不純物がゲート絶縁膜を突き抜けてチャネル領域に拡散するのを抑制し、ソース・ドレイン領域の不純物イオンが部分的にチャネル領域方向に異常拡散するのを防ぐ。 - 特許庁
A gate electrode 30 embedded in the trench 10a so that the opening portion of the trench 10a remains, and a PSG (phosphosilicate glass) film 40 is formed on the remaining opening portion as a source of diffusion of an impurity.例文帳に追加
そして、トレンチ溝10aの開口部分を残すようにゲート電極30をトレンチ溝10a内に埋め込み、残った開口部分に不純物の拡散源となるPSG(リンシリケートガラス)膜40を形成する。 - 特許庁
After a second inter-layer insulation film 120 is formed on the capacity upper electrode 119, a third plug 121 for connecting the impurity diffusion layer 111 and upper layer wiring 122 is formed on the respective inter-layer insulation films.例文帳に追加
容量上部電極119の上に第2の層間絶縁膜120を形成した後、各層間絶縁膜に、不純物拡散層111と上層配線122とを接続する第3のプラグ121を形成する。 - 特許庁
Consequently, when reverse static electricity surge is applied, a uniform p-type inversion layer IP is formed in an isolation region between the impurity diffusion regions 12, 13 and local avalanche breakdown phenomenon is not generated.例文帳に追加
これにより、逆方向の静電気サージが印加された時、不純物拡散領域12,13間の分離領域に均一なP型反転層IPが形成され、局所的な雪崩降伏現象が生じない。 - 特許庁
As a result, electric field concentration at an end of the silicon oxide film 19 is reduced to suppress an increase in electric field intensity, so that a breakdown when the impurity concentration of the N type diffusion layer 12 can be prevented.例文帳に追加
その結果、シリコン酸化膜19の端部における電界集中が緩和されて電界強度の上昇が抑制され、N型拡散層12の不純物濃度を下げた場合のブレイクダウンが防止される。 - 特許庁
To provide a wafer with a tapered edge of an improved manufacturing yield for film forming in a semiconductor manufacturing process, by chemical vapor deposition (CVD), impurity diffusion, annealing, epitaxial growth, or other processes.例文帳に追加
半導体製造工程に於いてウェーハに化学的気相成長(CVD)、不純物拡散、アニール、エピタキシャル成長、その他の処理を成膜する場合、製造歩留まりを向上させるエッジがテーパー状のウェーハを提供する。 - 特許庁
To provide a non-volatile semiconductor memory device which does not have overlap regions between an impurity diffusion layer and a floating gate of a memory cell, properly improves the scalability of the gate length and has a large capacity and low bit cost.例文帳に追加
不純物拡散層とメモリセルの浮遊ゲートとの間のオーバーラップ領域がなく、ゲート長のスケーラビリティを大幅に改善し、大容量・低ビットコストの不揮発性半導体記憶装置を提供すること。 - 特許庁
The variation of a PN junction capacity caused by a thermal variation in the semiconductor wafer resulting from heat treatment in the diffusion furnace is corrected by making each area of the semiconductor region wherein the impurity is deposited different.例文帳に追加
上記拡散炉での熱処理による上記半導体ウェハの熱バラツキによるPN接合容量のバラツキは、上記不純物がデポジションされら半導体領域の面積を異なせることにより補正する。 - 特許庁
An atom for accelerating an oxidation is injected into an uppper oxide film 4 of the source region 2 and the drain region 3, and a low concentration diffusion region segregated by an impurity is formed as offset regions 2a, 3a.例文帳に追加
ソース領域2、ドレイン領域3の上部酸化膜4に酸化を促進する原子が注入され、不純物の偏析による低濃度拡散領域がオフセット領域2a、3aとして形成されている。 - 特許庁
To provide a semiconductor laser having high COD level and high light emission efficiency, by preventing impurities from being accumulated in an active layer, when a window structure is formed by impurity diffusion near an end surface of a laser resonator.例文帳に追加
レーザ共振器端面近傍に不純物拡散により窓構造を形成する際に、活性層に不純物が蓄積されることを抑制し、CODレベルが高く、発光効率が高い半導体レーザを提供する。 - 特許庁
Source and drain regions of the Fin structure field effect transistor are formed by solid phase diffusion positively using impurity injection after the formation of a contact hole 13 and the ooz-out of impurities from a polysilicon contact plug 14.例文帳に追加
Fin構造電界効果トランジスタのソース及びドレイン領域を、コンタクトホール13形成後の不純物注入とポリシリコンコンタクトプラグ14からの不純物染み出しを積極的に利用し、固相拡散により形成する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for a semiconductor device capable of forming the impurity introduction region of a photodiode having a part formed at the lower part of a gate electrode without oblique rotation implantation or excessive thermal diffusion.例文帳に追加
