「GAS-PHASE」に関連した英語例文の一覧と使い方(43ページ目) - Weblio英語例文検索

The device manufacturing method includes a step of disposing a mask closely onto the base material 2 having a modified part 2a subjected to modification beforehand and position-selectively forming a film 6 in a gas phase so as to cover the modified part 2a and then a step of performing chemical etching of only the modified part 2a.例文帳に追加

予め改質が施された改質部分２ａを有する基体２上に、マスクを密着配置して、前記改質部分２ａを覆うように、気相中で膜６を位置選択的に形成する工程と、その後、前記改質部分２ａのみを化学エッチングする工程とを備える。 - 特許庁

The instrument current transformers 7a-7c disposed in the three-phase integrated type gas-insulated switchgear have protrusion portions 14a-14c integrated by being wound around an instrument current transformer core with insulation tape 15, respectively, and the shapes of the instrument current transformers 7a-7c have a non-annular shape.例文帳に追加

三相一括形のガス絶縁開閉装置内に配置された計器用変流器７ａ〜７ｃは、それぞれ絶縁テープ１５で計器用変流器コアに巻き付けて一体とされた突起部１４ａ〜１４ｃを有し、計器用変流器７ａ〜７ｃの形状は非円環状となっている。 - 特許庁

In the method for regenerating the hydrogenation catalyst which has been used in a gas-phase hydrogenation, stripping is carried out at 50-300°C with a substance or a substance mixture which, under the treatment conditions, has no oxidizing action and is present in the gaseous state.例文帳に追加

気相における水素化に使用した水素化触媒を再生させる方法であって、処理条件下において酸化作用を有さない気体状態で存在する物質又は物質混合物により５０℃〜３００℃にてストリッピングを行うことを特徴とする水素化触媒の再生方法が得られた。 - 特許庁

A half-insulating compound semiconductor film 4 such as CdTe, CdZnTe, GaAs or HgI2 is formed on the surface of a hard conductive plate 1 of Si or the like having an electrode 3 on both sides or only backside using a gas phase deposition method such as CVD or evaporation.例文帳に追加

表裏両面もしくは裏面のみに電極３を形成したＳｉ等の硬質導電性平板１の表面上に、ＣｄＴｅ、ＣｄＺｎＴｅ、ＧａＡｓ、ＨｇＩ２ 等の半絶縁性化合物半導体膜４を、ＣＶＤ、もしくは、蒸着等の気相成膜法を用いて形成する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing acrolein and/or acrylic acid by a catalytic gas-phase oxidation of propylene and/or propane, where acrolein and/or acrylic acid are manufactured in a high yield stably for a long period of time on an industrial scale even when the operation is temporarily suspended and then resumed.例文帳に追加

プロピレンおよび／またはプロパンの接触気相酸化によりアクロレインおよび／またはアクリル酸を製造する方法において、工業的な規模で一時的に運転を停止した後、再度運転を再開した場合でも、長期間安定して高収率でアクロレインおよび／またはアクリル酸を製造する。 - 特許庁

To provide a liquid drop polymerization method for colliding and mixing a first liquid with a second liquid each jetted from a nozzle opening into a gas phase and polymerizing a polymerizing monomer in the presence of a polymerization initiator in the mixing system to obtain a polymer, in which the blockage of the nozzle can be prevented.例文帳に追加

ノズル口からそれぞれ気相中に噴出させた第１液及び第２液を気相中で衝突させて混合し、該混合系内において、重合性モノマーを重合開始剤の存在下に重合させて重合物を得る液滴重合法において、ノズルの閉塞を防止する。 - 特許庁

To provide a loop heat exchange heat transporting device capable of preventing the formation of a through-hole on a container pipe caused by eroding of the pipe in a short time by erosion and corrosion caused by the collision of gas-liquid two phase fluid flowing in from a fluid inlet, with the container pipe penetrated through a solution storage container.例文帳に追加

ループ熱交換熱輸送機器において、流体送入口から流入する気液二相流体が、溶液収納容器内を通過する容器内パイプに衝突し、エロージョン・コロージョンにより、パイプを短期間に浸食して、容器内パイプに貫通孔を開けるのを防止する。 - 特許庁

