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「位相シフト」に関連した英語例文の一覧と使い方(31ページ目) - Weblio英語例文検索


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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 位相シフトの意味・解説 > 位相シフトに関連した英語例文

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位相シフトの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1884



例文

異なる寸法を持つ複数の開口部が設けられたハーフトーン位相シフトマスクを用いる場合にも、サイドローブの発生及びレジスト欠陥の発生を同時に防止する。例文帳に追加

To prevent both generation of a side lobe and generation of a resist defect even when using a halftone phase shift mask having a plurality of apertures in different dimensions. - 特許庁

位相シフト効果を実現する1枚のマスクを用いた露光によって、解像度程度以下の寸法を含む任意の寸法のパターンを任意の形状について形成できるようにする。例文帳に追加

To form a pattern in a desired dimension including a dimension smaller than resolution and in a desired shape by exposure using a single mask realizing a phase shift effect. - 特許庁

結合長誤差、位相シフト量誤差の許容量が大きく、高消光比を維持することができる光導波路型光スイッチを提供する。例文帳に追加

To provide an optical waveguide type optical switch in which the allowance of a coupling length error and a phase-shift amount error is large and which is capable of maintaining a high extinction ratio. - 特許庁

余剰欠陥の下部にエッチングされずに残ったガラス部分による弊害を比較的単純な方法で排除できるハーフトーン型位相シフトマスクの余剰欠陥修正方法等を提供する。例文帳に追加

To provide a method for modifying the surplus defective part of a halftone phase shifting mask by which the harmful effect of a glass part which remains under the surplus defective part without being etched can be eliminated by a relatively simple process. - 特許庁

例文

この装置の1つの重要な特徴は、アレイにおける各種要素の内の残余の各位相シフト或は真時間遅延を自動的に調整するために、1つのみのパラメータを要求することである。例文帳に追加

Assuming a monochrome plane wave 100 completely made parallel and having wavelength λ0 made perpendicularly incident on the device 2000, the uniform phase distribution 150 of incident wave is converted into a specified phase shift pattern when the mirror 55 is substituted for the device. - 特許庁


例文

位相シフトマスク10のガラス欠陥11の3次元情報と転写パターンのCD(微細寸法)誤差との相関関係のテーブルを作成し、このテーブルを基にしてガラス欠陥11の許容される仕様を決定する。例文帳に追加

A table of correlation between three-dimensional information of a glass defect 11 of the phase shift mask 10 and a CD (minute dimension) error of a transfer pattern is created and a specification in which the glass defect 11 is allowed is determined based on the table. - 特許庁

第1及び第2のハーフトーン型位相シフトマスク10及び20のそれぞれにおける相手のマスクの透光部と対応する領域に遮光性強化部13及び23が形成されている。例文帳に追加

Barrier enhancing parts 13, 23 are formed in the first and second halftone phase shifting masks 10, 20, respectively, in the region corresponding to the light transmitting part of the other mask. - 特許庁

このような出力段をカスケード接続することにより、正確な時間ベースに依存しない、多段負荷の位相シフトPWM制御のためのコントローラが簡単な方法で実現できる。例文帳に追加

By cascading such output stages, a controller for phase-shifted PWM control of multi-stage loads, which is independent of a precise time base, can be realized in a simple manner. - 特許庁

位相補正素子をアクチュエータに搭載せずとも、光ディスクチルトおよび対物レンズシフトによる波面収差補正を効率よく行える光ヘッド装置。例文帳に追加

To provide an optical head device capable of efficiently correcting a wave front aberration by tilting an optical disk and shifting an objective lens even if a phase correcting element is not mounted on an actuator. - 特許庁

例文

回路パターン領域と周辺部領域とを区画する面取り部の斜め境界線で生じる疑似欠陥を抑制できる半透光方式の位相シフトレチクルとその検査方法を提供する。例文帳に追加

To provide a semi-transmission type phase shift reticle that can suppress a pseudo defect caused in the oblique boundary line of a chamfered portion partitioning a circuit pattern region from a peripheral region, and to provide an inspection method for the reticle. - 特許庁