ゲート電極の下方に形成された部分を有するフォトダイオードの不純物導入領域を、斜め回転注入や過剰な熱拡散によることなく形成し得る半導体装置の製造方法を得る。 - 特許庁
In this structure, a selectively oxidized film 13 and an oxide film 12 are formed on a silicon semiconductor substrate 11 and impurity diffusion layers 14 connected to circuit wiring (181) are formed on both sides of the film 13.例文帳に追加
シリコン半導体基板11上に選択酸化膜13、酸化膜12が形成され、選択酸化膜13を隔てた両側に各々が回路配線(181)に繋がる不純物拡散層14が形成される。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device which can form an impurity diffusion region by making small a depth from a substrate surface even if a setting of implantation conditions of an ion implantation device is not changed.例文帳に追加
イオン注入装置の注入条件の設定を変更しなくても、基板表面からの深さを小さく変更して、不純物拡散領域を形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a silicon carbide semiconductor element, capable of maintaining an ion implanted impurity profile, by preventing external or internal diffusion of the ion implanted impurities or particularly a boron (B) at a high-temperature annealing time.例文帳に追加
イオン注入された不純物、特にほう素(B)の高温アニール時の外方、内方への拡散を防止し、注入された不純物プロフィルを維持できる炭化けい素半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device capable of preventing the characteristics change of a semiconductor substrate due to impurity diffusion and reducing the electrical resistance of a wiring layer, and to provide a solid-state imaging element and a manufacturing method of the semiconductor device.例文帳に追加
不純物拡散による半導体基板の特性変化を防止し、且つ配線層の電気抵抗を低減することができる半導体装置、固体撮像素子、および半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device capable of reducing a leakage current even when MIS transistors having a plurality of kinds of threshold voltages are made high in threshold voltage without increasing a number of photoresists and without adding an impurity diffusion step.例文帳に追加
複数種類の閾値電圧のMISトランジスタをフォトレジスト数及び不純物拡散工程を追加することなく、閾値電圧を高くしてもリーク電流を低減することが可能な半導体装置を提供すること。 - 特許庁
To reduce a layout area of a memory cell array without causing an increase in leakage current of a transistor, an increase in a value of resistance of an impurity diffusion region, or the like in a semiconductor integrated circuit incorporating a mask ROM.例文帳に追加
マスクROMを内蔵した半導体集積回路において、トランジスタのリーク電流の増加や不純物拡散領域の抵抗値の増加等を招くことなく、メモリセルアレイのレイアウト面積を削減する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device having a gate insulation film wherein its reaction on the gate electrode of the device is suppressed, and any impurity diffusion performed from the gate electrode to it can be suppressed, and further, its film thickness calculated in terms of a silicon oxide film is made small.例文帳に追加
ゲート電極との反応を抑制し、また、ゲート電極からの不純物の拡散を抑制することのできる、シリコン酸化膜換算膜厚の小さいゲート絶縁膜を有する半導体装置を提供する。 - 特許庁
This can be realized by forming a CVD oxidized film 11 covering the transistor TrB and then forming the high-concentration impurity diffusion layer 106 in the transistor TrA prior to formation of the silicide layer 108.例文帳に追加
これは、トランジスタTrBを覆うCVD酸化膜11の形成後で、かつ、シリサイド層108を形成する前にトランジスタTrAに高濃度不純物拡散層106を形成することで実現できる。 - 特許庁
Thereafter, a low concentration diffusion region 8 is formed by implanting low concentration N-type impurity ions using a second masking means which has a reduced pattern width by slimming the first masking means 6a as a mask.例文帳に追加
その後、第1マスク手段6aに対してスリミング処理を施してパターン幅を狭めた第2マスク手段をマスクとして、低濃度のN型不純物イオンを注入して低濃度不純物拡散領域8を形成する。 - 特許庁
To provide an epitaxial wafer and a method of manufacturing the same, wherein diffusion of an impurity of high concentration included in a silicon substrate into an epitaxial layer is suppressed in a heat treatment process for forming a semiconductor device.例文帳に追加
半導体デバイス形成時の熱処理プロセスにおいて、シリコン基板に含まれる高濃度の不純物がエピタキシャル層に拡散するのを抑制することができるエピタキシャルウェーハ及びその製造方法の提供。 - 特許庁