The high purity hydrogen chloride is filled in the gas cylinder when a moisture concentration of a gaseous phase measured by a diode laser type absorption photometer using a cell with a measured wavelength of 1368 nm and an optical path length of ≥5 m is 0.1 ppm-0.7 ppm at a start of usage of the high purity hydrogen chloride.例文帳に追加

測定波長１３６８ｎｍ、光路長が５ｍ以上のセルを用いたダイオードレーザー式吸光光度計にて測定した気相の水分濃度が、当該高純度塩化水素の使用開始時に０．１ｐｐｍから０．７ｐｐｍで高圧ガス容器に充填された高純度塩化水素である。 - 特許庁

The depositing device (100) is provided with a depositing means (24) for depositing the electrolyte membranes (25, 26) with the proton conductivity, on the hydrogen separation membrane with hydrogen permeability by the gas phase depositing method and a changing means (23) for changing the depositing conditions during depositing of the electrolyte membrane.例文帳に追加

成膜装置（１００）は、水素透過性を有する水素分離膜（２１）上にプロトン伝導性を有する電解質膜（２５，２６）を気相成膜法により成膜する成膜手段（２４）と、電解質膜の成膜の途中で成膜条件を変更する変更手段（２３）と、を備える。 - 特許庁

To prevent deterioration of the characteristics of a semiconductor device due to vaporization of organic foreign substances adhered on the wafer outer periphery part at the time of forming an epitaxial layer on a wafer by the gas phase epitaxial process, in a manufacturing method for the semiconductor device and a semiconductor manufacturing device.例文帳に追加

本発明は半導体装置の製造方法および半導体製造装置に関し、ウエハに気相エピタキシャル法によりエピタキシャル層を形成する際にウエハ外周部に固着した有機系異物が気化することによって半導体素子の特性が劣化することを防止することを目的とする。 - 特許庁

An ink jet recording medium is coated with a coating fluid containing at least one kind out of organic fine particles selected from an alumina hydrate of pseudo-boehmite structure, γ-type aluminum oxide crystals and an amorphous silica synthesized by the gas phase process and a phosphonium compound represented by a formula I.例文帳に追加

擬ベーマイト構造のアルミナ水和物、γ型酸化アルミニウム結晶および気相法により合成された非晶性シリカから選択される無機微粒子と下記式１で表されるホスホニウム化合物を少なくとも１種含有する塗被液を塗工して形成されるインクジェット記録媒体。 - 特許庁

To provide a catalyst which has high mechanical strength for producing an unsaturated aldehyde and an unsaturated carboxylic acid corresponding to propylene, isobutylene or tertiary butyl alcohol by catalytic gas phase oxidation thereof using molecular oxygen, and produces a target product at a high yield.例文帳に追加

プロピレン、イソブチレンまたはターシャリーブチルアルコールを分子状酸素を用いて接触気相酸化してそれぞれ対応する不飽和アルデヒドおよび不飽和カルボン酸を製造するための機械的強度の高く、かつ、目的生成物を高収率で製造するための触媒を提供する。 - 特許庁

To provide the control device of a cylinder rest internal combustion engine which can obtain the more stable combustion state and exhaust gas characteristic at its switching time, in the cylinder rest internal combustion engine for changing a cam phase responding to the switch from a whole cylinder operation to a partial cylinder operation.例文帳に追加

全気筒運転から部分気筒運転への切り換えに伴ってカム位相を変更する気筒休止内燃機関において、その切換時に、より安定した燃焼状態および排気ガス特性を得ることができる気筒休止内燃機関の制御装置を提供する。 - 特許庁

A surface of the separator is instantaneously hydrophilized by a combustion chemical vapor phase deposition method for spraying a gas containing a silicon compound to the separator surface while burning it and thereby forming a nano-order silicon oxide coating layer on the surface by fine particles of silicon oxide generated by the combustion.例文帳に追加

珪素化合物を含む気体を、燃焼させながらセパレータ表面に吹き付けることによって、燃焼によって生じる酸化珪素の微粒子が表面にナノオーダーの酸化珪素皮膜層を形成する燃焼化学気相蒸着法により、瞬間的にセパレータ表面を親水化する。 - 特許庁

In the process of producing the olefinic polymer by performing the gas phase polymerization reaction of the olefin in the presence of the catalyst, the polymerization of 2-20C olefins such as ethylene, propylene, butene, hexene, etc., is performed singly or by combining a multiple number of them by using a fluidized bed reactor.例文帳に追加

