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窒化ふん囲気の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 738



例文

第1電位障壁膜EV1の主要構成要素である酸シリコン膜OX1をプラズマ成膜法により形成した後、高温のプラズマ処理と、一酸素を含む雰中での加熱処理とを組み合わせて実施することにより、酸シリコン膜OX1の表面に酸シリコン膜SOXを形成し、かつ、酸シリコン膜OX1と半導体基板1Sの界面に素N2を偏析させる。例文帳に追加

Then a hot plasma nitriding processing is coupled with a heating process in the atmosphere containing nitrogen monoxide so as to form an acid silicon nitride film SOX on the surface of the silicon oxide film OX1, with nitrogen N2 segregated on the interface between the silicon oxide film OX1 and a semiconductor substrate 1S. - 特許庁

急熱急冷が可能なRTA炉を用い、自然酸膜より厚い30Å〜100Åの酸膜が形成されたシリコンウェーハを、素ガスの雰下で熱処理することで、酸膜をして膜とし、シリコンウェーハの表面からシリコンウェーハの内部に空孔および素を注入する。例文帳に追加

An RTA furnace for rapid heating and rapid cooling is used to apply heat treatment to a silicon wafer having an oxide film of 30-100 Å thicker than the thickness of a natural oxide film in an atmosphere of nitrogen gas, thereby nitriding the oxide film to form a nitrided oxide film, and the vacancy and nitrogen are injected into the inside of the silicon wafer from the surface of the silicon wafer. - 特許庁

前記溶接後のドラム2に対する第1の溶体と、前記圧延後のリング4に対する第2の溶体とを、1〜10%の水素を含み、雰露点−7〜0℃の素雰下、前記マルエージング鋼の再結晶温度以上、850℃以下の範の温度にて行う。例文帳に追加

The first solution heat treatment to the welded drum 2 and the second solution heat treatment to the rolled rings 4 are achieved in the nitrogen atmosphere containing 1-10% hydrogen and of the atmospheric dew point of -7 to 0°C, and in the temperature range of not lower than the recrystallization point of the maraging steel and not higher than 850°C. - 特許庁

反応容器101内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液103を形成し、該混合融液103と少なくとも素を含む物質とから、III族金属と素とから構成されるIII族物110を結晶成長させる場合に、反応容器101内の体雰を、少なくとも素を含む物質と不活性体との混合体とする。例文帳に追加

When a mixed melt 103 is formed from an alkaline metal and a substance containing at least a group III metal in a reaction vessel 101, and a group III nitride 110 constituted of the group III metal and nitrogen is grown from the mixed melt 103 and a substance containing at least nitrogen, the atmosphere in the reaction vessel 101 is constituted of a mixed gas of the substance containing at least nitrogen and an inert gas. - 特許庁

例文

主鎖が珪素原子のみからなる有機珪素高分子合物、及び/または、主鎖が珪素原子と炭素原子のみからなる有機珪素高分子合物と、固体炭素を含有する多孔質体等の成形体を、素ガス以外の不活性ガス雰中、或いは、素ガス雰中で加熱処理することを特徴とする炭素珪素ウイスカー或いは素珪素ウイスカーの製造方法。例文帳に追加

A formed body such as a porous body containing an organosilicon polymer compound whose main chain is made of only a silicon atom and/or an organosilicon polymer compound whose main chain is made of only a silicon atom and a carbon atom and a solid carbon is subjected to heat-treatment in an inert gas atmosphere except gaseous nitrogen or a gaseous nitrogen atmosphere. - 特許庁


例文

希土類金属酸物と、他の金属と、水素又はによって発熱する還元剤との還元拡散反応によって、希土類金属を含む合金粉末を製造する合金粉末製造方法に、前記希土類金属酸物、他の金属及び還元剤を、水素雰又は素雰中で加熱する工程を備える。例文帳に追加

An alloy powder production method in which rare earth metal-containing alloy powder is produced by the reduction diffusion reaction of rare earth metal oxide, the other metal and a reducing agent to be heat-generated by hydrogenation or nitriding, is provided with a step of heating the rare earth metal oxide, the other metal, and the reducing agent in a hydrogen atmosphere or a nitrogen atmosphere. - 特許庁

