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SigEを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 611



例文

The local interconnect structure 60 is configured by a SiGe layer 61 formed over the top surface of the first source/drain region 29A and the gate wiring 42.例文帳に追加

局所配線構造60は、第1のソースドレイン領域29A及びゲート配線42の上面に跨って形成されたSiGe層61によって構成されている。 - 特許庁

The method of producing a semiconductor substrate characterised in that oxygen ions are implanted into a silicon substrate at a depth of 60-100 nm and then an SiGe layer is grown epitaxially on the silicon substrate, is used.例文帳に追加

酸素イオンをシリコン基板の深さ60nm以上100nm以下に注入した後、該シリコン基板上に、SiGe層をエピタキシャル成長させることを特徴とする半導体基板の製造方法を用いる。 - 特許庁

METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, FIELD TRANSISTOR, AND SiGe LAYER, AND METHOD OF FORMING DISTORTED Si LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTOR UTILIZING THE FORMING METHOD例文帳に追加

半導体基板と電界効果型トランジスタ並びにSiGe層の形成方法及びこれを用いた歪みSi層の形成方法と電界効果型トランジスタの製造方法 - 特許庁

As the materials of the sidewall 127, a conductor for preventing the configuring atoms of the high dielectric film 124 such as SiGe from scattering is used.例文帳に追加

サイドウォール127の材料としては、例えばSiGeなどのような高誘電体膜124の構成原子が飛散することを防止可能な導電体を用いる。 - 特許庁

例文

A hollow part is formed between the Si substrate 1 and the Si layer 31 by etching the SiGe layer 13 via the groove 43 by wet etching using nitrohydrofluoric acid.例文帳に追加

次に、フッ硝酸を用いたウェットエッチングで、溝43を介してSiGe層13をエッチングすることによって、Si基板1とSi層31との間に空洞部を形成する。 - 特許庁


例文

To use an ordinary silicon substrate and form a silicon crystalline layer undergoing distortion causing no malfunction even when an SiGe layer is thin.例文帳に追加

通常のシリコン基板を用いることができ、しかもSiGe層の膜厚が薄くても良質な歪みシリコン結晶層を形成することを可能にする。 - 特許庁

A photodiode 27 where a photosensitive layer 17a is constituted of an SiGe layer and a bipolar transistor 28 as a signal processing circuit of the photodiode 27 are provided on an SOI substrate 29.例文帳に追加

受光層17aがSiGe層によって構成されたフォトダイオード27と、このフォトダイオード27の信号処理回路として、バイポーラトランジスタ28とが、SOI基板29上に設けられている。 - 特許庁

In a VP circuit for driving a MOSFET Tr3, hFE of a phototransistor Tr4 is increased by using the SiGe layer as a base region 7a of the phototransistor Tr4.例文帳に追加

さらに、MOSFETTr3を駆動するVP回路において、フォトトランジスタTr4のべ一ス領域7aにSiGe層を用いてフォトトランジスタTr4のhFEを高くする。 - 特許庁

After that, the SiGe layer 11 is wet-etched via the groove H, thus forming a cavity 25 between the Si substrate 1 and an Si layer 13.例文帳に追加

その後、溝Hを介してSiGe層11をウェットエッチングすることによって、Si基板1とSi層13との間に空洞部25を形成する。 - 特許庁

例文

To realize a high speed and low consumption power CMOS device by forming a lattice strain-relaxed SiGe thin film suitable for manufacturing a strained Si-CMOS on an insulation film without doping impurities.例文帳に追加

不純物のドープを行うことなく、歪みSi−CMOSの製造に適した絶縁膜上の格子緩和SiGe薄膜を形成することができ、高速,低消費電力のCMOSデバイスの実現に寄与する。 - 特許庁

例文

Even when the effective neutral base is enlarged by the increase of collector current, no energy barrier is formed in a conduction band at the heterointerface of the n-type single crystal SiGe layer and the p-type single crystal SiGeC layer.例文帳に追加

コレクタ電流の増加によって、実効的な中性ベースが拡大した場合でも、n型単結晶SiGe層とp型単結晶SiGeC層のヘテロ界面における伝導帯に、エネルギー障壁が発生しない。 - 特許庁

Finally, the SiGe layer 3 is etched through the opening surface H to form a cavity between the Si layer 5 and the Si substrate 1 and a thermal oxidation film is formed in the cavity.例文帳に追加

その後、開口面Hを介してSiGe層3をエッチングして、Si層5とSi基板1との間に空洞部を形成し、空洞部内に熱酸化膜を形成する。 - 特許庁

To provide a method for forming a relaxed SiGe-on-insulator substrate having improved relaxation, comparatively low defect density, and improved surface quality.例文帳に追加