本発明における、触媒の存在下にオレフィンを気相重合反応させるオレフィン重合体製造プロセスにおいては、流動床反応器によりエチレン、プロピレン、ブテン、ヘキセンなど炭素数２-２０のオレフィン類を、単独重合または複数を組合わせて重合が行われる。 - 特許庁

In a compound semiconductor epitaxial wafer manufacturing apparatus 10 in which a compound semiconductor crystal is subjected to vapor phase epitaxial growth on a compound semiconductor crystal substrate 11, a slope 23 is provided in a reaction tube 16 which forms a material gas passage G in a reactor 18.例文帳に追加

化合物半導体結晶基板１１上に、化合物半導体結晶を気相エピタキシャル成長させる化合物半導体エピタキシャルウェハ製造装置１０において、反応炉１８内で原料ガス流路Ｇを形成する反応管１６内にスロープ２３を有する。 - 特許庁

This method for producing ε-caprolactam is to use a catalyst obtained by precipitating zirconium oxide containing sulfur on a carrier from an alcoholic solution of zirconium sulfate and bring the cyclohexanone oxime into contact with the above catalyst in gas/solid phase.例文帳に追加

本発明の課題は、硫酸ジルコニウムのアルコール溶液から硫黄分を含むジルコニウム酸化物を担体上に析出させた触媒を用い、該触媒存在下、シクロヘキサノンオキシムを気固相で接触させることを特徴とするε-カプロラクタムの製造方法により達成される。 - 特許庁

To provide a method for regenerating a catalyst deteriorated in plant operations concerning a molybdenum-bismuth-iron system composite oxide catalyst used for gas phase catalytic oxidization for manufacturing acrolein and/or acrylic acid from propylene and methacrolein and/or methacrylic acid from isobutene or tert-butanol.例文帳に追加

プロピレンからアクロレイン及びもしくはアクリル酸を、イソブテンまたはターシャリーブタノールからメタクロレイン及びもしくはメタクリル酸を製造する気相接触酸化反応に使用されるモリブデンービスマス−鉄系複合酸化物触媒について、プラント運転で使用した後の劣化触媒の再生方法を提供する。 - 特許庁

To provide a compact fuel supply system which can stabilize the supply flow rate of a liquid fuel even if the liquid fuel supplied to a fuel battery, a fuel reformer, etc., partially gasifies to turn into a gas-liquid two-phase fuel flow and flows into a flow rate adjusting means.例文帳に追加

燃料電池や燃料改質器などへ供給される液体燃料の一部が気化し、気液二相流となって流量調整手段に流入する場合においても、燃料の供給流量を安定化させることが可能な小型の燃料供給システムを提供する。 - 特許庁

When a room temperature of a car begins to go up, the refrigerant is heated on the sitting side 14 of a seat 10, changing to gas-liquid two-phase flow, and starts to circulate toward the section installed on the opposite side 15, where the refrigerant radiates the heat, and then the circulation is continued.例文帳に追加

これによって庫内の温度が上昇し始めると、冷媒も座席１０の人体が座る側の面１４に配設された部分で加熱され、気液２相流になり、反対側の面１５に配設された部分に向かって循環し、ここで冷媒が放熱し、循環が継続される。 - 特許庁

The method for producing hydrogen comprises the steps of supplying the fuel 1 and an oxidizing substance 2 into a reactor 3 equipped with a porous material 4' so formed that a flame is prevented from diffusion to the flow direction, oxidizing partially the fuel with the oxidizing substance, and obtaining hydrogen in gas phase.例文帳に追加

方法は、ａ）流れ方向に対する火炎の拡散を防ぐように形成されている多孔質物質４’を備えた反応器３中に、燃料１ならびに酸化剤２を供給するステップと、ｂ）燃料と酸化剤とを部分酸化で反応させて、水素を気体の形で得るステップとを有する。 - 特許庁

To provide a method for producing 4-phenylpyridine useful as an intermediate for synthesizing photographic additives, sensitizing pigments, medicines, organic EL materials, and the like by a gas phase catalytic reaction, by which the 4-phenylpyridine can be produced in improved selectivity.例文帳に追加