得られた粉末をガス雰下で250〜700℃に加熱し1〜3.5時間保持した後、100℃以下に冷却する工程を2回以上繰り返し、粉末の膨張収縮による粉末の崩壊により新生面が生じ均一なが実現できる。例文帳に追加

Steps in which the obtained powder is heated up to 250 to 700°C, is held for 1 to 3.5 hr in a nitrogen gas atmosphere, and is thereafter cooled to100°C are repeated two or more times, and, by the collapse of the powder by the expansion-contraction of the powder, a new face is formed, thus uniform nitriding can be achieved. - 特許庁

酸素過剰の雰において、アンモニアを還元剤とする素酸物の還元反応やアンモニアの素への酸反応と、一酸炭素および炭水素の除去を単一の触媒で行うことができる排ガス浄触媒並びに、排ガス浄方法を提供する。例文帳に追加

To provide a catalyst and a method for purification of exhaust gas which enable carrying out the reduction reaction of a nitrogen oxide with ammonia as a reducing agent or the oxidation reaction of ammonia to nitrogen and removal of carbon monoxide and hydrocarbons with a single catalyst in an oxygen-excessive atmosphere. - 特許庁

バルブメタル粉末を焼結して多孔質固体電解コンデンサ用バルブメタル焼結体を得るプロセスにおいて、素を含まない不活性ガス雰下で焼結し、あるいはさらに引き続き素を含まない不活性ガス雰中で冷却することによって、物の生成を抑制した焼結体を得、これによって固体電解コンデンサのリーク電流を小さくする。例文帳に追加

In the process that sinters bulb metal powder to obtain a bulb metal sintered body for a porous solid electrolytic capacitor, the sintering of bulb metal powder in an inert gas atmosphere not including nitrogen, or furthermore, the following cooling in an inert gas atmosphere not including nitrogen will obtain a sintered body with a nitride product being controlled, thereby reducing leakage current of a solid electrolytic capacitor. - 特許庁

例文

アルゴンガスあるいは素ガス雰下において、ホウ素粉末と酸ガリウム粉末とからなる混合粉末を1600℃以上に加熱することにより反応させ、酸ガリウムナノワイヤーを生成させる。例文帳に追加

The galium oxide nanowire is produced by reacting a mixture comprising a boron powder and a galium oxide powder under heating at 1,600°C or higher in an argon or nitrogen gas atmosphere. - 特許庁

例文

上記製造方法は、炭珪素粉末および六方晶硼素粉末を含む混合粉末を焼成する前に真空または不活性雰中1450〜1650℃の温度で熱処理する工程を備える。例文帳に追加

The production method comprises a process where a powdery mixture containing silicon carbide powder and hexagonal boron nitride powder is heat-treated at 1,450 to 1.650°C in a vacuum or in an inert gas atmosphere before being fired. - 特許庁

無機粒子の表面上で、ホウ素源と素源になる合物の重合反応を行って得られた前駆体、あるいは、ホウ素粉末を無機塩の溶液に含浸し、溶媒を除去して得られた前駆体を、非酸性または酸性雰下で少なくとも一度焼成する。例文帳に追加

A precursor obtained by performing a polymerization reaction of a compound to be a boron source with a compound to be a nitrogen source on the surface of the inorganic particle or a precursor obtained by dipping boron nitride powder in a solution of an inorganic salt and removing the solvent is fired at least a time under a non-oxidizing or oxidizing atmosphere. - 特許庁

該蛍光体は、Liの酸物、アモルファスケイ素、AlNを含む物質、金属Mの酸物、ランタニド金属酸物を混合し得られた混合粉末を不活性ガス雰中で焼成することにより得られる。例文帳に追加

The phosphor is prepared by subjecting a powder mixture prepared by mixing lithium oxide, amorphous silicon nitride, an AlN-containing substance, an oxide of the metal M, and a lanthanide metal oxide to firing in an inert gas atmosphere. - 特許庁

低品位炭に金属および/または金属合物を担持させ、これを素雰下で400℃以上、900℃未満の温度範で加熱焼成して炭処理することにより、多孔質炭からなる触媒を得ること。例文帳に追加

The method for manufacturing the catalyst for hydrocracking heavy hydrocarbons comprises the steps of: depositing a metal and/or a metal compound on lower grade coal; heating/burning the coal deposited in a nitrogen atmosphere in a temperature range of400°C and <900°C; and carbonizing the heated/burned coal to obtain porous coal being the catalyst. - 特許庁