向上された緩和、かなり低い欠陥密度、および改善された表面品質を有する緩和されたSiGeオンインシュレータ基板を形成する方法を提供すること。 - 特許庁

When an SiGe layer is relaxed at an enough temperature, the property of its dislocation movement is such that strain release defect moves down into the thin Si layer when an embedded oxide shows semi-viscosity behavior.例文帳に追加

十分な温度でSiGe層を緩和すると、その転位運動の性質は、埋込み酸化物が半粘性挙動を示すときにひずみ解放欠陥が薄いSi層内に下方移動するようなものである。 - 特許庁

To provide a method that can improve hole mobility by applying a uniaxial compression stress from an SiGe mixed crystal layer to a p-channel area for a semiconductor device having the p channel.例文帳に追加

p型チャネルを有する半導体装置において、前記p型チャネル領域に一軸性圧縮応力をSiGe混晶層より印加して、前記チャネル領域におけるホール移動度を向上させる。 - 特許庁

Furthermore, a p^+ diffusion layer 10 and a silicide film 11b are formed as an external base layer outside the region acting as an internal base layer in the SiGe alloy layer 4.例文帳に追加

さらにSiGe合金層4のうち内部ベース層として働く領域の外側に、外部ベース層としてp^+拡散層10およびシリサイド膜11bを形成する。 - 特許庁

An SiGe layer is formed by selective epitaxial growth for use as a base layer BL, and then an Si layer is formed by non-selective epitaxial growth for use as the cap Si layer BCL.例文帳に追加

このうち、ベース層BLとしてSiGe層を選択性エピタキシャル成長によって形成した後、キャップSi層BCLとしてSi層を非選択性エピタキシャル成長によって形成する。 - 特許庁

The ratio of Ge in the composition of SiGe fine particles 1124 increases continuously from a position contiguous to a p-type silicon substrate 1121 toward a position contiguous to an SiO_2 film 1126.例文帳に追加

SiGe微粒子1124の組成におけるGeの占める割合は、p型シリコン基板1121に隣接する箇所からSiO_2 膜1126に隣接する箇所に向かって、連続して増加している。 - 特許庁

If the remainder of the separation layer 14 and the SiGe layer 12 are removed, and then, planarization is carried out by using hydrogen annealing, an Si substrate having a strained silicon layer can be obtained on its top most surface.例文帳に追加

分離層14の残りおよびSiGe層12を除去して後、水素アニールにより平坦化すると、最表面に歪みシリコン層を有するSi基板が得られる。 - 特許庁

The semiconductor substrate comprises an SiGe layer SG formed on an Si substrate 1 and a region 1a having a higher impurity concentration than other region is patterned on the surface of the Si substrate.例文帳に追加

Si基板1上にSiGe層SGを備えた半導体基板であって、前記Si基板表面に、他の領域よりも不純物濃度を高くした高濃度領域1aをパターン状に形成した領域を備えている。 - 特許庁

The layer 30 is composed of an upper Si film 12 and epitaxially grown Si layer 13, SiGe film 14, and Si film 15.例文帳に追加

半導体層30は、上部Si膜12と、各々エピタキシャル成長されたSiバッファ層13,SiGe膜14,Si膜15とから構成されている。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a wafer including a silicon single crystal substrate having front and back sides, and having a layer of SiGe deposited on the front side and a stress compensating layer on the back side.例文帳に追加

おもて面と裏面とを有するシリコン単結晶基板及び前記おもて面上に堆積されたSiGeの層を含んでなるウェーハを製造する方法。 - 特許庁

By selectively etching the SiGe layer via the groove H, a cavity 25 is formed between the Si substrate 1 and the Si layer 5, and an SiO_2 film (BOX layer) 30 is formed in the cavity 25.例文帳に追加

そして、溝Hを介してSiGe層を選択的にエッチングすることによって、Si基板1とSi層5との間に空洞部25を形成し、空洞部25内にSiO_2膜(BOX層)30を形成する。 - 特許庁

The photodetector (photoelectric conversion element) includes an Si layer 4 and a photo-detection part 6 having an SiGe layer 5 embedded within a groove formed in the Si layer 4.例文帳に追加

本発明は、本発明の受光素子(光電変換素子)は、Si層4と、Si層4に形成された溝の内部に埋め込まれたSiGe層5とを有する受光部6を備えている。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of semiconductors that can improve the uniformity of B concentration in B doping of an epitaxial growth film or the like of a Si film or a SiGe film, using a vertical or a horizontal type reduced pressure CVD system.例文帳に追加

縦型または横型減圧CVD装置を用いたSi膜またはSiGe膜のエピタキシャル成長膜等のBのドーピングにおいて、B濃度均一性を向上することができる半導体の製造方法を提供する。 - 特許庁