写真用添加剤、増感色素、医薬品及び有機ＥＬ材料等の合成中間体として有用な４−フェニルピリジンを気相接触反応によって製造する方法において、従来方法に比べて改善された選択率で４−フェニルピリジンを製造できる方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing an olefin polymer of excellent quality by preventing lubrication oil from mixing in an inert gas used in a fluidized bed reactor and its incidental equipment in a production process of an olefin polymer where an olefin is subjected to a vapor phase polymerization reaction in the presence of a catalyst.例文帳に追加

触媒の存在下にオレフィンを気相重合反応させるオレフィン重合体製造プロセスにおいて、流動床反応器とその付帯設備において使用する不活性ガスへの潤滑油の混入を防止し、品質の優れたオレフィン重合体を製造する方法を提供する。 - 特許庁

The method for producing cis-1,2,3,3,3-pentafluoropropene comprises introducing a raw material containing trans-1,2,3,3,3-pentafluoropropene into a reaction region filled with a catalyst comprising the carbon carrying a compound of a metal such as chromium or antimony in a gas phase to contact the trans-1,2,3,3,3-pentafluoropropene with the catalyst.例文帳に追加

トランス-１，２，３，３，３-ペンタフルオロプロペンを少なくとも含む原料を気相でクロム、アンチモンなどの金属化合物を担持した炭素からなる触媒を充填した反応領域に導入して触媒と接触させることからなるシス-１，２，３，３，３-ペンタフルオロプロペンの製造方法。 - 特許庁

In the prior art, the formation of extrusions and indentations were produced chemically. As such the process required post-process treatments and required multiple additional steps. In this process of fabrication, no post-processing is required and the use of specific gas phase etching medium produces better results. 例文帳に追加

従来は、化学的処理を施すことによって凹凸を形成していたので、後処理が必要であり、製造工程が多かったが、この製造方法によると、後処理が不要になるとともに、特定の成分からなるガス状エッチング媒体を使用しているため良好なエッチング効果が得られる。 - 特許庁

To provide a fuel storage device and its method for stably storing liquid typified by liquid hydrogen and denser than it when in use, or a fuel filled in a liquid phase in the storage device, for a long time when not in use, and supplying it in the form of gas fuel when in use.例文帳に追加

液体水素に代表される使用時よりも濃密な液体もしくは液状で貯蔵装置に充填した燃料を未使用時には長時間安定して保存できて、使用時には気体燃料の形で供給できる燃料貯蔵装置ならびにその方法を提供する。 - 特許庁

To provide a diamond laminating silicon wafer in which a diamond film is formed in gas phase composition with high adhesiveness and low cost on an electrically insulating film consisting of a silicon oxide film or a silicon nitride film which is formed in one part or whole region on a front surface of the silicon wafer.例文帳に追加

シリコンウエハの表面上の一部又は全域に形成された酸化シリコン膜又は窒化シリコン膜からなる電気的絶縁膜の上に、ダイヤモンド膜が、高密着性で、かつ低コストで気相合成されたダイヤモンド積層シリコンウエハ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a high-temperature valve device of a simple configuration, which can exhibit high corrosion resistance, and can mechanically separate a reaction by-product and a material for reaction when producing silicon while maintaining them in a gas state completely different from the phase state of solid silicon.例文帳に追加

高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。 - 特許庁

This method for manufacturing the low dielectric constant insulating film composed of the porous silica film includes: the step of coating porous silica film forming raw material on a substrate; and the gas phase processing step of exposing the substrate coated with the porous silica film forming raw material into an organic amine vapor atmosphere to which water is not added.例文帳に追加

基板上に多孔質シリカ膜形成用原料を塗布する工程と、多孔質シリカ膜形成用原料が塗布された基板を水を添加しない有機アミン蒸気雰囲気中に暴露する気相処理工程と、を含む多孔質シリカ膜からなる低誘電率絶縁膜の作製方法。 - 特許庁

A hydrogen buffer tank 2 and a hydrogen storage tank 1 for storing hydrogen in gas phase are connected in parallel by a three-way pipe 8a and supply hydrogen to the negative electrode 31 of a fuel-cell stack 3 from the three-way pipe 8a via a selector-valve-equipped regulator 10 and a flow controller 7.例文帳に追加