可能な金属元素を含む水溶液を可燃性液体と混合して形成されたW/O型エマルジョンを、可燃性液体が完全燃焼しかつ金属元素が大中で最も安定な酸物を形成するために必要な必要酸素量より少ない酸素量を含む雰中で噴霧燃焼し、噴霧燃焼時には燃焼雰中に素原子を含ませる。例文帳に追加

A w/o type emulsion prepared by mixing an aqueous solution containing a metal element capable of being nitrided with an inflammable liquid is sprayed and combusted in an atmosphere containing oxygen in the quantity smaller than oxygen demand necessary for completely combusting the inflammable liquid and forming a most stable oxide of the metal element and nitrogen atom is added in the combustion atmosphere at the time of the spray combustion. - 特許庁

二酸錫粉末及び水酸第二錫粉末から選ばれる少なくとも一種の錫合物粉末と珪素粉末とを混合した後、非酸性雰下で加熱焼成することを特徴とする珪素含有二酸錫粉末の製造方法である。例文帳に追加

A method for producing silicon-containing tin dioxide powder comprises the steps of: mixing at least one kind of tin compound powder selected from tin dioxide powder and stannic hydroxide powder with silicon nitride powder; and heating/firing the obtained mixture under a non-oxidizing atmosphere. - 特許庁

アルミニウム合金粉末からなる圧粉成形体を、第1の温度および素ガス雰中で加熱保持することにより、アルミニウム合金粉末同士を焼結させるとともに、アルミニウム合金粉末の旧粉末粒界にアルミニウムを反応生成させて焼結体を形成する。例文帳に追加

A green compact composed of aluminum alloy powder is heated and held at a first temperature in a nitrogen-gas atmosphere, thereby, the mutual aluminum alloy powder particles are sintered and aluminum nitride is formed by reaction in the original powder grain boundaries of the aluminum alloy powder to form a sintered compact. - 特許庁

膜又は酸膜に対してオゾン又は酸性ガスの活性種の雰中でのアニール処理を施すことにより電的な膜質特性を大幅に改善することが可能な被処理体の処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide a treatment method of a substance to be treated, in which electric membranous property can be greatly improved by performing annealing treatment to an oxide film or an oxynitride film in atmosphere of active species of ozone or oxidized gas. - 特許庁

SiC層の表面にCVD酸膜を堆積した後に、そのCVD酸膜およびSiC層に対し、処理および水蒸を含んだ酸素雰での熱処理を行う。例文帳に追加

After the CVD oxide film is deposited on the surface of the SiC layer, the CVD oxide film and the SiC layer are subjected to a nitriding treatment and a heat treatment under the oxygen atmosphere containing water vapor. - 特許庁

アモルファスシリコン等を形成した基板上に、物の生成自由エネルギが負の金属を添加した銅−金属合金ターゲットを用いて素+アルゴン雰で金属元素と素とを含有する銅を主成分とする合金層を形成する。例文帳に追加

On a substrate where amorphous silicon etc., are formed, an alloy layer consisting essentially of copper containing metal elements and nitrogen is formed in a nitrogen plus argon atmosphere by using a copper-metal alloy target to which metal having negative generation free energy for nitride is added. - 特許庁

ゲート絶縁膜3上に、ポリシリコン膜4を被着してゲート電極5パターンにパターンニングした後、ソース・ドレイン領域9を形成する前に、素を含む雰中で処理を行って、ゲート電極5端部付近のゲート絶縁膜3中に新たに素を導入する。例文帳に追加

Nitrogen is newly introduced in the gate insulating film 3 nearby an end of the gate electrode 5 by carrying out nitriding processing in an atmosphere containing nitrogen after a polysilicon film 4 is bonded onto the gate insulating film 3 and the gate electrode 5 is patterned in a pattern and before the source-drain region 9 is formed. - 特許庁

粉砕粉を素雰下で焼成することにより焼成粉を生成し、焼成粉を粉砕することにより再粉砕粉を生成し、再粉砕粉を焼結させることにより炭珪素焼結体を生成する。例文帳に追加

The silicon carbide sintered compact is manufactured by firing pulverized powder under a nitrogen atmosphere to form fired powder, pulverizing the fired powder to form the re-pulverized powder and sintering the re-pulverized powder. - 特許庁