Then, after an SiGe layer is formed for the inside base at the sidewall section of the element forming groove, an N^+ type polysilicon film is formed for the emitter so that the groove is buried.例文帳に追加

次いで、素子形成溝の側壁部に内部ベースになるSiGe層を形成した後、この溝を埋め込むようにエミッタになるN^+型ポリシリコン膜を形成する。 - 特許庁

To provide a semiconductor substrate and a field effect transistor respectively having SiGe layers which are low in interlayer transition density and surface roughness.例文帳に追加

半導体基板及び電界効果型トランジスタ並びにこれらの製造方法において、貫通転位密度が低く、表面ラフネスが小さなSiGe層を有すること。 - 特許庁

A porous layer 12, a silicon layer 13, a SiGe layer 14, and a silicon layer 15 are successively formed on a silicon board 11 for the formation of a first board 10.例文帳に追加

シリコン基板11上に多孔質層12、シリコン層13、SiGe層14及びシリコン層15を順に形成して第1の基板10を作製する。 - 特許庁

Then, by etching the SiGe layer via the groove using a nitrohydrofluoric solution, a cavity 25 is formed between the Si substrate 1 and the Si layer 5.例文帳に追加

次に、フッ硝酸溶液を用いて上記溝を介してSiGe層をエッチングすることによって、Si基板1とSi層5との間に空洞部25を形成する。 - 特許庁

In order to reduce the resistance of a gate conductor 24, preferably, a silicide layer 28 is formed as self-alignment silicide from the polysilicon layer accumulated on the SiGe layer.例文帳に追加

ゲート導体24の抵抗を低くするために、好ましくは、シリサイド層28が、SiGe層の上に堆積されたポリシリコン層から自己整合シリサイドとして形成される。 - 特許庁

Under a state where the film deposition temperature is set at H1, Si_2H_6 gas and GeH_4 gas are introduced into a chamber and an SiGe layer is grown epitaxially on a semiconductor substrate 1.例文帳に追加

成膜温度がH1に設定された状態で、Si_2H_6ガスおよびGeH_4ガスをチャンバ内に導入し、SiGe層を半導体基板1上にエピタキシャル成長させる。 - 特許庁

The layer 30 consists of a base Si film 12, an Si buffer film 13, an SiGe film 14, and a top Si film 15 which are grown epitaxially respectively.例文帳に追加

半導体層30は、下地Si膜12と、各々エピタキシャル成長されたSiバッファ膜13,SiGe膜14,トップSi膜15とから構成されている。 - 特許庁

Then, after a p^+-type diffusion layer is formed on the collector region, an SiGe or SiGeC layer 10 is grown only on the one-side wall of the collector region.例文帳に追加

次に、コレクタ領域上部にP^+型拡散層を形成した後、コレクタ領域の片側側壁部分にのみSiGeあるいはSiGeC層10を成長させる。 - 特許庁

At least the surface of the silicide layer 16 on the side of the SiGe film 10 facing the gate electrode 4 is formed at a position higher than a channel region 23.例文帳に追加

少なくともSiGe膜10のゲート電極4と対向する側のシリサイド層16の表面はチャネル領域23よりも高い位置に形成されている。 - 特許庁

Therefore, the role of the original thin Si layer is to use the inner oxidation and subsequently to act as a sacrificial defective sink capable of being consumed during an SiGe alloy being relaxed.例文帳に追加

このため、元の薄いSi層の役割は、内部酸化を使用して後で消費することができる犠牲欠陥シンクとしてSiGe合金の緩和中に作用することである。 - 特許庁

By removing the SiGe single-crystal layer, the single crystal strained Si strip appears on the support platform and changes into a multifaceted Si strip suitable to form a multifaceted gate fin-FET.例文帳に追加

SiGe単結晶層を除去することによって、単結晶歪Siストリップは支持基板上にあり、多面ゲート・フィン型FETの形成に適する多面Siストリップに変化する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a semiconductor substrate which forms a strain-relaxed SiGe layer having been lattice-relaxed or partially lattice-relaxed and thus makes dislocation defect small, and to provide the semiconductor substrate.例文帳に追加

格子緩和又は一部格子緩和した歪緩和SiGe層の形成を可能にし、これによって転位欠陥を少なくするようにした半導体基板の製造方法及び半導体基板を提供する。 - 特許庁

The method of manufacturing a semiconductor substrate comprises a first process of forming the SiGe layer 1 on a silicon substrate 3, and a second process of forming the insulator layer 2 on the silicon substrate 3.例文帳に追加