例文

本発明による遮光アパチャは、光の波長に対して半透過である物体と、物体を、位相シフトマスクを用いたフォトグラフィシステムの瞳孔面における光のゼロ次部分に実質的に支持する手段とを備える。例文帳に追加

A light-shielding aperture to be used in a photography system comprises an object which is semi-transparent for a light wavelength, and a means for substantially supporting the object at a zeroth-order light in a pupil plane of the photography system which uses a phase-shift mask. - 特許庁

複素乗算部30は、低雑音増幅器3の利得が利得切り替え信号101により切り替えられるのに応じて、A/D変換器71、72からのベースバンド信号の位相を予め設定されたシフト量Δだけ補正する。例文帳に追加

The complex multiplier section 30 corrects the phase of a base band signal from analog/digital converters 71, 72 by a preset shift amount Δ depending on the selection of the gain of the low noise amplifier 3 by a gain switching signal 101. - 特許庁

位相シフトマスクを用いて露光を行う場合に、リソグラフィープロセス裕度を確保しつつ、転写パターンの位置ずれを最小化し、転写位置精度の向上を図る。例文帳に追加

To minimize the dislocation of transferred patterns and to enhance the accuracy of transfer positions while ensuring a lithographic process margin when exposure is carried out using a phase shift mask. - 特許庁

マスクとなる透過性基板100上に、遮光膜領域101と位相シフト領域102とから構成された孤立した遮光性パターンが形成されている。例文帳に追加

An isolated light-shielding pattern comprising a light-shielding film region 101 and a phase shift region 102 is formed on a transparent substrate 100 serving as a mask. - 特許庁

透明基板11と、この透明基板11上に所望パターンに形成されたハーフトーン膜12とを有するハーフトーン位相シフトマスクにおいて、ハーフトーン膜12の側壁を覆う遮光膜14を設ける。例文帳に追加

The halftone phase shift mask having a transparent substrate 11 and a halftone film 12 formed into a desired pattern on the transparent substrate 11 is provided with a light shielding film 14 which covers the side walls of the halftone film 12. - 特許庁

位相シフトマスクを使用することで、非平坦なLED基板に適した焦点深度で利用可能なフォトリソグラフィックイメージングを使用することが可能となり、基板ポストの形成に必要な分解能が提供される。例文帳に追加

The use of the phase-shift mask enables the use of affordable photolithographic imaging at a depth of focus suitable for non-flat LED substrates while also providing the needed resolution to form the substrate posts. - 特許庁

計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。例文帳に追加

To provide a three-dimensional measuring device capable of shortening time required for measurements when measuring the three-dimensional shape of an object to be measured through the use of a phase shift method. - 特許庁

位相シフトしたクロックのエッジ位置と、データ信号の論理変化位置とのマージンを改善できる半導体集積回路およびメモリシステム並びにクロック信号設定方法を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor integrated circuit and a memory system, and a clock signal setting method by which a margin between the edge position of a clock whose phase is shifted and the logical change position of a data signal is improved. - 特許庁

このため、デプレッション型NchMOSトランジスタDN1は増幅回路1の位相交点を高周波側にシフトさせ、差動入力段2及び出力段3の極周波数を離すことができる。例文帳に追加

Thus, the depletion Nch MOS transistor DN1 shifts a phase cross point of the amplifier circuit 1 toward high frequencies so as to part pole frequencies of the differential input stage 2 and the output stage 3 from each other. - 特許庁

ハーフトーンマスクやレベンソンマスク等の位相シフトマスクについても、正確な欠陥検出感度を備えた欠陥検査装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a defect inspecting device having exact defect detection sensitivity even for a phase shift mask such as a halftone mask and a Levenson mask. - 特許庁