した鉄粉末にSi粉末またはフェロシリコン粉末を添加し混合したのち真空または水素雰中、温度:300〜900℃で加熱することを特徴とするSi濃度勾配層被覆鉄粉末の製造方法。例文帳に追加

In the method for producing Si concentration gradient layer-coated iron powder, Si powder or ferrosilicon powder is added to nitrided iron powder so as to be mixed, and thereafter, the mixture is heated at 300 to 900°C in a vacuum or a hydrogen atmosphere. - 特許庁

HVPE装置の反応チャンバ内でHCl及びNH_3ガス雰ガリウム基板11をエッチングして10〜1000nmの厚さの多孔性ガリウム層11aを形成するステップを含み、ひいては、単一の反応チャンバ内でインシチュでガリウム成長層20を形成するステップをさらに含むガリウム基板の製造方法。例文帳に追加

The method of manufacturing the nitride gallium substrate includes a step of forming a porous nitride gallium substrate 11a having a thickness of 10 nm to 1000 nm by etching a nitride gallium substrate 11 in an atmosphere of HCl and NH_3 gas in a reaction chamber of an HVPE apparatus, and further includes a step of forming a nitride gallium growth layer 20 in a single reaction chamber by in situ process. - 特許庁

焼結助剤を含有するアルミニウム板状焼結体をカーボン還元性雰下で焼成することによって焼結助剤が低減されたアルミニウム焼結体を製造するに際し、少なくとも表層がホウ素緻密体により構成された板状体を該アルミニウム板状焼結体の上下に積層した状態で焼結を行う。例文帳に追加

In manufacturing an aluminum nitride sintered compact in which the content of a sintering aid is reduced by firing an aluminum nitride platy sintered compact containing the sintering aid in a carbon reducing atmosphere, sintering is done in a state where the upper and lower sides of the aluminum nitride platy sintered compact are laminated with platy bodies at least whose surface layer is composed of a boron nitride densified body. - 特許庁

相成長法により、反応容器内にて、p型不純物がドープされたガリウム系合物半導体層を成長させた後、実質的に水素を含まない雰中、前記反応容器内の温度を所定の温度に保持してアニーリングをすることにより、前記p型不純物がドープされたガリウム系合物半導体をp型ガリウム系合物半導体層とする。例文帳に追加

After a gallium nitride based compound semiconductor layer doped with p-type impurities is grown in a reaction container by vapor phase epitaxial growth, annealing is performed in an atmosphere substantially containing no hydrogen while keeping a specified temperature level in the reaction container thus converting the gallium nitride based compound semiconductor doped with p-type impurities into a p-type gallium nitride based compound semiconductor layer. - 特許庁

また、上記焼結体は、平均粒子径0.1〜20μmのアルミニウム粉末、及び、該アルミニウム粉末に対して焼結助剤を0〜0.1質量部含有する成形体を、中性又は還元雰下で、平均結晶粒径が15〜30μmに到達するまで焼結することによって得られる。例文帳に追加

The sintered compact can be obtained by sintering a formed body containing an aluminum nitride powder having a mean particle diameter of 0.1-20 μm and an auxiliary sintering agent of 0-0.1 pt.mass to the aluminum nitride powder under a neutral or a reducing atmosphere until the mean particle diameter reaches 15-30 μm. - 特許庁

ストロンチウム、水酸ストロンチウム、珪ストロンチウム、およびストロンチウムから選択される1種以上のストロンチウム合物と、珪素と、アルミニウムと、酸アルミニウムと、酸ユーロピウムとを含む蛍光体原料混合物を、N_2含有ガス雰下、1400℃〜2200℃で焼成して蛍光体を得る焼成工程を有する蛍光体の製造方法。例文帳に追加

The method of manufacturing a phosphor includes a calcinating step which calcinates a phosphor material mixture containing one or more sorts of strontium compounds chosen from strontium oxide, strontium hydroxide, strontium silicate and strontium nitride, silicon nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, and europium oxide under the N_2-containing gas atmosphere at 1,400°C-2,200°C to obtain the phosphor. - 特許庁