気相の水素を貯蔵する水素バッファタンク２と水素吸蔵タンク１とは、三方管８ａにより並列接続され、三方管８ａから開閉弁付レギュレータ１０及び流量コントローラ７を介して、燃料電池スタック３の負極３１へ水素を供給する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a light-emitting element capable of drastically improving the reaction efficiency of a material gas in forming a semiconductor layer serving as a light-emitting layer section by vapor phase epitaxy, resulting in easy realization of a semiconductor layer having few crystal defects and excellent quality.例文帳に追加

気相成長法により発光層部をなす半導体層を形成する際に、原料ガスの反応効率を飛躍的に高めることができ、ひいては、結晶欠陥の少ない高品質の半導体層を容易に実現できる発光素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

In a radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer on a support, at least one layer of the stimulable phosphor layer is formed with a gas phase method and a protection face of SiOx (x=1.3 to 1.7) is provided on the surface of the stimulable phosphor layer.例文帳に追加

支持体上に輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルにおいて、少なくとも１層の輝尽性蛍光体層が気相法により形成され、該輝尽性蛍光体層の表面にＳｉＯｘ（ｘ＝１．３〜１．７）の保護相を設けることを特徴とする放射線画像変換パネル。 - 特許庁

The radiation image conversion panel, having a phosphor layer formed with gas-phase deposition satisfies the relation 0.1≤a/b≤10, where (a) and (b) are mole ratios of center elements of activator/ground material of phosphor respectively at arbitrary two locations in the phosphor layer.例文帳に追加

気相堆積法により形成された蛍光体層を有する放射線像変換パネルにおいて、該蛍光体層の任意の二箇所における蛍光体の付活剤／母体の中心元素のモル比ａおよびｂが、関係式： ０．１≦ａ／ｂ≦１０ を満足することを特徴とする放射線像変換パネル。 - 特許庁

To continuously supply samples to a pseudo-moving bed separator to preclude a gas phase from being mixed and to preclude a contamination problem of the samples from being generated by mutual mixing of the plural samples.例文帳に追加

気相の混入がないように、また複数の試料が混入し合うことによる試料の汚染の問題が生じないように連続的に試料を擬似移動床式分離装置に供給することのできる擬似移動床式クロマトグラフィー用試料供給装置を提供すること。 - 特許庁

As for formation of the porous body, a complex metal thin film composed of ruthenium and copper is formed by a gas-phase method, and then heat-treated, and furthermore, the porous body is made by acid-dissolving only copper that is a heterophasic component, then the porous body is heated in an oxidation atmosphere to add oxygen.例文帳に追加

多孔質体の形成には、気相法によりルテニウム及び銅からなる複合金属薄膜を形成した後熱処理し、さらに異相成分である銅のみを酸溶解して多孔質体となし、次いで該多孔質体を酸化雰囲気中で加熱して酸素付加する。 - 特許庁

By at least temporarily reducing the concentration of at least one of NO_x and HC in the exhaust gas flowing in the laminated phase type alloy catalyst, CO cleaning capacity at a low temperature is kept high and high cleaning capacity up to a lower temperature range can be provided as a whole.例文帳に追加

積相型合金触媒に流入する排気ガス中のＮＯxとＨＣの少なくとも一方の濃度を少なくとも一時的に低下させることにより、低温時のＣＯ浄化性能が高く維持され、全体として、より低温域まで高い浄化性能を提供することができる。 - 特許庁

The reducible gas sensor has an alumina substrate 1, a YSZ thin film 2 being the oxide ion conductor precipitated on the alumina substrate 1 by a liquid phase precipitation method, the detection electrode 4 and reference electrode 3 respectively joined to the YSZ thin film and the glass like material 5 covering the reference electrode 3.例文帳に追加

アルミナ基板１と、液相析出法により前記アルミナ基板１に析出した酸化物イオン伝導体であるＹＳＺ薄膜２と、前記ＹＳＺ薄膜２にそれぞれ接合された検知極４及び基準極３と、前記基準極３を被覆するガラス状材料５と、を有する。 - 特許庁

In a crystal semiconductor substrate 1, on which a thin film 2 made of constituting elements different from those of the semiconductor which is provided with grid-shaped grooves 3 in which the surface of the substrate 1 is exposed, is formed, semiconductor net-shaped films 4 are selectively grown in the grooves by gas phase epitaxial method.例文帳に追加

結晶半導体基体１にこの半導体とは異なる構成元素からなり、かつ前記基体表面が露出する格子状の溝３を有する薄膜２が形成されている基板の、前記溝内に選択的に半導体網状膜４を気相エピタキシャル法で成長させる。 - 特許庁