遅延干渉器3の出力パルス光S_3を非線形半導体導波路4で位相シフトさせてから、クロックパルス光S_10と共に遅延干渉器6に入射する。例文帳に追加

An output pulse light S3 of a delay interference device 3 is subjected to a phase shift by a nonlinear semiconductor waveguide 4 and is then made incident, together with a clock pulse light S10 on a delay interference device 6. - 特許庁

発振器40は、電圧信号を発生するために動作可能な反転器と、電圧信号中に位相シフトを導入するために動作可能な共振器とを有する。例文帳に追加

The oscillator 40 has an inverter that is operated to generate a voltage signal and a resonator that is operated to introduce a phase shift in the voltage signal. - 特許庁

露光波長の短波長化や露光光の透過率の高透過率化に対応し、高い加工精度を有するハーフトーン型位相シフトマスクを提供する。例文帳に追加

To provide a halftone-phase shift mask which meets the requirement for a shorter wavelength of exposure light or requirement for a higher transmittance of a mask for exposure light, and which has high process accuracy. - 特許庁

パターンの寸法に応じて適切な光透過率をハーフトーン膜に対して与えることが可能なハーフトーン型位相シフトマスクを提供すること。例文帳に追加

To provide a halftone phase shift mask capable of giving suitable light transmission to a halftone film according to the size of a pattern. - 特許庁

平行度及び平面度の計算方法は、試料をプリズムの底面に垂直な方向に一定の距離で動かし、干渉縞の変化を画像処理し、表裏それぞれの面について位相シフト法により計算する。例文帳に追加

In a calculation method for the parallelism and the flatness, the sample is moved by a fixed distance along a direction perpendicular to a bottom face of the prism, a change of the interference fringe is image-processed, and calculation is carried out as to the respective obverse and reverse faces, by a phase shift method. - 特許庁

シフト方向に応じてクロック信号の相間の位相の変化順序が反転され、またスタートトリガ信号を先頭段、後尾段のいずれに印加するかが切り替えられる。例文帳に追加

A change sequence of phases of an interchange of the clock signal is inverted in accordance with a shift direction, and the application of a start trigger signal is also switched to between the first stage and the last stage. - 特許庁

第1の周期で配置された凹部を含む第1の領域と、該第1の周期より半周期だけ位相シフトした第2の周期で配置された凹部を含む第2の領域とを少なくとも含む周期構造体。例文帳に追加

The periodic structure at least has a first area including the recesses arranged in a first cycle, and a second area including the recesses arranged in a second cycle shifted a half cycle phase from the first cycle. - 特許庁

階調変換した画像信号に従い、複写モードを変更するためにスクリーンパターンを選択して(S1930)、主走査方向の1ライン単位の位相シフト量を前記分解された色単位に変更する(S1950)。例文帳に追加

A screen pattern is selected for the purpose of changing the copy mode (S1930) in accordance with the picture signal subjected to gradation conversion, and the extent of phase shift in the unit of one line in the main scanning direction is changed into resolved color units (S1950). - 特許庁

2相の転送クロックを2本のクロック線で伝送し、シフトレジスタの各転送段に供給する場合、2本のクロック線が必ずクロスし、その配線クロス部分に起因する負荷容量によって消費電力が増加し、位相の遅延が生ずる。例文帳に追加

To provide an active matrix display which enables low power consumption, and to provide a portable terminal which uses it as its display part. - 特許庁

パターン転写時のサイドローブ重なりによる不要パターンの発生位置を的確に抽出することにより、高精度に不要パターンの発生を抑えることが可能な位相シフトマスクの形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for forming a phase shift mask in which generation of an unnecessary pattern can be suppressed with high accuracy by accurately extracting the position where an unnecessary pattern due to overlapping of side lobes on transferring a pattern is generated. - 特許庁