On a p-well 12 on an n-type semiconductor substrate 11, a charge transmission path 13, floating diffusion region 14 composed of an n-type impurity region, n-type embedded region 16 and resetting drain region 15 are formed.例文帳に追加
n型半導体基板11上のpウェル12には、電荷転送路13、n型不純物領域からなるフローティングディフュージョン領域14、n型埋め込み領域16及びリセットドレイン領域15が形成されている。 - 特許庁
The second drain region 23B has the same impurity concentration and diffusion depth of a conductive type as that of a channel stop region 31 (see Fig. 3) of a p-channel MOS transistor formed on a semiconductor substrate 10.例文帳に追加
第2ドレイン領域22Bは、半導体基板10上に形成されたpチャネルMOSトランジスタのチャネルストップ領域31(図3参照)と同一の導電型の不純物濃度および拡散深さを有している。 - 特許庁
In a case of manufacturing the SRAM cell, when implantation of impurity ions is performed at first time, ion implantation is performed under the condition where the ion concentration is comparatively high and acceleration voltage is low, and a source/drain diffusion layer 13 is formed.例文帳に追加
SRAMセルの製造時において、1回目に不純物イオンを注入するときにはイオン濃度を比較的高く低加速電圧の条件でイオン注入し、ソース/ドレイン拡散層13を形成する。 - 特許庁
The solid-state imaging apparatus 1A includes a diode (sensor) D made of an impurity diffusion layer formed on a surface layer of a semiconductor substrate 101 and an oxide insulating film 9A formed on the diode D and containing carbon.例文帳に追加
半導体基板101の表面層に形成された不純物拡散層からなるダイオード(センサ)Dと、ダイオードD上に設けられた炭素を含有する酸化絶縁膜9Aとを備えた固体撮像装置1A。 - 特許庁
To provide a semiconductor laser device which has an end face window structure formed through neither impurity diffusion nor ion implantation, etc., and has the end face window structure even when using a nitride semiconductor.例文帳に追加
不純物拡散又はイオン注入等によらない端面窓構造の形成を可能とし、窒化物半導体を用いた場合においても端面窓構造を有する半導体レーザ装置を実現できるようにする。 - 特許庁
The magnetic random access memory includes a transistor which has a gate electrode 11a located above a surface of a substrate 1 and a first and second impurity diffusion regions 13a, 12 interposing a channel region below the gate electrode between them.例文帳に追加
磁気ランダムアクセスメモリは、基板1の表面の上方に設けられたゲート電極11aと、ゲート電極の下方のチャネル領域を挟む第1、第2不純物拡散領域13a、12とを有するトランジスタを含む。 - 特許庁
As explained above, the manufacturing process of a semiconductor can be simulated more accurately by considering the effect on the phenomenon of making amorphous silicon crystals at the time of implanting high concentration ions when the impurity diffusion is calculated.例文帳に追加
このように、高濃度イオン注入のシリコン結晶のアモルファス化現象による影響を不純物拡散計算中に考慮することにより、半導体の製造プロセスをより正確にシミュレーションすることができる。 - 特許庁
The manufacturing method further includes a step (f) of making the body diffusion layer 4 lower in impurity density at least at a predetermined portion below the body contact layer 12 than at any other portion while maintaining the second conductivity type.例文帳に追加
ボディ拡散層4のうちの少なくともボディコンタクト層12の下方の所定の部分の不純物濃度を、第2導電型に維持しながらボディ拡散層4の他の部分よりも低くする工程(f)を更に備える。 - 特許庁
The semiconductor memory device comprises a control electrode 34, first and second impurity diffusion regions 24a and 24b, first and second resistance change portions 22a and 22b, and first and second charge accumulation portions 40a and 40b.例文帳に追加
制御電極34と、第1及び第2不純物拡散領域24a及び24bと、第1及び第2抵抗変化部22a及び22bと、第1及び第2電荷蓄積部40a及び40bとを備えている。 - 特許庁
Stress concentration can be eased by estranging adjacent high concentration diffusion regions 13 a predetermined distance via an epitaxial layer 12 formed into an impurity concentration lower than that of the high concentration diffusion region 13, and the occurrence of crystal strain in the semiconductor device 10 can favorably be controlled.例文帳に追加
隣り合う高濃度拡散領域13が、高濃度拡散領域13より低い不純物濃度に形成されたエピタキシャル層12を介して所定距離離間することによって、応力の集中を緩和することができ、半導体素子10内に結晶歪が生ずることを良好に抑制することができる。 - 特許庁
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