To provide a reaction apparatus capable of supplying raw materials to a solution without inhibition by a layer of foams and producing a reaction product at a high efficiency in the case of producing an objective reaction product by one-step chemical reaction accompanied with gas emission in a liquid phase.例文帳に追加

液相での気体発生を伴う一段階の化学反応によって、目的とする反応生成物を生成するにあたり、溶液中へ原料を、気泡の層に阻害されることなく供給することができ、反応生成物を効率良く製造することができる反応装置を提供する。 - 特許庁

The batch-type solid-phase polymerization apparatus is composed of a barrel-type hopper of which the lower part is conical, an inert-gas blow-in port installed at the underside of the hopper, a jet pipe installed at the center of the inside of the hopper, and a reflection plate installed above the jet pipe.例文帳に追加

下部が円錐状をなしている筒型ホッパと、該ホッパの下部に設けられた不活性ガス吹込口、該ホッパ内部中央に設けられた噴出管、該噴出管の上部に設けられた反射板から構成されることを特徴とする熱可塑性樹脂の回分式固相重合装置。 - 特許庁

To provide an fuel electrode for SOFC (solid oxide fuel cell) that contains a ceria-based perovskite type oxide which does not bring about generation of a pyrochlore phase and carbon precipitation that lead to deterioration of the characteristics of the fuel electrode, and deterioration of reaction with carbon dioxide gas, and which has a high electrode performance possessed by the perovskite series oxide.例文帳に追加

燃料極の特性劣化につながるパイロクロア相の発生およびカーボン析出そして炭酸ガスとの反応劣化などを起こさず、かつペロブスカイト系酸化物の持つ高い電極性能を有するセリア系ペロブスカイト型酸化物を含むＳＯＦＣ用燃料極を提供する。 - 特許庁

The method for producing silica glass comprises accommodating silica glass in a hollow part of a mold, heating the mold and silica glass, subjecting the mold and silica glass to gas-phase purification treatment before the silica glass is deformed by pressurization or its own weight, followed by further heating to deform the silica glass by pressurization or its own weight to mold it.例文帳に追加

本シリカガラスの製造方法は、モールドの中空部内にシリカガラスを収容し、モールドとシリカガラスを加熱し、シリカガラスが加圧または自重により変形する前に、モールドとシリカガラスを気相純化処理し、その後さらに加熱し、シリカガラスを加圧または自重により変形させて成形する。 - 特許庁

To provide an expansion valve with reduced refrigerant passing noise by atomizing bubbles in a gas-liquid two phase refrigerant flowing into the expansion valve without narrowing an adjusting range of an opening adjusting function of a variable opening throttle part, and to provide a refrigerating device using the expansion valve.例文帳に追加

開度可変絞り部の開度調整機能の調整範囲を狭めることなく、膨張弁に流入する気液二相冷媒中の気泡を細分化することにより、冷媒通過音を低減した膨張弁及びこの膨張弁を用いた冷凍装置を提供すること。 - 特許庁

To provide an analyzer for spraying process that can analyze flatting/solidification phenomena of spraying particles unable to easily analyze by conventional Euler method and can treat deforming behavior of multiphase material and also even pore forming process induced by incorporating surrounding gas phase that have been unanalyzable until now.例文帳に追加

従来のオイラー法では容易に解析できなかった溶射粒子の偏平・凝固現象を解析し、これまでに解析が不可能であった多相材料の変形挙動や、周囲のガス相の取り込みによる気孔の形成過程までを取り扱うことができる溶射プロセスの解析装置を提供する。 - 特許庁

A multi-layer film wherein a silicon nitride film 5 which is formed by plasma chemical vapor-phase method in an atmosphere comprising hydrogen-contained gas molecules and silicon nitride-oxide films 4 and 6 having a refractive index lower than the silicon nitride film are laminated is formed as a protective film 20 for supplying a silicon substrate with hydrogen.例文帳に追加

水素含有気体分子を含む雰囲気中でプラズマ化学気相法により成膜された、シリコン窒化膜５と、シリコン窒化膜よりも低い屈折率を有するシリコン窒化酸化膜４，６とが積層された多層膜を、シリコン基板に水素を供給する保護膜２０として形成する。 - 特許庁