光導波路装置は、光符号装置又は光復号装置であり、分波合波部300、位相シフト部400、及び遅延反射部500から構成される。例文帳に追加

The optical waveguide device is an optical encoder or an optical decoder comprising a multilexing/demultiplexing section 300, a phase shift section 400, and a delay reflection section 500. - 特許庁

ハーフトーン位相シフトマスクの製造TATを速め、コストを低減することによって、電子装置の開発、品種展開TATを速め、且つ電子装置の製造コストを低減する。例文帳に追加

To expedite the development and product class extension TAT (turn around time) of an electronic device and to reduce a cost for manufacturing an electronic device by expediting the manufacturing TAT of a halftone phase shift mask to reduce the cost. - 特許庁

位相シフト法を用いる3次元形状計測方法および装置において、簡単な構成により、表面に文字や柄などによる反射率の異なる領域が混在する被計測物体についても計測精度を向上可能とする。例文帳に追加

To enhance the accuracy of measurement with a simple structure even if an object to be measured where surface regions having different reflectivities due to letters, patterns, etc., coexist, by a three-dimensional shape measuring method and its device using a phase shift method. - 特許庁

大きな面積を持つ対象面の三次元形状を、位相シフト法を用い高精度かつ高速に測定する三次元形状測定装置を提供する。例文帳に追加

To provide a three-dimensional shape measuring device capable of measuring the three-dimensional shape of an object surface having a large area highly accurately at high speed by using a phase shift method. - 特許庁

これを実現する従来技術に、全面スリミング法やシフタエッジ位相シフト露光法などがあるが、前者はゲートパターンと同時にゲート電極配線も細くなり、配線部分が断線しやく歩留まり低下を起こす。例文帳に追加

After forming a resist pattern, DUV or electron beam is irradiated on the desired portion of the resist pattern to carry out selective slimming of the resist. - 特許庁

このように、X線吸収体を異なる組成の物質を含む積層構造にすれば、X線吸収体全体の透過率および位相シフト量を容易に調整することができる。例文帳に追加

When the X-ray absorbing body is made in the laminated structure including materials of different compositions, a transmission factor and phase shift quantity of the X-ray absorbing body can easily be adjusted. - 特許庁

位相シフト法を用いる3次元形状計測方法および装置において、簡単な構成により、表面に文字や柄などによる反射率の異なる領域が混在する被計測物体についても計測精度を向上可能とする。例文帳に追加

To provide a three-dimensional shape measurement method and device using a phase shift process, capable of improving the measurement accuracy, using a simple constitution, even in measured bodies having mixed areas with different reflectances due to characters, patterns, or the like, on their surfaces. - 特許庁

制御部163は、パワーメータ161により検知された信号成分強度に応じて、位相シフト部123へ出力する制御信号を変化させる。例文帳に追加

A controller 163 changes the control signal to be output to a phase shifter 123 depending on a signal component strength detected by the power meter 161. - 特許庁

また、信号光の各周波数成分に対する位相シフトの付与に用いられる反射ミラー群3について、複数の反射ミラー30のそれぞれを、周波数成分を反射する反射位置が可変な可動ミラーとする。例文帳に追加

The reflecting mirrors 30 in the reflecting mirror group 3 used for to shift the phases of the frequency components are movable mirrors whose frequency component reflection positions are variable. - 特許庁

レベンソン型位相シフトマスクを用いたパターン露光において、より多用なパターンについて高精度かつ高解像度でパターン露光を行うことが可能な露光マスクの作製方法および露光方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing an exposure mask and an exposure method for performing pattern exposure with a high precision and a high resolution for a more versatile pattern with respect to pattern exposure using a Levenson-type phase shift mask. - 特許庁

従来技術より低コストで、波長分散量及び非線形位相シフト量の監視が可能な、オール光ネットワークに対する監視装置と、インサービス監視方法を提供する。例文帳に追加

To provide a monitoring apparatus for all optical networks, which can monitor a wavelength dispersion amount and a nonlinear phase shift amount inexpensively as compared with a conventional technique, and to provide an in-service monitoring method. - 特許庁