シリコン基板11の表面に設けられたシリコン熱酸膜21を、素および水素を含有する雰中(例えば、アンモニア雰中)で熱することによって、シリコン熱酸膜21の少なくとも一部の表面に該シリコン熱酸膜21がされてなるシリコン膜22を形成し、シリコン基板11とシリコン熱酸膜21との界面のダングリングボンドを水素により終端する。例文帳に追加

A silicon thermal oxide film 21 formed on a surface of a silicon substrate 11 is thermally nitrided in an atmosphere (for example, an ammonia atmosphere) including nitrogen and hydrogen to form a silicon nitride oxide film 22 at least on a surface of a part of the silicon thermal oxide film 21 by nitriding the silicon thermal oxide film 21, and a dangling bond of an interface between the silicon substrate 11 and the silicon thermal oxide film 21 is terminated by hydrogen. - 特許庁

液体状のアクリロニトリルに三塩硼素を反応させて付加物とし、該付加物をさらに三塩硼素の雰下で重合させて重合物とした後、不活性ガスの雰中、500℃以上3000℃以下の温度で熱処理することを特徴とする炭硼素材料の製造方法。例文帳に追加

In the method for producing a boron carbonitride material, liquid acrylonitrile is reacted with boron trichloride into an adduct, the adduct is further polymerized in an atmosphere of boron trichloride into a polymerized product, and thereafter, the polymerized product is heat-treated at 500 to 3,000°C in an inert gas atmosphere. - 特許庁

マグネシウム粉末にアルミニウム粉末、焼結助剤、可塑剤および溶剤を混合してなるスラリーからグリーンシートを作製し、そのグリーンシートから成形体を作製し、その成形体を不活性雰下で焼結する。例文帳に追加

A green sheet made of slurry obtained by mixing aluminum nitride powder, a sintering aid, a plasticizer and a solvent to magnesium oxid powder is prepared. - 特許庁

本発明の結晶成長方法は、有機金属相成長法によりV族元素中に素を含むIII−V族合物半導体を結晶成長させる方法であって、水素雰中でIII−V族合物半導体を結晶成長した後に、素雰中で前記III−V族合物半導体に熱処理を行う。例文帳に追加

In the process for epitaxially growing a III-V compound semiconductor containing nitrogen in a group V element by metal organic vapor phase epitaxy, the III-V compound semiconductor is heat treated in nitrogen atmosphere following to epitaxial growth in hydrogen atmosphere. - 特許庁

フラン樹脂などの熱硬性樹脂に粒径50μm以下の黒鉛粉末を混合し、板状に加工した後、加熱硬させ、素ガス雰下、700〜2800℃の温度で処理して炭素する。例文帳に追加

The production method for the carbon plate comprises mixing a thermosetting resin such as a furan resin with a graphite powder having a particle diameter of50 μm, forming the resulting mixture into a plate form, curing the formed plate by heating, and carbonizing the cured plate by treating it at 700-2,800°C in a nitrogen-gas atmosphere. - 特許庁

物の生成自由エネルギーがアルミニウムより小さい元素である触媒元素を含む触媒元素含有粉末22とアルミニウム粉末21を混合した混合粉末を、アルミニウム粉末の融点以上1400℃以下の素雰下で反応させることにより、アルミニウム粉末を製造する。例文帳に追加

The aluminum nitride powder is produced by reacting a mixture of a powder 22, containing a catalyst element having a smaller free energy for generating a nitride than that of aluminum, and an aluminum powder 21 under nitrogen atmosphere at not lower than the melting point of the aluminum powder and not higher than 1,400°C. - 特許庁

シリコン膜の形成方法は、(イ)表面を終端した水素原子が脱離しない雰温度にて、シリコン層40の表面を熱酸することによって、シリコン酸膜42を形成する工程と、(ロ)得られたシリコン酸膜42を処理することによって、シリコン膜42Aを得る工程から成る。例文帳に追加

The formation method includes (1) a step of forming a silicon oxide film 42 by thermally oxidizing a surface of a silicon layer 40 at an atmosphere temperature at which hydrogen atoms terminated on its surface are not detached, and (2) a step of obtaining a silicon nitride oxide film 42A by subjecting the obtained silicon oxide film 42 to a nitriding process. - 特許庁