シリコン基板3上にSiGe層1を形成する第1の工程と、前記シリコン基板3中に絶縁体層2を形成する第2の工程とを備える。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for an integrated circuit by metal silicate or silicate-germanate dielectrics which are opposed to SiGe and Si planes with no buffer layer.例文帳に追加

本発明は、バッファ層のないSiGe及びSi面に対する金属シリケートまたはシリケート−ゲルマネート(silicate-germanate)誘電体による集積回路の製造を提供する。 - 特許庁

After an amorphous silicon (a-Si) film is formed on a substrate under a pressure of 100-150 Pa, the polysilicon-germanium (poly-SiGe) film is formed on the a-Si film under a pressure of 30-60 Pa.例文帳に追加

基板上にアモルファスシリコン(a−Si)膜を100〜150Paの圧力で成膜し、a−Si膜の上にポリシリコンゲルマニウム(poly−SiGe)膜を30〜60Paの圧力で成膜する。 - 特許庁

This SiGe source/drain forms hetero-junction and metallic bonding with the Si main part by overlapping each other with a tolerance of less than about 10 nm, preferably 5 nm.例文帳に追加

このSiGeソース/ドレインは、Si本体と、約10nm未満、好ましくは5nm未満の許容差で互いに重なるヘテロ接合および金属学的接合を形成する。 - 特許庁

To provide a semiconductor substrate comprising an insulator layer of a high breakdown voltage, in a method of manufacturing a semiconductor substrate wherein a SiGe layer is stacked at least on the insulator layer.例文帳に追加

本発明は少なくとも絶縁体層上にSiGe層が積層されてなる半導体基板の製造方法において、絶縁耐圧の良好な絶縁体層を有する半導体基板を提供する。 - 特許庁

A mid-infrared ray is detected by permitting a hole to absorb the mid-infrared ray and shifting a sub-band between the sub-bands of valence bands, which are formed in a SiGe quantum well.例文帳に追加

SiGe量子井戸に形成された価電子帯のサブバンド間を、正孔が中赤外光を吸収してサブバンド遷移を行うことにより、中赤外光を検出する。 - 特許庁

When a groove for removing a SiGe layer is formed by an SBSI method, an SOI layer 5 is formed in a shape having a first region 5a, a second region 5b and a third region 5c.例文帳に追加

SBSI法において、SiGe層を除去するための溝を形成する際に、SOI層5を第1領域5a、第2領域5b及び第3領域5cを有する形状に形成する。 - 特許庁

The resistor element is formed of a polycystalline SiGe thin film in which the content of Ge atoms is 20-50% and an impurity is doped so that resistivity is 3×10^-2 to10^-1Ωcm.例文帳に追加

抵抗素子をGe原子の含有量が20〜50%で、かつ抵抗率が3×10^−2〜3×10^−1Ω・cmになるように不純物が導入されている多結晶SiGe薄膜により形成する。 - 特許庁

This silicide film 8b is formed over the side wall of the silicon film 5, the side wall of the SiGe alloy layer 4, and the surface of the p^+ diffused layer 10.例文帳に追加

このシリサイド膜8bは、シリコン膜5の側壁とSiGe合金層4の側壁とp^+拡散層10の表面にまたがって形成されている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device by which a junction leak current is suppressed to a minimum by relaxing through dislocation 6 even when the dislocation occurs from the interface of an SiGe layer 2 and a silicon wafer 1.例文帳に追加

SiGe層2とシリコン基板1との界面から貫通転位6が発生したとしても、それを緩和させて、接合リーク電流を最小限に止めることができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

Next, by partially etching the Si layer 13 and the SiGe layer 11 a support body hole h1 is formed on the element isolation layer 3 inside a bird's beak.例文帳に追加

次に、Si層13とSiGe層11とを部分的にエッチングして、バーズビークから内側の素子分離層3上に支持体穴h1を形成する。 - 特許庁

Here, the height a_4 of the top surface of the SiGe mixed crystal layer 49a from the bottom of a groove 8 is less than the depth of the groove 8 based upon a surface of a silicon substrate 1.例文帳に追加

なお、SiGe混晶層49aの最表面の溝8の底からの高さa_4は、シリコン基板1の表面を基準としたときの溝8の深さよりも低い。 - 特許庁

例文

A method of producing a vertical sidewall on a silicon substrate (110) for an Si/SiGe photodetector comprises a process of preparing a silicon layer (110) in which a silicon surface (110) lies in parallel with an underlying silicon wafer surface.例文帳に追加

Si/SiGe光検知器用のシリコン(110)基板上の垂直側壁の製造方法には、下層のシリコンウェハー表面に対してシリコン(110)面が平行であるシリコン(110)層を準備する工程を含んでいる。 - 特許庁

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