クロムパターンと位相シフトパターンの混在フォトマスクにおいて、擬似欠陥を検出すること無く、両パターンを同時に検査できるパターン欠陥検査装置を提供する。例文帳に追加

To provide a pattern defect inspecting device capable of simultaneously inspecting both of a chrome pattern and a phase shift pattern without detecting pseudo defect in a photomask in which the chrome pattern and the phase shift pattern coexist. - 特許庁

波面分割素子は、照明光学系から供給された光束を複数の光束に波面分割し且つ波面分割された各光束を対応する位相シフト部またはその近傍へ集光する。例文帳に追加

The wavefront splitting element (3) wavefront-splits a light flux fed from the lighting optical system (2) into a plurality of light fluxes, and enables the light fluxes that are subjected to wavefront splitting to collect on the corresponding phase-shifting parts or their vicinities. - 特許庁

この位相差AFモジュールでは、基準部Paおよび参照部Pbに区間長が同等の検出区間Ec、Edが設定され、各検出区間Ec、Edの設定位置が順次にシフトされる。例文帳に追加

The phase difference AF module is set with detection sections Ec, Ed having an equal section length in the reference part Pa and the reference part Pb, and set positions of the respective detection sections Ec, Ed are shifted sequentially. - 特許庁

測定時と予備測定時の受光強度比を求め、この受光強度比を用いて干渉縞画像の強度補正を行うことにより、位相シフト干渉縞同時計測装置の大幅な高精度化を図ろうとするものである。例文帳に追加

The light receiving intensity ratio between at measuring time and preliminary measuring time is determined, and the intensity correction of the interference fringe image is performed by use of the light receiving intensity ratio, thereby, the precision of the phase shift interference fringe simultaneous measuring apparatus is significantly enhanced. - 特許庁

カウンタ116は、ビート信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントアップ動作を行うと共に、レーザ光の位相シフトに用いた参照信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントダウン動作を行う。例文帳に追加

A counter 116 carries out a count-up operation in every one period of a rectangular wave forming the beat signal, and carries out a count-down operation in every one period of a rectangular wave forming the reference signal using a phase shift of the laser beam. - 特許庁

各A/D変換回路106のデジタルメモリ108に保持させる計数値のうち、下位側複数ビットに位相シフトコードを適用し、より低い周波数でビット精度を向上させたA/D変換を実現する。例文帳に追加

Phase shift codes are applied to a plurality of lower side bits among the counted values stored in a digital memory 108 of each A/D conversion circuit 106, and A/D conversion is realized with the bit accuracy improved by a lower frequency. - 特許庁

したがって、電界放射型表示パネル105は、各パルス信号が位相シフトされたタイミングによって駆動され、順次、列配列の1ラインごとに画像表示を行う。例文帳に追加

Therefore, in a field emissive display panel 105, each pulse signal is driven at phase-shifted timing, and a picture is displayed in sequence of each line. - 特許庁

可変光アッテネータ200の温度が上昇すると、ヒータ205の抵抗値が変化するがその端子電圧がこれに応じて増加することで、導波路部分208Aを伝搬する光信号の位相シフトを防止できる。例文帳に追加

When temperature of the variable light attenuator 202 is increased, the resistance value of the heater 205 is changed and terminal voltage is increased according to the change of the resistance value, and thus, shift of the phase of the optical signal transmitted by the waveguide part 208A can be prevented. - 特許庁

例文

受信部17においてミキサ31,32は、変調された受信信号とローカル信号及び90度位相シフトしたローカル信号からI信号とQ信号を生成する。例文帳に追加

Mixers 31, 32 in a reception section 17 generate I and Q signals from a modulated received signal, a local signal, and a local signal whose phase is shifted by 90 degrees. - 特許庁

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