物半導体基板を空または酸素を含む雰中で熱処理するか、あるいは、物半導体基板の表面を酸素プラズマに暴露することにより、物半導体基板表面に、主成分が酸ガリウムおよび/または酸インジウムで、表面粗さの2乗平均値が5nm以下である保護膜が形成される。例文帳に追加

A protective film essentially comprising gallium oxide and/or indium oxide and having a surface roughness of not more than 5 nm in terms of a square mean value is formed on the surface of a nitride semiconductor substrate by heat treating the nitride semiconductor substrate in an atmosphere containing air or oxygen or by exposing the surface of the nitride semiconductor substrate to oxygen plasma. - 特許庁

少なくとも素元素を含む一定ガス圧力の雰中で、レーザー光をパルス状にチタン酸物焼結物に照射し、該チタン酸物と対抗する位置に配した基板上に、部分チタン酸物薄膜を製膜する。例文帳に追加

A titanium oxide sintered material is irradiated with pulsed laser light in an atmosphere including at least a nitrogen element at constant gas pressure so as to form a partially nitrided titanium oxide thin film on a substrate placed at a position opposing to the titanium oxide material. - 特許庁

アルミニウム焼結体の製造工程において、有機合物を含有するアルミニウム成形体を非酸性雰中にて脱脂して得られた脱脂中間体であって、JIS Z 8721に規定する明度がN6以下、好ましくはN4以下である。例文帳に追加

The degreased intermediate whose lightness is designated as N6 or less in JIS Z 8721, favorably N4 or less, is obtained by degreasing an aluminum nitride formed body containing an organic compound under a non-oxidized atmosphere in the manufacturing process of the aluminum nitride sintered compact. - 特許庁

シリコン基板上にシリコン酸膜を形成し、前記シリコン酸膜に対して圧力50Torr以下のNH_3ガス雰中1000℃以上の温度で60秒以下の熱処理を施すことによって前記シリコン酸膜に素を導入してシリコン酸膜を形成する。例文帳に追加

A silicon oxidizing film is formed on the silicon substrate and treated thermally in an NH_3 gas atmosphere at a pressure of at most 50 Torrs, at a temperature of at least 1,000°C for at most 60 sec, so that nitrogen is introduced in the silicon oxidizing film, and the silicon oxidizing and nitriding film is formed. - 特許庁

付活元素M1、2価の金属元素M2、及び4価の金属元素M4を含む物又は酸物蛍光体の製造にあたり、原料として、付活元素M1及び2価の金属元素M2を含有する合金と、4価の金属元素M4の物とを使用し、該原料を素元素を含有する雰中で加熱する蛍光体の製造方法。例文帳に追加

In the method for producing phosphor, when a nitride or oxynitride phosphor comprising an activation element M1, a divalent metal element M2 and a tetravalent metal element M4 is produced, an alloy comprising the activation element M1 and the divalent metal element M2 and a nitride of the tetravalent metal element M4 are used as starting materials, and the starting materials are heated in a nitrogen element-containing atmosphere. - 特許庁

ほう素系合物粉末またはほう素を含む混合粉末を素ガスを含む雰下でアーク溶解させることによって得られるほう素ナノ物質の合成方法において、合成したほう素粉末を求電子試薬、求核試薬の少なくとも一つから選択される極性有機溶媒中に溶解させた後、精製分離する。例文帳に追加

In a synthetic method of a boron nitride nano-substance, where the substance is obtained by arc melting a powder of boron nitride or a mixed powder containing boron in an atmosphere containing nitrogen gas, this method uses at least a polar organic solvent selected from the group consisting of an electrophilic reagent and a nucleophilic reagent to dissolve the synthesized boron nitride powder and then to refine and separate the boron nitride cluster. - 特許庁

AlN−Al_2O_3複合ワイヤの製造方法であり、Al粉末と酸鉄粉末の混合粉末を素雰中において1000〜1400℃で熱処理することを特徴とする。例文帳に追加

The method for producing an AlN-Al_2O_3 composite wire comprises heat treating a mixed powder of an Al powder and an iron oxide powder at 1000-1400°C in a nitrogen atmosphere. - 特許庁

圧または大圧近傍の圧力下の塩素含有ガス雰中で、円筒型回転電極2とIII族物半導体6の表面との間でプラズマ13を生成して、プラズマ13をIII族物半導体6の表面と接触させることにより、III族物半導体6の表面を加工する。例文帳に追加

A plasma 13 is generated between a cylindrical rotary electrode 2 and the surface of a group III nitride semiconductor 6, in the gas atmosphere containing chlorine under the atmospheric pressure or near it, so that the plasma 13 contacts the surface of the group III nitride semiconductor 6 for processing the surface of the group III nitride semiconductor 6. - 特許庁

その後、高周波電界の印加を中止し、プラズマ処理チェンバ内を酸性ガス雰あるいは性ガスの雰に置き換え、再び、高周波電界を印加して前記の基板上に形成されているシリコン薄膜のプラズマ酸処理あるいはプラズマ処理を行うシリコンナノ結晶構造体の形成方法。例文帳に追加

Then, the silicon thin film is subjected to plasma oxidation or plasma nitriding treatment by discontinuing the application of the high-frequency electric field, replacing the atmosphere inside the chamber with an oxidizing or nitriding gas atmosphere and resuming the application of the high-frequency electric field. - 特許庁

焼結助剤を含有しないアルミニウムを主成分とする成形体を非酸下で焼成して得られた焼結体の上面に、焼結助剤を含有するアルミニウムを主成分とする脱脂済みの成形体を接触させ、非酸下で少なくとも1回焼成した後、この焼結体の表面を研削する。例文帳に追加

A degreased compact consisting essentially of aluminum nitride containing a sintering aid is brought into contact with the upper surface of a sintered compact obtained by burning a compact consisting essentially of aluminum nitride containing no sintering aid, then is burned under a non-oxidizing atmosphere at least one time to obtain the sintered compact and the surface of the sintered compact is ground. - 特許庁

表面に層を介して硬質膜被覆層を組合せて複合処理を施した鉄鋼材において、層の表面硬さ(Hns)を下記式(I)で示される範とした鉄鋼材および処理後、還元雰で熱処理する方法であり、耐摩耗性に優れた表面層を形成することによって、工具、金型、機械部品に適した表面改質層を形成した鉄鋼材を提供する。例文帳に追加

In an iron steel material in which a hard film coating layer is combined to the surface via a nitriding layer, and subjected to compounding treatment, the surface hardness (Hns) of the nitriding layer is controlled to the range shown by the following formula. - 特許庁

素ガス及びアンモニアガスの一方又は両方から成る雰の加熱室内において鋼を400〜650℃の温度範で無酸加熱すると共に、加熱室内に促進ガスとして、例えばアセチレンガスに代表される鎖式不飽和炭水素ガスを素ガス若しくは水素ガス、又はその両方で希釈した状態、あるいは希釈することなくそのままの状態で供給する。例文帳に追加

In a heating chamber of the atmosphere consisting of one or both of gaseous nitrogen and gaseous ammonium, steel is subjected to non-oxidated heating in a temperature range of 400-650°C, and nitriding-promoted gas such as chain unsaturated hydrocarbon gas represented by acetylene gas in a state diluted with gaseous nitrogen or gaseous hydrogen or both of them, or in an original state without dilution is fed into the heating chamber. - 特許庁

このWC粉は、W酸物とカーボン粉、あるいはW酸物とCr酸物とカーボン粉を混合し、素雰中で加熱し、還元、炭することによって得られる。例文帳に追加

The WC powder is obtained by mixing a W-oxide and carbon powder or the W-oxide, a Cr-oxide and carbon powder and then reducing and carbonizing the resulting mixture by heating it in a nitrogen atmosphere. - 特許庁

そして、マスク酸膜2を除去した後、非酸性または非性の減圧雰下にて熱処理を行ってシリコン基板1でのトレンチ3内面を平滑する。例文帳に追加

The mask oxide film 2 is removed, a thermal treatment is performed under non-oxidative or non-nitriding reduced-pressure atmosphere, and the inner faces of the trenches 3 in the silicon substrate 1 are smoothed. - 特許庁

例文

酸素過剰雰下でも十分な素酸物浄が可能な、排ガス浄用触媒とその製造方法および浄方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a catalyst for cleaning an exhaust gas which is capable of sufficiently cleaning a nitrogen oxide even under an oxygen-rich atmosphere as well as a method for manufacturing the catalyst and a method for cleaning an exhaust gas. - 特許庁

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